KR20040000689A - 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치 - Google Patents

화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액상의 원료물질을 기체상태로 상변화시켜 증착부로 공급하는 버블러와, 상기 버블러에 액상의 원료물질을 공급하는 원료탱크를 포함하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치에 있어서, 상기 원료탱크는 상기 버블러에 공급되는 액상의 원료물질을 미리 저장하여 예열시키고; 상기 원료탱크 내의 원료물질은 중공형 세관을 통해 상기 버블러로 공급되며; 상기 버블러 내의 원료물질이 점차 소모됨에 따라 상기 원료탱크 내의 압력을 조절시켜 상기 버블러로 공급되는 원료물질 양을 조절하므로써, 상기 버블러에서 상변화하는 원료물질의 양 및 증기압이 조절되는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 개시한다. 상기와 같이 구성된 원료물질 공급장치는 원료탱크 내의 압력을 조절하므로써 버블러로 지속적인 원료물질 공급이 용이하게 되었고, 원료물질의 상변화 속도를 일정하게 유지할 수 있게 되었으며, 또한, 광섬유 모재 증착 조건에 맞도록 버블러 내의 증기압을 조절하는 것이 용이하게 되었다.

Description

화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치 {RAW MATERIAL PROVIDING DEVICE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS}
본 발명은 광섬유 모재에 관한 것으로서, 특히 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치에 관한 것이다.
광통신은 일반적인 케이블을 이용한 전기적인 통신방식보다 더 많은 양의 정보를 신속하게 전달할 수 있다. 또한, 전파 또는 자기장등의 간섭을 받지 않으므로, 더 나은 품질의 통신이 가능하다. 이와 같은 광통신에서는 광신호 전송로로서 광섬유를 이용하는데, 광섬유는 모재로부터 소정 직경의 광섬유로 인발된다.
상기 광섬유 모재를 제조하는 방법으로는 솔-젤(sol-gel) 공법과 기상 증착법(Vapor-phase Deposition)으로 분류될 수 있다. 상기 솔-젤 공법은 액체 상태의 원료 물질을 몰드에 넣고 젤 상태로 만든 후 소결시켜 실리카 글래스를 제조하는 공법으로서, 전반적으로 저온에서 진행되어 생산 원가가 낮고, 목적물의 조성을 조절하기가 용이한 방법이다.
한편, 기상 증착법은 변형 화학 기상 증착법(modified chemical vapor deposition: MCVD), 기상축 증착법(vapor phase axial deposition: VAD), 외부 기상축 증착법(outside vapor deposition: OVD) 등의 방법이 있다. 상기한 기상 증착법들은 소정의 타겟로드(target rod) 또는 유리재질의 튜브를 가열하면서, 동시에 기체상태의 원료물질을 공급하여 상기 타겟로드 또는 튜브 상에 수트를 생성시키므로써 광섬유 모재를 완성해 가는 것이다. 상기한 기상 증착법은 최초 액상의 원료물질이 소정의 원료물질 공급장치에서 기체상태로 상변화하여 광섬유 모재 증착로로 공급된다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(100)를 설명하기 위한 구성도이다. 도 1에 도시된 예는 버블러(bubbler) 내 원료물질의 액위를 감지하는 레벨센서를 구비하여 원료물질의 공급 또는 차단 여부를 감지하는 방식이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 일 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(100)는 버블러(110) 내의 원료물질에 캐리어 가스(carrier gas)(B)를 공급하여 액상의 원료물질을 기체상태(C)의 베이퍼(vapor)로 상변화시키고, 상기 베이퍼를 증착부로 공급하게 된다.
한편, 상기 버블러(110) 내 액상의 원료물질이 상변화하여 증착부로 공급됨에 따라 상기 버블러(110)에 원료물질을 보충하여야 한다.
따라서, 상기 버블러(110)에는 원료물질(A)을 공급받기 위한 공급용 파이프(120), 캐리어 가스(B) 공급을 위한 가스 파이프(130), 상변화된 원료물질(C)을 증착부로 공급하는 베이퍼(vapor) 파이프(140)가 구비된다. 또한, 상기 버블러(110) 내 원료물질의 온도를 일정하게 유지시키기 위하여 열감지 센서(113)와 가열기(115)가 구비되며, 상기 버블러(110) 내 원료물질의 양을 일정 수준의 범위 내에서 유지하기 위한 레벨센서(111)가 구비된다.
상기 버블러(110) 내의 원료물질이 점차 소모되어 그 양이 감소함에 따라 상기 레벨센서(111)는 상기 버블러(110) 내 원료물질의 액위가 일정 수준이하로 낮아지면 원료물질의 공급 또는 차단 여부를 제어하기 위한 신호를 발생시키게 된다.
그러나, 상기와 같은 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치는 레벨센서를 이용한 원료물질을 공급하는 방식의 경우 원료공급 시 또는 원료물질의 상변화가 진행되는 동안 버블러 내 원료물질의 유동에 의해 레벨센서의 오동작을 유발할 수 있다. 또한, 이러한 원료물질 공급장치는 원료물질을 공급하는 동안에는 증착공정을 진행시킬 수 없어 작업효율이 저하된다.
더욱이, 레벨센서를 이용하는 원료물질 공급장치는 원료물질이 일정 양 이하로 적어지면 버블러에 원료물질을 보충하는 방식이므로, 버블러 내 원료물질의 양을 일정하게 유지하는 것이 어렵다. 이는, 기체상태로 상변화하는 원료물질의 양이 균일하지 못하여 증기압이 일정하게 유지되지 않으며, 이에 따라 증착부로 공급되는 베이퍼의 양도 균일하지 못해 증착되는 광섬유 모재의 품질이 균일하지 못한 문제점이 있다.
도 2는 종래의 다른 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(200)를 설명하기 위한 구성도이다. 도 2에 도시된 예는 버블러 내 원료물질의 중량에 따라 개폐되는 밸브를 이용한 기계적인 방법이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 다른 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(200)는 외부 버블러(210a)와 내부 버블러(210b)를 구비한다. 상기 내부 버블러(210b)는 캐리어 가스(B')를 공급받아 액상의 원료물질을 기체상태(C')로 상변화시켜 증착부로 공급하게 된다. 한편, 상기 외부 및 내부 버블러(210a, 210b) 내 액상의 원료물질이 상변화되어 증착부로 공급됨에 따라 상기 버블러(210a, 210b)에 원료물질을 보충하여야 한다. 따라서, 상기 버블러(210a, 210b)에는 원료물질(A')을 공급받기 위한 공급용 파이프(220), 캐리어 가스(B') 공급을 위한 가스 파이프(230), 상변화된 원료물질(C')을 증착부로 공급하는 베이퍼(vapor) 파이프(240)가 구비된다. 또한, 상기 버블러(210a, 210b) 내 원료물질의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 열감지 센서(213)와 가열기(215)가 구비된다. 상기와 같은 원료물질 공급장치(200)는 원료물질이 소모됨에 따라 상기 공급용 파이프(220) 내의 압력에 의해 상기 내부 버블러(210b)가 점차 부상하여 압력식 밸브(225)가 개방되므로써 원료물질이 상기 버블러((210a, 210b)로 공급된다. 이러한 원료물질 공급장치는 미국특허 제5,938,985호에 상세하게 개시된다.
그러나, 압력식 밸브를 이용한 원료물질 공급장치는 공급용 파이프에 지속적인 압력이 유지되어야 하므로 배관이 파손될 우려가 높고, 압력식 밸브와 공급용 파이프의 유입구 사이에서 기계적인 마찰에 의한 오염물질 발생의 위험이 높다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 일정한 증기압의 베이퍼를 증착부로 공급할 수 있는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 버블러에 안정된 원료물질 공급을 실행할 수 있는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 증착부로 공급되는 베이퍼의 증기압 조절이 용이한 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 액상의 원료물질을 기체상태로 상변화시켜 증착부로 공급하는 버블러와, 상기 버블러에 액상의 원료물질을 공급하는 원료탱크를 포함하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치에 있어서,
상기 원료탱크는 상기 버블러에 공급되는 액상의 원료물질을 미리 저장하여 예열시키고; 상기 원료탱크 내의 원료물질은 다수의 중공형 세관을 통해 상기 버블러로 공급되며; 상기 버블러 내의 원료물질이 점차 소모됨에 따라 상기 원료탱크 내의 압력을 증가시켜 상기 버블러에 연속적으로 원료물질을 공급하므로써, 상기버블러 내 원료물질의 양 및 상기 버블러 내 증기압을 일정하게 유지시키는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 개시한다.
또한, 본 발명은 액상의 원료물질을 기체상태로 상변화시켜 증착부로 공급하는 버블러와, 상기 버블러에 액상의 원료물질을 공급하는 원료탱크를 포함하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치에 있어서,
상기 원료탱크는 상기 버블러에 공급되는 액상의 원료물질을 미리 저장하여 예열시키고; 상기 원료탱크 내의 원료물질은 중공형 세관을 통해 상기 버블러로 공급되며; 상기 버블러 내의 원료물질이 점차 소모됨에 따라 상기 원료탱크 내의 압력을 조절시켜 상기 버블러로 공급되는 원료물질 양을 조절하므로써, 상기 버블러에서 상변화하는 원료물질의 양 및 증기압이 조절되는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 개시한다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 설명하기 위한 구성도,
도 2는 종래의 다른 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 설명하기 위한 구성도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치를 설명하기 위한 구성도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(300)를 설명하기 위한 구성도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치(300)는버블러(310), 원료탱크(320), 다수의 배관 및 센서 등으로 구성된다.
상기 버블러(310)는 상기 원료탱크(320)로부터 소정의 배관을 통해 보충되는 액상의 원료물질(CㆍI)을 기체상태로 상변화시키는 장치이다.
상기 버블러(310)는 내부 버블러(311)와 외부 버블러(313)가 구비된다. 상기 내부 버블러(311)는 외부로부터 캐리어 가스(CㆍG)를 공급받아 액상의 원료물질을 기체상태로 상변화시키게 된다. 한편, 상기 원료물질 공급장치(300)의 버블러(310)에 공급되는 원료물질은 버블러(310) 내의 원료물질과 온도 조건 등이 동일한 상태로 변화시켜 공급되지만, 여러 가지 외부적인 조건 또는 원료물질의 상태 변화를 완벽하게 동일한 상태로 조성하기는 어렵다. 따라서, 상기 외부 버블러(313)는 외부로부터 보충되는 원료물질의 상태 조건과 상기 내부 버블러(311) 내의 원료물질이 가지는 온도차 등 원료물질의 상변화 조건 차이를 완충시키는 역할을 수행하게 된다. 상기 버블러(310) 내에서 상변화된 원료물질의 베이퍼(vapor)(VㆍO)는 광섬유 모재 증착부로 공급된다.
상기 원료탱크(320)는 외부로부터 공급된 원료물질(CㆍI)을 예열시켜 상기 버블러(310)로 공급하는 역할을 수행하는 장치로서, 유입부(321)와 유출부(323)로 구분된다. 상기 유입부(321)는 외부로부터 공급된 원료물질(CㆍI)이 우선 저장되고, 상기 유출부(323)는 상기 버블러(310)로 공급될 원료물질이 저장된다. 이는 상기 버블러(310)에 내부 버블러(311)와 외부 버블러(313)를 설치한 것과 마찬가지로, 외부로부터 공급된 원료물질(CㆍI)과 상기 원료탱크(320) 내에서 예열되어 상기 버블러(310)로 공급될 원료물질을 일정 정도 분리하므로써 상기 버블러(310)로공급되는 원료물질의 상태 조건을 상기 버블러(310) 내 원료물질의 상태 조건에 더욱 근접시키기 위함이다.
상기 버블러(310)와 원료탱크(320)는 중공형 세관(340)을 통해 연결된다. 상기 중공형 세관(340)은 상기 버블러(310)에 공급되는 원료물질 내 이물질을 여과하는 필터링 기능도 수행하게 된다. 한편, 상기 원료탱크(320)로부터 상기 버블러(310)로 원료물질의 공급경로를 최소화하기 위하여 상기 버블러(310)와 원료탱크(320)는 일체형으로 제작됨이 바람직하며, 상기 중공형 세관(340)은 상기 버블러(310)의 하부에 설치하는 것이 바람직하다.
상기 버블러(310), 원료탱크(320) 및 중공형 세관(340)은 원료물질의 상태 조건을 균일하게 유지시키기 위하여 하나의 항온조(330) 내에서 설치되며, 상기 항온조(330)에는 필요에 따라 가열을 실시할 수 있도록 가열장치(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 버블러(310)에서 진행되는 원료물질의 상변화는 원료물질의 온도 조건에 따라 크게 달라지기 때문에 상기와 같이 원료탱크(320)에서 예열을 하거나 항온조(330) 등을 설치하는 것이다.
한편, 광섬유 모재의 증착 상태는 상기 버블러(310)로부터 증착부로 공급되는 베이퍼(VㆍO)의 증기압 조건에 따라 달라지기 때문에, 상기 버블러(310) 내의 증기압을 일정하게 유지하는 것은 광섬유 모재의 품질을 좌우하는 주요 요소이다. 따라서, 상기 버블러(310) 내에서는 일정한 속도로 지속적인 원료물질의 상변화가 진행되어 증기압이 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 이는 원료물질의 온도 조건뿐만 아니라, 원료물질과 캐리어 가스(CㆍG)의 접촉시간에 따라서 변화하게 된다. 또한, 이러한 접촉시간은 원료물질의 액위에 따라 변화하게 된다. 결과적으로, 상기 버블러(310) 내 원료물질의 액위를 조절하므로써, 증기압을 일정하게 유지시켜야 하는 것이다.
상기 버블러(310) 내의 증기압을 일정하게 유지시키기 위하여, 상기 버블러(310)에는 증기압을 감지하기 위한 제1 압력센서(351)가 구비되며, 증기압을 조절하기 위한 수단으로 상기 원료탱크(320)에 불활성 가스(GㆍI)를 공급 또는 배출시키는 방법을 이용한다. 즉, 상기 버블러(310) 내의 증기압이 낮아질 경우, 상기 원료탱크(320)에 불활성 가스(GㆍI)를 공급하므로써 상기 버블러(310)로의 원료물질 공급을 촉진시켜 상기 버블러(310) 내 원료물질의 양을 증가시킴과 동시에 원료물질의 상변화를 촉진시키게 된다. 마찬가지로 상기 버블러(310) 내의 증기압이 높아질 경우, 벤트라인(325)을 통해 상기 원료탱크(320) 내의 불활성 가스를 배출시키므로써 상기 버블러(310) 내의 증기압이 더 이상 높아지는 것을 방지하게 된다. 상기 원료탱크(320)로 공급되는 불활성 가스(GㆍI)로는 질소 가스가 바람직하다.
이와 같이, 상기 원료탱크(320)의 압력을 조절하여 상기 버블러(310) 내의 원료물질의 양을 지속적으로 일정하게 유지하므로써, 결국 원료물질의 상변화가 일정한 속도로 진행되고 상기 버블러 내의 증기압도 일정하게 유지된다.
또한, 상기와 같은 방법으로 원료탱크(320) 내의 압력을 조절하므로써 버블러(310) 내의 증기압을 조절할 수 있다. 따라서, 광섬유 모재의 증착 속도 역시 조절할 수 있게 되어 제조하고자 하는 광섬유에 따라 적절한 광섬유 모재 증착 조건을 조성할 수 있게 된다.
한편, 증착공정이 진행됨에 따라 상기 원료탱크(320) 내의 원료물질 양은 지속적으로 감소하게 되므로 이를 감지하여 원료물질 보충여부를 결정하여야 한다.
상기 원료탱크(320) 내 원료물질 양을 감지하는 수단으로는 제2 압력센서(353), 레벨센서(355), 로드 셀(357) 등을 선택적으로 이용할 수 있다.
상기 제2 압력센서(355)를 이용한 방법은 상기 제1 압력센서(351)와의 압력차이를 산출하므로써 상기 원료탱크(320) 내 원료물질의 양을 감지하는 것이다. 이는 베르누이 정리(Bernoulli's theorem)로부터 유도된 다음의 [수학식1]을 통해 설명된다.
여기서 Pp는 상기 원료탱크(320) 내의 압력, Pb는 상기 버블러(310) 내의 증기압,hp는 상기 원료탱크(320) 내 원료물질의 액위, hb는 상기 버블러(310) 내 원료물질의 액위를 의미하며, ρ는 원료물질의 밀도, g는 중력을 의미한다. 여기서 원료물질의 밀도 ρ와 중력 g는 동일하므로, 상기 버블러(310)와 원료탱크(310)의 압력차는 상기 버블러(310)와 원료탱크(320) 내 원료물질의 액위 차로 나타남을 알 수 있다. 한편, 상기 버블러(310) 내 원료물질의 양과 증기압은 일정하게 유지시키게 되므로, 결국 상기 원료탱크(320)의 압력에 따라 상기 원료탱크(320)의 액위가 변화되는 것이다. 따라서, 상기 제2 압력센서(353)로부터 측정되는 상기원료탱크(320)의 압력에 의해 원료물질 보충 여부가 결정되는 것이다.
상기 원료탱크(320)의 액위가 일정한 높이 이하로 낮아지면 외부로부터 원료물질(CㆍI)을 보충하게 되며, 이때 원료물질(CㆍI) 보충이 진행되는 동안 상기 원료탱크(320) 내 불활성 가스를 배출(GㆍO)시켜 압력을 점차 줄여주어야 한다. 상기 원료탱크(320)에 원료물질을 보충하는 동안에도 상기 버블러(310) 내에서는 지속적으로 원료물질의 상변화가 진행될 수 있다. 또한, 증착공정을 지속적으로 진행시키면서 상기 원료탱크(320)에 보충된 원료물질을 예열하기 위한 충분한 시간을 확보하기 위해서는 상기 원료탱크(320)의 액위가 지나치게 낮은 상태에서 많은 양의 원료물질을 한 번에 보충하는 것은 바람직하지 못하다.
상기 레벨센서(355)는 광센서, 초음파센서, 방사선 액위계 등을 이용할 수 있다. 이는 상기 원료탱크(320) 내 원료물질 액위의 최저 허용레벨를 미리 설정하여 액위가 최저 허용레벨에 달하면 원료물질을 보충하는 것이다. 상기 레벨센서(355)를 이용하는 경우에도 원료물질 보충이 진행되는 동안 상기 원료탱크(310) 내 불활성 가스를 배출(GㆍO)시켜 압력을 점차 줄여주어야 한다. 한편, 레벨센서를 이용하는 방법은 원료물질의 유동에 따라 레벨센서가 원료물질의 액위를 잘못 감지할 수 있음에 유의한다.
상기 로드 셀(357)을 이용하는 방법은 상기 원료탱크(320) 내 원료물질의 중량을 감지하여 원료물질 보충 여부를 결정하는 방법이다. 상기 로드 셀(357)은 중량에 따라 발생하는 물리적인 변형을 전기신호로 전환하는 장치로서, 보편적으로 스트레인 게이지를 금속 막대 또는 금속 판 등에 부착한 형태이다. 상기 스트레인게이지는 중량에 따른 금속 막대 또는 금속 판의 변형을 전기 저항이 변화로 검출하는 소자이다. 즉, 상기 로드 셀(357)을 이용하는 방법은 전기 저항의 변화를 이용하여 원료물질 중량의 변화를 산출하는 것이다. 상기 로드 셀(357)을 이용하는 방법은 상기 레벨센서(355)를 이용하는 방법과 마찬가지로, 상기 원료탱크(320) 내 원료물질의 최저 허용중량을 미리 설정하여 원료물질의 중량이 최저 허용중량에 달하면 원료물질을 보충하는 것이다. 상기 로드 셀(357)을 이용하는 경우에도 원료물질 보충이 진행되는 동안 상기 원료탱크(320) 내 불활성 가스를 배출(GㆍO)시켜 압력을 점차 줄여주어야 한다.
한편, 상기와 같이 원료물질의 양을 감지하는 수단 없이 일정 주기로 원료물질을 보충하는 방법이 있다. 이는 상기 버블러(310)에서 소모되는 원료물질이 시간에 따라 변동없이 일정한 속도로 소모되기 때문에 상변화가 진행되는 동안 일정 주기로 보충하는 것도 가능한 것이다.
상기와 같이, 종래에 버블러의 액위를 감지하여 원료물질을 공급하는 방식과 달리, 본 발명은 원료탱크(320) 내 원료물질의 양과 압력을 조절하고 버블러(310) 내의 원료물질의 양과 증기압은 일정하게 유지하는 것이다. 또한, 외부로부터 원료물질을 보충하는 동안에도 버블러(310)에는 아무런 영향을 주지 않기 때문에 광섬유 모재 증착을 위한 원료물질 상변화는 지속적으로 진행시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해서 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명하다 할 것이다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 원료탱크 내의 압력을 조절하므로써 버블러로 지속적인 원료물질 공급이 용이하게 되었다. 이로써 버블러 내 원료물질의 양은 일정하게 유지하여 상변화 속도를 일정하게 유지할 수 있게 되었으며, 버블러로 새로이 공급되는 원료물질의 상태 조건 차이를 최소화시킬 수 있게 되었다. 또한, 원료물질 공급장치 내에서 기계적인 마찰을 최소화함과 동시에 중공형 세관을 이용하여 필터링 기능을 수행하도록 하므로써 원료물질의 오염을 방지하였다. 더욱이, 광섬유 모재 증착 조건에 맞도록 질소 등의 불활성 가스를 이용하여 원료탱크의 압력을 조절하므로써 버블러의 증기압을 조절하는 것이 용이하게 되었다.
또한, 본 발명은 원료물질을 보충하는 동안에도 증착공정을 지속적으로 진행시킬 수 있어 생산율도 향상시키게 되었다.

Claims (11)

  1. 액상의 원료물질을 기체상태로 상변화시켜 증착부로 공급하는 버블러와, 상기 버블러에 액상의 원료물질을 공급하는 원료탱크를 포함하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치에 있어서,
    상기 원료탱크는 상기 버블러에 공급되는 액상의 원료물질을 미리 저장하여 예열시키고;
    상기 원료탱크 내의 원료물질은 다수의 중공형 세관을 통해 상기 버블러로 공급되며;
    상기 버블러 내의 원료물질이 점차 소모됨에 따라 상기 원료탱크 내의 압력을 증가시켜 상기 버블러에 연속적으로 원료물질을 공급하므로써, 상기 버블러 내 원료물질의 양 및 상기 버블러 내 증기압을 일정하게 유지시킴을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 버블러에는 상기 버블러 내의 증기압을 측정하기 위한 제1 압력측정기와;
    상기 원료탱크에는 상기 원료탱크 내의 압력을 측정하기 위한 제2 압력측정기가 각각 구비되며,
    상기 버블러 내의 증기압이 일정범위를 유지하도록 상기 원료 탱크의 압력이 조절됨을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 원료탱크 내의 압력과 상기 버블러 내의 증기압 차가 기 설정된 압력차 이상 커지면 상기 원료탱크의 원료물질을 보충함을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 원료탱크에 불활성 가스를 공급하므로써 상기 원료탱크 내의 압력을 점차 증가시킴을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 원료탱크로 공급되는 불활성 가스는 질소가스임을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 원료탱크에는 원료물질의 액위를 측정하기 위한 다수의 레벨센서가 설치되어,
    상기 원료탱크 내 원료물질의 액위가 기 설정된 높이 이하로 낮아지면 상기 원료탱크의 원료물질을 보충함을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 원료탱크에는 원료물질의 중량을 측정하기 위한 다수의 로드 셀이 설치되어,
    상기 원료탱크 내 원료물질의 중량이 기 설정된 중량 이하로 낮아지면 상기 원료탱크의 원료물질을 보충함을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 버블러에서 원료물질의 상변화를 실시하는 동안 일정 시간을 주기로 상기 원료탱크의 원료물질을 보충함을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질공급장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 중공형 세관은 상기 버블러로 공급되는 원료물질 내의 이물질을 여과하는 필터링 기능을 수행함을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 원료탱크, 중공형 세관 및 버블러는 하나의 항온조 내에 수용되어 원료물질의 온도를 균일하게 유지시킴을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 원료탱크 내의 압력이 과압되었을 경우 압력을 낮추기 위한 벤트라인이 더 구비됨을 특징으로 하는 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치.
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