KR890701467A - 질화알루미늄의 제조방법 - Google Patents

질화알루미늄의 제조방법

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KR890701467A
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폴리테크닉 유니버시티
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Abstract

내용 없음

Description

질화알루미늄의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. (1) (a)(상기식에서 R1과 R2는 각각 1 내지 4개의 탄소원자를 함유한 알칼리를 나타낸다.) (b) AlCl3의 혼합물을 생성하는 단계, (2)단계 (1)에서 생성된 혼합물은 0℃ 내지 150℃의 온도에서 반응시키고, 그것에 의해 Cl2-Al-NH-Si-(R1)3, Cl2-Al-NH-Si-(R2)3, (R1)3-Si-Cl과 (R2)3-Si-Cl의 혼합물을 생성하는 단계, (3)단계 (2)에서 생성된 화합물을 고온에서 (R1)3-Si-Cl, (R2)3-Si-Cl,H2Cl2와 AlN으로 변화시키는 단계, (4) 변화된 혼합물로부터 H2, Cl2와 AlN을 분리시키는 단계로 이루어지는 질화알루미늄의 제조방법.
  2. (1) (a)(b) AlCl3의 혼합물을 생성하는 단계, (2)단계 (1)에서 생성된 혼합물을 0℃ 내지 150℃의 온도에서 반응시켜를 생성하는 단계, (3)단계 (2)에서 생성된를 170℃ 내지 200℃를 온도로 유지하여 Cl-Al-NH와 (CH3)3-SiCl을 생성하는 단계, (4)단계 (3)에서 생성된 Cl-Al-NH를 적어도 450℃의 온도에서 유지하여 H2, Cl2와 AlN을 생성하는 단계로 이루어지는 질화알루미늄의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 단계 (1)에서 생성된 혼합물을 0℃ 내지 150℃에서 0.5 내지 5시간동안 반응시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제2항에 있어서, 단계 (2)에서 생성된 Cl2-Al-NH-Si(CH3)3가 미세한 분말이고, 상기한 분말이 단계 (2)에서 생성된(CH3)3-Si-Cl로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, Cl2-Al-NH-Si(CH3)3분말을 170 내지 200℃의 온도로 유지하여 Cl-Al-NH와 (CH3)3-Si-Cl을 생성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 생성된 Cl-Al-NH가 미세한 분말이고, 상기한 분말이 제2항에서 발견되는 (CH3)3-Si-Cl로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, Cl-Al-NH분말을 450℃ 이상의 온도에서 적어도 1시간 동안, 그리고나서 700℃ 이상의 온도에서 적어도 1시간동안 유지하여 AlN을 생성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제2항에 있어서, 단계 (1)에서 생성된 혼합물이 염화메틸렌, 이황화탄소, 디클로로에탄과 화학반응을 일으키지 않고 AlCl3와 실라잔을 용해시키는 다른 용매로 이루어지는 군으로부터 선택한 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제2항에 있어서, 단계 (2)에서 생성된 Cl2-Al-NH-Si(CH3)3와 단계 (3)에서 발견되는 Cl-Al-NH중 하나 또는 둘다를 암모니아 또는 수소로 이루어지는 군으로부터 선택한 활성가스의 존재하에 고온에 두는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. (1) (a)(b) AlCl3의 혼합물을 생성하는 단계, (2)단계 (1)에서 생성된 혼합물을 60℃ 내지 150℃의 온도에서 반응시켜를 생성하는 단계, (3)단계, (2)에서 생성된 Cl2-Al-N-[Si(CH3)3]2를 170℃ 내지 200℃의 온도에서 유지하여 2(CH3)3-SiCl과 비결정 AlN을 생성하는 단계, (4)단계 (3)에서 생성된 AlN을 적어도 700℃로 가열하여 물질을 결정 AlN으로 변화시키는 단계로 이루어지는 질화알루미늄의 제조방법.
    ※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890700782A 1987-09-02 1988-09-01 질화알루미늄의 제조방법 KR890701467A (ko)

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