KR980005342A - 전자빔 노광장치용 마스크 데이터 작성방법 및 마스크 - Google Patents

전자빔 노광장치용 마스크 데이터 작성방법 및 마스크 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따라, 반복 패턴들은 설계 패턴 데이터에 포함된 패턴들을 분할함이 없이 미리 형성된다. 반복 패턴 데이터는 부분 전체 전자빔 노광을 위한 마스크를 제조하는데 사용된다. 이것을 레지스트 패턴이 반복 패턴영역들 간의 경계상에 접속 에러가 없도록 보장한다. 따라서, 본 발명은 매번의 부분 일괄 전자빔 조사시에 지금까지 발생하였던 약 0.02㎛ 내지 0.03㎛ 의 접속 에러를 방지함으로써, 전자빔 노광에 의해 형성된 레지스트 패턴의 치수 정밀도를 향상시킨다.

Description

전자빔 노광장치용 마스크 데이터 작성방법 및 마스크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 전자빔 노광장치에 대한 마스크 데이터 작성을 위한 과정을 도시하며 본 발명의 실시예 1 을 나타내는 흐름도.

Claims (4)

  1. 전자빔 노광장치용의 마스크 데이터 작성방법에 있어서, (a) 적어도 다수의 기본 패턴으로 각각 구성된 다수의 반복 패턴을 포함하는 집적회로용 마스크 패턴을 상기 전자빔 노광장치에 의한 일회의 조사에 의해 각각 노광될 수 있는 다수의 사각형 영역으로 분할하는 단계; (b) 개별 사각형 영역에 포함된 기본 패턴을 추출하는 단계; (c) 추출된 하나이상의 상기 기본 패턴이 이웃하는 사각형 영역들 간의 경계상에서 분할되어 있는지를 판정하는 단계; 및 (d) 상기 경계상에서 분할된 하나이상의 기본 패턴을 개별 반복 패턴에서 제외함으로써 마스크 데이터를 작성하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 데이터 작성방법.
  2. (a) 적어도 다수의 기본 패턴으로 각각 구성된 다수의 반복 패턴을 포함하는 집적회로용 마스크 패턴을 전자빔 노광장치에 의한 일회의 조사에 의해 각각 노광될 수 있는 다수의 사각형 영역으로 분할하는 단계; (b) 개별 사각형 영역에 포함된 기본 패턴을 추출하는 단계; (c) 추출된 하나이상의 상기 기본 패턴이 이웃하는 사각형 영역들 간의 경계상에서 분할되어 있는지를 판정하는 단계; 및 (d) 상기 경계상에서 분할된 하나이상의 기본 패턴을 개별반복 패턴에서 제외함으로써 마스크 데이터를 작성하는 단계로 이루어지는 전자빔 노광장치용의 마스크 데이터 작성방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 전자빔 노광장치용 마스크.
  3. (a) 적어도 다수의 기본 패턴으로 각각 구성된 다수의 반복 패턴을 포함하는 집적회로용 마스크 패턴을 전자빔 노광장치에 의한 일회의 조사에 의해 각각 노광될 수 있는 다수의 사각형 영역으로 분할하는 단계; (b) 개별 사각형 영역에 포함된 기본 패턴을 추출하는 단계; (c) 추출된 하나이상의 상기 기본 패턴이 이웃하는 사각형 영역들간의 경계상에서 분할되어 있는지를 판정하는 단계; 및 (d) 상기 경계상에서 분할된 하나이상의 기본 패턴을 개별 반복 패턴에서 제외함으로써 마스크 데이터를 작성하는 단계로 이루어지는 전자빔 노광장치용의 마스크 데이터 작성방법에 의해 제조된 전자빔 노광장치용 마스크에 의해 형성된 패턴을 웨이퍼의 표면에 전사하는 노광방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 마스크 데이터 작성방법은 (e) 가변 형상의 전자빔에 의해 상기 경계상에서 분할된 하나이상의 기본 패턴을 노광하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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