KR100929672B1 - 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 - Google Patents
액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100929672B1 KR100929672B1 KR1020030015755A KR20030015755A KR100929672B1 KR 100929672 B1 KR100929672 B1 KR 100929672B1 KR 1020030015755 A KR1020030015755 A KR 1020030015755A KR 20030015755 A KR20030015755 A KR 20030015755A KR 100929672 B1 KR100929672 B1 KR 100929672B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- area
- shot
- stitch
- exposure
- unit
- Prior art date
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 액티브 영역을 서로 인접한 제1숏과 제2숏을 포함하는 다수의 숏으로 분할 노광하는 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 제1숏과 상기 제2숏의 경계 부분에 상기 제1숏 및 상기 제2숏이 중첩되는 스티치 영역을 마련하고, 상기 스티치 영역은 적어도 둘 이상의 노광 영역과 차광 영역으로 분할한 영역을 단위 스티치 영역으로 이루어지며, 상기 제1숏에서 상기 제2숏으로 향하는 방향을 따라 점차적으로 상기 노광 영역 또는 상기 차광 영역을 증가 또는 감소시킴에 있어 상기 노광 영역 또는 차광 영역의 크기 또는 위치는 난수 프로그램을 통하여 결정하고,상기 난수 프로그램은,상기 단위 스티치 영역의 피치(pitch)를 결정하는 단계,N×M 행렬의 상기 단위 스티치 영역으로 이루어진 상기 스티치 영역의 크기를 결정하는 단계,상기 제1숏 및 제2숏의 이동 방향을 결정하는 단계,상기 제1숏 및 제2숏의 상기 단위 스티치 영역의 행 또는 열에서 차광 영역 또는 노광 영역의 개수를 결정하는 단계,상기 제1숏 및 제2숏의 상기 단위 스티치 영역의 행 또는 열에서 난수 발생 함수를 이용하여 상기 개수의 상기 차광 영역 또는 상기 노광 영역의 위치를 결정하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법.
- 삭제
- 제1항에서,N/M 또는 M/N은 자연수인 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법
- 제1항에서,상기 단위 스티치 영역은 하나 이상의 화소 영역 또는 하나의 화소 영역 또는 하나의 화소 영역을 2개 이상으로 분할하여 이루어진 단위 스티치 영역을 단위로 하여 이루어지는 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법.
- 제4항에서,상기 화소 영역에는 도메인 분할 수단이 형성되고, 하나의 상기 화소 영역 내에 포함되는 상기 단위 스티치 영역간 경계에는 상기 도메인 분할 수단이 위치하는 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법.
- 제5항에서,상기 화소 영역은 인접한 두 개의 게이트선과 데이터선이 교차하여 정의하는 영역이고, 상기 단위 스티치 영역은 상기 화소 영역을 상기 게이트선과 나란한 분할선을 사용하여 분할된 영역으로 정의되는 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030015755A KR100929672B1 (ko) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 |
TW093106704A TW200502707A (en) | 2003-03-13 | 2004-03-12 | Method of manufacturing panel for liquid crystal display by divisional exposure |
US10/799,438 US20050110940A1 (en) | 2003-03-13 | 2004-03-12 | Method of manufacturing panel for liquid crystal display by division exposure |
JP2004071993A JP2004280109A (ja) | 2003-03-13 | 2004-03-15 | 液晶表示装置用表示板の製造方法 |
CNA2004100089327A CN1530704A (zh) | 2003-03-13 | 2004-03-15 | 通过分割曝光制造用于液晶显示器的面板的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030015755A KR100929672B1 (ko) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040080780A KR20040080780A (ko) | 2004-09-20 |
KR100929672B1 true KR100929672B1 (ko) | 2009-12-03 |
Family
ID=33297287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030015755A KR100929672B1 (ko) | 2003-03-13 | 2003-03-13 | 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050110940A1 (ko) |
JP (1) | JP2004280109A (ko) |
KR (1) | KR100929672B1 (ko) |
CN (1) | CN1530704A (ko) |
TW (1) | TW200502707A (ko) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101071257B1 (ko) * | 2004-09-17 | 2011-10-10 | 삼성전자주식회사 | 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는액정 표시 장치 |
US7391499B2 (en) * | 2004-12-02 | 2008-06-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
WO2006059693A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2006-06-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置の製造方法及び表示装置 |
JP4895571B2 (ja) * | 2005-10-21 | 2012-03-14 | 富士フイルム株式会社 | 描画装置及び画像長さ補正方法 |
KR101984898B1 (ko) | 2012-12-27 | 2019-06-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크리스 노광 장치를 이용한 표시 장치의 제조 방법 및 그 표시 장치 |
CN105827994A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-08-03 | 乐视控股(北京)有限公司 | 一种解决对焦区曝光过度的系统及方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970075971A (ko) * | 1996-05-07 | 1997-12-10 | 김광호 | 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 |
KR20000010252A (ko) * | 1998-07-31 | 2000-02-15 | 윤종용 | 액정 표시 장치의 기판 제조 방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998033075A2 (en) * | 1997-01-13 | 1998-07-30 | Sage Technology, Incorporated | Random number generator based on directional randomness associated with naturally occurring random events, and method therefor |
KR100502794B1 (ko) * | 1997-12-06 | 2005-10-14 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 |
JP2000180894A (ja) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Advanced Display Inc | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2001154371A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Nikon Corp | 回路デバイスや表示デバイスの製造方法、及び大型ディスプレー装置 |
JP4401551B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2010-01-20 | エーユー オプトロニクス コーポレイション | 液晶表示装置の製造方法、表示装置の製造方法、及び液晶表示装置 |
US7142279B2 (en) * | 2001-12-14 | 2006-11-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Divisionally exposing an active area in LCD with a plurality of shots |
-
2003
- 2003-03-13 KR KR1020030015755A patent/KR100929672B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-03-12 US US10/799,438 patent/US20050110940A1/en not_active Abandoned
- 2004-03-12 TW TW093106704A patent/TW200502707A/zh unknown
- 2004-03-15 CN CNA2004100089327A patent/CN1530704A/zh active Pending
- 2004-03-15 JP JP2004071993A patent/JP2004280109A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970075971A (ko) * | 1996-05-07 | 1997-12-10 | 김광호 | 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 |
KR20000010252A (ko) * | 1998-07-31 | 2000-02-15 | 윤종용 | 액정 표시 장치의 기판 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004280109A (ja) | 2004-10-07 |
TW200502707A (en) | 2005-01-16 |
CN1530704A (zh) | 2004-09-22 |
US20050110940A1 (en) | 2005-05-26 |
KR20040080780A (ko) | 2004-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100502794B1 (ko) | 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 | |
US7803501B2 (en) | Mask for light exposure | |
US11112641B2 (en) | Display panel | |
TW401524B (en) | Liquid crystal display apparatus and manufacturing method thereof | |
KR100929672B1 (ko) | 액정 표시 장치용 표시판의 제조 방법 | |
KR100734992B1 (ko) | 노광 마스크 및 패턴 노광 방법 | |
JP4938218B2 (ja) | 液晶表示装置のパネル製造方法 | |
JP2005513529A6 (ja) | 液晶表示装置のパネル製造方法 | |
KR100853214B1 (ko) | 액정 표시 장치의 패널 제조 방법 | |
KR100529575B1 (ko) | 액정 표시 장치의 기판 제조 방법 | |
JP2005017494A (ja) | 液晶表示素子 | |
JP4619508B2 (ja) | パターン形成方法、薄膜トランジスタマトリクス基板の製造方法および露光マスク | |
KR100935674B1 (ko) | 그래듀얼 스티칭 노광공정에 사용되는 마스크 | |
JP3319935B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
KR20070065072A (ko) | 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법 | |
US7388644B2 (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
CN112946991B (zh) | 掩膜版图形的形成方法、掩膜版的制作方法、掩膜版以及滤光片 | |
KR20000002803A (ko) | 액정 표시 장치용 마스크 | |
JP2012073420A (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP4478420B2 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
KR20040004857A (ko) | 스페이서용 기둥과 도메인 분할용 돌기를 동시에 형성하는방법 | |
JPH06208020A (ja) | カラー表示素子とその製造方法 | |
JP2005141165A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR20070065702A (ko) | 액정 표시 장치 및 이의 컬러 필터 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121115 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131031 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141030 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151030 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171101 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181101 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191028 Year of fee payment: 11 |