KR100542301B1 - 액정 표시 장치용 마스크 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크 정렬시 심한 흔들림이 있어도, 샷 무라(shot mura)가 발생되지 않는 액정 표시 장치용 마스크를 개시한다. 개시된 본 발명은 수개의 단위 픽셀이 한정된 셀 어레이 영역의 소정 부분상에 형성되는 마스크로서, 상기 마스크의 수평,수직 경계면은 모두 불규칙한 톱니 형상을 가지면서, 상기 마스크의 경계 부분이 단위 픽셀 내부를 분할하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 장치용 마스크

본 발명은 액정 표시 장치용 마스크에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 마스크 정렬시 심한 흔들림이 있어도, 샷 무라(shot mura)가 발생되지 않는 액정 표시 장치용 마스크에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 표시 장치의 셀 어레이 영역에는 다수의 패턴 예를들어, 게이트 버스 라인, 데이타 버스 라인, 채널층, 화소 전극 패턴등이 형성된다.

이때, 어느 한 종류의 패턴을 셀 어레이 영역상에 연속적으로 배치하기 위하여는, 이 패턴을 형성하기 위한 마스크의 사이즈가 기판의 면적에 비하여 상당히 작은 관계로, 셀 어레이 영역을 소정등분하여 여러번 나누어 패턴 형성 공정을 실시한다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 액정 표시 장치의 셀 어레이 영역(CA1)을 예를들어 6개의 공간으로 나눈다음, 예를들어, 게이트 버스 라인을 형성하기 위한 마스크를 a1 영역에 얹은후 노광하고, 이 마스크를 a2, a3, a4, a5, a6 영역으로 순차적으로 옮겨 가며 노광 공정을 실시하여, 게이트 버스 라인을 형성하였다.

이때, a1～a6 영역 각각을 하나의 샷이라 한다. 여기서, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, a1～a6 영역내에는 수개의 단위 픽셀이 매트릭스 형태로 배열되어 있다.

그러나, 상기한 종래 기술에 따르면, 하나의 샷 부분을 노광하고, 인접한 다른 샷에서 다시 노광하는 공정시, 샷 경계면 부근에서 마스크가 오정렬될 위험이 높다. 이로 인하여, 샷 경계면에 무라가 발생된다. 이는 액정 표시의 화질 특성을 저하시키는 원인이 된다.

이에따라, 종래의 다른 방법으로는 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크의 경계면을 불규칙한 톱니 형태가 되도록 하였다.

즉, 도 2의 A 부분 즉, 마스크의 수직 부분을 확대하여 보면, 도 3a에 도시된 바와 같이, 단위 픽셀(sub pixel)의 경계면을 마스크의 경계면으로 하되, 불규칙 톱니 형상의 바운더리(boundary)를 갖도록 형성한다.

아울러, 마스크의 수평 부분(도 2의 B부분) 역시, 도 3b에 도시된 바와 같이, 단위 픽셀의 경계면을 마스크의 경계면으로 하되, 불규칙 톱니 형상의 바운더리를 갖도록 형성한다. 여기서, one pixel은 상기 3개의 단위 픽셀이 모여 이루어지는 메인 픽셀이다.

이와같이 마스크 경계면을 형성하면, 어느 정도의 샷 무라는 없앨수 있다. 하지만, 어레이 공정 중 마스크가 심하게 흔들리는 경우에는 마스크의 가장자리 부분에서 샷을 보이지 않게하는 범위를 벗어나, 사용자가 무라를 느낄수 있게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크 정렬시, 마스크가 흔들려도 샷무라가 발생되지 않도록 하는 액정 표시 장치의 마스크를 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 수개의 단위 픽셀이 한정된 셀 어레이 영역의 소정 부분상에 형성되는 마스크로서, 상기 마스크는 수평 및 수직 경계면이 불규칙한 톱니 형상을 가지면서 단위 픽셀 내부를 통과하면서 분할하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 한 샷을 노광하는 마스크의 경계면을 불규칙한 톱니 형태를 가지면서 단위 픽셀 내부를 분할하도록 형성하면, 마스크 정렬시 흔들림이 있어도, 수평 방향 또는 수직 방향으로 같은 부분이 반복되므로, 사용자가 무라의 발생을 느낄수 없다.

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.

첨부한 도면 도 4a는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 마스크의 수직 부분을 확대하여 보인 도면이고, 도 4b는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 마스크의 수평 부분을 확대하여 보인 도면이며, 도 5는 액정 표시 장치의 단위 화소를 보인 평면도이다.

본 실시예에 따른 마스크 패턴의 경계면은 도 2에 도시된 바와 같이, 수직, 수평면 모두 불규칙한 톱니 형태의 바운더리를 갖는다.

이때, 마스크 정렬시 심한 흔들림에도 샷 무라가 발생되지 않도록, 불규칙한 바운더리를 갖되, 단위 픽셀 내부를 지나도록 마스크를 형성한다.

즉, 도 4a에 도시된 바와 같이, 마스크 패턴의 수직 경계면은 종래와 같이, 단위 픽셀의 경계면을 마스크의 경계면으로 하는 것이 아니고, 불규칙한 톱니 형태를 갖되, 단위 픽셀 내부를 수평으로 분할하도록 배치된다. 예를들어, 본 실시예에서는 단위 픽셀 내부를 삼분할하여 지나도록 형성된다.

또한, 마스크의 수직 경계면 역시, 도 3b에 도시된 바와 같이 불규칙한 톱니 형태를 갖되, 단위 픽셀을 수직으로 분할하도록 배치된다. 본 실시예에서는 예를들어, 단위 픽셀이 이분할되도록 설치된다.

도 5는 액정 표시 장치의 단위화소(sub pixel)를 나타낸 평면도로서, 도 5에 도시된 바와 같이 단위 화소는 교차배열되는 게이트 버스 라인(11)과 데이터 버스 라인(12), 게이트 버스 라인(11)과 데이터 버스 라인(12)의 교차점 부근에 배치되는 박막 트랜지스터(TFT), 박막 트랜지스터(TFT)와 콘택되면서 게이트 버스 라인(11)과 데이터 버스 라인(12)으로 둘러싸여진 공간에 배치되는 화소 전극(13) 및 화소 전극(13)과 오버랩되는 스토리지 전극(14)으로 구성된다. 이때, 도면에서 y1, y2 라인은 수평 분할선이고, z는 수직 분할선으로, 수평 방향으로는 3 분할되도록 하고, 수직 방향으로는 2분할되도록 한다.

이와같이, 한 샷을 노광하는 마스크의 경계면을 불규칙한 톱니 형태를 가지면서 단위 픽셀 내부를 분할하도록 형성하면, 마스크 정렬시 흔들림이 있어도, 수평 방향 또는 수직 방향으로 같은 부분이 반복되므로, 사용자가 무라의 발생을 느낄수 없다.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 한 샷을 노광하는 마스크의 경계면을 불규칙한 톱니 형태를 가지면서 단위 픽셀 내부를 분할하도록 형성한다. 이에따라, 샷간 무라가 발생되지 않는다.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

도 1은 종래의 액정 표시 장치용 마스크를 설명하기 위한 도면.

도 2는 종래의 다른 방법에 따른 액정 표시 장치용 마스크를 설명하기 위한 도면.

도 3a는 도 2의 A 부분을 확대하여 나타낸 도면.

도 3b는 도 2의 B 부분을 확대하여 나타낸 도면.

도 4a는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 마스크의 수직 부분을 확대하여 보인 도면.

도 4b는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 마스크의 수평 부분을 확대하여 보인 도면.

도 5는 액정 표시 장치의 단위 화소를 보인 평면도.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

11 : 게이트 버스 라인 12 : 데이터 버스 라인

13 : 화소 전극 14 : 스토리지 전극

sub pixel: 단위 화소

Claims (2)

1. 수개의 단위 픽셀이 한정된 셀 어레이 영역의 소정 부분상에 형성되는 마스크로서,

   상기 마스크는 수평 및 수직 경계면이 불규칙한 톱니 형상을 가지면서 단위 픽셀 내부를 통과하면서 분할하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 마스크.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 마스크의 수평 경계면은 상기 단위 픽셀을 수평으로 3분할하고, 마스크의 수직 경계면은 상기 단위 픽셀을 수직으로 2분할하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치용 마스크.