KR900008674A - 반도체 비휘발성 메모리 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 반도체 비휘발성 메모리의 제1실시예를 채널 영역의 길이 방향을 따라 절취한 단면도,
제3도는 반도체 비휘발성 메모리의 채널 영역의 폭 방향을 따라 절취한 제1실시예의 다른 단면도,
제4도는 본 발명의 반도체 비휘발성 메모리의 제2실시예를 도시한 단면도.
Claims (4)
- 반도체 비휘발성 메모리에 있이서, 한 도전 타입의 베이스 반도체 영역과, 베이스 반도체 영역의 표면부에 형성되며, 베이스 반도체 영역의 불순물 밀도보다 높은 불순물 밀도를 가지는 한 도전 타입의 제1반도체 영역과, 제1반도체 영역의 표면부에서 서로 대향되는 도전 타입으로 형성되며, 서로 떨어져 있는 관계로 되는 한쌍의 소스영역 및 드레인 영역과, 제1반도체 영역 내부에 형성되며, 대향되는 도전 타입의 불순물을 포함하는 제2반도체 영역과, 제2반도체 영역으로부터 전기적으로 절연되며, 그 상부에 형성되는 부상 게이트 전극과, 부상 게이트 전극으로루터 전기적으고 절연되며, 그 상부에 형성되는 제어 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 비휘발성 메모리.
- 제1항에 있어서, 제이 게이트 전극은 소스 영역과 드레인 영역 사이에서 정해지는 패널 영역을 간접적으로 제어하기 위해, 부상 게이트 전극에 용량적으로 결합된 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 비휘발성 메모리.
- 제2항에 있어서, 제어 게이트 전극은 채널 영역의 일부로부터 전기적으로 절연되며, 그 상부에 형성되어 채널 영역을 직접 제어하는 또다른 섹션을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 비휘발성 메모리.
- 제3항에 있어서, 상기 또다른 섹션 하부에 형성되며, 제2반도체 영역내에 포함된 대향 도전 타입의 불순물을 효과적으로 게거시키기 위한 한 도전 타입의 불순물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 비휘발성 메모리.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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