KR910001417A - 주사전자 현미경용 배율 보정 신호 발생장치 - Google Patents

주사전자 현미경용 배율 보정 신호 발생장치 Download PDF

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KR910001417A
KR910001417A KR1019900008227A KR900008227A KR910001417A KR 910001417 A KR910001417 A KR 910001417A KR 1019900008227 A KR1019900008227 A KR 1019900008227A KR 900008227 A KR900008227 A KR 900008227A KR 910001417 A KR910001417 A KR 910001417A
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magnification
magnification correction
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scanning electron
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KR1019900008227A
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English (en)
Inventor
에이. 쇼 데이비드
에이. 헤리오트 글렌
Original Assignee
에이. 쇼 데이비드
나노퀘스트(캐나다) 인코포레이티드
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus

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  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

주사전자 현미경용 배율 보정 신호 발생장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 구체적 실시예에 따라 재 촛점시 배율을 일정하게 유지하는 회로를 지니는 주사 전자 현미경의 블록선도.
제2도는 본 발명의 또 하나의 구체적 실시예에 따라 재촛점시 새로운 배율을 나타내는 회로를 지니는 주사 전자 현미경의 블록선도.
제3도는 빔 전압이 공칭에 대해 변화함에 따라 배율 보정 유닛의 출력을 나타내는 도표.

Claims (7)

  1. 빔 에너지 신호에 따라 예정된 에너지 수준에서 전자 빔(12)을 발생하는 장치 및 주사신호에 따라 상기 빔(20)을 주사하는 장치를 포함하는 주사 전자 현미경(SEM)용 배율 보정신호를 발생하는 장치에 있어서, 상기 장치는 상기 예정된 에너지 수준에 부합하는 공칭 값에 대해 상기 빔 에너지 신호를 변화시키는 재촛점 장치(40,42,46)및 상기 공칭 값으로 부터의 빔 에너지 신호의 변화에 따라 변화하는 배율 보정 신호를 발생하는 상기 재 촛점 장치에 연결된 배율 보정장치(50,52,58)를 지니는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경용 배율보정 신호 발생장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주사 전자 현미경용 배율 보정신호 발생장치는 재 촛점을 보정하기 위하여 SEM의 배율을 조정하도록 상기 주사 신호를 수정하는 상기 배율 보정 신호를 연결하는 장치(32,28)를 지니는 것을 특징으로하는 주사전자 현미경용 배율 보정신호 발생장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 주사 전자 현미경용 배율 보정 신호 발생 장치는 상기 SEM의 현재 배율을 나타내기 위하여 상기 배율 보정 신호를 사용하는 디스플레이 장치(56)를 지니는 것을 특징으로하는 주사전자 현미경용배율 보정 신호발생장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 배율 보정장치(50,52,58)가 첫째 및 둘째 입력과 출력을 지니는 배율 보정 유닛(50)을 포함하고, 상기 출력은 상기 입력이 같으면 1인 신호를 상기 입력이 같지 않으면 1과 조금다른 신호를 제공하며 상기 출력에 의해 제공된 상기 값이 상기 입력간의 차이가 커짐에 따라 1로부터 점점 멀어지는 것을 특징으로하는 주사전자 현미경용 배율보정 신호 발생장치.
  5. 제4항에 있어서, 사이 배율보정 유닛이 전달함수: V보정=[OD-c.V현재]/[OD-c.V공칭][V공칭/V현재]0.5를 지니고 이때: OD는 대물 렌즈로부터 하부 콘덴서 렌즈아래의 빔 교차까지의 대물 거리이고; 그리고 C는 빔 전압과 대물 렌즈의 촛점 길이 사이에서 비례하여 일정한 것을 특징으로하는 주사전자 현미경용 배율보정신호 발생장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 배율 보정장치(50,52,58)가 상기 배율 신호에 부합하는 입력, 소정의 배율 셋팅에 부합하는 분자 입력 및 상기 주사 신호를 발생하기 위한 배율 제어가(32)로 주입되는 출력을 지니는 디바이더(52)를 포함하는 것을 특징으로하는 주사전자 현미경용 배율 보정 신호발생 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 배율 보정장치(50,52,58)가 상기 배율 보정 신호에 부합하는 입력, 소정의 배율 셋팅에 부합하는 둘째 입력 및 배율 판독 디스플레이(56)로 주입되는 출력을 지닌 중배기(58)를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자 현미경용 배율보정 신호 발생장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900008227A 1989-06-01 1990-06-01 주사전자 현미경용 배율 보정 신호 발생장치 KR910001417A (ko)

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