KR910011673A - 불꽃가수분해 용착(deposition)을 위한 반응물 이송장치용 플레쉬 증발기(flash vaporizer) 시스템 및 이를 이용한 광도파로 예형의 제조방법 - Google Patents

불꽃가수분해 용착(deposition)을 위한 반응물 이송장치용 플레쉬 증발기(flash vaporizer) 시스템 및 이를 이용한 광도파로 예형의 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

불꽃가수분해 용착(deposition)을 위한 반응물 이송장치용 플레쉬 증발기 (flash vaporizer)시스템 및 이를 이용한 광도파로 예형의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 제조된 시스템의 블럭도 (block diagram)이다.

Claims (16)

  1. (a)액체 이송장치, (b)저장 용기, (c)미리 결정된 증기압으로 액체를 증발시키에 충분한 온도로 액체 이송장치에 의해 이송된 액체를 가열하기 위한 가열장치, (d)박막을 형성하기 위하여 조절된 흐름율로 액체를 이송하는 액체 이송장치의 표면을 구성하는 가열장치, (e)상기 가열장치는 박막이 균일하게 생성되는 범위내에서 액체의 비점 이상의 온도로 가열장치의 표면온도를 조절하는 장치이고, (f)진공용착부로 증발된 액체를 이송하기 위한 장치로 구성되며 산화/불꽃 가수분해 유리 슈트 융착 시스템으로 반응물로 이송하기 위한 플레쉬 증발기 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 플레쉬 증발 챔버 장치는 적어도 하나의 표면으로 주입된 액체의 증발을 촉진시키기 위하여 두개의 대향 표면으로 한정되어지되, 플레쉬 증발 챔버 표면은 증기가 적당한 시간내에 증기 작동 압력에 도달되도록 각각 충분하게 밀착되어 있으며, 챔버내에서 증기흐름에 의하여 증발되지 않은 액체의 방해를 방지할 수 있을 정도로 충분하게 각각은 분리되어 있는 것임을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  3. 제2항에 있어서, 플레쉬 증발 챔버는 적어도 하나의 표면이 임의로 가열될 수 있으며, 실린더 내에 로오도 또는 평판을 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  4. 제1,2항 또는 제3항에 있어서, 조절장치는 표면의 온도가 액체의 핵형성 비등이 발생하는 온도이하로 유지됨을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  5. 제4항에 있어서, 액체는 TiCl4이고 조절장치는 137℃~166℃ 범위내에서 표면의 온도가 유지되는 것임을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 플레쉬 증발 챔버는 TiCl4, POCl3, Alr3및 (-SiO(CH3)2-)4로 구성되는 군으로 부터 선택된 적어도 하나의 액체로 부터 증기가 형성되고, 플레쉬 증발 챔버내에서 증발되지 않은 액체 및/또는 연속적인 증발되지 않은 TiCl4,박막의 방해없이 플레쉬 증발기로 부터 유출되도록 하기 위한 충분한 공간을 가지는 것임을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  7. 제6항에 있어서, 플레쉬 증발기 내의 액체 TiCl4분당 2~8g의 흐름율을 가지며, 플레쉬 증발 챔버내의 표면을 0.030~0.10인치의 틈에 의해 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  8. 제1항 내지 제7항중에 어느 한항에 있어서, 플레쉬증발기 시스템은 (a)저장용기내의 압력을 플레쉬 증발기의 작동압력 보다 낮게 하기 위한 장치와, (b)액체 이송장치를 통하여 액체를 이송하기 전에 액체 저장용기를 통하여 비반응 가스의 기포를 발생시키는 장치를 더 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기 시스템.
  9. 제1항 내지 제8항중 어느 한항에 있어서, 플레쉬 증발기 시스템은 (a) 저장용기내의 압력을 플레쉬 증발기의 작동압력 보다 낮게 하기 위한 장치와, (b)액체 이송장치를 통하여 액체를 이송하기 전에 액체 저장용기내의 액체를 교반하기 위한 장치를 더 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기 시스템.
  10. 제1항 내지 제9항중 어느 한항에 있어서, 액체 TiCl4와 비반응하는 가스를 플레쉬 증발 챔버로 흐르게 하는 장치를 더 포함함을 특징으로 하는 플래쉬 증발기 시스템.
  11. 제1항 내지 제10항 어느 한항에 있어서, 액체이송장치는 박막으로서 가열표면상에 액체를 직접 이송하기 위하여 주입튜브 내에서 동일축으로 장착된 액체 이송 튜브를 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기 시스템.
  12. 제1항 내지 제11항 어느 한항에 있어서, 플레쉬 증발기 시스템은 (a)증발된 액체가 플레쉬 증발 챔버를 떠한 후 증발된 액체와 산소가 혼합되도록 하는 흐름 측정장치와 밸브로 구성되는 산소 이송 장치와, (b)증발된 액체가 플레쉬 증발 챔버를 떠난 후 증발된 액체와 산소가 혼합되도록 하는 2차 증발된 반응물을 이송하기 위한 2차 반응물 이송 장치를 더 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 혼합된 가스를 버너로 이송하는 장치를 더 포함함을 특징으로 하는 플레쉬 증발기 시스템.
  14. 제2항 내지 제13항중 어느 한항에 있어서, 액체 이송 장치는 조절된 흐름율로 액체를 챔버로 이송하기 위하여 액체용 저장용기와 플레쉬 증발 챔버 사이에 연결된 측정용 펌프를 가짐을 특징으로 하는 플레쉬 증발기.
  15. (a)반응물로 액체 형태로 가압 용기에 공급하는 단계, (b)가압용기 인접부에 플레쉬 증발 챔버를 제공하는 단계, (c)액체 반응물로 조절된 비율로 플레쉬 증발 챔버로 이송하는 단계, (d)액체 반응물이 박막을 플레쉬 증발 챔버의 가열표면상에 형성시키는 단계, (e)액체의 핵형성 비등이 발생하는 온도 이하의 온도에서 1차 액체 반응물을 증발시키는 단계와, (f)증발된 반응물을 증기반응 및/또는 용착부위로 이송시키는 단계로 구성되며 산화/불꽃 가수분해 유리 슈트 용착 시스템으로 반응물로 이송하기 위한 플레쉬 증발기 시스템 사용하여 예형을 제조하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 증발된 반응물이 플레쉬 증발 챔버를 떠난 후 증발된 반응물과 혼합시키기 위한 담체가스를 제공하는 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 예형의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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