KR900000995A - 처리액 공급장치 - Google Patents

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유타카 야마히라
유우지 마츠야마
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도오교오 에테구토론 가부시끼가이샤
다카시마 히로시
데루 큐우슈우 가부시끼 가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

처리액 공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 처리액 공급장치가 적용된 처리 장치를 나타낸 개략적인 구성도.
제2도는 본 발명에서 처리액 탱크를 2개 형성한 경우의 배관계통을 나타낸 도면.
제3도는, 본 발명에서 예비탱크에서 처리액을 반출하는 기구의 다른 예를 나타낸 도면.

Claims (9)

  1. 처리액을 저장하는 저장 수단과, 저장 수단에 저장되어 있는 처리액의 양을 검출하기 위한 검출 수단과, 검출 수단에 의한 검출에 의거하여 저장 수단에 자동적으로 처리액을 보충하기 위한 보충 수단과, 저장 수단에서 피처리체(28)로 처리액을 송출하기 위한 처리액 송출 수단과를 구비하여, 처리액을 피처리체(28)로 향하여 공급 하도록한 것인 처리액 공급장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리액 송출 수단은, 처리액을 용해 하여 증기 상태의 처리액을 이송하기 위한 캐리어 가스를 상기 저장 수단에 저장된 처리액으로 공급하는 캐리어 가스 공급 수단을 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가스 공급 수단에 의하여 공급된 캐리어 가스에로의 처리액 용해량 및 상기 저장 수단의 가스 압력이 소정의 값으로 되었을때에 처리액에 의한 피처리체(28)의 처리를 개시하는 처리 개시 수단을 갖고 있는것이 처리액 공급장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 저장 수단은, 적어도 1개의 처리액 저장 탱크(13)를 갖고있는 것인 처리액 공급장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리액 송출 수단은, 상기 저장 수단에 저장된 처리액에 처리액을 압력에 의하여 이송하기 위하여, 압력에 의한 이송 가스를 공급하는, 압력에 의한 이상 가스 공급 수단을 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 처리액 공급 수단은, 상기 저장 수단에 저장된 처리액을 송출하기 위한 펌프(64)를 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 검출 수단에 의한 검출에 따라 상기 보충 수단에 의한 처리액의 보충을 제어하는 제어수단을 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 검출 수단은, 상기 처리액 저장 탱크(13)내의 처리액의 액체면을 검출하는 센서(31),(32)를 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 보충 수단은, 처리액을 일단 저장하여 두는 예비탱크(15)와, 예비탱크(15)로 부터 처리액 저장탱크(13)로 처리액을 반송하는 반송 수단과를 갖고 있는것인 처리액 공급장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890007618A 1988-06-03 1989-06-02 처리액 공급 장치 KR0156237B1 (ko)

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