KR900017155A - 근접효과보정방법 - Google Patents

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KR900017155A
KR900017155A KR1019900004672A KR900004672A KR900017155A KR 900017155 A KR900017155 A KR 900017155A KR 1019900004672 A KR1019900004672 A KR 1019900004672A KR 900004672 A KR900004672 A KR 900004672A KR 900017155 A KR900017155 A KR 900017155A
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켄지 하라후지
아키오 미사까
히로미쯔 하마구치
켄지 카와키타
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다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

내용 없음.

Description

근접효과 보정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 연산처리를 표시한 순서도
제2도는 본 실시예를 설명하기 위한 셀배치도
제3도는 본 실시예를 설명하기 위한 셀.테이블을 표시한 도면
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 최상위 셀 A의 셀경계,
2 : 제2계층의 셀 B의 셀경계,
3, 4 : 셀 C의 셀경계,
13 : 셀 B내의 바깥쪽의 프레임(셀 B')의 셀경계),
14 : 셀 B내의 안쪽의 프레임,
15, 17 : 셀 C내의 바깥쪽의 프레임(셀 C'의 셀 경계),
16, 18 : 셀 C내의 안쪽의 프레임,
19 : 셀 B내의 바깥쪽의 프레임 영역(셀 B'의 외부창조 프레임 영역),
20 : 셀 B내의 안쪽의 프레임 영역(셀 A의 셀 B'에 대한 내부참조프레임 영역),
21, 23 : 셀 C내의 바깥쪽의 프레임 영역,
22, 24 : 셀 C내의 안쪽의 프레임 영역,
29 : 서브.조운을 형성하기 위한 분할선,
30, 31 : 서브.조운 내부 영역,
32, 33 : 서브.조운에 부수하는 참조 프레임 영역,
36-38 : 서브.조운의 내부영역,
39-41 : 서브.조운에 부수하는 참조프레임 영역,
42 : 서브.조운을 형성하기 위한 분할선,
43 : 최상위 셀 D의 셀경계,
44 : 3×4의 요소셀F로 구성되어 있는셀 E의 경계,
45 : 셀 E내의 바깥쪽의 프레임(셀 E'의 경계),
46 : 셀 E내의 안쪽의 프레임,
47 : 셀 E내의 바깥쪽의 프레임 영역(셀 E'의 셀 D에 대한 외부참조 프레임 영역),
48 : 셀 E내의 안쪽의 프레임 영역(셀 D의 셀 E'에 대한 내부 참조프레임 영역),
49 : 요소셀 F의 경계를 부여하는 분할선,
62 : 내부의 어레가 요소 셀 F에 부수하는 프레임,
63 : 내부의 어레이 요소셀 F의 참조 프레임 영역,
64 : 어레가 요소 셀 F내의 패턴,
65 : 주변의 어레이 요소 셀 F의 바깥쪽의 프레임 영역(셀 F의 외부참조 프레임 영역),
66 : 주번의 어레이 요소 셀 F의 안쪽의 프레임 영역,
67 : 주변의 어레이 요소 셀 F의 바깥쪽의 프레임,
68 : 주변의 어레이 요소 셀 F의 안쪽의 프레임,
70 : 어레이 요소 셀의 경계,
71 : 어레이요소 셀내를 9개의 영역으로 분할하기 위한 분할선,
72 : 어레이 요소 셀내의 왼쪽위구석에 위치하는 폭 h, 높이 h를 가진 영역 S1,
73 : 어레이 요소 셀내의 왼쪽 아래구석에 위치하는 폭 h, 높이 h를 가진 영역 S2
74 : 어레이 요소 셀내의 오른쪽 아래구석에 위치하는 폭 h, 높이 h를 가진 영역S3,
75 : 어레이 요소 셀내의 오른쪽위 구석에 위치하는 폭 h, 높이 h를 가진 영역 S4,
76 : 어레이 요소셀내의 왼쪽구석에 위치하는 폭 h, 높이 Py-2Xh를 가진 영역 t1,
77 : 어레이 요소 셀내의 오른쪽구석에 위치하는 폭 h, 높이 Py-2Xh를 가진 영역 t2,
78 : 어레이 요소셀내의 위쪽구석에 위치하는 폭 Px-2Xh, 높이 h를 가진 영역 U1,
79 : 어레이 요소 셀내의 아래쪽구석에 위치하는 폭 Px-2Xh, 높이 h를 가진 영역 W,
80 : 어레이 요소 셀내의 중앙에 위치하는 폭 Px-2Xh, 높이 Py-2Xh를 가진 영역 U2,
81 : 영역 S1, S2, S3및 S4를 합성해서 작성한 셀 S의 경계,
82 : 영역 t1및 t2를 합성해서 작성한 셀 T의 경계,
83 : 영역 U1및 U2를 합성해서 작성한 셀 U의 경계,
84 : 영역 W를 사용해서 작성한 셀 W의 경계,
85 : 셀 S, T, U 및 W의 경계,
86 : 셀 S의 대표요소셀,
87 : 셀 T의 대표요소셀,
88 : 셀 U의 대표요소셀,
88 : 셀 W의 대표요소셀,
90 : 대표요소 셀 S의 참조 프레임 영역,
91 : 대표요소 셀 T의 참조 프레임 영역,
92 : 대표요소 셀 U의 프레임 영역,
93 : 대표요소 셀 W의 창조 프레임 영역.

Claims (10)

  1. 기판상에 도포형성된 레지스트를 하전비임 혹온 광을 사용해서 노광함에 있어서 셀의 계층구조를 가진 설계패턴에 대해서 근접효과 보정을 행하는 방법에 있어서, 상기 셀의 경계 안쪽에 소정의 폭을 가진 제1프레임영역을 설치하는 수단과, 상기 제1프레임 영역의 안쪽에 소정의 폭을 가진 제2프레임 영역을 설치하는 수단과, 상기 셀내의 패턴·데이터를 근접효과 보정함에 있어서, 상기 제 2프레임영역내의 패턴 및 상기제2프레임영역의 안쪽에 있는 패턴을 보정 대상 패턴으로 하고, 상기 제1프레임 영역내의 패턴을 참조패턴으로 하고, 또 상기 셀의 바로위 계층셀의 패턴을 근접효과 보정함에 있어서, 상기 셀내의 제1프레임영역내의 패턴을 보정대상 패턴으로서 가산하고, 또 상기 셀내의 제2프레임영역내의 패턴을 참조패턴으로 하여, 근접효과 보정연산을 행하는 수단을 구비한 근접효과방법.
  2. 제1항에 있어서, 복수의 동일셀에 관해서는, 그 가운데의 1개의 셀에 대해서 근접효과 보정연산을 행하고, 그 결과를 다른 상기 동일셀에 적용하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
  3. 제1항에 있어서, 요소셀을 기본단위로 하는 어레이 구조를 가진 셀에 대해서, 상기 어레가 구조를 가진 셀가운데, 상기 어레이 구조를 가진 셀의 경계에 접하는 주변이 요소셀을 제외한 모든 요소셀에 대해서, 상기 요소셀의 경계의 바깥쪽에 소정의 폭을 가진 프레임영역을 설치하는 수단과, 상기 요소셀내의 패턴·데이터를 근접효과보정함에 있어서, 상기 요소셀내의 모든 패턴데이터를 보정대상패턴으로 하고, 상기 요소셀의 바깥쪽에 설치된 프레임영역내의 패턴데이터를 참조패턴으로 하여 보정연산을 행하는 수단을 구비한 근접효과 보정방법.
  4. 제1항에 있어서, 소정의 크기를 가진 셀에 대해서, 상기 셀의 경계의 안쪽에 설치된 제1프레임영역내의 패턴을 제외한 모든 패턴에 대해서, 상기 제1프레임영역의 안쪽의 영역을 복수의 서브·조운으로 분할하고, 상기 각 서브·조운의 경계바깥쪽에 소정의 폭을 가진 제3프레임영역을 설치하고, 상기 각 서브조운내의 모든 패턴데이터를 보정대상패턴으로 하고, 상기 제3프레임영역내의 패턴을 참조패턴으로 하여, 근접효과 보정연산을 행하는 수단을 구비한 근접효과 보정방법.
  5. 기판상에 도포형성된 레지스트를, 하전비임 혹은 광을 사용해서 노광함에 있어서, 어레이 구조를 가진 셀을 포함하는 설계패턴에 대해서, 상기 어레가 구조를 가진 셀을 근접효과 보정을 행하는 방법에 있어서, 상기 요소셀을 3×3의 9개의 직사각형 영역으로 분할하고, 서로 접하는 4개의 요소셀 가운데의 각 요소셀의 구석에 있는 상기 다른 4개의 직사각형 영역을 접합해서 제2의 셀로 하고, 서로 1변에서 접하는 2개의 요소셀 가운데 각 요소셀의 변의 구석에 있는 상기 다른 두개의 직사각헝 영역을 접합해서 제3 및 제4의 셀로 하는 수단과, 상기 요소셀의 중심에 있는 상기 직사각형 영역을 제1셀로 하고, 상기 제1, 제2, 제3및 제4의 각 셀의 경계의 바깥쪽에 소정의 폭을 가진 프레임영역을 설치하는 수단과, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4의 각 셀내의 패턴데이터를 근접효과 보정함에 있어서, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4의 각 셀내의 모든 패턴데이터를 보정대상패턴으로 하고, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4의 각 셀의 바같쪽에 설치된 프레임영역내의패턴을 참조패턴으로 하여 근접효과 보정연산을 행하는 수단을 구비한 근접효과 보정방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1및 제2프레임영역의 소정의 폭으로서, 근접효과를 미치는 전형적인 거리인 후방산란전자의 산란길이보다도 긴 폭을 새용하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
  7. 제3항에 있어서, 상기 프레임영역의 소정의 폭으로서, 근접효과를 미치는 전형적인 거리인 후방산란전자의 산란길이보다도 긴 폭을 채용하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 제3의 프레임영역의 소정의 폭으로서, 근접효과를 미치는 전형적인 거리인 후방산란전자의 산란길이보다도 긴 폭을 채용하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
  9. 제3항 또는 제5항에 있어서, 어레이 구조를 가지고 있지 않는 셀에 대해서, 상기 셀내의 패턴의 배열이 2차원적인 주기성을 가지고 있을 경우에, 상기 셀을 복수개의 어레이 요소셀의 집합으로서 재구성한후에 근접효과 보정연산을 행하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
  10. 제3항 또는 제5항에 있어서, 어레이 구조를 가진 셀내의 각 어레이 요소셀내를 다시 복수의 서브·조운으로 분할하고, 상기 어레이 요소셀내의 패턴을 서브·조운마다 근접효과 보정을 한다고 하는 방법을 추가하는 것을 특징으로 하는 근접효과 보정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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