JP2005510697A - 立体物形状検出方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
Description
測定処理の品質は、高品質な構成部品を使用することにより高められる。可能な測定方法により、センチ単位の物体の場合でも深度測定につき10μm未満の正確さで算定できる。
12 コンバータ
14 パルスレーザ
16 光線ディバイダ
18 レンズシステム
20 高反射鏡
22 レンズシステム
24 レンズシステム
26 CCDカメラ
28 CCDカメラ
30 高反射鏡
32 光線ディバイダ
Claims (26)
- a)測定対象物により散乱および/または反射および/または放射される光の伝達時間を光強度変調としてコード化するステップと、b)光強度または光強度分布を測定するステップと、c)測定データを評価し、立体物の形状を決定するステップとで構成されることを特徴とする立体物形状検出方法。
- 測定対象物は、光の伝達時間を光強度変調としてコード化するとともに光強度または光強度分布を測定する前に、適切な光源により照射されることを特徴とする請求項1に記載の立体物形状検出方法。
- 光強度変調としての光伝達時間のコード化は、光の吸収・反射・伝達および/または偏光状態を時間に応じて変化させる少なくとも一つのコンバータによってなされることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の立体物形状検出方法。
- 光伝達時間の光強度変調へのコード化は、色素、色素溶液、光学フィルタおよび/または半導体スイッチで構成される非線形吸収体によりなされることを特徴とする請求項3に記載の立体物形状検出方法。
- 前記色素は、トリフェニルメタン色素であることを特徴とする請求項4に記載の立体物形状検出方法。
- 前記半導体スイッチは、GaAs構造を有することを特徴とする請求項4に記載の立体物形状検出方法。
- 光伝達時間の光強度変調へのコード化は、偏光効果に基づき光学ゲートによりなされることを特徴とする請求項3に記載の立体物形状検出方法。
- 前記光学ゲートは、カーセルやポッケルスセルであることを特徴とする請求項7に記載の立体物形状検出方法。
- 偏光回転拡散は、使用液体の粘性変化により変化することを特徴とする請求項8に記載の立体物形状検出方法。
- 前記光源は、パルスレーザ光源であることを特徴とする請求項2に記載の立体物形状検出方法。
- 前記コンバータがパルスレーザ光源により照射され、その伝達あるいは吸収状態が変化することを特徴とする請求項3〜9に記載の立体物形状検出方法。
- 前記光強度測定は、CCDカメラ、CMOSカメラ、CCDラインカメラ、又はCMOSラインカメラのフィルムによってなされることを特徴とする請求項1〜11に記載の立体物形状検出方法。
- さらに、前記測定物で散乱および/または反射および/または放射する光の一つ以上の測定は、前記コンバータを通る光経路を経由せずになされることを特徴とする請求項1〜12に記載の立体物形状検出方法。
- 前記測定データの評価は、光強度変調としての光伝達時間の複数のコード化情報、光強度変調としての光伝達時間のずれ(オフセット)、および光強度測定値に基づきなされ、さらに/または光強度変調としての光伝達時間の複数のコード化情報、および複数の測定チャンネルによる光強度測定値に基づきなされることを特徴とする請求項1〜13に記載の立体物形状検出方法。
- 前記測定物で散乱および/または反射および/または放射する光の作用は、測定装置の一つ以上の光学ゲートにより制限されることを特徴とする請求項1〜14に記載の立体物形状検出方法。
- 前記評価および/または測定は、一次元または二次元でなされることを特徴とする請求項1〜15に記載の立体物形状検出方法。
- 前記測定データの評価は、光強度変調としての光伝達時間の複数のコード化情報および光強度測定値に基づきなされ、複数のコンバータを同時にまたは順に異なったチャンネルにて使用することを特徴とする請求項1〜16に記載の立体物形状検出方法。
- 測定物により放射される光の光強度測定ユニットを一つ以上設け、測定データの評価ユニットを一つ以上設けた立体物形状検出装置において、光の吸収・反射・伝達および/または偏光状態を時間に応じて変化させるコンバータを一つ以上設けたことを特徴とする立体物形状検出装置。
- 前記コンバータは、色素、色素溶液、光学フィルタおよび/または半導体スイッチで構成される非線形吸収体であることを特徴とする請求項18に記載の立体物形状検出装置。
- 前記色素はトリフェニルメタン色素であるとともに、前記半導体スイッチは、GaAs構造を有することを特徴とする請求項19に記載の立体物形状検出装置。
- 前記コンバータは、カーセルやポッケルスセルであることを特徴とする請求項18に記載の立体物形状検出装置。
- さらに光源を設けたことを特徴とする請求項18〜21に記載の立体物形状検出装置。
- 前記光源はパルスレーザであることを特徴とする請求項22に記載の立体物形状検出装置。
- 前記光強度測定ユニットは、CCDカメラ、CMOSカメラ、CCDラインカメラ、又はCMOSラインカメラであることを特徴とする請求項18〜23に記載の立体物形状検出装置。
- 複数の測定チャンネルを設けたことを特徴とする請求項18〜24に記載の立体物形状検出装置。
- さらに、鏡、一部透明な鏡、光学結像システムおよび/または光学ゲートを設けたことを特徴とする請求項18〜25に記載の立体物形状検出装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337309A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ricoh Co Ltd | 形状測定装置 |
JP2008190883A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nikon Corp | 計測装置 |
JP2014143690A (ja) * | 2008-11-25 | 2014-08-07 | Tetravue Inc | 高解像度三次元撮像のシステムおよび方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10157810A1 (de) * | 2001-11-27 | 2003-06-05 | Up Transfer Ges Fuer Wissens U | Dreidimensionale optische Formerfassung durch Intensitätskodierung der Pulslaufzeit |
US7643025B2 (en) | 2003-09-30 | 2010-01-05 | Eric Belk Lange | Method and apparatus for applying stereoscopic imagery to three-dimensionally defined substrates |
CN101566465B (zh) * | 2009-05-18 | 2011-04-06 | 西安交通大学 | 一种物体变形的实时测量方法 |
KR102496479B1 (ko) * | 2015-10-22 | 2023-02-06 | 삼성전자주식회사 | 3차원 카메라와 투과도 측정방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0192993A1 (de) * | 1985-01-31 | 1986-09-03 | Helmut A. Kappner | Verfahren und Anordnung zur dreidimensionalen optischen Erfassung von Objekten |
JPH04244904A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-01 | Olympus Optical Co Ltd | 干渉測定装置 |
DE4426515A1 (de) * | 1994-07-27 | 1996-02-01 | Erwin Dr Rer Nat Rojewski | Intensitätscodiertes 3D-Bilderkennungsverfahren |
JP2001108420A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-04-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 形状計測装置および形状計測方法 |
JP2001280927A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 3次元形状計測方法および装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11337988A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Asahi Glass Co Ltd | 光スイッチ |
DE10157810A1 (de) * | 2001-11-27 | 2003-06-05 | Up Transfer Ges Fuer Wissens U | Dreidimensionale optische Formerfassung durch Intensitätskodierung der Pulslaufzeit |
KR20060011163A (ko) * | 2004-07-29 | 2006-02-03 | 엘지전자 주식회사 | 광학 모듈을 이용한 검사 장치 |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0192993A1 (de) * | 1985-01-31 | 1986-09-03 | Helmut A. Kappner | Verfahren und Anordnung zur dreidimensionalen optischen Erfassung von Objekten |
JPH04244904A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-01 | Olympus Optical Co Ltd | 干渉測定装置 |
DE4426515A1 (de) * | 1994-07-27 | 1996-02-01 | Erwin Dr Rer Nat Rojewski | Intensitätscodiertes 3D-Bilderkennungsverfahren |
JP2001108420A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-04-20 | Fuji Xerox Co Ltd | 形状計測装置および形状計測方法 |
JP2001280927A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-10 | Fuji Xerox Co Ltd | 3次元形状計測方法および装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006337309A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ricoh Co Ltd | 形状測定装置 |
JP4673674B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2011-04-20 | 株式会社リコー | 形状測定装置 |
JP2008190883A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Nikon Corp | 計測装置 |
JP2014143690A (ja) * | 2008-11-25 | 2014-08-07 | Tetravue Inc | 高解像度三次元撮像のシステムおよび方法 |
US11627300B2 (en) | 2008-11-25 | 2023-04-11 | Nlight, Inc. | System and method of three-dimensional imaging |
Also Published As
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