JPS61245041A - ダストカウンタ− - Google Patents
ダストカウンタ−Info
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- JPS61245041A JPS61245041A JP60086804A JP8680485A JPS61245041A JP S61245041 A JPS61245041 A JP S61245041A JP 60086804 A JP60086804 A JP 60086804A JP 8680485 A JP8680485 A JP 8680485A JP S61245041 A JPS61245041 A JP S61245041A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
レーザビームを用いるダストカウンターにおいて、レー
ザビームをジグザグ型に走査させることにより、レーザ
ビームがダスト（微塵粒子）に当る確率を高め、ダスト
の数が少ないときでも短時間に高精度のデータを得る。
ザビームをジグザグ型に走査させることにより、レーザ
ビームがダスト（微塵粒子）に当る確率を高め、ダスト
の数が少ないときでも短時間に高精度のデータを得る。
本発明はダストカウンターに関するもので、さらに詳し
く言えば、レーザビームを用いるダストの針数において
、レーザビームがダストに当る確率を高めることによっ
て、ダスト密度が小なる場合においても、短時間内に、
場合によってはリアルタイムでダストに関するデータを
精度良く計数するカウンターに関するものである。
く言えば、レーザビームを用いるダストの針数において
、レーザビームがダストに当る確率を高めることによっ
て、ダスト密度が小なる場合においても、短時間内に、
場合によってはリアルタイムでダストに関するデータを
精度良く計数するカウンターに関するものである。
例えば最近の半導体集積回路の製造工程においては、１
立方フイート（約２８１）の体積空間中に数個のダスト
が存在しても問題とされる。そこで、高清浄度領域での
信頼性の高いダスト数確定が問題となっている。
立方フイート（約２８１）の体積空間中に数個のダスト
が存在しても問題とされる。そこで、高清浄度領域での
信頼性の高いダスト数確定が問題となっている。
従来は、光度形式、光量積算式、温度勾配式。
沈降式、静電気式、濾過式、吸引式などによってダスト
をカウントしてきたが、最近はレーザビームを用いる方
式が研′究されている。
をカウントしてきたが、最近はレーザビームを用いる方
式が研′究されている。
レーザビームによるダストカウンターの原理を第２図を
参照して説明すると、レーザ発振器１１から出されるレ
ーザビーム１２がダスト１３に当ると、散乱光１４が発
生するので、この散乱光を集光レンズ１５で集光し、受
光器１６で受ける。なお同図において、１７はレーザビ
ーム反射防止部材である。
参照して説明すると、レーザ発振器１１から出されるレ
ーザビーム１２がダスト１３に当ると、散乱光１４が発
生するので、この散乱光を集光レンズ１５で集光し、受
光器１６で受ける。なお同図において、１７はレーザビ
ーム反射防止部材である。
上記の装置で、ダスト密度が低いと測定に時間がかかっ
たりバラツキが大きくなる問題があり、第３図に示され
るダストカウンターが開発された。
たりバラツキが大きくなる問題があり、第３図に示され
るダストカウンターが開発された。
（応用物理Ｖｏ１．５４ Ｎｏ、３ 、１９８５ ｐ、
２６０．レーザビーム走査型ダストカウンター）レーザ
ビーム１２は回転ミラー１８によって矢印に示す如く往
復走査させられる。カメラ１９の後ろには光電子増倍管
２０を配置し、それはダストからの散乱光を受光し、ダ
ストに対応するパルス信号を出力するので、この信号を
パルスカウンター２１でカウントする。
２６０．レーザビーム走査型ダストカウンター）レーザ
ビーム１２は回転ミラー１８によって矢印に示す如く往
復走査させられる。カメラ１９の後ろには光電子増倍管
２０を配置し、それはダストからの散乱光を受光し、ダ
ストに対応するパルス信号を出力するので、この信号を
パルスカウンター２１でカウントする。
例えば半導体集積回路の製造工場におけるクリーンルー
ムでダストの密度を測定する場合、測定態様には数種あ
り、クリーンルールである一定期間内にどれだけのダス
トがカウントされるかをみたり、特定の場所例えば人の
出入りするところや現にマスクを用いて作業を行ってい
るところでカウントされるダストをみたり、さらには人
が動いた直後でどれだけのダストがカウントされるかを
みる、等がある。しかし、測定すべき場所に多くのダス
トカウンターを固定しておくことは費用の面から実際的
でないので、１つのダストカウンターの場所を移動して
カウントがなされる例が多い。そのようなとき、第３図
の装置のような可動部分をもったものを移動することは
好ましくなく、固定部分のみからなり、移動可能なダス
トカウンターが求められている。
ムでダストの密度を測定する場合、測定態様には数種あ
り、クリーンルールである一定期間内にどれだけのダス
トがカウントされるかをみたり、特定の場所例えば人の
出入りするところや現にマスクを用いて作業を行ってい
るところでカウントされるダストをみたり、さらには人
が動いた直後でどれだけのダストがカウントされるかを
みる、等がある。しかし、測定すべき場所に多くのダス
トカウンターを固定しておくことは費用の面から実際的
でないので、１つのダストカウンターの場所を移動して
カウントがなされる例が多い。そのようなとき、第３図
の装置のような可動部分をもったものを移動することは
好ましくなく、固定部分のみからなり、移動可能なダス
トカウンターが求められている。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、短時
間で精度良く測定でき、また支障なく移動可能なダスト
カウンターを提供することを目的とする。
間で精度良く測定でき、また支障なく移動可能なダスト
カウンターを提供することを目的とする。
第１図は本発明実施例の断面図である。
第１図において、レーザビーム１２は１対のミラー２２
ａ、 ２２ｂの間をジグザグ形に往復し、その行程にお
いてダスト１３に当ったとき発生する散乱光１４は集光
レンズ１５を経て受光器１６によってとらえられるもの
である。
ａ、 ２２ｂの間をジグザグ形に往復し、その行程にお
いてダスト１３に当ったとき発生する散乱光１４は集光
レンズ１５を経て受光器１６によってとらえられるもの
である。
第１図の装置においては、レーザビーム１２の行程を長
（することによってダスト１３に当る確率を大にするの
で、ダスト密度が低いときでも、短時間にデータを得る
ことができ、また、同装置は可動部分をもたないから測
定精度を高めることが可能になるのである。
（することによってダスト１３に当る確率を大にするの
で、ダスト密度が低いときでも、短時間にデータを得る
ことができ、また、同装置は可動部分をもたないから測
定精度を高めることが可能になるのである。
レーザ発振器１１から例えばＨｅ−Ｎｅレーザのビーム
１２を出すと、ミラー２２ａに当って反射されミラー２
２ｂに向かう。ここで、対向するミラー２２ａと２２ｂ
とを図に見て下方にすなわち受光器に向けて僅かに開く
よう配置すると、ビーム１２は、ミラーで反射しながら
ジグザク形に受光器１６に近づき、第２図に示した場合
に比べて行程が著しく大になり、ダスト１３に当る確率
が大になる。ビームがダストに当って発生する散乱光１
４は、従来例の場合と同様、集光レンズ１５を経て受光
器１６によりとらえられ、以後図示しない光電子増倍管
を経てパルスカウンターによりカウントされる。従って
、ダスト１３の数が少ないときでも、短時間内にダスト
の実状を測定することが可能になる。
１２を出すと、ミラー２２ａに当って反射されミラー２
２ｂに向かう。ここで、対向するミラー２２ａと２２ｂ
とを図に見て下方にすなわち受光器に向けて僅かに開く
よう配置すると、ビーム１２は、ミラーで反射しながら
ジグザク形に受光器１６に近づき、第２図に示した場合
に比べて行程が著しく大になり、ダスト１３に当る確率
が大になる。ビームがダストに当って発生する散乱光１
４は、従来例の場合と同様、集光レンズ１５を経て受光
器１６によりとらえられ、以後図示しない光電子増倍管
を経てパルスカウンターによりカウントされる。従って
、ダスト１３の数が少ないときでも、短時間内にダスト
の実状を測定することが可能になる。
また、ミラー２２ａ、 ２２ｂは固定しであるので、ダ
ストカウンターが移動したとしても、所望の時に直ちに
測定を開始することができ、また、すべてが固定しであ
るので、測定精度を高めることが可能になる。
ストカウンターが移動したとしても、所望の時に直ちに
測定を開始することができ、また、すべてが固定しであ
るので、測定精度を高めることが可能になる。
図示のカウンターは１ケ所に固定して積算カウントのた
めに使用することも、または所望の場所に移動し、そこ
でリアルタイムに測定をなす目的で使用することも可能
である。
めに使用することも、または所望の場所に移動し、そこ
でリアルタイムに測定をなす目的で使用することも可能
である。
前記した１対のミラーの開き具合は、ダストカウンター
の種類に応じ適宜選定し、またパルスカウンターによる
カウント数は、レーザビームがｎ往復したとすると、第
２図の装置を用いる場合に比べｎ倍になるから、精度は
著しく増大することになる。このことは、ダストカウン
ターを移動させ、ある特定の時点でリアルタイムでカウ
ントするときに特に有利である。
の種類に応じ適宜選定し、またパルスカウンターによる
カウント数は、レーザビームがｎ往復したとすると、第
２図の装置を用いる場合に比べｎ倍になるから、精度は
著しく増大することになる。このことは、ダストカウン
ターを移動させ、ある特定の時点でリアルタイムでカウ
ントするときに特に有利である。
以上述べてきたように、本発明によれば、レーザビーム
をジグザグ形に往復運動させてその行程を長くすること
により、ダスト密度の低いところでも、短時間に高精度
のダストについてのデータを得ることが可能になる。以
上気体中のダストについて記述したが、液体中のダスト
についても本発明が適用できることは言うまでもない。
をジグザグ形に往復運動させてその行程を長くすること
により、ダスト密度の低いところでも、短時間に高精度
のダストについてのデータを得ることが可能になる。以
上気体中のダストについて記述したが、液体中のダスト
についても本発明が適用できることは言うまでもない。
第１図は本発明実施例の断面図、
第２図は従来例の断面図、
第３図は従来例の斜視図である。
第１図ないし第３図において、
１１はレーザ発振器、
１２はレーザビーム、
１３はダスト、
１４は散乱光、
１５は集光レンズ、
１６は集光器、
１７はレーザビーム反射防止部材、
１８は回転ミラー、
１９はカメラ、
２０は光電子増倍管、
２１はパルスカウンタである。
冬発明賞堀ｐグ断面図
第１図
ィ濁１泉ａｑｅｒｆ１１！１
第２図
伐夫４Ｐ１科視図
第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザビーム（１２）を１対のミラー（２２ａ、２２ｂ
）の間で往復させ、 レーザビーム（１２）がダスト（１３）に衝突したとき
発生する散乱光を受光器（１６）を用いてカウントする
ことを特徴とするダストカウンター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60086804A JPS61245041A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | ダストカウンタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60086804A JPS61245041A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | ダストカウンタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61245041A true JPS61245041A (ja) | 1986-10-31 |
Family
ID=13896985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60086804A Pending JPS61245041A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | ダストカウンタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61245041A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6363943A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Shuji Fujii | 浮遊微粒子観測装置 |
| EP0321265A2 (en) * | 1987-12-18 | 1989-06-21 | Fujitsu Limited | Optoelectrical particle detection apparatus |
| JP2010280935A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 成膜装置 |
| CN105572003A (zh) * | 2014-11-10 | 2016-05-11 | 江苏美的清洁电器股份有限公司 | 用于吸尘器的灰尘浓度检测组件的控制方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663204A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-29 | Fujitsu Ltd | Monitor device of film thickness |
-
1985
- 1985-04-23 JP JP60086804A patent/JPS61245041A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663204A (en) * | 1979-10-26 | 1981-05-29 | Fujitsu Ltd | Monitor device of film thickness |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6363943A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Shuji Fujii | 浮遊微粒子観測装置 |
| EP0321265A2 (en) * | 1987-12-18 | 1989-06-21 | Fujitsu Limited | Optoelectrical particle detection apparatus |
| US5094533A (en) * | 1987-12-18 | 1992-03-10 | Fujitsu Limited | Optoelectrical particle detection apparatus |
| JP2010280935A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Mitsubishi Electric Corp | 成膜装置 |
| CN105572003A (zh) * | 2014-11-10 | 2016-05-11 | 江苏美的清洁电器股份有限公司 | 用于吸尘器的灰尘浓度检测组件的控制方法 |
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