KR890007354A - 새도우 마스크 제조 방법 - Google Patents

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세이지 사고
야스히사 오다께
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아오이 죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

내용 없음

Description

새도우 마스크 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 새도우 마스크에 대한 금속박판의 각 주표면 위에 감광수지 용액을 도포하기 위한 한도포장치를 도시한 다이어그램도.
제6도는 본 발명의 새도우 마스크에 대한 금속박판의 각 주표면위에 감광수지 용액을 도포하기 위한 다른 도포장치를 도시한 다이어그램도이다.

Claims (8)

  1. 제1및 제2주표면을 가진 밴드형 금속박판(1)이 제공되고, 제1및 제2주표면위에 제1 및 제2감광수 지층을 형성하고, 제1및 제2감광수지층에 노출및 현상에 의해 구멍과 대응하는 오프닝 패턴을 형성하고, 제1및 제2감광수지층을 애칭함으로써 상기 구멍들을 형성하는 것으로 구성되어있는, 3전자비임이 형광면위에 대응되는 형광층에 집중되는 것을 허용하는 구멍을 가진 금속 마스크 박판으로 이루어진 새도우 마스크 제조방법에 있어서, 상기 제1감광수지층은 위방향으로 향한 제1주표면을 가진 제1주표면위에 제1감광수지 용액(13)을 도포하고, 실질적으로 수평하게 금속박판(1)을 유지시키면서 도포된 제1감광수지 용액을 건조시킴으로서 상기 제1주표면을 형성하고, 도포된 금속박판을 제2주표면이 위로 향하도록 반전시키며, 상기 제2감광수지층은 위방향으로 향한 제2주표면을 가진 제2주표면위에 제2감광수지 용액(23)을 도포하고, 실질적으로 수평하게 금속박판(1)을 유지시키면서 도포된 제2감광수지 용액을 건조시킴으로서 상기 제2주표면이 형성되는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제1및 제2감광수지층은 상기 금속박판(1)이 수평으로 연속적으로 운송되는 동안 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 파이프 닥터(12)(22)는 상기 감광수지 용액을 가지고 밴드형 금속박판(1)을 도포하는데 이용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 역전 도포기는 상기 감광수지 용액을 가지고 밴드형 금속박판(1)을 도포하는데 이용되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 제1감광수지 용액은 제1건조로(15)에서 제1및 제2주표면 모두에 열을 가함으로서 건조되는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 제1 및 제2감광수지층은 다른 두께를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 제1감광수지층을 갖는 금속박판은 길이방향으로 운송되어, 턴로울러(10)를 이용하여 위로 들어 올려지며, 백 엎 로울러(21)를 이용하여 제1주표면이 아래방향이 되도록 반전되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 제2감광수지 용액은 제1감광수지층이 찬공기를 가함으로서 식혀지는 동안 가열되어 건조되는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880013997A 1987-10-28 1988-10-26 새도우 마스크 제조방법 KR920003675B1 (ko)

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