KR910008324A - 실리콘 카바이드 관 및 그 생산을 위한 공정 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

실리콘 카바이드 관 및 그 생산을 위한 공정

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

1. 3.18-3.21g/㎤의 밀도의 최대 불순물 함유량 20ppm, 그리고 유체의 침투가 거의 없는 다결정 실리콘 카바이드 튜브(1)로 관을 구성한 것을 특징으로 한 구조.
2. 제1항에 있어서, 관이 워터-젯트 노즐임을 특징으로 하는 관 구조.
3. 제1항에 있어서, 튜브(1)의 외주면으로 외측 실린더(2가 입혀짐을 특징으로 하는 관 구조.
4. 제3항에 있어서, 외측 실린더(2)가 금속으로 이루어짐을 특징으로 하는 관 구조.
5. 제3항에 있어서, 외측 실린더(2)가 합금으로 이루어짐을 특징으로 하는 관 구조.
6. 제1항에 있어서, 튜브(1)가 길이방향을 따라 일정한 내경을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 관 구조.
7. 제1항에 있어서, 튜브(1)가 길이방향을 따라 적어도 부분적으로 다른 직경을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 관 구조.
8. 관을 생산하기 위한 공정이 로우드형 흑여구조(G)를 준비하고, 증기상 합성방법으로 로우드형 흑연구조의 표면상에 실리콘 카바이드(1a)를 입히고, 흑연구조(G)를 제거하도록 한 것을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
9. 제8항에 있어서, 시리콘 카바이드를 입히는 공정이 흑연구조의 실리콘 카바이드의 다결정 필름 피복을 위하여, 실리콘이나 탄소 화합물들을 대기 가스 분위기에서 로우드형 흑연구조(G)에 열을 가하는 스텝을 갖도록 한것을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
10. 제9항에 있어서, 상기 화합물이 실란 탄화수소임을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
11. 제9항에 있어서, 상기 화합물들이 실란가스와 탄소 가스임을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
12. 제9항에 있어서, 상기 화합물이 SiO가스와 CO가스임을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
13. 제9항에 있어서, 상기 로우드형 흑연구조(G)가 1700℃로 히팅됨을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
14. 제8항에 있어서, 흑연 구조를 제거하기 전에 로우드형 흑연구조(G)의 양단부로 피복된 실리콘 카바이드 필름(1b)을 벗겨 내는 공정을 추가하도록 한 것을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
15. 제8항에 있어서, 흑연 구조(G)를 절단하는 공정중 공기 중에서 흑연구조에 열을 가하면서 실시하도록 한 것을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.
16. 제18항에 있어서, 흑연 구조(G)로 800℃로 열을 가하도록 한 것을 특징으로 하는 관 생산을 위한 공정.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.