KR880006380A

KR880006380A - 무전해 구리도금용액과 무전해 도금구리의 제조방법

Info

Publication number: KR880006380A
Application number: KR1019870012544A
Authority: KR
Inventors: 고오지 곤도오; 가쓰히고 무라가와; 가오루 노모도; 후도시 이시가와; 노부마사 이시다; 쥰지 이사가와
Original assignee: 오까베 다까시; 닛뽕 덴소오 가부시기 가이샤
Priority date: 1986-11-06
Filing date: 1987-11-06
Publication date: 1988-07-22
Also published as: JPH0723539B2; KR910001588B1; US4834796A; JPH01168871A

Abstract

내용 없음

Description

무전해 구리도금용액과 무전해 도금구리의 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 트리에탄올아민의 첨가된 양에 대한 용착속도를 보인 그래프.

제2도는 트리이소프로판올아민의 첨가된 양에 대한 용착속도를 보인 그래프.

제3도는 트리알카놀 모노아미 이와의 복합체에 대한 용착속도를 보인 그래프.

Claims

무전해 구리도금용액에 있어서, 구리염, 감속제, pH-조정제와 구리이온을 위한 복합제와 동시에 가속제로서 작용하는데 충분한 양의 트리알카놀 모노아민 및 그의 염들로 이루어지게 하고 트리알카놀모노아민과 그의 염구리이온가 완변하게 복합되는데 충분하나 가속제로서 작용하는데 충분하지 않은 양으로 존재될때 이루어지는 구리용착속도와 비교하여 구리용착속도가 실질적으로 증가되게 하는 양으로 상기 트리알카놀 모노아민과 그의 염을 함유하게 한 무전해 구리도금 용액.
제1항에 있어서, 트리알카노모노아민이 트리에탄올아민이고 구리이온의 몰농도보다 1.2 내지 30배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
제2항에 있어서, 트리에탄올 아민이 구리이온 농도보다 1.3 내지 20배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
제3항에 있어서, 트리에탄올아민이 구리이온의 몰농도보다 1.5 내지 30배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
제1항에 있어서, 용착층의 물리적 성질을 개선시키는 첨가제를 함유하게 한 무전해 구리도금용액.
제5항에 있어서, 첨가제가 포타지움 페로시안화물, 2.2'-바이피리딜 폴리에틸렌 글리콜 및 음이온 계면활성제와 그들의 혼합물로 이루어진 그룹으로 부터 선택되게 한 무전해 구리도금용액.
제6항에 있어서, 음이온 계면활성제를 알킬설포 네이트로 한 무전해 구리도금용액.
제1항에 있어서, 트리알카놀 모노아민이 트리이소프로판을 아민이고 구리이온의 몰농도보다 1.2 내지 30배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
제8항에 있어서, 트리이소프로판올아민이 구리이온의 몰농도보다 1.2 내지 10배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
제9항에 있어서, 트리이소프로판올아민이 구리이온의 몰농도보다 1.2 내지 5배의 양으로 함유되게 한 무전해 구리도금용액.
무전해도금구리를 제조하는 방법에 있어서, 구리염, 감속제, pH-조정제와 복합제 및 가속제로서 작용하도록 하는 과량의 트리알카놀 모노아민이나 그의 염을 함유한 무전해 구리도금조 내에서 구리용착에 민감한 표면을 가진 기판을 담가 놓으므로 트리알카놀 모노아민이나 그의 염이 구리이온을 복합시키는데 충분하나 가속제로서 작용하는데 충분하지 않은 양을 함유되게 하였을때 얻어지는 구리용착속도에 비하여 실질적으로 증가된 용착속도로 기판의 표면사에 무전해로 용착되게 하는 단계로 이루어진 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제11항에 있어서, 도금용액이 용착층의 물리적 성질을 개선하는 첨가제를 함유하게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제12항에 있어서, 도금용액이 포타지움 페로시안화물, 2,2'-비이피리딜, 폴리네틸렌글리콜, 음이온의 계면활성제거나 그의 혼합물을 함유하게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제13항에 있어서, 음이온 계면활성제가 알킬 설포네이트인 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제13항에 있어서, 증가된 용착속도가 10μm/hr이상되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제13항에 있어서, 증가된 용착속도가 15μm/hr이상으로 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제12항에 있어서, 증가된 용착속도가 통상의 용착속도보다 10배이상 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제17항에 있어서, 증가된 용착속도가 통상의 용착속도보다 20배이상 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제11항에 있어서, 트리알카놀 모노아민이 트리에탄올아민이고 구리이온의 몰농도보다 1.2 내지 30배의 양으로 함유되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제19항에 있어서, 트리에탄올아민이 구리이온의 몰농도보다 1.3내지 20배의 양으로 함유되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제20항에 있어서, 트리에탄올아민이 구리이온의 몰농도보다 1.5내지 20배의 양으로 함유되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
무전해 도금구리를 제조하는 방법에 있어서, 제1몰농도의 구리염, 감속제 pH-조정제, 포타지움 페로시안화물, 2,2'-바이피리딜, 폴리에틸렌글리콜 및 음이온 계면활성제와 같은 첨가제와 제1몰 농도보다 1.2 내지 30배양의 트리에탄올아민들을 함유한 무전해 구리도금조내에 구리용착에 민감한 표면을 가진 기판을 담그어 놓아 구리가 10μm/hr이상의 속도로 기판 표면상에 용착되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제22항에 있어서, 도금조의 pH가 12내지 13.4이고, 온도가 0°내지 80℃이며 산소농도가 0.5 내지 5.4ppm으로 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제23항에 있어서, 상기 pH가 12.4 내지 13이고, 온도가 0°내지 70℃이며 산소농도가 1.5 내지 4.0ppm으로 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제22항에 있어서, 구리염이 구리이온가 같은 0.005 내지 0.1M의 농도로 함유되고 감속제가 0.5 내지 0.3M의 농도로 함유되게한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
제25항에 있어서, 구리염 농도가 구리이온과 같이 0.01 내지 0.07M로 되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.
무전해 도금구리를 제조하는 방법에 있어서, 제1몰 농도의 구리염;감속제;PH-조정제;포타지움 페로시안화물, 2,2'-바이피리딜, 폴리에틸렌글리콜 및 음이온의 계면활성제와 같은 첨가제와;제1몰 농도보다 1.2 내지 30배 양의 트리이소프로판올아민들을 함유한 무전해 도금조내에 구리용착에 민감한 표면을 가진 기판을 담가 놓아 구리가 10μm/hr이상의 용착속도로 기판표면상에 용착되게 한 무전해 도금구리를 제조하는 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.