KR900003999A - 반도체 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예를 도시하는 반도체 장치의 주요부 단면도,
제3도는 (a) 내지 (c)는 본 발명의 반도체 장치의 제조 방법의 한 실시예를 도시하는 주요부 단면에 의한 제조 공정 프로우도.
Claims (8)
- 고농도의 불순물 영역과 이 고농도 불순물 영역에 접속하여 형성된 저농도 불순물 영역으로 형성되는 불순물확산층을 갖는 MOS형의 반도체 장치에 있어서, 각각 별도의 공정에서 형성된 제1의 막 및 제2의 막의 2층의 막으로 구성되고 이 제2막의 막이 상기 제1의 막의 측면에 형성되어지는 게이트 전극을 갖고, 이 게이트 전극이 상기 저농도 불순물 영역을 포함하는 채널 영역위에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극의 일부를 구성하는 상기 제2의 막은, 상기 저농도 불순물 영역위에 대응하여 존재하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항 또는 2항에 있어서, 제1의 막과 제2의 막은 서로 다른 도체층으로 되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항 내지 제3항중 어느 한항에 있어서, 제2의 막보다 제1의 막의 편이 에칭 속도가 늦은 도체층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 최소한 제2의 막은 다결성 실리콘으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 제1의 막은 다결성 실리콘, Mo, W, Ti중 어느것의 고융점 금속, 이 고융점 금속의 실리사이드, 상기 다결정 실리콘과 싱기 고융점 금속의 실리사이드의 2층으로 형성되는 폴리사드중에서 선택된 일종의 막으로 되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
- 제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 불순물 확산층과 게이트 전극이 동일 도전형의 불순물이 도입되는 것임을 특징으로 하는 반도체 장치,
- 드레인 근처의 전계완화를 하는 LDD 구조의 MOS형의 반도체 장치의 제조 방법에 있어서, 반도체 기판에 소자 분리 절연막ㅇ르 형성한후 게이트 절연막을 형성하는 공정과, 이 게이트 절연막위의 소정의 위치에 게이트 전극을 형성하는 공정과, 이 게이트 전극의 외측의 상기 반도체 기판에 상기 반도체 기판과 반대 도전형의 저농도 불순물 영역의 층을 형성하는 공정과, 전체면에 도체층을 형성하는 공정과, 전체면을 이방성에칭에 의해 에칭을 행하고 상기 게이트 전극의 외측에 접하여 상기 도체층으로 되는 측벽 도체층을 형성하는 공정과, 이 측벽 도체층의 외측의 상기 반도체 기판에 상기 저농도 불순물 영역과 동일 도전형의 고농도 불순물 영역의 층을 형성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20903588 | 1988-08-23 | ||
| JP63-209035 | 1988-08-23 | ||
| JP1130069A JPH02138747A (ja) | 1988-08-23 | 1989-05-25 | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP130069 | 1989-05-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR900003999A true KR900003999A (ko) | 1990-03-27 |
Family
ID=16566176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019890011866A KR900003999A (ko) | 1988-08-23 | 1989-08-21 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138747A (ko) |
| KR (1) | KR900003999A (ko) |
-
1989
- 1989-05-25 JP JP1130069A patent/JPH02138747A/ja active Pending
- 1989-08-21 KR KR1019890011866A patent/KR900003999A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02138747A (ja) | 1990-05-28 |
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