DE19932247C2 - Verfahren und Anordnung zur Versorgung von Verbrauchsstellen mit Si-haltigem Rohstoff in Dampfform - Google Patents
Verfahren und Anordnung zur Versorgung von Verbrauchsstellen mit Si-haltigem Rohstoff in DampfformInfo
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Description
- - Eine N2-Druckbeaufschlagung von SiCl4 im Lagertank bewirkt das Lösen von N2 im SiCl4. Dieses gast später ungewollt aus und bewirkt Druckschläge im Rohrleitungssystem bis zu einigen bar, verfälscht die SiCl4-Massedurchflußmessung sowohl bei der Verbrauchsmessung unter Verwendung des Coriolis-Prinzips in der Flüssigkeit als auch der Dosierung von reinem SiCl4-Dampf mittels Hochtemperatur-MFC's (mass flow controller, Massen-Durchfluß-Regler) in der Zuleitung zur Verbrauchsstelle.
- - Die Verwendung der Hochtemperatur-MFC's zur direkten Regelung der verdampften SiCl4-Menge führen zu Fehlern von mindestens 1%.
- - Kritisch bei der Regelung der direkt verdampften SiCl4-Menge ist die Abfiltration kleinster Flüssigkeitströpfchen vor dem MFC (mindestens 60 µm-Filterelement).
- - Der Preis von Direktverdampfungssystemen ist relativ hoch.
- - Die Rohstoffversorgung von n Schmelzmaschinen mit SiCl4 durch ein System kommunizierender Gefäße zwischen dem Verteilungsgefäß G und den Schmelzmaschinen S;
- - Die Installation eines Kreislaufsystems Pu, Dp, G, U, welches eine definierte Ablaufhöhe des zu den n Schmelzmaschinen fließenden SiCl4 sichert und ein vollständiges Ausgasen von gelöstem N2 gewährleistet;
- - Die Sicherung der Drucklosigkeit im jeweiligen Produktionspuffer Pu durch eine N2-gespülte Abluftöffnung, durch die das ausgasende N2 entweichen kann;
- - Ein mit einem Frequenzumrichter und einer Pumpe gesteuerter SiCl4- Zufluß in den Produktionspuffer Pu durch einen Füllstandsdetektor LCA;
- - Die Abfiltration von Feststoffpartikeln aus dem SiCl4 bei Sicherung der chargenweisen in-situ-Kontrolle des IR-Spektrums;
- - Die Vermeidung jeglicher Druckstöße innerhalb des Produktionspuffers Pu;
- - Eine Druckwechseltrockenspülung der Filtereinheit F und der Küvetteneinheit bei Wartungsarbeiten bzw. Filterwechsel unter Nutzung der Einspeisung Ef.
Claims (23)
daß dem Lagertank und dem Produktionspuffer in Strömungsrichtung des Rohstoffs jeweils mindestens eine selbstansaugende Pumpe nachgeordnet ist,
daß auf den Produktionspuffer ein Verteilungsgefäß mit einem inneren Überlauf aufgesetzt ist,
daß sich die dem Produktionspuffer nachgeordnete selbstansaugende Pumpe in einer Leitung zwischen dem Produktionspuffer und dem Verteilungsgefäß befindet,
daß eine zwischen dem Verteilungsgefäß und der Schmelzmaschine angeordnete Leitung nach dem Prinzip der kommunizierenden Gefäße und so gestaltet ist, daß sie zunächst schnell barometrisch bis zu einem Tiefpunkt abfällt und danach allmählich bis zum Einlauf in ein Dosiergefäß ansteigt, und
daß die Dosiereinheit aus dem Dosiergefäß mit Temperaturinnenmessung und einem dem Dosiergefäß vorgeschalteten Vorwärmer besteht.
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DE19932247A Expired - Fee Related DE19932247C2 (de) | 1998-07-07 | 1999-07-07 | Verfahren und Anordnung zur Versorgung von Verbrauchsstellen mit Si-haltigem Rohstoff in Dampfform |
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Citations (3)
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US5078092A (en) * | 1989-12-22 | 1992-01-07 | Corning Incorporated | Flash vaporizer system for use in manufacturing optical waveguide fiber |
EP0669287A1 (de) * | 1994-02-28 | 1995-08-30 | Heraeus Quarzglas GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum Abliefern von gasförmigen Rohstoffen |
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- 1999-07-07 DE DE19932247A patent/DE19932247C2/de not_active Expired - Fee Related
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Derwent-Abstr. zu JP 58-101701 A * |
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