KR900000965A - 쇼트아크 방전등 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

쇼트아크 방전등
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 제1 및 제2실시예의 쇼트아크 방전등의 측면도.
제2도는 쇼트아크 방전등이 이용된 노광장치의 개요도.
제3도는 본 발명에 관한 제3실시예의 쇼트아크 방전등의 측면도.

Claims (15)

  1. 내열유리질 재료로 형성된 용기(32)와, 상기 용기의 일단에 형성된 아노드 전극(44)과, 상기 용기의 일단에 형성된 캐소드 전극(46)과, 상기 용기내에 봉입된 적어도 수은, 희가스 및 하로겐과를 구비한 쇼트아크 방전등에 있어서, 상기 용기내에 봉입된 하로겐의 량은, 수은과의 봉일몰비로 3.5×10-5~3.5×10-3임을 특징으로 하는 쇼트아크 방전등.
  2. 상기 용기내에서 다시 사마리움, 가드리움, 프라세오딤, 란탄, 이트리움, 레니움, 텔비움, 유토피움 중 적어도 1종류의 금속이 봉입되어 있음을 특징으로 하는 1항 기재의 쇼트아크 방전등.
  3. 상기 하로겐은 요소임을 특징으로 하는 1항 기재의 쇼트아크 방전등.
  4. 상기 용기내의 상기 하로겐 및 상기 사마리움 등의 금속은 하로겐 화합물로서 봉입됨을 특징으로 하는 2항 기재의 쇼트아크 방전등.
  5. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스 전류 IB및 펄스전류 IP가 같이 공급되고, 베이스 전류 IB는 방전을 유지시키기 위하여 공급되며, 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 tP로 시간간격 T을 두고 반복공급되며,
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제1항 기재의 쇼트아크 방전등.
  6. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스전류 및 펄스전류 IP가 같이 공급되고, 베이스 전류는 방전을 유지시키기 위하여 최저 필요한 저레벨전류 I′B와 펄스전류 IP가 공급되고 있는 사이에 공급되는 I′B보다도 높은 레벨의 고레벨 전류 IB등으로 변화되고 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 펄스폭 tP으로 시간간격 T을 두고 반복공급되어,
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6
    IB/IB≥ 0.2의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제1항 기재의 쇼트아크 방전등.
  7. 내열유리질 재료로 형성된 용기(72)와 상기 용기의 일단에 형성된 아노드 전극(84)과, 상기 용기의 일단에 형성된 캐소드 전극(86)과 기밀하게 유지된 상기 용기내에 봉입된 수은 및 희가스와를 구비한 쇼트아크 방전등에 있어서, 시동된 직후의 램프전압을 V SL(V), 안정점등시의 램프전압을 V L(V), 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극 사이의 거리 1(mm), 상기 밸브의 타원형 중앙부의 최대 내경을 D(cm), 안정점등시의 램프전력을 W L(KW)로 하면,
    =5~10(V/mm)
    =1.8~3.5(cm/KW) 임을 특징으로 하는 쇼트아크 방전등.
  8. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스 전류 IB및 펄스전류 IP가 같이 공급되며, 베이스 전류 IB는 방전을 유지시키기 위하여 공급되고, 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 펄스폭 tP으로 시간간격 T을 두고 반복공급하며,
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제7항 기재의 쇼트아크 방전등.
  9. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스전류 및 펄스전류 IP가 같이 공급되고, 베이스 전류는 방전을 유지시키기 위하여 최저 필요한 저레벨전류 I′B와 펄스전류 IP가 공급되고 있을 때에 공급하며, 전류 I′B보다도 높은 레벨의 고레벨 전류 IB등으로 변화하고, 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 펄스폭 tP으로 시간간격 T을 두고 반복공급하여
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6
    IB/IB≥ 0.2의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제7항 기재의 쇼트아크 방전등.
  10. 내열유리질 재료로 형성된 용기(32, 72)와, 상기 용기의 일단에 형성된 아노드 전극(44, 84)과 상기 용기의 일단에 형성된 캐소드 전극(46, 86)과 상기 용기내에 봉입된 적어도 수은 희가스 및 하로겐과를 구비한 쇼트아크 방전등에 있어서, 상기 용기내에 봉입된 하로겐량은, 수은과의 몰비로, 3.5×10-5~3.5×10-3이며, 시동된 직후의 램프전압을 VSL(V), 안정점등시의 램프전압을 VL(V), 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극 사이의 거리 1(mm), 상기 밸브의 타원형 중앙부의 최대내경D(cm), 안정점등시의 램프간격을 WL(KW)로 하면,
    =5~10(V/mm)
    =1.8~3.5(cm/KW)의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 쇼트아크 방전등.
  11. 상기 용기내에서 다시 사마리움, 가드리움, 프라세오딤, 란탄, 이트리움, 레니움, 텔비움, 유토피움 중 적어도 1종류의 금속이 봉입되어 있음을 특징으로 하는 제10항 기재의 쇼트아크 방전등.
  12. 상기 하로겐은 요소, 취소, 불소, 염소 중의 적어도 1종임을 특징으로 하는 제1항 기재의 쇼트아크 방전등.
  13. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스 전류 IB및 펄스전류 IP가 공급되고, 베이스 전류 IB는 방전을 유지시키기 위하여 공급되며, 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 펄스폭 tP으로 시간간격 T을 두고 반복공급되어,
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제10항 기재의 쇼트아크 방전등.
  14. 상기 아노드 전극 및 캐소드 전극에는 베이스 전류 및 펄스전류 IP가 같이 공급되고, 베이스 전류는 방전을 유지시키기 위하여 최저 필요한 저레벨전류 I′B와 펄스전류 IP가 공급되고 있을때에 공급되며 I′B보다도 높은 레벨의 고레벨 전류 IB등으로 변화되고 펄스전류 IP는 고휘도로 방전시키기 위하여 펄스폭 tP로 시간간격 T을 두고 반복공급되어,
    0.03 ≤ tP≤ 3(ms)
    0.1 ≤ T ≤ 10(ms)
    1.4 ≤ IP/IB≤ 6
    I′B/IB≥ 0.2의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 제10항 기재의 쇼트아크 방전등.
  15. 상기 하로겐 및 상기 사마리움등의 금속은 하로겐 화물로서 상기 밸브내에 봉입되어 있음을 특징으로 하는 제11항 기재의 쇼트아크 방전등.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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