KR890010554A - 광전입자 검출장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

광전입자 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 오목 및 볼록반사경 장치를 나타내는 개략도.
제2도는 본 발명에 의한 레이저빔을 다중반사 시키는데 필요한 이상조건을 설명하기 위한 오목 및 볼록반사경 장치를 나타내는 개략도.
제3a 및 3b도는 오목 및 볼록 반사경들간의 상대위치의 광학조정을 설명하기 위한 오목 및 볼록반사경장치를 나타내는 개략도이며, 제3b도는 그의 사시도.

Claims (18)

  1. 서로간에 예정된 거리만큼 격리된 오목 및 볼록반사경과, 레이저 빔을 방출하여 오목 및 볼록 반사경들간에 레이저 빔을 투사하기 위한 레이저 원과, 상기 오목 및 볼록반사경들과 레이저 원은 레이저 빔이 훨씬 더 밀접한 간격으로 다중반사되어 다중반사된 빔 세그멘트들이 서로간에 중첩되는 레이저 빔 커튼이 형성되므로서 결국, 그의 광도가 증가되도록 배열되며, 그리고, 레이저 빔 커튼내에 입자들의 출현으로 인해 분산된 광을 검출하기 위한 검출수단으로 구성되며, 그에 의해 입자출현이 고확률과 고감도로 검출될 수 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  2. 제1항에서, 레이저 빔은 그의 광축과 평행하도록 오목 및 볼록반사경들 간에 입사되며, 레이저 빔은 오목 및 볼록반사경들간에서 다중반사된 다음, 레이저 빔이 입사되는 공간반대쪽 공간으로부터 방출되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  3. 제1항에서, 레이저 빔은 그의 광축과 평행하도록 상기 오목 및 볼록반사경들간에 입사되며, 레이저 빔은 그것이 입사되는 공간쪽의 오목 및 볼록반사경들간에서 다중반사된 다음 동일한 쪽으로 방출되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  4. 제 1 항에서, 상기 레이저 원은 중첩된 다중반사 빔 세그멘트들의 간섭이 없도록 반도체 레이저장치를 포함하여, 광도가 비교적 균일한 비교적 좁은 대역의 상기 레이저 빔 커튼이 검출영역으로서 선택되며, 그에 의해 입자출현이 검출될 수 있을 뿐만 아니라 검출된 입자의 사이즈가 측정될 수 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  5. 제1항에서, 상기 오목 및 볼록반사경들은 각각 구형 오목 및 볼록반사 표면들을 갖고 있으며, 상기 오목 및 볼록반사경들간의 상대위치를 서로간에 그리고 상기 광축에 대해 수직한 두방향으로 조정하기 위한 수단이 설치되어 있으므로, 그에 의해 관심 있는 레이저 빔 커튼을 얻기 위한 상기 오목 및 볼록반사경들과 레이저원의 배열이 상기 오목 및 볼록반사경들의 아무런 각도 조정 없이도 쉽게 행해질 수 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  6. 제1항에서, 상기 검출수단은 그에 의해 검출된 광으로부터 잡음을 제거하는 광학필터를 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  7. 제1항에서, 상기 장치는 박막형성공정을 위한 진공실내에 부유하는 입자를 검출하기 위해 사용되며, 상기 오목 및 볼록반사경들과 상기 레이저원의 조립체는 상기 진공실내에 배치되며, 또한 상기 레이저 빔 커튼이 상기 하우징의 외부로 노출되는 식으로 하우징내에 내장되며, 불활성가스는 상기 하우징내로 도입되므로, 그에 의해 상기 박막형성 공정진행 중 발생되는 입자들에 의해 상기 오목 및 볼록반사경들의 오염이 방지되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  8. 제7항에서, 상기 검출수단은 그에 의해 검출된 광으로부터 상기 박막형성 공정진행 중 발생되는 광을 제거해주는 광학필터를 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  9. 제7항에서, 상기 검출수단은 상기 진공실 외부에 배치된 광검출기와, 수신된 분산된 광을 상기 광검출기를 전달하도록 상기 진공실을 한정하는 벽을 통해 상기 레이저 빔 커튼으로 들어가 있는 광섬유 다발을 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  10. 제8항에서, 상기 광섬유 다발은 상기 진공실의 벽을 밀봉적으로 통과한 튜브에 의해 커버되어 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  11. 서로간에 예정된 간격으로 격리된 부분 오목 및 볼록반사경, 상기 오목반사경의 반사경은 오목반사 영역과 그로부터 평활하게 연속하는 평면반사영역을 갖고 있으며, 상기 볼록반사경의 반사면은 볼록반사영역과 그로부터 평활하게 연속하는 평면반사영역을 갖고 있으며, 상기 부분 오목 및 볼록반사경들 간에 레이저 빔 커튼을 형성하도록 상기 반사경들의 오목 및 볼록반사경들 간에서 다중반사되도록 레이저 빔을 방출 및 투사하기 위한 레이저 원과, 상기 오목 및 볼록반사경들과 상기 레이저 원은 상기 부분 오목 및 볼록반사경들의 오목 및 볼록반사영역들 간에서 다중반사된 빔 세그멘트들의 간격이 좀더 밀집해지고 또한, 상기 부분 오목 및 볼록반사경들의 평면반사영역들간에서 다중반사된 빔 세그먼트들의 훨씬 더 밀접한 간격이 균일하게 유지되도록 배열되며, 그에 의해 상기 부분 오목 및 볼록반사경들의 평면반사영역들간에서 다중반사된 빔 세그멘트들이 실질적으로 균일한 광도분포를 갖는 레이저 빔 커튼을 형성할 수 있으며, 그리고 부분 오목 및 볼록반사경들의 평면반사영역들간의 레이저 빔 커튼 부분 내에 입자들의 출현으로 인해 분산된광을 검출하기 위한 검출수단으로 구성됨으로서, 그에 의해 입자들의 출현을 검출할 수 있을 뿐만 아니라 검출된 입자들의 사이즈를 측정할 수 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  12. 제11항에서, 상기 검출수단은 그에 의해 검출된 광으로부터 잡음을 제거하는 광학필터를 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  13. 제11항에서, 상기 장치는 박막형성공정을 위한 진공실내에 부유하는 입자를 검출하기 위해 사용되며, 상기 오목 및 볼록반사경들과 상기 레이저 원의 조립체는 상기 진공실내에 배치되며, 또한 상기 레이저 빔 커튼이 상기 하우징의 외부로 노출되는 식으로 하우징내에 내장되며, 불활성가스는 상기 하우징내로 도입되므로, 그에 의해 상기 박막형성 공정진행 중 발생되는 입자들에 의해 상기 오목 및 볼록반사경들의 오염이 방지되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  14. 제13항에서, 상기 검출수단은 그에 의해 검출된 광으로부터 상기 박막형성 공정진행중 발생되는 광을 제거해주는 광학필터를 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  15. 제13항에서, 상기 검출수단은 상기 진공실 외부에 배치된 광검출기와, 수신된 분산된 광을 상기 광검출기를 전달하도록 상기 진공실을 한정하는 벽을 통해 상기 레이저 빔 커튼으로 들어가 있는 광섬유 다발을 포함하는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  16. 제11항에서, 상기 광섬유 다발은 상기 진공실의 벽을 밀봉적으로 통과한 튜브에 의해 커버되어 있는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  17. 제 1 항에서, 상기 장치는 박막형성 공정을 위한 진공실내에서 부유하는 입자를 검출하기 위해 사용되며, 상기 오목 및 볼록반사경들과 상기 레이저 원의 조립체는 상기 진공실내에 배치되며, 상기 검출수단은 입자들의 발생을 피하도록 상기 박막형성 공정을 제어하기 위한 제어수단과 연관되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
  18. 제17항에서, 상기 박막형성 공정은 스퍼터링 공정이며, 상기 조립체는 상기 레이저 빔 커튼이 하우징의 외부로 노출되는 식으로 상기 하우징내에 내장되며, 불활성 가스는 상기 하우징내로 도입되며, 그에 의해 상기 스퍼터링 공정진행 중 발생되는 입자들에 의해 상기 오목 및 볼록반사경들의 오염이 방지되는 것이 특징인 광전입자 검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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