JP5208671B2 - 赤外光ガスセンサ - Google Patents
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Description
20 多重反射光学系
21 基材
21A 銅基材
21B 樹脂基材
22a 低屈折率層
22b 高屈折率層
22 多層反射膜
25 被検出ガス導入口
26 被検出ガス排出口
27 光入射窓
30 受光センサ
40 コリメートレンズ
50 バンドパスフィルタ
60 演算手段
90 筐体
100 赤外光ガスセンサ
S 内部空間
Claims (9)
- 中心波長λ0の赤外光を放射する赤外光源と、放射された赤外光を所定の入射角で入射させて多重反射させるための多重反射光学系と、多重反射光学系から出射した赤外光を受光する受光センサとを備え、
前記多重反射光学系は、波長λ0における屈折率がnLである誘電体材料からなる低屈折率層と波長λ0における屈折率がnH(但し、nH>nH)である誘電体材料からなる高屈折率層とを交互に積層してなる多層反射膜を基材表面に備え、
前記基材が樹脂基材上に銅、アルミニウム、鉄、またはそれらを主成分とする合金からなる鏡面被膜が形成された基材であり、
前記多重反射光学系が形成する内部空間に被検出ガスを導入し、前記放射された赤外光を多重反射させながら前記被検出ガスに特定の波長の光を吸光させた後、前記多重反射光学系から出射させ、出射した前記吸光された光を前記受光センサにより測定することにより、前記被検出ガス中に含有される特定のガス成分を検知することを特徴とする赤外光ガスセンサ。 - 前記低屈折率層の光学膜厚がλ0/4であり、前記高屈折率層の光学膜厚がλ0/4である請求項1に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記多層反射膜が、前記低屈折率層と前記高屈折率層とを交互に積層してなる4〜6層の多層反射膜である請求項1または2に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記屈折率がnLである誘電体材料がAl2O3またはSiOからなり、前記屈折率がnHである誘電体材料がGeからなる請求項1〜3の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記多重反射光学系が、互いに平行に配設された一対の多層反射膜を備え、その多層反射膜に赤外光を所定の入射角で入射させた後、多重反射させ、多重反射された赤外光を出射させる構造を有する請求項1〜4の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記多重反射光学系が、それぞれ独立した複数の多層反射膜を備えるものであり、赤外光を所定の一の多層反射膜に所定の入射角で入射させ、入射した赤外光が前記複数の多層反射膜により多重反射された後、該多重反射された赤外光を多重反射光学系から出射させるように各多層反射膜が配設されている請求項1〜4の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記多重反射光学系が、放物面形状を有する基材表面に形成された多層反射膜を備える請求項1〜6の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記赤外光源から放射された赤外光をコリメートして前記多重反射光学系に入射させるためのコリメートレンズをさらに備える請求項1〜7の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
- 前記多重反射光学系から出射された赤外光の波長領域のうち所定領域のみの波長領域をフィルタリングするためのバンドパスフィルタをさらに備える請求項1〜8の何れか1項に記載の赤外光ガスセンサ。
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