KR920003675B1 - 새도우 마스크 제조방법 - Google Patents

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내용 없음.

Description

새도우 마스크 제조방법

제 1 도는 새도우마스크의 한 구멍의 형상을 도시한 횡단면도.

제 2a 도는 내지 제 2c 도는 새도우 마스크 제조단계를 도시한 횡단면도.

제 3 도 및 제 4 도는 새도우 마스크 제조방법에 이용되는 종래의 감광수지 도포 장치를 도시한 단면도.

제 5 도는 본 발명의 새도우 마스크에 대한 금속박판의 각 주표면 위에 감광수지 용액을 도포하기 위한 도포장치를 도시한 다이어그램도.

제 6 도는 본 발명의 새도우 마스크에 대한 금속박판의 각 주표면위에 감광 수지 용액을 도포하기 위한 다른 도포장치를 도시한 다이어그램도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 금속박판 2, 2', 3, 3' : 오프닝

4a, 4b : 레지스트박막 5 : 오버행

6, 13, 23 : 레지스트용액 7, 9, 15, 25, 35 : 건조로

10 : 턴 로울러 11, 21 : 백업로울러

12, 22 : 파이프 닥터 14, 24 : 댐

16, 26 : 원적외선 히터 20, 30 : 공기공급탱크

27 : 공기팬 28 : 공기공급 파이프

29 : 공기유입부

본 발명은 칼라 수상관에 이용되는 새도우 마스크 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 새도우 마스크형 칼라 수상관은 미리 결정된 피치를 가지고 형성된 다수의 구멍들을 가진 새도우 마스크를 포함한다.

새도우 마스크는 스트라이트 패턴에 도포된 적, 녹, 청(이하 R, G, B라 한다) 3색 형광층을 가진 형광면과 근접하여 대향 배치된다.

형광층은 대응되는 3전자총으로부터 전자비임의 방사에 의해 R, G, B 3색빛을 방출한다. 새도우 마스크의 구멍들은 3전자비임이 R, G, B 3형광층위에 정확하게 집중되도록 선택적으로 통과시키는 것을 허용한다.

그리하여 그것은 칼라영상을 재생성시키는 것을 가능하게 한다. 즉 새도우 마스크는 칼라 선택기능을 가진 한 중요한 부재를 구성한다. 미리 결정된 위치로부터 대응되는 형광층에 대한 구멍의 위치 변동 및 새도우마스크에 대한 형광면의 거리 이동등 구멍들의 모양 및 크기에 있어서 변형은, 허용범위를 넘어서면 칼라 수상관에 대한 색순도의 쇠퇴와 같은 특성상 중대한 문제를 일으킨다.

새도우마스크의 각 구멍은 일반적으로 새도우 마스크를 향해 비스듬하게 입사하는 결정된 양의 전자비임이 통과하는 것을 허용할 수 있도록 배치되었다.

즉, 제 1 도에 도시된 바와 같이 새도우 마스크의 각 구멍(H)은 형광면측의 오프닝(2)및 전자총측의 오프닝(3)을 가지고 금속박판(1)내에 형성되어 있다.

이 경우에 오프닝(2)(큰 오프닝)은 오프닝(3)(작은오프닝)보다 크기가 크다.

이런 종류의 새도우 마스크는 아래와 같은 단계로 제조된다. 제 2a 도에 도시된 바와 같이, 감광제를 포함한 레지스트박막(4A)(4B)과 같은 감광성 수지 층들은 새도우 마스크용 소재로 이용되는 밴드형 금속박판(11)의 양쪽 주 표면위에 형성된다.

레지스트 박막은 구멍들의 배열의 크기와 일치하는 포토마스크패턴을 통하여 빛에 노출된다.

그때 큰 오프닝(2) 및 작은 오프닝(3)과 일치하는 오프닝(2')(3')은 현상함으로써 각각 레지스트 박막(4A)(4B)내에 형성된다. 금속박판(1)은 박판을 형성하는 특수한 소재를 에칭하기 위하여 적당한 에칭용액을 이용하면 에칭하기가 쉽다.

만일 금속박판(1)이 주로 철(FE)로 구성되었다면, 그것은 제 2c 도에 나타낸 구멍(H)을 제공하기 위하여 주성분으로서 염화제2철을 포함하는 에칭용액에 의해 에칭될 수 있다.

남아있는 레지스트박막(4A)(4B)은 편평한 마스크를 제공하기 위하여 밴드형 금속박판(1)으로부터 제거된다.

편평한 마스크는 완전한 새도우 마스크를 제공할 수 있는 형체로 된다. 제 1 도에 도시된 바와 같은 미리 결정된 구멍의 형태로 제공하기 위하여, 에칭은 최소 직경의 정확성을 위해 1차로 "작은 오프닝"측에 대해 조절되고 2차로 "큰 오프닝"측에 대해 조절되어야 한다.

에칭과정에서, 새로운 에칭용액과 기존의 에칭용액을 교환하면 큰 오프닝(2)의 위치에서 양호한 효과가 얻어지게 되므로, 결과적으로 에칭속도 및 에칭양은 "작은 오프닝"측보다 "큰 오프닝"측에서 더 커진다.

그러나 에칭단계의 조절에 있어서 다음과 같은 문제가 야기된다. "큰 오프닝"측 에칭에서, 큰 에칭속도 및 에칭양에 기인하는 측면 에칭의 진행이 일어난다. 측면 에칭에서, 오버행(overhang)(5)이 제 2c 도에 도시된 바와 같이 큰 오프닝(2)의 중심축을 향해 연장되어 레지스트 박막(4A)에 형성된다. 오버행(5)은 때때로 에칭용액이 뿜어지는 압력으로 인해 분리되거나 파괴된다.

결과로써 구멍들의 형태 및 크기의 변형에 기인하여, 레지스트박막(4A)의 파괴된 부분에서 에칭진행의 진전이 일어난다.

이러한 변형은 고정세도 칼라 수상관에서, 새도우 마스크의 감소된 직경을 갖는 구멍들의 배열을 짧은 피치로 발생시킨다.

금속박판이 두꺼우면 두꺼울수록, 에칭양은 점점 많아지고 처리되어야 할 에칭에 소요되는 시간은 점점많이 걸린다.

그리하여 측면에칭이, 상기한 바와 같이 구멍들의 형태 및 크기의 변형에 기인하여 진행되기 쉽다.

레지스트를 빛에 노출시키는 단계에 있어서, 패턴 마스크를 통과하는 빛은 금속박판(1)위의 레지스트 박막(4)내로 확산된다.

이에 빛은 레지스트 박막이 두꺼운 부분에서는 약하게 얇은 부분에서는 강하게 노출되도록 패턴 마스크를 통과한다. 레지스트 박막이 균일하지 않으면, 오프닝의 크기 정확도가 떨어진다. 레지스트 박막(4)은 일정한 노출조건에서 균일한 박막두께로 형성되는 것이 중요하다.

통상의 레지스트 도포 방법으로서, 제 3 도에서 도시된 플로우(flow)도포방법 및 제 4 도에 도시된 딥(dip)도포방법이 이용된다. 제 3 도에 도시된 플로우 도포방법에 있어서, 배드형 금속박판(1)은 수직으로 세위져 아래로 흐르는 레지스트용액(레지스트재료)(6)으로 각 표면에서 도포되며 한측단으로부터 연속적으로 공급된다.

금속박판은 레지스트 박막을 얻기 위하여 건조로(7)로 들어간다. 이렇게 얻어진 레지스트박막은 하방부보다 상방부에서 얇은데, 즉 박막 두께 차이는 중력작용에 의해 밴드형 금속박판의 폭을 통해 나타난다.

그러한 박막두께 차이를 없애기 위하여, 금속박판의 상방부가 하방부보다 빠른 속도로 건조될 수 있는 온도 분포도를 갖는 건조로가 이용되거나 또는 금속박판의 운송속도, 레지스트 박막의 점도, 등등이 여러조건에서 변화한다 하더라도 균일한 박막 두께는 얻어질 수 없다.

제 4 도에 도시된 딥 도포 방법에 있어서는, 세로로 운송되는 밴드형 금속박판(1)은 레지스트용액(6)이 담긴 레지스트탱크(8)내에 담가진 다음, 수직 방향으로 들어 올려져 그것을 건조시키기 위한 건조로(9)를 통과한다.

그리하여 얻어진 레지스트 박막은 그것이 금속박판의 각 표면에 고정될때까지, 각 표면을 따라 중력에 의해 아래로 흐르는 도포된 레지스트용액에 의해 세로방향으로 박막두께의 차이가 생긴다.

레지스트용액의 점도, 금속박판의 들어올려지는 속도, 건조로 내의 온도 분포도, 및 건조로내로 불어 들어가는 공기량등과 같은 조건이 박막두께차이를 없애기 위하여 변화한다하더라도, 균일한 레지스트 박막두께를 얻는 것은 불가능하다.

상기한 바와 같이, 도포된 금속박판은 불가피하게 중력에 의해 영향을 받으며, 균일한 두께의 레지스트 박막을 얻는데 실패하였다.

금속박판(1)이 두꺼워진다면, 위에 언급된 레지스트 박막은 오버행(5)부분에서 분리되거나 또는 파괴될 수 있을 정도의 긴에칭시간에 의해, 측면 에칭이 진행되기 쉽다.

이러한 문제점을 극복하기 위하여, 레지스트 박막이 역학력을 증진시키기 위하여 두꺼워졌다.

그러나 종래의 방법에 있어서, 레지스트박막을 더 두꺼운 두께로 고친다며, 도포 및 건조 조건 뿐만 아니라 주로 레지스트의 점도를 변화시키는 것이 필요하다.

이러한 단계가 상기 언급된 방법에 따라 실행된다 하더라도, 중력으로 인하여 균일한 레지스트 박막을 얻는 것은 불가능하다.

그리하여 어떤 대량 생산 라인에 있어서, 균일한 두께의 레지스트 박막을 얻는 것이 쉽지는 않다.

레지스트 박막의 양호한 치수정밀도를 가진 구멍들을 얻기 위해서는 레지스트박막(4)의 양호한 레졸루션(resolution)이 요구된다.

레졸루션은 레지스트 재료의 특성 및 레지스트 박막 두께에 좌우된다.

레지스트 박막이 얇을수록 레졸루션은 더 양호하다.

에칭단계에서, 오버행(5)이 분리되거나 또는 파괴되지 않는다면, 특히 새도우 마스크의 구멍들의 크기를 결정하는 작은 오프닝(3)측의 레지스트 박막은 큰 오프닝(2)측의 레지스트 박막과 비교하여 가능한한 얇게 만들어지는 것이 좋다.

예를 들면, 일본특개소 제60-70185호에는 레지스트 박막이 얇게 만들어졌더라도, 작은 오프닝측의 에칭시간이 짧은 것으로 인하여 레지스트막 두께가 얇더라도 오프닝의 오버행이 절대파괴되지 않는 2단계 에칭방법이 제안되어져 있다.

이 방법의 이용은 레지스트 박막을 새도우 마스크의 질을 저하시킴이 없이 얇게 만들 수 있는 것을 가능하게 한다.

그리하여 여러가지 장치가 고세정도의 새도우 마스크를 제조하기 위하여 제안되어졌으나, 구멍의 크기 정확도가 얻어질 수 있는 레지스트 박막을 균일하게 도포하기란 매우 어려웠다.

따라서, 본 발명의 목적은 밴드형 금속박판의 양측 표면상에 감광층의 두께를 서로 다르게 자유로이 변화시킬 수 있고, 밴드형 금속박판의 길이 방향 및 폭방향으로 균일한 두께의 감광층을 형성할 수 있는 새도우 마스크 제조방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 3전자비임이 수상관 형광면에 대응하는 형광층에 집중되는 것을 허용하는 구멍들의 배열을 가진 금속박판으로 구성되는 새도우 마스크 제조방법을 제공하는 것이다.

새도우 마스크는 아래와 같은 방법으로 제조된다.

밴드형 금속박판이 제1 및 제2주표면을 가지고 준비된다.

감광수지 용액은 금속박판 및 도포된 금속박판의 제1주표면위에 도포되고, 도포된 표면이 거의 수평상태를 유지하는 동안 건조되어, 제1감광수지층을 형성한다.

그후 금속박판은 제2주표면으로 뒤집어지며 제2주표면이 감광수지 용액으로 도포된다.

금속박판의 도포된 제2주표면은 수평상태를 유지하는 동안 건조되어 감광수지층을 형성한다.

그리고 이 금속박판의 제1 및 제2감광수지층은 노출 및 현상되어 새도우 마스크내의 구멍들의 배열과 일치하는 패턴이 형성되며, 그후 에칭처리되어 구멍이 형성된다.

이렇게 만들어진 밴드형 금속박판은 새도우 마스크를 얻기에 적당한 크기로 잘려진다.

상기 언급된 밴드형 금속박판은 제1및 제2의 감광수지층을 형성하기 위하여 도포 및 건조단계에서 연속적으로 수평으로 운송될 수 있다.

상기 언급된 건조단계에서, 금속박판의 제1주표면위의 감광수지층은 제1건조로에서 가열건조되고, 금속박판의 제2주표면상의 감광수지층은 제2건조로에서 가열건조되는 것이 바람직하다.

이것은 제1주표면위에 일단 형성된 감광수지층이 제2건조로내의 고온에서 재가열된다면, "열암반응(thermal dark reaction)"이 나타나 감광특성이 떨어지기 쉽기 때문이다.

종래의 방법에서 감광수지층 두께가 변한다면, 감광수지용액의 떨어뜨리는 속도 및 건조속도를 고려하여 도포장치의 여러가지 조건을 경험적으로 만족시켜 주어야 한다.

본 발명에 따르면, 원하는 층의 두께는 파이프 닥터(pipe doctor)같은 도포기(coater)와 금속박판 표면사이의 거리를 결정해줌으로써 간단히 얻어질 수 있다.

종래의 방법에 있어서는, 감광수지층이 금속박판위에 형성되는 매시간당 효율을 증가시키기 위하여, 금속박판의 운송속도를 올리고 실질적으로 운송 속도와 일치하는 길이가 긴 건조로를 이용하는 방법이 이용되었다.

본 발명에 따르면, 일정한 레지스트 재료의 용매에 대한 고체내용물의 비율을 증가시키고 동일한 고체내용물에 대한 용매의 상대적인 비율을 감소시키는 것에 의해 파이프 닥터 및 금속박판 표면 사이에 만들어지는 좁은 거리로 짧은 건조시간에서 감광수지층 형성의 효율을 증가시키는 것이 가능하다.

본 발명의 상세한 이해를 돕기 위하여, 첨부된 도면을 이용하여 상세히 설명한다.

제 5 도는 본 발명의 새도우 마스크 제조방법에 이용되는 도포장치를 나타낸다.

장치는 길이방향으로 밴드형 금속박판(1)을 운송하는 백업로울러(11) 및 백업로울러(11)를 위해 마련된 댐(dam)(14)을 포함한다.

댐(14)은 감광수지용액, 예를 들면, 상부표면 즉 금속박판(1)의 제1주표면에 공급되는 감광물을 포함하는 레지스트 용액(13)을 저장한다.

파이프 닥터(12)와 같은 도포기가 금속박판(1)에 레지스트 용액(13)을 가지고 미리 결정된 두께를 도포하기 위하여 백업로울러(11)위에 설치된다. 백업로울러(11)의 하류에는 레지스트재료를 건조시키기 위하여 제1건조로(15)를 설치한다.

턴 로울러(turn roller)(10)는 제1건조로(10)의 다음단계에 설치된다. 백업로울러(21)가 금속박판(1)을 제2주표면으로 뒤집기 위해 턴 로울러(10)에 의해 위로 들어올릴 수 있도록 턴로울러(10)에 제공되어 있다. 댐(14)과 유사한 댐(24) 및 파이프닥터(22)가 각각 백업로울러(21)에 제공된다.

백업로울러(21)의 하류에는 제2건조로가 설치된다.

상기 도포장치에 의한 새도우 마스크 제조과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저 철과같은 금속박판(1)이 새도우 마스크에 대한 재료로서 준비된다. 금속박판은 회전용 오일 및 녹방지 오일을 소거시키기 위하여, 알칼리 용액에서 80℃로 가열처리할 수 있는 탈지식(미도시)내로 들어간다.

그때 금속박판은 그 각주표면을 청결히 하기 위하여, 예를 들어 물로 닦는 세정실로 들어간다.

세정된 금속박판(1)은 제 5 도에 도시된 바와 같이 백업로울러(11)로 운송되어 감겨 뒤집어지면서, 댐(14)에 의해 공급되는 레지스트용액(13)이 금속박판(1)의 제1주표면에서 가해진다.

레지스트용액(13)은 레지스트 공급탱크(20)로부터 금속박판의 표면위의 댐(14)에 공급된다. 레지스트용액(13)으로서는 통상 사용되고 있는 어떤 종류의 재료가 이용될 수 있다.

감광수지용액은 10-1000cps의 점도를 가지며, 12-200cps의 점도가 바람직하다.

10cps이하의 점도에서 금속박판의 주표면에 도포된 감광수지 용액은 그 표면에서 안정성이 없으며, 건조단계에서 약한 진동에도 영향을 받기가 쉬워서 도포된 표면은 불규칙적인 패턴이 된다.

또한, 적은 고체내용물을 가지고 감광수지층을 두껍게 하는 것은 어려우며, 더 많은 용매로 인해 건조단계에서 시간이 더 많이 걸린다.

한편, 감광수지용액의 점도가 1000cps를 넘는다면, 감광수지용액이 도포기와 금속박판 사이를 통과할때 어떠한 전단응력도 가해지지 않는다. 그리하여 불규칙한 표면이 금속박판위에 형성되기 쉽다.

또한 많은 고체내용물 때문에 양호한 박막두께 제어가 어려워진다.

레지스트 재료의 한예로서, 감광수지용액은 약 100cps의 점도로 조절되어 이용되고 있으며, 약 1%의 중크롬산 암모늄이 섞여진 밀크 카제인으로부터 얻어질 수 있다.

레지스트 재료의 도포단계에서 흩어진 레지스트 재료는 댐(14) 아래 제공된 레지스트 재료 팬(pan)(미도시)에서 수집된다.

수집된 레지스트 용액은, 재사용하기 위하여 레지스트 용액 공급탱크(20)로 되돌리려고 레지스트 용액저장탱크(미도시)를 향해 펌프에 의해 펌핑될 수 있다.

금속박판(1)은 백업로울러(11) 및 로울러(10)사이의 통로를 따라 수평으로 운송된다.

수평운송하는 동안, 금속박판(1)의 제1주표면에 가해진 레지스트 물질은, 균일층이 금속박판위에 도포되도록 하기 위해 파이프 닥터(12)를 통과하여 움직인다.

금속박판의 표면에 도포되는 레지스트용액(13)의 두께는 파이프 닥터(12)와 금속박판(1)사이에 적당한 거리를 선택함으로써 변화시킬 수 있다.

따라서 파이프 닥터(12)는 금속박판에 대한 거리를 자유로이 변화시킬 수 있도록 위 아래로 움직일 수 있도록 설계되어 있다.

길이 방향으로 수평으로 운송되는 도포된 금속박판은 위, 아래방향으로 수직으로 가열될 수 있도록 건조로(15)로 들어가는데, 건조로는 상하에 원적외선 히터(16)가 제공되어 있다.

제1표면의 미리 결정된 레지스트 박막두께를 형성할 수 있도록, 금속박판은 턴 로울러(10)로부터 들어 올려져 백업로울러(21)에서 제2주표면으로 뒤집어진다.

레지스트가 금속박판의 제1주표면에 가해진 경우에 길이방향으로 수평으로 운송되는 동안 뒤집어진 금속 박판은 레지스트 공급탱크(30)로부터 공급된 레지스트용액(12)과 비슷한 레지스트용액(23)을 가진 댐(24) 의해 공급된 제2주표면이 형성되게 된다.

금속박판은 제2주표면위에 미리 결정된 균일한 레지스트 박막을 형성시키기 위하여 파이프 닥터(22)를 통과하여 운송된다.

레지스트 용액의 과잉양은 역시 재사용을 위해 수집된다.

수평을 운송되는 레지스트가 도포된 제2주표면을 가지는 금속박판은 건조로 상부에 제공된 원적선외선 히터(26)에 의해 가열되기 위해 제2건조로(25)로 들어간다.

그리하여 운송된 도포된 금속박판은 건조로의 상부로부터 하부를 향하는 방향에서 건조되며, 이때 레지스트 용액이 상기 언급한 밀크 카제인 및 중크롬산 암모늄으로 구성된다면 레지스트 용액은 90℃이상의 온도에서 가열되지 않도록 조절되어야 한다.

이것은 제1주표면위에 일단 형성된 레지스트 박막이 90℃이상의 온도에서 가열된다면, "열암반응"이 일어나기 쉽기 때문이다.

건조로(15)(25)에 대한 가열공급원으로 쉬드(sheathed)와이어 히터, 뜨거운 공기, 또는 이들의 조합체가 원적외선 히터 대신 이용될 수 있다.

금속박판(1)과 파이프 탁터(12)(22)의 거리가 100μm로 놓여져서 레지스트 박막이 금속박판의 표면에 도포될때, 7.0μm두께의 레지스트박막이 균일한 표면을 가지고 얻어졌다.

금속박판의 각주표면에 도포된 레지스트의 두께가 독립적으로 조절될 수 있으므로 표면상에 동일두께를 갖는 레지스트 박막을 형성하는 것이 가능하다.

예를 들면, 파이프 닥터(12)와 금속박판(1)의 거리가 약 80μm이고 파이프닥터(22)와 금속박판(1)의 거리가 약 120μm라면, 레지스트용액(13)(23)은 균일하게 도포된 층을 얻기 위해 각 주표면위에 도포되는데, 제1주표면에는 5.6μm두께가 제2주표면에는 8.4μm두께가 도포된다.

상기한 바로 판단할 수 있듯이, 운송속도 및 레지스트 용액의 점도와 같은 조건을 변화함이 없이, 다른 두께의 레지스트층이 금속박판과 닥터 사이의 거리를 변화시킴으로써 간단히 형성될 수 있다.

이때 레지스트 물질의 도포는 전술한 파이프닥터를 사용하는 방법이외에 나이프(knife)코팅이나 리버스코팅(reverse coating)법에 의해서도 이루어질 수 있다.

역전도포기를 사용하는 역전도포법을 응용하면, 새도우 마스크용 금속박판()의 이동방향에 대해 대향하는 방향으로 회전하는 코팅로울러 금속박판을 눌러서 목적하는 양의 레지스트 용액을 도포한다.

이때 코팅로울로의 레지스트용액의 공급은 레지스트용액 담은 용기에 잠기면서 회전하는 레지스트용액 공용로울러에 코팅로울러를 접촉시키는 방법에 의하거나, 또는 코팅로울러의 하부에 파이프탁터를 소정간 가지고 설치하여 그 간격만큼의 소정의 레치스트용액을 코팅로울러에 공급하는 방법을 사용한다.

새도우 마스크는 상기 묘사된 바와같이 레지스트 층이 도포된 양쪽 주표면을 갖는 금속박판으로부터 종래의 공정으로 만들어질수 있다.

예를 들면, 길이가 300m인 금속박판위에 상기 언급한 방법으로 7.0μm의 레지스트층을 형성한 것을 이용하여, 새도우 마스크는 다음과 같은 방법으로 제조될 수 있다.

금속막판에 도포된 레지스트는 미리 프린트와 패턴을 이용하여 약 1m떨어진 거리로부터 5kw의 초고전압 수은 램프에 의해 약 1분 동안 노출된다.

그 다음 약 40℃의 온수로 1분동안 1.0kg/cm²이 압력에서 스프레이 방법을 이용하여 약 1.5분 동안 가열한다.

결과로서, 제 1 도에 도시된 바와 같이 구멍(H)을 형성하는 오프닝이 레지스트층에 형성되고, 금속박판(1)의 표면부가 노출된다.

온도 67℃, 비중 1,467로 조정된 염화 제2철과 같은 에칭 용액은 레지스트 박막으로부터 300mm위치에 놓인 노즐로부터 레지스트 박막위로 분출된다.

에칭된 금속박판은 물로 씻어지며, 90℃의 1.5% 수산화나트륨 수용액을 남아있는 레지스트 박막을 제거하기 위하여 약 3분 동안 1kg/cm²의 압력에서 레지스트 박막위에 뿜는다.

이렇게 하여 얻어진 금속박판은 씻어지고, 그 내에 구멍들의 배열을 가진 밴드형 금속박판으로 구성된 편평한 마스크를 얻기 위해 건조된다.

새도우 마스크는 편평한 마스크를 형태에 따라 원하는 크기로 잘라서 얻어진다.

그리하여 얻어진 새도우 마스크는 구멍의 크기 정확도가 정밀하여 질이 우수하다.

본 발명에 따르면, 감광수지층 형성단계에서, 금속박판의 양측표면의 감광수지 박막의 두께를 서로 다르도록 자유로이 변화시키는 것이 가능하며 금속박판의 방향 및 길이방향으로 균일한 두께의 감광수지 박막을 형성하는 것이 가능하다.

그리하여 제조된 새도우 마스크는 구멍들의 크기의 정확도가 매우 우수하다.

본 발명에 따르면, 금속박판의 각 주표면위에 원하는 두께를 갖는 감광수지 박막을 형성하는 공정에서, 감광수지용액에 요구되는 도포두께는 감광수지 용액속의 고체 내용물로부터 계산되며, 그것은 본 발명에 따르면 단지 파이프 닥터와 금속박판의 표면 사이의 간격 또는 거리를 제공하는 것으로 충분하다.

다른 말로 말하면, 어떤 원하는 감광수지 박막은 그 거리를 변화시킴으로서 얻어질 수 있으며, 만약 금속 박판이 변화하는 속도로 운송된다 하더라도 그 사이에 미리 결정된 거리를 주면 감광수지 박막의 두께는 일정하게 된다.

감광수지 용액이 실질적으로 수평으로 운송되는 금속박판의 상부 표면에 도포되므로, 종래의 방법에서 나타나던 금속박판을 따라 흘러내리거나 떨어지는 것과 같은 형상은 절대 일어나지 않으며, 건조단계에서 금속박판 표면의 감광수지 용액을 거기서 고정되어 수평위치에서 건조된다.

결과로 어떤 불균일한 감광수지층도 종래와 같이 중력에 의해 흘러내리거나 떨어지지 않고 금속박판위 및 길이, 폭을 통하여 나타나지 않는다. 제 6 도는 본 발명의 수행에 이용되는 또다른 도포장치이다. 이 장치는 건조로(35)의 특수한 배열을 제외하고는 제 5 도의 장치와 같으며, 제 5 도에 도시된 부품 또는 장치에 일치 하는 동일한 부품도는 장치를 표시하기 위해 동일한 참고 부호가 제 6 도에 사용되었다.

제 6 도에서 알 수 있듯이, 건조로(35)는 그 하부에 공기공급파이프(28)를 경유하여 공기팬(fan)(27)에 연결된 공기유입부(29)를 갖는다. 레지스트 박막은 제 6 도의 장치에 의해, 제 5 도와 관련하여 설명한 것과 같은 방법으로 금속박판의 각 주표면위에 형성될 수 있다.

제 6 도에 도시된 장치에 있어서, 건조로(35)의 입구에서는 도포는 되었으나 건조되지 않은 레지스트층의 제2주표면은 상부로부터 건조로의 하부방향으로 원적외선 히터(26)에 의해 건조되며, 한편 찬 공기가 제1주표면위에 형성된 레지스트 박막을 식히기 위하여 공기 공급라이프(28) 및 공기 유입구(29)를 통하여 공기 팬(27)으로부터 건조로 내부로 보내진다.

그리하여 제 6 도의 장치를 이용하여, "열암반응"이 금속박판의 제1주표면위의 레지스트 박막위에 나타나는 것을 좀더 효과적으로 방지할 수 있는 장점이 있다.

Claims (5)

1. 제1 및 제2주표면을 가진 밴드형 금속박판(1)이 제공되고, 제1및 제2주표면위에 제1 및 제2감광수지층을 형성하고, 제1 및 제2감광수지층에 노출 및 형상에 의해 구멍과 대응하는 오프닝패턴을 형성하고, 제1 및 제2감광 수지층을 에칭함으로써 상기 구멍등을 형성하는 것으로 구성되어 있는, 3전자비임이 형과면위에 대응되는 형광층에 집중되는 것을 허용하는 구멍을 가진 금속마스크 박판으로 이루어진 새도우 마스크 제조방법에 있어서, 상기 제1감광 수지층은 윗방향으로 향한 제1주면을 가진 제1주표면위에 제1감광수지용액(13)을 도포하고, 실질적으로 수평하게 금속박판(1)을 유지시키면서 도포된 제1감광수지 용액을 건조시킴으로써 상기 제1주표면을 형성하고, 도포된 금속박판을 길이방향으로 이동시키고 턴로울러(10)를 사용하여 위로 들어올리고 백업로울러(21)를 사용하여 방향을 변화시키므로써 제1주표면이 아래쪽을 향하도록 하고, 상기 제2감광 수지층은 윗방향으로 향한 제2주표면을 가진 제2주표면위에 제2감광수지용액(23)을 도포하고, 실질적으로 수평하게 금속박판(1)을 유지시키면서 도포된 제2감광수지용액을 건조시킴으로써 상기 제2주표면이 형성되는 것을 특징으로 하는 새도우 마스크 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 제1 및 제2감광수지층은 상기 금속박판(1)이 수평으로 연속적으로 운송되는 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제 1 항에 있어서, 제1감광 수지용액은 제1건조로(15)에서 제1 및 제2주 표면 모두에 열을 가함으로써 건조되며 상기 제2감광 수지용액을 제2건조로에서 제2주 표면만을 가열하여 건조되는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제 1 항에 있어서, 제1 및 제2감광 수지층은 다른 두께를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제 1 항에 있어서, 제2감광수지용액은, 제1감광 수지층이 찬공기를 가함으로서 식혀지는 동안 가열되어 건조되는 것을 특징으로 하는 방법.

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