JP3034292B2 - 感光液塗布方法 - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
- B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
- B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
- B05C1/0856—Reverse coating rollers
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、カラーブラウン管のシャドウマスクを製造
する際、鉄板に感光液を塗布する感光液塗布方法に関す
る。
する際、鉄板に感光液を塗布する感光液塗布方法に関す
る。
（従来の技術） 第７図は、カラーブラウン管のシャドウマスク製造工
程内で鉄板１に感光液２（第８図に図示）を塗布するた
めに用いられる従来の装置の概略を示すものである。
程内で鉄板１に感光液２（第８図に図示）を塗布するた
めに用いられる従来の装置の概略を示すものである。
第７図において、11は長尺の鉄板１を巻き付けてある
巻き出し機、12はシームウェルダー（溶接機）、13は走
行する鉄板１にバックテンションを与えるバックテンシ
ョン装置、14は洗浄槽、15は乾燥炉、16は塗工機、17は
乾燥炉、18は鉄板１を走行させる鉄板駆動装置、19は鉄
板１を巻き取る巻き取り機である。なお、シームウェル
ダー12は、ある巻き出し機11に巻き付けられた鉄板１が
なくなり、他の巻き出し機11から新しい鉄板１を巻き出
すときに、それぞれの鉄板１の端部を溶接するためのも
のである。
巻き出し機、12はシームウェルダー（溶接機）、13は走
行する鉄板１にバックテンションを与えるバックテンシ
ョン装置、14は洗浄槽、15は乾燥炉、16は塗工機、17は
乾燥炉、18は鉄板１を走行させる鉄板駆動装置、19は鉄
板１を巻き取る巻き取り機である。なお、シームウェル
ダー12は、ある巻き出し機11に巻き付けられた鉄板１が
なくなり、他の巻き出し機11から新しい鉄板１を巻き出
すときに、それぞれの鉄板１の端部を溶接するためのも
のである。
また、第８図は、前記塗工機16の断面図である。
第８図において、21は上面を開口し感光液２が収容さ
れる容器で、この容器21の底部には、鉄板１が下から上
へ通過するスリット22が開口形成されているとともに、
このスリット22を囲んでワイパー23が設けられている。
このワイパー23は、鉄板１に摺動自在かつ液密に密着し
て感光液２が漏れ出すのを防止するものである。
れる容器で、この容器21の底部には、鉄板１が下から上
へ通過するスリット22が開口形成されているとともに、
このスリット22を囲んでワイパー23が設けられている。
このワイパー23は、鉄板１に摺動自在かつ液密に密着し
て感光液２が漏れ出すのを防止するものである。
つぎに、従来の感光液塗布工程の概略を説明する。
第７図に示すように、巻き出し機11より出た鉄板１
は、シームウェルダー12の下を通り、バックテンション
装置13の間を通った後、洗浄槽14で、表面に付着した塵
埃、汚れを洗い落とされる。ついで、鉄板１は、乾燥炉
15で水分が除去され、塗工機16を通過する。
は、シームウェルダー12の下を通り、バックテンション
装置13の間を通った後、洗浄槽14で、表面に付着した塵
埃、汚れを洗い落とされる。ついで、鉄板１は、乾燥炉
15で水分が除去され、塗工機16を通過する。
この塗工機16においては、第８図に示すように、鉄板
１が容器21にスリット22を介して下側から入り、感光液
２の中を通って上に引き上げられる。このとき、鉄板１
はその表面全体に感光液２がついたまま引き上げられ
る。
１が容器21にスリット22を介して下側から入り、感光液
２の中を通って上に引き上げられる。このとき、鉄板１
はその表面全体に感光液２がついたまま引き上げられ
る。
こうして感光液２の塗布された鉄板１は、つぎに第７
図に示す乾燥炉17を通過する。ここで、感光液２は、加
熱されて水分が蒸発するため、鉄板１の表面に固定され
る。こうして、鉄板１の表面にレジスト膜３（第９図に
図示）が形成される。さらに、鉄板１は、鉄板駆動装置
18を通って、巻き取り機19に巻き取られる。
図に示す乾燥炉17を通過する。ここで、感光液２は、加
熱されて水分が蒸発するため、鉄板１の表面に固定され
る。こうして、鉄板１の表面にレジスト膜３（第９図に
図示）が形成される。さらに、鉄板１は、鉄板駆動装置
18を通って、巻き取り機19に巻き取られる。
ところで、乾燥状態でのレジスト膜３の厚さは、感光
液２の濃度、粘度と鉄板１の引上げ速度と乾燥炉17にお
ける加熱エネルギーとにより決定される。すなわち、感
光液２の濃度、粘度が高く、鉄板１の引き上げ速度が速
く、乾燥炉17における加熱エネルギーが大きければ、レ
ジスト膜３の厚さは厚くなる。
液２の濃度、粘度と鉄板１の引上げ速度と乾燥炉17にお
ける加熱エネルギーとにより決定される。すなわち、感
光液２の濃度、粘度が高く、鉄板１の引き上げ速度が速
く、乾燥炉17における加熱エネルギーが大きければ、レ
ジスト膜３の厚さは厚くなる。
レジスト膜３の膜厚を厚くするために、感光液２の濃
度を高くすると、それに伴って粘度も高くなるが、あま
り高くしすぎると、感光液２内に泡ができやすくなり、
膜不良となったり、膜厚のばらつきが大きくなったりし
てしまう。
度を高くすると、それに伴って粘度も高くなるが、あま
り高くしすぎると、感光液２内に泡ができやすくなり、
膜不良となったり、膜厚のばらつきが大きくなったりし
てしまう。
また、鉄板１の引き上げ速度を速くすると、乾燥炉17
の長さを長くしなければ、乾燥できなくなる。一方、乾
燥炉17の加熱エネルギーを強くしすぎると、鉄板１に塗
布された感光液２の表面のみが急激に乾燥して、感光液
２の表面の重量が重くなるが、感光液２における鉄板１
に近い方はまだ液状のため、液だれが生じ、膜厚が不安
定になる。これは、乾燥炉17において鉄板１が鉛直にな
った状態で乾燥が行なわれることも一因であるが、塗工
機16から鉛直に引き上げられた鉄板１は全体に感光液２
が塗布された状態になっているから、乾燥は鉄板１が鉛
直になった状態で行なわざるを得ない。
の長さを長くしなければ、乾燥できなくなる。一方、乾
燥炉17の加熱エネルギーを強くしすぎると、鉄板１に塗
布された感光液２の表面のみが急激に乾燥して、感光液
２の表面の重量が重くなるが、感光液２における鉄板１
に近い方はまだ液状のため、液だれが生じ、膜厚が不安
定になる。これは、乾燥炉17において鉄板１が鉛直にな
った状態で乾燥が行なわれることも一因であるが、塗工
機16から鉛直に引き上げられた鉄板１は全体に感光液２
が塗布された状態になっているから、乾燥は鉄板１が鉛
直になった状態で行なわざるを得ない。
このように、従来の感光液塗布方法では、非常に不安
定な状態で生産が行なわれている。
定な状態で生産が行なわれている。
また、鉄板１が感光液２の中を通過してくるため、乾
燥したときの断面は第９図に示すようになり、鉄板１の
両側の端縁部でレジスト膜３が厚くなる。いわゆるファ
ット・エッジである。すなわち、第９図に示すように、
鉄板１の一方の面の中央部でのレジスト膜３の膜厚を
t1、端縁部での膜厚をt2、他方の面の中央部での膜厚を
t3とするとき、t1＝t3であるが、t2＝ａ×t1とすると、
ａは約1.3〜1.4である。さらに、同様に鉄板１全体が感
光液２の中を通過することにより、鉄板１の両側の端縁
の面にも感光液２が塗布されることになる。
燥したときの断面は第９図に示すようになり、鉄板１の
両側の端縁部でレジスト膜３が厚くなる。いわゆるファ
ット・エッジである。すなわち、第９図に示すように、
鉄板１の一方の面の中央部でのレジスト膜３の膜厚を
t1、端縁部での膜厚をt2、他方の面の中央部での膜厚を
t3とするとき、t1＝t3であるが、t2＝ａ×t1とすると、
ａは約1.3〜1.4である。さらに、同様に鉄板１全体が感
光液２の中を通過することにより、鉄板１の両側の端縁
の面にも感光液２が塗布されることになる。
ファット・エッジは、次工程以降で鉄板１の巻きずれ
を起こす原因となり、好ましくない。それは、鉄板１を
巻き取り用円筒に巻き付けたとき、鉄板１の両側の端縁
部のみで力が加わり、鉄板１の中央部は隙間があいた状
態となるためである。
を起こす原因となり、好ましくない。それは、鉄板１を
巻き取り用円筒に巻き付けたとき、鉄板１の両側の端縁
部のみで力が加わり、鉄板１の中央部は隙間があいた状
態となるためである。
また、鉄板１の両側の端縁の面に付着した感光材４
（第９図図示）は、本来必要のないものであるが、非常
に剥がれやすいため、次工程以降で落下して塵埃とな
り、特に露光工程では、感光用の原版を汚してしまうた
め、ない方がよい。
（第９図図示）は、本来必要のないものであるが、非常
に剥がれやすいため、次工程以降で落下して塵埃とな
り、特に露光工程では、感光用の原版を汚してしまうた
め、ない方がよい。
第10図はエッチング工程を示している。露光工程後の
エッチング工程においては、鉄板１の両面にそれぞれエ
ッチング液５を噴き付けて、エッチングを行なうことに
より、鉄板１におけるレジスト膜３の未露光部分に対応
する位置に電子ビーム通過穴が形成される。エッチング
によるこの電子ビーム通過穴は、鉄板１の一面側からは
大穴６として形成され、他面側からは小穴７として形成
される。なお、第10図において、エッチング液５を示す
矢印は、長さがスプレー圧に対応している。
エッチング工程においては、鉄板１の両面にそれぞれエ
ッチング液５を噴き付けて、エッチングを行なうことに
より、鉄板１におけるレジスト膜３の未露光部分に対応
する位置に電子ビーム通過穴が形成される。エッチング
によるこの電子ビーム通過穴は、鉄板１の一面側からは
大穴６として形成され、他面側からは小穴７として形成
される。なお、第10図において、エッチング液５を示す
矢印は、長さがスプレー圧に対応している。
ところで、最近のエッチング工程では、エッチング時
間を短縮するために、エッチング液５のスプレー圧を高
くする傾向が強い。特に穴の深さが深い大穴６側は、ス
プレー圧を高くしている。しかし、このスプレー圧をあ
まり高くすると、レジスト膜３が欠け、電子ビーム通過
穴を設計通りの形状に開けられなくなる。
間を短縮するために、エッチング液５のスプレー圧を高
くする傾向が強い。特に穴の深さが深い大穴６側は、ス
プレー圧を高くしている。しかし、このスプレー圧をあ
まり高くすると、レジスト膜３が欠け、電子ビーム通過
穴を設計通りの形状に開けられなくなる。
これは、大穴６側のレジスト膜３の膜厚を小穴７側の
膜厚より厚くすれば解決できる問題ではあるが、前述の
ように、従来の感光液塗布方法では、レジスト膜３は、
鉄板１の両面で同じ厚さとなり、しかも、あまり厚くで
きない。
膜厚より厚くすれば解決できる問題ではあるが、前述の
ように、従来の感光液塗布方法では、レジスト膜３は、
鉄板１の両面で同じ厚さとなり、しかも、あまり厚くで
きない。
（発明が解決しようとする課題） 前述のように、従来の感光液塗布方法では、容器内の
感光液の中に鉄板を通過させていたため、鉄板の面全体
に感光液を均一に塗布することができないとともに、不
良も生じやすく、また、鉄板の表裏両面で感光液の塗布
厚さを変えることができず、さらに、鉄板の両側の端縁
の面に本来必要のない余剰の感光液が付着しやすいなど
の問題があった。
感光液の中に鉄板を通過させていたため、鉄板の面全体
に感光液を均一に塗布することができないとともに、不
良も生じやすく、また、鉄板の表裏両面で感光液の塗布
厚さを変えることができず、さらに、鉄板の両側の端縁
の面に本来必要のない余剰の感光液が付着しやすいなど
の問題があった。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもの
で、鉄板の面全体に感光液を不良なく均一な厚さで塗布
することができるとともに、鉄板の表裏両面でそれぞれ
感光液の塗布厚さを自由に設定することができ、しか
も、鉄板の両側の短縁の面に感光液が付着しにくくでき
る感光液塗布方法を提供することを目的とする。
で、鉄板の面全体に感光液を不良なく均一な厚さで塗布
することができるとともに、鉄板の表裏両面でそれぞれ
感光液の塗布厚さを自由に設定することができ、しか
も、鉄板の両側の短縁の面に感光液が付着しにくくでき
る感光液塗布方法を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段） 本発明の請求項１記載の感光液塗布方法は、カラーブ
ラウン管のシャドウマスク製造工程内で、長尺の鉄板に
感光液を塗布する感光液塗布方法において、走行する鉄
板が掛け渡される２本のローラーと、これら２本のロー
ラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交差する方向
に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが鉄板の幅よ
り長く軸方向に両端部が鉄板の両側方に突出した中間ロ
ーラーと、この中間ローラーに対向して位置する感光液
塗布ノズルとを備えた塗布装置を用いて、前記感光液塗
布ノズルにより、鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回
転する前記中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を
塗布し、この中間ローラーに塗布された感光液を前記２
本のローラー間で鉄板に連続的に転写塗布しながら、余
剰の感光液を鉄板の両側の端縁の面の近傍位置から前記
中間ローラーの軸方向の両端部に戻すものである。
ラウン管のシャドウマスク製造工程内で、長尺の鉄板に
感光液を塗布する感光液塗布方法において、走行する鉄
板が掛け渡される２本のローラーと、これら２本のロー
ラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交差する方向
に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが鉄板の幅よ
り長く軸方向に両端部が鉄板の両側方に突出した中間ロ
ーラーと、この中間ローラーに対向して位置する感光液
塗布ノズルとを備えた塗布装置を用いて、前記感光液塗
布ノズルにより、鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回
転する前記中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を
塗布し、この中間ローラーに塗布された感光液を前記２
本のローラー間で鉄板に連続的に転写塗布しながら、余
剰の感光液を鉄板の両側の端縁の面の近傍位置から前記
中間ローラーの軸方向の両端部に戻すものである。
本発明の請求項２記載の感光液塗布方法は、カラーブ
ラウン管のシャドウマスク製造工程内で、長尺の鉄板に
感光液を塗布する感光液塗布方法において、走行する鉄
板が掛け渡される２本のローラーと、これら２本のロー
ラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交差する方向
に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが鉄板の幅よ
り長く軸方向の両端部が鉄板の両側方に突出した中間ロ
ーラーと、この中間ローラーに対向して位置する感光液
塗布ノズルとを備え、鉄板の一方の面および他方の面に
それぞれ対応して設けられた塗布装置を用いて、前記一
方の塗布装置の感光液塗布ノズルにより鉄板の走行方向
と相対的に逆方向へ回転する前記一方の塗布装置の中間
ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布してから、
この中間ローラーに塗布された感光液を鉄板の一方の面
に連続的に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板の両側
の端縁の面の近傍位置からこの中間ローラーの軸方向の
両端部に戻し、前記他方の塗布装置の感光液塗布ノズル
により鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回転する前記
他方の塗布装置の中間ローラーにいったん均一な感光液
の膜を塗布してから、この中間ローラーに塗布された感
光液を一方の面に感光液が転写塗布されている鉄板の他
方の面に連続的に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板
の両側の端縁の面の近傍位置からこの中間ローラーの軸
方向の両端部に戻すものである。
ラウン管のシャドウマスク製造工程内で、長尺の鉄板に
感光液を塗布する感光液塗布方法において、走行する鉄
板が掛け渡される２本のローラーと、これら２本のロー
ラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交差する方向
に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが鉄板の幅よ
り長く軸方向の両端部が鉄板の両側方に突出した中間ロ
ーラーと、この中間ローラーに対向して位置する感光液
塗布ノズルとを備え、鉄板の一方の面および他方の面に
それぞれ対応して設けられた塗布装置を用いて、前記一
方の塗布装置の感光液塗布ノズルにより鉄板の走行方向
と相対的に逆方向へ回転する前記一方の塗布装置の中間
ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布してから、
この中間ローラーに塗布された感光液を鉄板の一方の面
に連続的に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板の両側
の端縁の面の近傍位置からこの中間ローラーの軸方向の
両端部に戻し、前記他方の塗布装置の感光液塗布ノズル
により鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回転する前記
他方の塗布装置の中間ローラーにいったん均一な感光液
の膜を塗布してから、この中間ローラーに塗布された感
光液を一方の面に感光液が転写塗布されている鉄板の他
方の面に連続的に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板
の両側の端縁の面の近傍位置からこの中間ローラーの軸
方向の両端部に戻すものである。
（作用） 本発明の感光液塗布方法は、感光液塗布ノズルにより
中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布してか
ら、鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回転するこの中
間ローラーに塗布された感光液を、走行する鉄板が掛け
渡されている２本のローラー間の位置で、鉄板に連続的
に転写塗布することにより、鉄板の面全体に感光液を不
良なく均一な厚さで塗布できるようにしたものである。
また、このような感光液塗布ノズルおよび中間ローラー
による塗布は、鉄板に対して片面ずつ行なわれることに
なるので、鉄板の表裏両面に別々に感光液を塗布するこ
とが可能であり、鉄板の表裏両面でそれぞれ感光液の塗
布厚さを自由に設定することが可能になる。さらに、鉄
板への感光液の転写塗布の際に、余剰の感光液を鉄板の
両側の端縁の面の近傍位置から中間ローラーの軸方向の
両端部に戻すので、鉄板の両側の端縁の面に感光液が付
着しにくくなる。
中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布してか
ら、鉄板の走行方向と相対的に逆方向へ回転するこの中
間ローラーに塗布された感光液を、走行する鉄板が掛け
渡されている２本のローラー間の位置で、鉄板に連続的
に転写塗布することにより、鉄板の面全体に感光液を不
良なく均一な厚さで塗布できるようにしたものである。
また、このような感光液塗布ノズルおよび中間ローラー
による塗布は、鉄板に対して片面ずつ行なわれることに
なるので、鉄板の表裏両面に別々に感光液を塗布するこ
とが可能であり、鉄板の表裏両面でそれぞれ感光液の塗
布厚さを自由に設定することが可能になる。さらに、鉄
板への感光液の転写塗布の際に、余剰の感光液を鉄板の
両側の端縁の面の近傍位置から中間ローラーの軸方向の
両端部に戻すので、鉄板の両側の端縁の面に感光液が付
着しにくくなる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図ないし第６図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第１図は、カラーブラウン管のシャドウマスク製造工
程内で鉄板１に感光液２（第３図に図示）を塗布するた
めに用いられる装置の概略を示すものである。
程内で鉄板１に感光液２（第３図に図示）を塗布するた
めに用いられる装置の概略を示すものである。
第１図において、31は長尺の鉄板１を巻き付けてある
巻き出し機、32はシームウェルダー、33はバックテンシ
ョン装置、34は洗浄槽、35は乾燥炉、36は表側塗工機、
37は乾燥炉、38はターンローラーである。これら巻き出
し機31からターンローラー38までは２階に設置されてい
る。
巻き出し機、32はシームウェルダー、33はバックテンシ
ョン装置、34は洗浄槽、35は乾燥炉、36は表側塗工機、
37は乾燥炉、38はターンローラーである。これら巻き出
し機31からターンローラー38までは２階に設置されてい
る。
また、39はターンローラー、40は裏側塗工機、41は乾
燥炉、42は鉄板駆動装置、43は巻き取り機である。これ
らターンローラー38から巻き取り機43までは１階に設置
されている。
燥炉、42は鉄板駆動装置、43は巻き取り機である。これ
らターンローラー38から巻き取り機43までは１階に設置
されている。
ここで、塗工機36,40および乾燥炉37,41以外は、第７
図に示す従来のものと同様である。乾燥炉37,41は、従
来の乾燥炉17では鉄板１が鉛直になった状態で乾燥が行
なわれていたのに対して、鉄板１が水平になった状態で
乾燥が行なわれる点が異なっている。
図に示す従来のものと同様である。乾燥炉37,41は、従
来の乾燥炉17では鉄板１が鉛直になった状態で乾燥が行
なわれていたのに対して、鉄板１が水平になった状態で
乾燥が行なわれる点が異なっている。
第２図ないし第４図は、前記塗工機36,40の詳細を示
すものである。表側塗工機36と裏側塗工機40とは同様の
構造になっている。
すものである。表側塗工機36と裏側塗工機40とは同様の
構造になっている。
第２図に示すように、塗工機36,40は、矢印で示す方
向へ走行する鉄板１が張力の加わった状態で掛け渡され
る回転自在の３本のターンローラー51,52,53およびバッ
キングローラー54を有している。さらに、隣接するター
ンローラー53とバッキングローラー54との間にはコーテ
ィングローラー（中間ローラー）55が設けられている。
このコーティングローラー55は、ターンローラー53とバ
ッキングローラー54との中間位置で鉄板１に外周面が摺
動自在に圧接するものであるが、図示しない駆動源によ
り、鉄板１の走行方向Ａと相対的に逆方向Ｂへ一定速度
で回転駆動されるものである。もちろん、全てのローラ
ー51,52,53,54,55は互いに平行になっている。
向へ走行する鉄板１が張力の加わった状態で掛け渡され
る回転自在の３本のターンローラー51,52,53およびバッ
キングローラー54を有している。さらに、隣接するター
ンローラー53とバッキングローラー54との間にはコーテ
ィングローラー（中間ローラー）55が設けられている。
このコーティングローラー55は、ターンローラー53とバ
ッキングローラー54との中間位置で鉄板１に外周面が摺
動自在に圧接するものであるが、図示しない駆動源によ
り、鉄板１の走行方向Ａと相対的に逆方向Ｂへ一定速度
で回転駆動されるものである。もちろん、全てのローラ
ー51,52,53,54,55は互いに平行になっている。
そして、前記コーティングローラー55の外周面に下側
から対向させて、かつ、このコーティングローラー55と
平行にパイプドクターノズル（PDN）からなる直線状の
感光液塗布ノズル56が設けられている。この感光液塗布
ノズル56は、第３図に示すように、本体57の後側に樹脂
ダム58が取り付けられており、コーティングローラー55
の外周面に一定の隙間を介して平行に対向したこれら本
体57および樹脂ダム58の先端面に感光液吐出口59が開口
している。この吐出口59は、コーティングローラー55の
回転方向Ｂに向いているが、コーティングローラー55の
軸方向の長さが鉄板１の幅よりも若干長くなっている。
そして、この軸方向の長さが鉄板１の幅より若干長いコ
ーティングローラー55は、図４に示すように、軸方向が
長尺の鉄板の長手方向と交差する方向に一致した状態で
位置し、軸方向の両端部が鉄板１の両側方に突出してい
る。
から対向させて、かつ、このコーティングローラー55と
平行にパイプドクターノズル（PDN）からなる直線状の
感光液塗布ノズル56が設けられている。この感光液塗布
ノズル56は、第３図に示すように、本体57の後側に樹脂
ダム58が取り付けられており、コーティングローラー55
の外周面に一定の隙間を介して平行に対向したこれら本
体57および樹脂ダム58の先端面に感光液吐出口59が開口
している。この吐出口59は、コーティングローラー55の
回転方向Ｂに向いているが、コーティングローラー55の
軸方向の長さが鉄板１の幅よりも若干長くなっている。
そして、この軸方向の長さが鉄板１の幅より若干長いコ
ーティングローラー55は、図４に示すように、軸方向が
長尺の鉄板の長手方向と交差する方向に一致した状態で
位置し、軸方向の両端部が鉄板１の両側方に突出してい
る。
つぎに、感光液塗布工程について説明する。
第１図に示すように、巻き出し機31より出た鉄板１
は、シームウェルダー32の下を通り、バックテンション
装置33の間を通った後、洗浄槽34で、表面に付着した塵
埃、汚れを洗い落とされる。ついで、鉄板１は、乾燥炉
35で水分が除去された後、表側塗工機36を通過し、ここ
で、鉄板１の一方の面に感光液２が塗布される。なお、
この塗布については、後に詳述する。表側塗工機36を出
た鉄板１は、乾燥炉37内で水平になった状態で乾燥さ
れ、出て来る。
は、シームウェルダー32の下を通り、バックテンション
装置33の間を通った後、洗浄槽34で、表面に付着した塵
埃、汚れを洗い落とされる。ついで、鉄板１は、乾燥炉
35で水分が除去された後、表側塗工機36を通過し、ここ
で、鉄板１の一方の面に感光液２が塗布される。なお、
この塗布については、後に詳述する。表側塗工機36を出
た鉄板１は、乾燥炉37内で水平になった状態で乾燥さ
れ、出て来る。
ついで、鉄板１は、ターンローラー38,39により２階
から１階に降ろされるとともに、上下が反転されて、裏
側塗工機40に入り、ここで、鉄板１の反対側の他方の面
に感光液２が塗布される。裏側塗工機40を出た鉄板１
は、乾燥炉41内で水平になった状態で乾燥された後、鉄
板駆動装置42を通って、巻き取り機43により巻き取られ
る。
から１階に降ろされるとともに、上下が反転されて、裏
側塗工機40に入り、ここで、鉄板１の反対側の他方の面
に感光液２が塗布される。裏側塗工機40を出た鉄板１
は、乾燥炉41内で水平になった状態で乾燥された後、鉄
板駆動装置42を通って、巻き取り機43により巻き取られ
る。
つぎに、塗工機36,40における感光液２の塗布につい
て詳しく説明する。
て詳しく説明する。
第３図に示すように、Ｂ方向へ一定速度で回転してい
るコーティングローラー55の外周面に、感光液塗布ノズ
ル56の吐出口59から吐出した感光液２が塗布される。そ
の際、感光液２は、PDNからなる感光液塗布ノズル56と
コーティングローラー55の外周面との間の隙間に相当す
る厚さで塗布されることになるので、コーティングロー
ラー55の外周面には、均一な厚さで感光液２の膜が塗布
されることになる。
るコーティングローラー55の外周面に、感光液塗布ノズ
ル56の吐出口59から吐出した感光液２が塗布される。そ
の際、感光液２は、PDNからなる感光液塗布ノズル56と
コーティングローラー55の外周面との間の隙間に相当す
る厚さで塗布されることになるので、コーティングロー
ラー55の外周面には、均一な厚さで感光液２の膜が塗布
されることになる。
一方、第２図に示すように、塗工機36,40において、
鉄板１はターンローラー53とバッキングローラー54との
間を張力のかかった状態で通過するが、これら２本のロ
ーラー53,54の中間部で、鉄板１の一面がコーティング
ローラー55の外周面に接触しているので、第３図および
第４図に示すように、鉄板１の走行方向Ａと反対方向Ｂ
にコーティングローラー55が回転するのに伴い、前述の
ようにいったんこのコーティングローラー55に塗布され
た感光液２は、コーティングローラー55と鉄板１との接
触部の手前でＢ方向へ移動する間に、この鉄板１の一面
に連続的に転写塗布されることになる。
鉄板１はターンローラー53とバッキングローラー54との
間を張力のかかった状態で通過するが、これら２本のロ
ーラー53,54の中間部で、鉄板１の一面がコーティング
ローラー55の外周面に接触しているので、第３図および
第４図に示すように、鉄板１の走行方向Ａと反対方向Ｂ
にコーティングローラー55が回転するのに伴い、前述の
ようにいったんこのコーティングローラー55に塗布され
た感光液２は、コーティングローラー55と鉄板１との接
触部の手前でＢ方向へ移動する間に、この鉄板１の一面
に連続的に転写塗布されることになる。
前述のように、コーティングローラー55に塗布される
感光液２の厚さは、コーティングローラー55とPDNから
なる感光液塗布ノズル56との間の隙間により決定され
る。そして、余分な感光液２は、樹脂ダム58を通って、
後方すなわちコーティングローラー55の回転方向Ｂと反
対方向へオーバーフローするので、感光液塗布ノズル56
までの感光液２の供給量が変動しても、コーティングロ
ーラー55に塗布される感光液２の厚さに影響しない。
感光液２の厚さは、コーティングローラー55とPDNから
なる感光液塗布ノズル56との間の隙間により決定され
る。そして、余分な感光液２は、樹脂ダム58を通って、
後方すなわちコーティングローラー55の回転方向Ｂと反
対方向へオーバーフローするので、感光液塗布ノズル56
までの感光液２の供給量が変動しても、コーティングロ
ーラー55に塗布される感光液２の厚さに影響しない。
しかも、コーティングローラー55、PDNからなる感光
液塗布ノズル56とも、機械加工により精度よく仕上げる
ことが可能なので、鉄板１に転写された感光液２の厚さ
のばらつきを少なくできる。
液塗布ノズル56とも、機械加工により精度よく仕上げる
ことが可能なので、鉄板１に転写された感光液２の厚さ
のばらつきを少なくできる。
ところで、第５図は、鉄板１への転写の際の感光液２
の流れを示したものである。
の流れを示したものである。
同図に示すように、特に鉄板１の両側の端縁部におい
ては、コーティングローラー55とともにＢ方向に流れて
いた感光液２は、鉄板１に近付くと、その感光液２の余
剰分が、鉄板１に沿ってコーティングローラー55の軸方
向に流れ、鉄板１の両側の端縁の面の近傍位置を通って
この鉄板１の両側の端縁を越えていく。そして、この鉄
板１の両側の端縁を越えた余剰の感光液２は、コーティ
ングローラー55の軸方向の両端部に戻り、再びコーティ
ングローラー55とともにＢ方向に流れる。
ては、コーティングローラー55とともにＢ方向に流れて
いた感光液２は、鉄板１に近付くと、その感光液２の余
剰分が、鉄板１に沿ってコーティングローラー55の軸方
向に流れ、鉄板１の両側の端縁の面の近傍位置を通って
この鉄板１の両側の端縁を越えていく。そして、この鉄
板１の両側の端縁を越えた余剰の感光液２は、コーティ
ングローラー55の軸方向の両端部に戻り、再びコーティ
ングローラー55とともにＢ方向に流れる。
このような感光液２の流れが鉄板１の両側の端縁部に
できるために、この鉄板１の端縁の面に感光液２が付着
しにくいとともに、鉄板１における塗布が行なわれてい
る面と反対側の面に感光液２が回り込んでしまうことが
ない。
できるために、この鉄板１の端縁の面に感光液２が付着
しにくいとともに、鉄板１における塗布が行なわれてい
る面と反対側の面に感光液２が回り込んでしまうことが
ない。
第６図は、鉄板１に塗布された感光液２が乾燥して形
成されるレジスト膜３の厚さを示す断面図で、鉄板１の
進行方向Ａと直交する断面である。同図において、t1は
鉄板１の一方の面の中央部でのレジスト膜３の膜厚、t2
は同端縁部での膜厚、t3は他方の面の中央部での膜厚で
ある。t2＝ａ×t1とすると、ａは約1.1〜1.15である。
すなわち、第５図に示すような感光液２の流れのため
に、ａの値は従来よりも大幅に１に近付く。
成されるレジスト膜３の厚さを示す断面図で、鉄板１の
進行方向Ａと直交する断面である。同図において、t1は
鉄板１の一方の面の中央部でのレジスト膜３の膜厚、t2
は同端縁部での膜厚、t3は他方の面の中央部での膜厚で
ある。t2＝ａ×t1とすると、ａは約1.1〜1.15である。
すなわち、第５図に示すような感光液２の流れのため
に、ａの値は従来よりも大幅に１に近付く。
このように、鉄板１の全幅に渡ってレジスト膜３の膜
厚を均一にできることにより、次工程以降で鉄板１の巻
きずれを起こすようなことがない。
厚を均一にできることにより、次工程以降で鉄板１の巻
きずれを起こすようなことがない。
また、感光液塗布ノズル56およびコーティングローラ
ー55による感光液２の塗布は、鉄板１の表裏両面に対し
て、表側塗工機36と裏側塗工機40とで片面ずつ別々に行
なうので、鉄板１の表裏両面のレジスト膜３の膜厚をそ
れぞれ自由に変えることができる。すなわち、t1≠t3と
できる。これにより、フラットシャドウマスクの設計上
の自由度が増える。例えば、第10図に示す電子ビーム通
過穴の大穴６側のレジスト膜３を厚くし、小穴７側のレ
ジスト膜３をより薄くする設定も可能である。
ー55による感光液２の塗布は、鉄板１の表裏両面に対し
て、表側塗工機36と裏側塗工機40とで片面ずつ別々に行
なうので、鉄板１の表裏両面のレジスト膜３の膜厚をそ
れぞれ自由に変えることができる。すなわち、t1≠t3と
できる。これにより、フラットシャドウマスクの設計上
の自由度が増える。例えば、第10図に示す電子ビーム通
過穴の大穴６側のレジスト膜３を厚くし、小穴７側のレ
ジスト膜３をより薄くする設定も可能である。
また、感光液２を感光液塗布ノズル56からコーティン
グローラー55を介して鉄板１に塗布することにより、膜
厚のばらつきなどの不良を招くことなく、感光液２の濃
度を高くすることができ、乾燥炉37,41における乾燥に
必要なエネルギーが少なくてすむ。
グローラー55を介して鉄板１に塗布することにより、膜
厚のばらつきなどの不良を招くことなく、感光液２の濃
度を高くすることができ、乾燥炉37,41における乾燥に
必要なエネルギーが少なくてすむ。
これとともに、感光液２の塗布後、鉄板１が水平にな
った状態で乾燥が行なわれるので、感光液２の塗布厚さ
が厚くても、乾燥中に感光液２が流れることがなく、し
たがって、レジスト膜３の膜厚を従来の２倍程度にまで
厚くできる。
った状態で乾燥が行なわれるので、感光液２の塗布厚さ
が厚くても、乾燥中に感光液２が流れることがなく、し
たがって、レジスト膜３の膜厚を従来の２倍程度にまで
厚くできる。
そして、膜厚を厚くできることにより、エッチング工
程においてエッチング液５のスプレー圧を高くしても、
レジスト膜３の欠落が生じないようにできる。
程においてエッチング液５のスプレー圧を高くしても、
レジスト膜３の欠落が生じないようにできる。
さらに、第５図に示すような感光液２の流れのため
に、第６図に示すように、鉄板１の両側の端縁の面への
感光液２の付着が従来に比べて大幅に少なくなるので、
この鉄板１の端縁の面に付着した感光材が次工程以降で
剥落することによる塵埃の発生が少なくなり、この塵埃
が露光工程で感光用の原版を汚してしまうようなことを
抑制できる。
に、第６図に示すように、鉄板１の両側の端縁の面への
感光液２の付着が従来に比べて大幅に少なくなるので、
この鉄板１の端縁の面に付着した感光材が次工程以降で
剥落することによる塵埃の発生が少なくなり、この塵埃
が露光工程で感光用の原版を汚してしまうようなことを
抑制できる。
（発明の効果） 本発明によれば、感光液塗布ノズルにより中間ローラ
ーにいったん均一な感光液の膜を塗布し、この中間ロー
ラーに塗布された感光液を２本のローラーに掛け渡され
た鉄板に連続的に転写塗布するので、鉄板の面全体に感
光液を不良なく均一な厚さで塗布することができるとと
もに、鉄板の表裏両面でそれぞれ感光液の塗布厚さを自
由に設定することができる。また、鉄板への感光液の転
写塗布の際に、余剰の感光液を鉄板の両側の端縁の面の
近傍位置から中間ローラーの軸方向の両端部に戻すの
で、鉄板の両側の端縁の面に感光液が付着しにくくでき
る。
ーにいったん均一な感光液の膜を塗布し、この中間ロー
ラーに塗布された感光液を２本のローラーに掛け渡され
た鉄板に連続的に転写塗布するので、鉄板の面全体に感
光液を不良なく均一な厚さで塗布することができるとと
もに、鉄板の表裏両面でそれぞれ感光液の塗布厚さを自
由に設定することができる。また、鉄板への感光液の転
写塗布の際に、余剰の感光液を鉄板の両側の端縁の面の
近傍位置から中間ローラーの軸方向の両端部に戻すの
で、鉄板の両側の端縁の面に感光液が付着しにくくでき
る。
第１図ないし第６図は本発明の感光液塗布方法の一実施
例を示すもので、第１図は塗布に用いられる装置の概略
図、第２図は第１図の塗工機の拡大図、第３図は第２図
におけるコーティングローラーおよび感光液塗布ノズル
部分の拡大図、第４図はコーティングローラー部分の斜
視図、第５図は鉄板に対する感光液の流れを示す説明
図、第６図はレジスト膜が形成された鉄板の断面図であ
る。また、第７図ないし第10図は従来の感光液塗布方法
の一例を示すもので、第７図は塗布に用いられる装置の
概略図、第８図は塗工機の断面図、第９図はレジスト膜
が形成された鉄板の断面図、第10図はエッチング工程に
おける鉄板の断面図である。 １……鉄板、２……感光液、53,54……２本のローラ
ー、55……コーティングローラー（中間ローラー）、56
……感光液塗布ノズル。
例を示すもので、第１図は塗布に用いられる装置の概略
図、第２図は第１図の塗工機の拡大図、第３図は第２図
におけるコーティングローラーおよび感光液塗布ノズル
部分の拡大図、第４図はコーティングローラー部分の斜
視図、第５図は鉄板に対する感光液の流れを示す説明
図、第６図はレジスト膜が形成された鉄板の断面図であ
る。また、第７図ないし第10図は従来の感光液塗布方法
の一例を示すもので、第７図は塗布に用いられる装置の
概略図、第８図は塗工機の断面図、第９図はレジスト膜
が形成された鉄板の断面図、第10図はエッチング工程に
おける鉄板の断面図である。 １……鉄板、２……感光液、53,54……２本のローラ
ー、55……コーティングローラー（中間ローラー）、56
……感光液塗布ノズル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐合 誠司 埼玉県深谷市幡羅町１丁目９番２号 株 式会社東芝深谷ブラウン管工場内 (56)参考文献 特開 昭63−204249（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−90065（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 9/14
Claims (2)
- 【請求項１】カラーブラウン管のシャドウマスク製造工
程内で、長尺の鉄板に感光液を塗布する感光液塗布方法
において、 走行する鉄板が掛け渡される２本のローラーと、これら
２本のローラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交
差する方向に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが
鉄板の幅より長く軸方向の両端部が鉄板の両側方に突出
した中間ローラーと、この中間ローラーに対向して位置
する感光液塗布ノズルとを備えた塗布装置を用いて、 前記感光液塗布ノズルにより、鉄板の走行方向と相対的
に逆方向へ回転する前記中間ローラーにいったん均一な
感光液の膜を塗布し、 この中間ローラーに塗布された感光液を前記２本のロー
ラー間で鉄板に連続的に転写塗布しながら、余剰の感光
液を鉄板の両側の端縁の面の近傍位置から前記中間ロー
ラーの軸方向の両端部に戻すことを特徴とする感光液塗
布方法。 - 【請求項２】カラーブラウン管のシャドウマスク製造工
程内で、長尺の鉄板に感光液を塗布する感光液塗布方法
において、 走行する鉄板が掛け渡される２本のローラーと、これら
２本のローラー間に軸方向が長尺の鉄板の長手方向と交
差する方向に一致した状態で位置しかつ軸方向の長さが
鉄板の幅より長く軸方向の両端部が鉄板の両側方に突出
した中間ローラーと、この中間ローラーに対向して位置
する感光液塗布ノズルとを備え、鉄板の一方の面および
他方の面にそれぞれ対応して設けられた塗布装置を用い
て、 前記一方の塗布装置の感光液塗布ノズルにより鉄板の走
行方向と相対的に逆方向へ回転する前記一方の塗布装置
の中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布して
から、この中間ローラーに塗布された感光液を鉄板の一
方の面に連続的に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板
の両側の端縁の面の近傍位置からこの中間ローラーの軸
方向の両端部に戻し、 前記他方の塗布装置の感光液塗布ノズルにより鉄板の走
行方向と相対的に逆方向へ回転する前記他方の塗布装置
の中間ローラーにいったん均一な感光液の膜を塗布して
から、この中間ローラーに塗布された感光液を一方の面
に感光液が転写塗布されている鉄板の他方の面に連続的
に転写塗布しながら余剰の感光液を鉄板の両側の端縁の
面の近傍位置からこの中間ローラーの軸方向の両端部に
戻す ことを特徴とする感光液塗布方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2284968A JP3034292B2 (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 | 感光液塗布方法 |
| DE69112765T DE69112765T2 (de) | 1990-10-23 | 1991-10-23 | Verfahren zum Aufbringen einer Schicht aus einer sensitiven Lösung auf eine Metallplatte zur Herstellung von Kolor-Kathodenstrahlröhren und Beschichtungsapparat. |
| EP91118075A EP0482612B1 (en) | 1990-10-23 | 1991-10-23 | Method of coating sensitizing solution on metal plate for use in manufacture of color cathode ray tube and coating apparatus |
| US07/779,736 US5230920A (en) | 1990-10-23 | 1991-10-23 | Method of coating sensitizing solution on metal plate for use in manufacture of color cathode ray tube and coating apparatus |
| KR1019910018782A KR950006092B1 (ko) | 1990-10-23 | 1991-10-25 | 칼라브라운관의 새도우마스크를 제조하기 위한 철판에 감광액을 도포하는 방법 및 그 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2284968A JP3034292B2 (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 | 感光液塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04160725A JPH04160725A (ja) | 1992-06-04 |
| JP3034292B2 true JP3034292B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=17685415
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| US (1) | US5230920A (ja) |
| EP (1) | EP0482612B1 (ja) |
| JP (1) | JP3034292B2 (ja) |
| KR (1) | KR950006092B1 (ja) |
| DE (1) | DE69112765T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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