KR890016207A - 부착물에 근본적으로 균열이 없는 무전해 부착에 의해 기판상에 구리 부착물을 일관되게 생성시키는 방법 - Google Patents

부착물에 근본적으로 균열이 없는 무전해 부착에 의해 기판상에 구리 부착물을 일관되게 생성시키는 방법 Download PDF

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KR890016207A
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휴즈 로우언
포너빅 밀런
제이 지블리스키 루돌프
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제임즈 에이 이더
콜모오겐 코오포레시션
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Abstract

내용 없음

Description

부착물에 근본적으로 균열이 없는 무전해 부착에 의해 기판상에 구리 부착물을 일관되게 생성시키는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 전기 화학적 측정을 수행하는데 적합한 기구의 개발도이다. 제 2 도는 실시예1에 기술된 대로 측정시 적용된 전위대 시간의 곡선이다. 제 3 도는 실시예1에 기술된 대로 생성된 전류 대 적용된 전위의 곡선이다.

Claims (15)

  1. 구리이온, 규리이온을 용해시키기 위한 착생성 리간드, pH를 조정하기에 충분한 농도의 pH 조정제, 용액의 자발적인 분해 또는 외부로부터의 구리 도금을 막기에 충분한 양인, 분빌적으로는 도금 반응을 중단시킬 양보다 작은 양의 연성 촉진제, 또는 안정제, 포름알데히디 환원제를 포함하는, 구리를 무전해적으로 도금시키는데 유용한 용액에 있어서, pH 조정제의 농도가 pH(25℃에서 측정됨)를 적어도 11.9로 조정하기에 충분하고; 비편재된 파이(Pi) 결합을 함유하는 촉진제가(i) 헤테로시클릭 방향족 질소 및 화 화합물, (ii) 적어도 하나의 비편재된 파이 결합을 갖는 비-방향족 질소 화합물 및 (iii) 방향족 아민 및 상기 혼합물들 중에서 선택되고, 포름알데히드 환원제의 몰농도가 구리 이온의 몰농도의 겨우 1.2배인 개선점을 갖는 용액.
  2. 제 1 항에 있어서 pH 조정제의 농도가 pH를 적어도 12.2로 조정하기에 충분한 용액.
  3. 제 1 항에 있어서, 포름알데히드 환원제의 몰농도가 겨우 구리 이온의 몰농도 정도인 용액.
  4. 제 1 항에 있어서, pH 조정제의 농도가 pH를 적어도 12.5로 조정하기에 충분한 용액.
  5. a. 구리이온, 구리이온을 용해시키기 위한 착생성리간드, 용액의 자발적인 분해 또는 외부로부터의 구리 도금을 막기에 충분한 양인, 본질적으로는 무전해 구리 부착 반응을 중단시킬 양보다 작은 양의 연성촉진제, 또는 안정제 몰농도가 구리 이온 몰농도의 겨의 1.2배인, 포름알데히드 환원제를 포함하는, 25℃에서 측정시 적어도 11.9의 pH를 갖는 무전해 구리부착 용액을 제공하고; b. 미리 선택된 부착 두께를 갖는 부착물을 형성하기에 충분한 시간동안 기판을 용액과 접촉시키고; c. 부착시간동안 포름알데히드 환원제 농도를 구리이온 농도의 겨우 1.2배로 본질적으로 유지시키고; d. 기판상에 구리를 무전해적으로 부착시키는 것을 포함하는, 기판상에 본질적으로 균열이 없는 구리 부착물을 형성하는 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 포름알데히드 환원제의 몰농도가 겨우 구리 이온의 몰농도인 방법.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 용액에(i) 헤테로시클릭 방향족 질소 및 황 화합물, (ii) 적어도 하나의 비편재된 파이 결합을 갖는 비-방향족 질소 화합물 및 (iii) 방향족 아민 및 혼합물들 중에서 선택되는 비편재된 파이 결합을 함유하는 촉진제가 포함된 방법.
  8. 제 5 항 또는 제 7 항에 있어서, 용액이 적어도 12.2의 pH를 갖는방법.
  9. 제 5 항 또는 제 7 항에 있어서, 용액이 적어도 12.5의 pH를 갖는방법.
  10. 제 5 항에 있어서, 무전해 구리부착 반응의 부산물 및 오염물질의 형성에 의해, 사용시 용액이 노화되기 때문에, a. 용액내 포름알데히드 환원제의 몰농도를 본질적으로 일정하게 유지시키고; b. 표면상에 구리부착의 일정한 속도를 유지시키는 위해 pH를 증가시키는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 구리이온 농도 및 pH를 사용시 용액이 노화되기 때문에 증가시키는 방법.
  12. 제 10항에 있어서, 사용시 용액이 노화되기 때문에 ; a. 구리이온 및 수산화 이온 농도를 증가시키고, b. 일정한 도금 속도를 유지시키기 위해 포름알데히드 농도를 충분하게 감소시키는 방법.
  13. 구리 부착물의 질을 유지시키기 위해 구리이온 농도 및 pH를 충분하게 증가시키고, 도금 속도를 일정하게 유지시키기에 충분한 포름알데히드 환원제 농도를 감소시키는 것을 포함하는 방법으로서, 사용시 균열이 생기는 구리 부착물이 생성시키기 쉬운 오염물질 및 부산물의 형성에 의해 용액이, 노화하기때문에 구리이온, 포름알데히드 환원제, 안정제 및 알카리성 pH를 만들기 위한 수산화 이온을 포함하는, 무전해 구리 도금 용액을 구리 부착물의 질을 유지시키고 일정한 도금 속도를 유시키기 위해 조작하는 방법.
  14. 비율을 일정하게 유지시키기에 충분한 구리 이온 농도 및 pH를 증가시키고, 도금속도를 일정하게 유지시키기에 충분한 포름알데히드 환원제 농도를 감소시키는 것을 포함하는 방법으로서, 오염 물질 및 부산물 또는 부산물의 형성, 고유 양극 반응 속도 대 고유 음극 반응 속도의 비율이 증가되기 쉽고, 구리 부착물의 질이 떨어지기 쉬운 경향에 의해, 용액이 사용시 노화하기 때문에 구리이온, 포름알데히드 환원제, 안정제 및 알카리성 pH를 만들기위한 수산화 이온을 포함하는 무전해 구리 도금 용액을 구리 부착물의 질을 유지시키고 일정한 도금 속도를 유지시키기 위해 조작하는 방법.
  15. 균열이 생기는 구리 부착물을 생성시키기 쉬운 오염물질 및 부산물 또는 부산물의 형성에 의해 용액이 노화하기 때문에 구리이온, 알카리성 pH를 만들기에 충분한 수산화 이온, 포름알데히드 환원제 및 안정제를 포함하는 무전해 구리 도금 용액을 조작하는 방법에 있어서, 도금 속도를 증가시키기에 충분한 pH 및 구리이온 농도를 증가시킴으로써, 도금 속도를 증가시키고 구리 부착물의 질을 유지시키고, 본질적으로 균열이 없도록 구리 부착물을 유지시키기에 충분한 양으로 포름알데히드 환원제 농도를 본질적으로 일정하게 유지시키거나 감소시키는 재선점을 갖는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890005828A 1988-04-29 1989-04-28 부착물에 근본적으로 균열이 없는 무전해 부착에 의해 기판상에 구리 부착물을 일관되게 생성시키는 방법 KR890016207A (ko)

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