KR970063517A - 처리액 공급방법 및 기판 처리장치 - Google Patents

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Abstract

기판 처리장치가, 기판에 소정 처리액을 공급하여 소정의 기판처리를 행하는 기판 처리스테이션과 상기 기판 처리스테이션에 가스 압력하에서 압송방식으로 처리액을 공급하는 적어도 하나의 처리액 공급기구를 포함한다. 처리액 공급기구는 처리액 저장조, 가압기구, 압력개방기구 및 처리액의 공급을 선택적으로 허용 및 정지시키는 밸브를 구비한다. 처리액 저장조의 가압은 동일 처리액으로 연속 처리될 복수의 기판을 포함하는 하나의 로트 내의 최초 기판에 처리액이 공급되기 전의 소정시간에 시작된다. 또한, 그 로트 내의 마지막 기판에 처리액의 공급이 정지되는 시점 또는 이보다 소정의 나중 시점에 기초하여 저장조로부터 압력이 개방된다. 이러한 제어는 로트단위로 이루어진다. 따라서, 높은 제조원가를 유발하는 고가의 가스를 사용하지 않아도, 처리액 내의 용해되는 가스량을 줄일 수 있다.

Description

처리액 공급방법 및 기판 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예의 개략적 구성을 나타내는 도면이다.
제3도는 본 발명의 일 실시예에 따른 장치의 전체 평면도이다.

Claims (18)

  1. 기판에 소정 처리액을 공급하여 소정의 기판처리를 행하는 적어도 하나의 기판처리스테이션과 상기 기판처리스테이션에 가스 압력하에서 압송방식으로 처리액을 공급하는 적어도 하나의 처리액 공급기구를 구비한 기판 처리장치에 이용되는 처리액 공급방법에 있어서, 상기 기판 처리장치 내의 동일 종류의 처리액으로 처리되는 적어도 하나의 기판은 1로트(lot)로서 처리되고, 상기 로트 내의 상기 기판을 처리하기 위한 기판 처리스테이션에 처리액을 공급하는 처리액 공급기구의 처리액 저장조에 대한 가압은 처리액이 상기 로트 내의 치초 기판에 공급되기 전의 소정 시간에 시작되고, 상기 로트 내의 마지막 기판에 처리액이 공급정지되는 시점 또는 이보다 소정의 나중시점에 기초하여 상기 처리액 공급기구의 상기 처리액 저장조로부터 압력을 개방하도록 하는 제어가 각 로트마다 행해지는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  2. 제1항에 있어서, 처리액이 상기 로트 내의 상기 최초 기판에 공급되기 전의 소정 시간이란, 처리액을 공급하는 상기 처리액 공급기구의 상기 처리액 저장조에 대한 가압개시로부터 처리액을 상기 처리액 저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리액 저장조가 가압되기까지 걸리는 시간 또는 이보다 조금 더 긴 시간인 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 처리액 저장조에 대한 가압개시로부터 처리액을 상기 처리액 저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리액 저장조가 가압되기까지 걸리는 상기 시간은 상기 저장조의 용량 및 상기 저장조에 단위시간당 공급되는 가스량에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 처리액 저장조에 대한 가압개시로부터 처리액을 상기 처리액 저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리액 저장조가 가압되기까지 걸리는 상기 시간은 상기 저장조 내의 처리액의 남은 양에 의해서도 결정되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  5. 제1항에 있어서, 복수의 처리액 공급기구는 상이한 처리액을 개별적으로 공급하고, 상기 처리액 공급기구에 대한 가압 및 압력개방의 개시는 상기 처리액 공급기구가 지정된 각각의 로트마다 기초하여 제어되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  6. 제1항에 있어서, 복수의 처리액 공급기구가 동일 기판 처리스테이션에 대해 동일 처리액을 개별 공급하도록 마련하고, 상기 복수의 처리액 공급기구는 사용상 전환이 가능하며, 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구에 대한 가압 및 압력 개방의 개시는 상기 하나의 처리액 공급기구가 지정된 각 로트마다에 기초하여 제어되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  7. 제6항에 있어서, 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구의 처리액 저장조 내에 남은 처리액이 소정의 레벨이하로 내려가면, 상기 하나의 처리액 공급기구와 동일한 처리액을 기판 처리스테이션에 공급하기 위해 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구에서 다른 처리액 공급기구로의 전환이 이루어지며, 상기 하나의 처리액 공급기구의 처리액 저장조는 상기 처리액으로 다시 보충되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  8. 소정의 처리액을 기판에 공급하여 소정의 기판처리를 행하는 적어도 하나의 기판 처리스테이션과 가스압 하에서 압송방식으로 처리액을 상기 기판 처리스테이션에 공급하는 적어도 하나의 처리액 공급기구를 가지는 기판 처리장치에 있어서, 상기 처리액 공급기구는, 소정의 처리액을 저장하는 처리액 저장조와; 상기 처리액 저장조의 내부에 가스를 공급하여 상기 처리액 저장조를 가압하는 가압기구와; 상기 처리액 저장조로부터의 압력을 개방하기 위한 압력개방기구; 및 상기 처리액 저장조로부터 상기 기판 처리스테이션까지의 처리액 공급을 선택적으로 허용 및 정지시키는 처리액 공급/정지 전환기구를 구비하고, 상기 처리장치는, 상기 기판 처리장치에서 동일 종류의 처리액으로 처리되는 적어도 하나의 기판은 1로트로서 처리되게 하고, 상기 로트 내의 최초 기판에 대한 처리액의 공급의 개시 전의 소정 시간에 상기 로트 내의 상기 기판을 처리하는 기판 처리스테이션으로 처리액을 공급하는 처리액 공급기구의 처리액 저장조에 대한 가압을 시작하고, 상기 로트 내의 마지막 기판에 대한 상기 처리액 공급이 정지되는 시점 또는 이보다 약간 늦은 소정 시점에 기초하여 상기 처리액 공급기구의 상기 처리액 저장조로부터 압력을 개방하는 제어를 각각의 로트마다 행하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 로트 내의 상기 최초 기판에 대한 처리액의 공급을 시작하기에 앞서, 상기 처리액 저장조의 가압개시로부터 처리액을 상기 처리액저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리엑 저장조가 가압되기까지 걸리는 시간 또는 이보다 조금 더 긴 시간 전에 처리액을 공급하는 처리액 공급기구의 처리액 저장조에 대한 가압을 시작하도록 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 처리액 저장조에 대한 가압개시로부터 처리액을 상기 처리액 저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리액 저장조가 가압되기까지 걸리는 상기 시간이 상기 저장조의 용량 및 상기 저장조에 단위시간당 공급되는 가스량에 의해 결정되도록, 상기 제어수단이 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 처리액 저장조에 대한 가압개시로부터 처리액을 상기처리액 저장조에서 상기 기판 처리스테이션으로 공급시킬 수 있는 정도로 상기 처리액 저장조가 가압되기까지 걸리는 상기 시간이 상기 저장조 내에 남은 처리액의 양에 의해서도 결정되도록, 상기 제어수단이 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  12. 제8항에 있어서, 상이한 처리액을 개별적으로 공급하는 복수의 처리액 공급 기구를 더 구비하고, 상기 처리액 공급기구에 대한 가압 및 압력개방은 상기 처리액 공급기구가 지정된 각각의 로트마다에 기초하여 제어되도록, 상기 제어수단이 작동 될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  13. 제8항에 있어서, 동일 기판 처리스테이션에 대해 동일한 처리액을 개별 공급하는 복수의 처리액 공급기구를 더 구비하고, 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구에 대한 가압 및 압력개방의 개시는 상기 하나의 처리액 공급기구가 지정된 각 로트마다에 기초하여 제어되고, 사용상 상기 복수의 처리액 공급기구를 전환하도록 상기 제어수단이 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 처리액 공급기구를 처리액으로 보충하기 위한 처리액 보충수단을 더 구비하고, 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구의 처리액 저장조 내에 남은 처리액이 소정의 레벨이하로 내려가면, 현재 사용되는 상기 하나의 처리액 공급기구에서 상기 하나의 처리액 공급기구와 동일한 처리액을 기판처리스테이션으로 공급하는 다른 처리액 공급기구로의 전환이 되고, 상기 처리액 보충수단이 상기 하나의 처리액 공급기구의 처리액 저장조를 처리액으로 보충하도록 상기 제어수단이 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  15. 8항에 있어서, 복수의 기판을 수납하기 위한 용적을 가진 캐리어를 지지하는 적어도 하나의 캐리어 탑재대와; 상기 캐리어 탑재대에 놓인 캐리어 내에 수납된 적어도 하나의 기판에 대한 처리조건 및 처리개시 지시를 입력하기 위해 상기 캐리어 탑재대와 연계된 적어도 하나의 스위치 유닛과; 상기 기판(들)을 연속적으로 가지고 와서, 소정 처리절차에 따라 상기 기판(들)을 연속 이송하고, 소정 처리 후에 상기 캐리어 내에 상기 기판(들)을 연속 적재하는 반송기구;를 더 구비하되, 상기 제어수단은, 상기 스위치 유닛을 통해 입력된 처리개시 지시에 응답하여, 상기 처리개시 지시가 입력된 스위치 유닛과 연계된 캐리어 탑재대에 놓인 캐리어로부터 반출된 기판(들)을 지정된 처리조건에 따라 상기 반송기구 및 상기 기판 처리스테이션이 연속 처리하도록 제어할 수 있게 작동될 수 있으며, 상기 적어도 한나의 처리액 공급기구가 지정된 각 로트마다를 기준으로하여 기판(들)의 연속처리에 사용되는 적어도 하나의 처리액 공급기구에 대한 가압 및 압력개방의 개시를 제어 할 수 있게 작동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 처리장치는 복수의 캐리어 탑재대와, 상기 캐리어 탑재대에 연계된 스위치 유닛을 구비하며, 상기 스위치 유닛을 통해 입력된 처리 개시지시에 응답하여 상기 처리 개시지시가 입력된 순서에따라 복수의 캐리어 내에 수납된 전체 기판이 연속적으로 처리되도록 제어수단이 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 처리 개시지시가 입력된 시점에 상기 처리 개시지시에 따라 수행되는 기판의 연속처리에 사용될 상기 처리액 공급기구의 전부에 대해 가압을 개시하도록 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 처리 개시지시가 입력된 시점에, 또는 상기 처리액 공급기구가 지정된 상기 각 로트의 최초 기판이 상기 캐리어에서 상기 반송 처리장치 내로 반송된 시점에, 상기 처리 개시지시에 따라 수행되는 기판의 연속처리에 사용될 상기 처리액 공급기구의 각각에 대해 가압을 개시하도록 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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