JP2013029324A - 多重反射式ガスセル - Google Patents
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Abstract
従来の表面反射鏡では、ガスセルの気密保持のため表面反射鏡とガスセル外囲器の間に挿入されるガスケットと、表面反射鏡反射面にコーティングされる薄膜との親和性により、使用中にガスケットと薄膜表面が融着し、保守点検などで表面反射鏡を取り外す際に前記薄膜が反射面から不均一に剥離する事故が発生し、表面反射鏡の再利用が困難であった。
【解決手段】
反射率向上または反射面保護のために、セルCNの開閉蓋2または開閉蓋3の内方に配設された平面鏡4または平面鏡5の基板4aまたは基板5aに、反射率向上または反射面保護のためにコーティングされる薄膜4bまたは薄膜5bのコーティング範囲を、適切なマスキングによってセルCNの気密保持のため挿入されるOリング8RまたはOリング8Lと基板4aまたは基板5aが接触する領域を除いた領域に限定し、各薄膜表面と各Oリングの融着を防止する。
【選択図】 図1
Description
2 開閉蓋
3 開閉蓋
4 平面鏡
4a 基板
4b 薄膜
5 平面鏡
5a 基板
5b 薄膜
8L Oリング
8R Oリング
11 光線
16 Oリング
101 セルボディ
102 開閉蓋
103 開閉蓋
104 平面鏡
104a 基板
104b 薄膜
105 平面鏡
105a 基板
105b 薄膜
106 締結ネジ
107 締結ネジ
108L Oリング
108R Oリング
111 光線
114 押さえリング
C セル
CN セル
PZ Oリング領域
R 反射膜
RN 反射膜
S 保護膜
SN 保護膜
Claims (1)
- 吸光分析装置に用いられる多重反射式ガスセルであって、反射率向上または反射面保護のため前記ガスセルの内方に配設される表面反射鏡の反射面に施されるコーティングが、前記ガスセルの気密保持のため前記表面反射鏡とガスセル外囲器の間に挿入されるガスケットと前記表面反射鏡の接触領域を除いて施されていることを特徴とする多重反射式ガスセル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011163623A JP2013029324A (ja) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 多重反射式ガスセル |
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JP2011163623A JP2013029324A (ja) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 多重反射式ガスセル |
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JP2011163623A Pending JP2013029324A (ja) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 多重反射式ガスセル |
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- 2011-07-26 JP JP2011163623A patent/JP2013029324A/ja active Pending
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