KR910004258A - 기판 피복 방법 및 장치 - Google Patents

기판 피복 방법 및 장치 Download PDF

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메이어 둘호이어;게흐르만
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Abstract

내용 없음.

Description

기판 피복 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 피쉬테일 노즐을 수직으로 이동하는 기판 및 수평의 피쉬테일 노즐을 갖춘 본 발명의 제1실시예의 개략도,
제2도는 제1도에 따라 기판의 절개부를 확대한 평면도,
제3도는 제1실시예가 일부 수정된 본 발명에 따른 장치의 제2실시예의 도시도.

Claims (24)

  1. 전기 방전 수단에 의하여, 기화가능한 솔벤트 성분 및 고형 성분을 함유하는 필름으로 기판을 피복하는 방법에 있어서, 에어흐름 혹은 가스 흐름 수단에 의하여 분무 구역내의 피복 용액으로부터 에어로졸이 형성되며, 상기 에어로졸은 분무 구역 외부의 기화 구역속으로 취입되는데, 여기서 상기 솔벤트의 대부분이 기화되어 결국, 에어로졸의 개개의 드롭 사이즈가 개개의 체적 사이즈보다 더욱 작은 50 내지 90 체적%이며 또한, 상기 에어로졸은 적용 구역내의 기판상에 스프레이되며 또한 에어로졸의 고형 성분은 건조 구역내의 기판면상에 융합되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기화 구역내에 형성된 솔벤트 증기는 배출되어 응축되고 에어로졸 회로로 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  3. 제1항 및 제2항에 있어서, 상기 적용 구역의 에어로졸 초과량은 적용 구역의 양 측부상의 복귀 구역으로 배출되는데, 상기 에어로졸은 솔벤트 성분과 고형 성분으로 분리되고 상기 솔벤트 성분은 에어로졸 회로로 복귀되며, 상기 고형 성분은 재형성되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 기판은 양 전위에 있으며 또한 에어로졸은 전기 방전에 의하여 음전위로 주어지는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기화 구역내의 피복 용액의 솔벤트용 기화 에너지는 열방사 및 열대류에 의하여 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판은 스트립형이고 적용 구역을 통하여 연속 이송되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 기판은 적용 구역을 통하여 수직으로 수용되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 에어로졸은 수평 수용 기판의 하측부상에 스프레이되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기화 구역내의 에어로졸의 개개의 드롭사이즈는 기판에 적용될 필름의 고형 성분의 아주 미세한 파우더 형태내의 고형 상태에 접근하는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 양의 에어로졸이 다수의 피복 작동에 의하여 하나를 다른것의 상부상에 놓게되는 필름내의 기판에 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  11. 제1항에 있어서, 제공된 필름의 두께는 상기 양의 에어로졸 및 정전기 방전의 전압 전폭에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  12. 제10항 및 제11항에 있어서, 상기 에어로졸은 전체면 위의 비드 형상내의 기판상에 앵커 형성되고, 건조구역내의 에어로졸 드롭이 열방사 작용에 의하여 기판면과 또한 하나의 앵커와 용해되는 것을 특징으로 하는 기판 피복 방법.
  13. 에어로졸내에 전기 방전을 발생시키기 위한 고압원 및 기판상의 필름용 드라이어를 가지고, 기화 가능한 솔벤트 성분 및 고형 성분을 함유하는 필름으로 기판을 피복시키기 위한 장치에 있어서, 초음파 발생기(2)가, 피복 용액 혹은 피복 현탁액(19)이 내부로 도입되는, 에어로졸 회로(20)에 접속되는데, 여기서 상기 발생기(2)는 분무 공간(5) 부근에 있으며 또한 최종적으로 피복 용액의 드롭을 공간으로 분리시키며, 팬(3)이 분무 공간에 접속되어 공기 흐름 혹은 가스 흐름을 발생시키는데, 이것은 피복 용액(19)의 드롭과 함께 에어로졸(4)을 형성하며 기화 챔버(6)로 이송되는데, 여기서 이것을 통과하여 기판(9)이 구동되는, 상기 채버(6)는 노즐(13)속으로 개방되며, 또한 이것을 통하여 기판이 통과하는 드라이어(14)는 기판(9)의 구동 방향(A)내의 노즐(13) 하향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  14. 제1항에 있어서, 15내지 40KV의 출력을 가진 제어가능한 DC 전압원(25)은 기판에 또한 초음파 발생기(2)에 접속되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 기판(9)은 양극에 접속되며 상기 발생기(2)는 DC 전압원(25)의 음극에 접속되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 기판(9)은 음극에 접속되고 또한 발생기(2)는 DC 전압원의 양극에 접속되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  17. 제13항에 있어서, 열 방사원(7)은 기화 구역위의 기화 챔버(6)내에 배열되는데, 이것은 열 방사 및 대류에 의하여 기화 구역내에 설치되 에어로졸의 솔벤트를 기화시키며, 상기 솔벤트 증기는 기화 챔버의 분리벽(21)내의 개구(15)를 통하여 배출되며 또한 콘덴서(22)를 경유하여 배출 브렌치(16)를 통하여 에어로졸 회로(20)로 복귀하는 것을 특징으로 하는 피복장치.
  18. 제13항에 있어서, 기판(9)상의 노즐(13)의 적용 구역(11)의 다른 측부상에 과도한 에어로졸용 배출 챤넬(10)이 제공되는데, 이것은 솔벤트 성분 및 고형 속으로의 분리 챔버(24)로 분리되며, 또한 상기 솔벤트 성분은 콘덴서(23)를 경유하여 에어로졸 회로(20)속으로 플로우백되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  19. 제13항 내지 제18항에 있어서, 노즐 다음의 기화 챔버(6) 및 배출 챤낼(10)의 배출 브랜치 (16)는 공통콘덴서(22)를 경유하여 에어로졸 회로(20)에 접속되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  20. 제13항에 있어서, 상기 노즐은 피쉬테일 노즐을 지나서 기판(9)의 폭 너머로 수평으로 기화 챔버(6)와 함께 연장되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  21. 제13항에 있어서, 상기 노즐(13) 및 기화 챔버(6)는 기판(9)에 경사 배열되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  22. 제13항에 있어서, 상기 노즐(13) 및 챔버(6)는 기판(9)아래에 설치되는 것을 특징으로 하느 피복 장치.
  23. 제13항에 있어서, 상기 노즐(13)로부터 침지되는 에어로졸은 기판(9)상의 다른 것 다음에 놓여 있는 드롭의 개개의 필름(18)으로 침전되며, 다른것의 상부상에 하나가 놓여있는 개개의 필름의 플름 구조물(17)이 다수의 피복 작동에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 피복 장치.
  24. 제13항에 있어서, 다수의 개개의 필름(18)의 필름 구조물(17)은 싱글 필름용 보다 전기 방전을 고압 전압을 제공하고 싱글 필름용 보다 다량의 에어로졸상에 분사시키므로서 싱글 피복 작동으로 기판(9)상에 형성되는 것을 특징으로 하는 피복 장치
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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