JPH0676735A - シャドウマスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 開孔品位に影響するレジスト膜を所望厚さに
均一に塗布形成する。 【構成】 表面を清浄にされ水平方向に搬送される金属
薄板１の一方の主面に第１コーター15ａにて感光性樹脂
液６ａを塗布する。その後、乾燥炉16ａを通すことによ
り金属薄板１の一方の主面に目的とする厚さを有するレ
ジスト膜４ａを形成する。このとき乾燥炉16ａをでた時
点でレジスト膜４ａの温度を非接触の放射温度計28ａに
て測定し、常に60℃乃至80℃の設定温度範囲に入って出
てくるようにヒーター電圧および熱風熱源へフィードバ
ック制御を行なう。次いで、ターンローラー18ｂを介し
て金属薄板１を反転して水平に搬送し、上記と同様にし
て第２コーター15ｂにより金属薄板１の他方の主面に目
的とする厚みの感光性樹脂液６ｂの塗膜を形成し、乾燥
炉16ｂを通すことで、両方の主面に感光性樹脂膜を形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管に使用す
るシャドウマスクの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー受像管
は、多数のビーム開孔が所定のピッチで配列され蛍光面
に近接対向して配置されたシャドウマスクを有してい
る。このシャドウマスクは、電子銃からの赤、青および
緑に対応する３本の電子ビームを１つのビーム開孔近傍
で集中させ赤、青および緑に対応するように塗り分けら
れた蛍光面に正しく対応射突してカラー画像を再現す
る、いわゆる色選別機能を有する重要な部材の一つであ
る。従って、シャドウマスクのビーム開孔形状の歪、ビ
ーム開孔と対応する蛍光体層との配置歪およびシャドウ
マスクと蛍光面の一定の距離の歪は、その許容範囲を越
えると、いずれも色純度の劣化等の特性上の重大な支障
をもたらすことになる。シャドウマスクの各ビーム開孔
は、一般に斜めに入射する電子ビームの一定の通過量を
確保するために、図４に示すような断面形状を有してい
る。即ち、帯状金属薄板１の蛍光面側の開孔２（以下、
大孔と称する）は、電子銃側の開孔３（以下、小孔と称
する）の約３倍の面積を有するように穿設されている。

【０００３】このようなシャドウマスクは、以下のよう
な工程を経て製造される。先ず、図５（ａ）に示すよう
にシャドウマスク素材である帯状金属薄板１の両面に、
感光性樹脂層例えば感光剤を含むレジスト膜４を被着形
成する。次いで、所定の開孔面積に対応するマスクパタ
ーンを介してレジスト膜４の所定部を感光させ、現像処
理により図５（ｂ）に示すように開孔させるべき大孔２
および小孔３部分のレジスト膜４を除去して素材面を露
出させる。次いで、素材が鉄を主成分とするものである
ときは、塩化第二鉄を主成分とするエッチング液により
エッチングし、図５（ｃ）に示すような所定の開孔を穿
設する。その後、残余のレジスト膜４を除去して得られ
たフラットマスクを成形して完成品となる。

【０００４】ところで、図４に示すような所定の開孔形
状において、シャドウマスクの開孔寸法精度制御にもっ
とも関与するのは、小孔３側からのエッチングであり、
このためには大孔２側からのエッチングも制御されてい
なければならない。また、当然のことながら、大孔２側
のエッチング量は、小孔３側のエッチング量より大きく
なくてはならない。このような条件に対して、大孔２側
のエッチング孔面積は小孔３のエッチング孔面積の約３
倍と大きいため、エッチング時の大孔２内での新液と疲
労した液との交換効率が良く、エッチング速度が速く、
エッチング量が大となり、一応条件は満足される。しか
しながら、エッチングが進行するに従い、図５（ｃ）に
示すような金属薄板１から浮いたレジスト膜４のひさし
部５も多くなり、これらのひさし部５はエッチング液に
よる疲労によってしばしば破壊を生じる。この結果、レ
ジスト膜４が破壊された部分はさらにエッチングが進行
するため、孔形状の歪を生じ、シャドウマスク品位を低
下させる。このような傾向は、高精細度カラー受像管用
の開孔ピッチおよび径の縮小されたシャドウマスクほど
著しく、さらに金属薄板１の板厚が厚くなるほど、エッ
チング量も大となるため著しい。

【０００５】また、金属薄板１の露出部寸法のバラツキ
はシャドウマスク開孔寸法に直接影響を与え、シャドウ
マスク品位の低下を招く。この露出部寸法のバラツキを
生じる一つの原因として、レジスト膜４の膜厚変動があ
る。これは焼き付けパターンを通過した光は金属薄板１
上に形成されたレジスト膜４中で拡散するので、例え
ば、レジスト膜４の膜厚が厚い部分は、露光・現像後に
得られる金属薄板１の露出部寸法がレジスト膜厚の薄い
部分に比較して小さくなる。従って、一定露光条件下で
は、レジスト膜４の膜厚が均一なことが重要である。従
来のレジスト塗布方法としては次のようなものがある。

【０００６】第１の方法としては、図６に示すようなフ
ロー方式がある。フロー方式は、帯状の金属薄板１を垂
直に立てて上方部から感光性樹脂液６を金属薄板１の両
面に垂れ流し、その後、乾燥炉７を通すことによりレジ
スト膜４を形成するものである。しかし、重力の影響で
上方部が下方部に比較して膜厚が薄くなり、金属薄板１
の板幅方向で膜厚の差が生じることはさけられない。こ
の膜厚の差をなくすために、例えば、上方部の乾燥を早
く進めるべき温度分布を有する乾燥炉を用いたり、金属
薄板１の搬送速度や感光性樹脂液６の粘度を種々変更し
たりする方法がとられているが、均一な膜厚を得ること
は不可能である。

【０００７】第２の方法として図７に示すような浸漬引
上げ方式がある。この浸漬引上げ方式は、金属薄板１を
感光性樹脂液６中に浸漬後垂直方向に引き上げるもので
あるが、引き上げられた金属薄板１上の感光性樹脂液６
は、乾燥して金属薄板１に完全に固着されるまでに重力
にて下方向に流れ落ちるため、金属薄板１の長さ方向で
はレジスト膜の膜厚変動が生じる。これを制御するた
め、感光性樹脂液６の粘度・乾燥炉７内温度分布・炉内
への吸い込み風量の調整などを行うが、均一な膜厚を得
ることは不可能である。

【０００８】また、上述の方法では重力の影響が不可避
で、かつ前述の諸条件を大幅に変更せねばならず、量産
ラインの中で簡単にレジスト膜厚を均一に厚くすること
は不可能である。

【０００９】一方、レジスト膜厚について考えるなら、
金属薄板１の板厚が厚くなった場合、エッチング時間が
長くなることに比例して前述のレジスト膜４のひさし部
５の割合も増加し、当然、その部分が噴霧されるエッチ
ング液に当たる時間が長くなる。結果としてレジスト膜
４のひさし部５が破壊され易くなり、破壊された部分は
さらにエッチングが進行して孔大欠点を発生させるた
め、レジスト膜４の機械的強度を向上させる目的でレジ
スト膜厚を厚くする対策が施される。

【００１０】また、小孔３側、大孔２側で各々必要とさ
れるレジスト膜厚を考えた場合、シャドウマスク孔寸法
を決定するのは、一般的に小孔３側の金属薄板露出寸法
であり、寸法精度の良い露出部を得るためには、レジス
ト膜４の解像度がよいことが望まれる。解像度を上げる
には、感光性樹脂液６自体の特性に依存することは当然
であるが、膜厚にも依存し、レジスト膜４が薄いほど解
像度は上がる。従って、エッチングにて生じるレジスト
膜４のひさし部５がエッチング時に破壊されなければ、
特に、小孔３側はできるだけレジスト膜厚が薄い方がよ
い。例えば、特開昭６０−７０１８５号公報で提案され
ている２段エッチング法では、小孔３側のエッチング時
間が短いため、レジスト膜厚が薄くてもエッチング中に
レジスト膜４のひさし部５の破壊が生じない。結果とし
てレジスト膜厚を薄くでき、シャドウマスク品位に大き
な影響を及ぼさない。

【００１１】このように、高精細度シャドウマスクを製
造するためには、他の手段も種々提案されているが、小
孔３側のレジスト膜４は大孔２側のレジスト膜４に比較
して薄いことが好ましい。しかし、従来のフロー方式や
浸漬引き上げ方式では、小孔３側、大孔２側で各々膜厚
を変えかつ均一なレジスト膜４を形成することは、非常
に困難であるし、不可能に近い。

【００１２】そこで、このような問題に鑑みて、連続帯
状金属薄板の幅方向および長手方向で均一な膜厚を形成
することができ、また連続帯状金属薄板の両主面で膜厚
を自由に変えることができる方法が、特開平１−２０８
４８２号公報、特開平３−２５８２８号公報に記載され
ている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、高精細
度シャドウマスクを製造するためには、レジスト膜の膜
厚および膜感度が影響する。

【００１４】上記特開平１−２０８４８２号公報、特開
平３−２５８２８号公報に示された方法によれば、比較
的均一なレジスト膜厚を得ることは可能となる。上記方
法は、帯状金属薄板を水平方向に搬送しながら片面づつ
レジスト膜を塗布形成するので、重力に影響されること
なく片面毎に所望厚さのレジスト膜を形成できるという
利点がある。しかし、金属薄板の片面づつ連続塗布する
ため、第１の主面にレジスト膜を形成した後、第２の主
面へレジスト膜を塗布形成する際に条件変動が生じる
と、せっかくレジスト膜を形成した部分が無駄になって
しまうという問題がある。また、一方の主面だけでの膜
形成を考えたときも、膜感度の面から安定性は不十分で
あった。

【００１５】本発明は、上記問題点に鑑み、連続帯状金
属薄板の幅方向および長手方向で均一な膜厚を形成する
ことができ、連続帯状金属薄板の両主面で膜厚を自由に
変えることができ、かつ形成されたレジスト膜の膜感度
が安定したものであるシャドウマスクの製造方法を提供
することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、連続帯状金属板の両主面を脱脂水洗後、
感光性樹脂液を塗布して乾燥させることにより感光性樹
脂層を形成する第１の工程と、上記感光性樹脂層に所定
の微細開孔のパターンを写真露光にて形成する第２の工
程と、エッチングにより上記連続帯状金属板に微細開孔
を穿設する第３の工程とからなるシャドウマスクの製造
方法において、上記第１の工程は、上記連続帯状金属板
の両主面を脱脂乾燥後水平方向に搬送し、先ず１回目の
塗布として一方の主面にのみ上記感光性樹脂液を塗布し
た後、塗布された面を上方にし水平の状態を保持しなが
ら第１の乾燥として乾燥炉を通過させて感光性樹脂膜を
形成後全体を冷却し、次いで連続帯状金属板を反転し、
２回目の塗布として他方の主面にのみ上記感光性樹脂液
を塗布した後、２回目に塗布された面を上方にし水平の
状態を保持しながら第２の乾燥として乾燥炉を通過させ
て感光性樹脂膜を形成後全体冷却する工程であり、上記
第１および第２の乾燥の際、乾燥炉の出口で感光性樹脂
膜の温度を測定し、乾燥炉の温度をフィードバック制御
することを特徴とするシャドウマスクの製造方法であ
る。

【００１７】また、上記製造方法において、乾燥炉の出
口で非接触放射温度計を用いて感光性樹脂膜の温度を測
定し、設定温度にはいるよう乾燥炉のヒーター又は熱風
にフィードバックがかかることを特徴とする。

【００１８】

【作用】シャドウマスクの製造には、微細開孔を穿設す
るエッチング工程があり、エッチングによる開孔の品位
は、レジスト膜の解像度に影響する。解像度はレジスト
膜を形成する感光性樹脂液自体の特性に依存することは
もちろんであるが、成膜されたものの膜厚や膜感度の安
定性も影響する。金属薄板の幅や厚みおよびレジスト膜
厚やレジスト組成を変更した場合、当然乾燥炉の温度条
件の変更が必要となる。

【００１９】金属薄板の両主面に感光性樹脂層を形成す
る工程で、金属薄板を水平方向に搬送し一方の主面に感
光性樹脂液を塗布した後、乾燥炉に搬送して感光性樹脂
液を乾燥させてレジスト膜を形成するが、このとき乾燥
炉から出た直後のレジスト膜の温度の温度を検出し、こ
の温度が設定範囲に入っているかをチェックし、乾燥炉
の温度をフィードバック制御することで、被乾燥物であ
るレジスト膜が塗布された金属薄板の条件が変更する度
に乾燥炉の温度をフィードバック制御する。このよう
に、乾燥状態を制御して均一な膜を一方の主面に形成す
る。そして、金属薄板を反転させて他方の主面に感光性
樹脂膜を形成する際にも同様の制御を行うことにより、
他方の主面に膜を形成するときの条件変動による無駄を
抑制する。

【００２０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。

【００２１】本発明によるシャドウマスクの製造方法で
用いる装置は、図１に示すような構成となっているが、
従来例と同一箇所は同一符号を付して説明する。装置の
全体構成は、脱脂チャンバー10、工水洗チャンバー11、
純水洗チャンバー12、エアーナイフ乾燥炉14に続いて、
連続帯状金属薄板１を搬送するバックアップローラーを
具備しレジスト塗布を行う２組のコーター15ａ，15ｂ、
２組の乾燥炉16ａ，16ｂ、２組の冷却チャンバー17ａ，
17ｂ、及び連続帯状金属薄板１を反転させるターンロー
ラー18ａ，18ｂとからなっている。

【００２２】まず、水平方向に搬送される鉄からなるシ
ャドウマスク用素材としての連続帯状金属薄板１の両主
面に、脱脂チャンバー10内で８０℃以上の高温アルカリ
脱脂液をスプレーし、両主面に塗布されている圧延油や
防錆油を取り除く。その後、工水洗チャンバー11で工水
をスプレーして脱脂液を除去し、純水洗チャンバー12で
純水をスプレーして金属薄板１の表面を清浄にする。

【００２３】次いで乾燥を行うが、金属薄板１の温度が
上がりすぎると感光性樹脂液６ａを塗布するときにムラ
が発生しやすいので、清浄な面が露出した金属薄板１を
温度を上げないで乾燥させるため、エアーナイフが多数
取り付けられたエアーナイフ乾燥炉14を通す。

【００２４】その後、水平方向に搬送される金属薄板１
の一方の主面に第１コーター15ａにて感光性樹脂液６ａ
を塗布するが、この塗布工程の詳細を図２（ａ）を参照
して説明する。金属薄板１は反転ローラー25ａにより上
方に折り返されその後バックアップローラー23ａにより
元の搬送方向に戻るが、感光性樹脂液６ａの塗布は、バ
ックアップローラー23ａと反転ローラー25ａも間で金属
薄板１の搬送方向と逆方向に回転するコーティングロー
ラー21ａにて行われる。コーティングローラー21ａへの
感光性樹脂液６ａの供給量は、コーティングローラー21
ａの下部に設けられたパイブドクターノズル22ａとの間
隔にて決められ、パイブドクターノズル22ａへは一定の
感光性樹脂液６ａがレジスト溜タンク（図示せず）から
供給される。この感光性樹脂液６ａは、牛乳カゼイン酸
アルカリと重クロム酸アンモニウムとからなり、粘度を
約100 ｃｐｓに調整したものを用いている。粘度が低す
ぎる場合、金属薄板１が水平に搬送されるまでの間に金
属薄板１に塗布された感光性樹脂液６ａが垂れ落ちて均
一な膜厚を得ることができないことがあり、少なくとも
50ｃｐｓ以上必要である。そして、金属薄板１の表面に
塗布される感光性樹脂液６ａの塗膜厚は、パイブドクタ
ーノズル22ａとコーティングローラー21ａとの間隔を適
当に選択することと、金属薄板１の搬送速度に対応して
いるバックアップローラー23ａの回転数に対するコーテ
ィングローラー21ａの回転数の比を適当に選択すること
により変えられる。パイプドクターノズル22ａは、金属
薄板１との間隔を自由に変えられるように、上下に精度
良く移動可能な構造になっている。間隔の精度は塗膜厚
に影響を与え、最終的にマスク品位を左右するが、金属
薄板１の幅が広くなると幅方向で塗膜厚が変化しやすく
なる。従って、パイプドクターノズル22ａの両端部の間
隔の設定値に対するずれを各々自動制御する機構を有し
ている。また、投入する金属薄板１のロット毎に塗膜厚
を変えたい場合、事前に目的の数値を入力しておくと、
自動的にコーティングローラー21ａとパイプドクターノ
ズル22ａとの間隔が変わる機構も有している。コーティ
ングローラー21ａの回転は、ベクトルインバーターモー
ター（図示せず）の回転を遊星ローラー減速機（図示せ
ず）にて減速して伝えられるが、周速度は３〜１５Ｍ／
minで変化させることができる。このようにコーティン
グローラー21ａの回転数は任意に変更可能であり、金属
薄板１の搬送速度にて決められるバックアップローラー
23ａの回転数に対してコーティングローラー21ａの回転
数は、１．１乃至１．８の範囲が望ましい。この回転数
の比は、感光性樹脂液６ａの性状にて適正な値があり、
すじやうねりの発生しない塗膜面が得られる値は実際の
生産ラインにて決める必要がある。一方、バックアップ
ローラー23ａの回転軸はサークルエンコーダー（図示せ
ず）に接続されており、エンコーダーからの出力信号を
用いて指定した比の周速度でコーティングローラー21ａ
を回転させる回路が制御盤に組み込まれている。また、
金属薄板１に感光性樹脂液６ａを塗布する必要のないと
きには、アジャスティングローラー24ａを後退させるこ
とにより、金属薄板１よりコーティングローラー21ａが
離れ感光性樹脂液６ａは塗布されない。このようなコー
ターを用いることで、金属薄板１の走行速度に変動が生
じても安定した塗膜を得ることが可能である。

【００２５】このようにして、金属薄板１の一方の主面
に感光性樹脂液６ａを塗布後、乾燥炉16ａを通すことに
より、金属薄板１の一方の主面に目的とする厚みを有す
るレジスト膜４ａを形成する。

【００２６】一般的にレジスト膜の膜厚の均一性が解像
度に影響するが、それ以外に成膜したレジスト膜の感度
も最適レジストパターン寸法、キレおよび抜けを得るの
に重要であり、この乾燥工程が重要となっている。

【００２７】一般的な乾燥の挙動は、表面からの水の蒸
発速度がそのまま乾燥速度と考えてもよい恒率乾燥と、
限界含水率を越えて乾燥速度が減少し始め材料温度が表
面及び内部とも上昇し始める減率乾燥とからなる。この
うち、膜感度に影響を与える要因は、レジスト膜の減率
乾燥時における温度とその保持時間である。

【００２８】乾燥炉16ａは、インフラスタインヒーター
26と熱風吹き出し口27が上部にのみ設けられており、乾
燥の前段は感光性樹脂液６ａの蒸発潜熱でレジスト膜４
ａの温度が上がらないので両方の熱源を用い、後段はレ
ジスト膜４ａの熱かぶりを発生させないようにするため
熱風のみを用いた雰囲気乾燥を行う。このようにして本
発明は、減率乾燥に入った時点で熱風乾燥のみの雰囲気
乾燥にすることができ、シーズヒーターまたはインフラ
スタインヒーター使用の際の輻射熱によるレジスト膜温
度の異常上昇を抑えられる特徴を有する。乾燥炉16ａを
でた時点でレジスト膜４ａの温度を非接触の放射温度計
28ａにて測定し、常に６０℃乃至８０℃の設定温度範囲
に入って出てくるようにヒーター電圧および熱風熱源へ
フィードバックがかかる制御回路が組まれている。この
制御は、目的の設定温度に対するずれが生じた場合、基
本的に小さなずれは熱風温度にフィードバックし、大き
なずれはヒーターにフィードバックするような構成にす
ればよい。したがって、乾燥は十分行われる一方熱かぶ
りを起こす温度での乾燥を避けることができる特徴を有
する。

【００２９】乾燥後高い温度で長い時間放置しておく
と、レジスト膜４ａの温度が上がり、次ぎの露光工程の
露光条件が不安定になるので、乾燥炉16ａをでた金属薄
板１はターンローラー18ａを介して下方に引き下げら
れ、冷風が供給される冷却チャンバー17ａを通る。ただ
し、温度が低すぎると結露のおそれがあるので、相対温
度は50％以下で温度は１５℃乃至２５℃の冷風が望まし
い。

【００３０】次いで、ターンローラー18ｂを介して金属
薄板１を反転して水平に搬送し、上記と同様にして図２
（ｂ）に示す第２コーター15ｂのコーティングローラー
21ｂにて金属薄板１の他方の主面に目的とする厚みの感
光性樹脂液６ｂの塗膜を形成し、乾燥炉16ｂを通すこと
により、目的とする厚みを有するレジスト膜４ｂを形成
する。この後、上記と同様に冷却チャンバー17ｂを通し
てレジスト膜４ｂ感度を一定にすることにより、金属薄
板１の両主面にレジスト膜４ａおよび４ｂを形成する工
程が終了する。

【００３１】上述のように一方の主面に塗布する工程と
同様に他方の主面に感光性樹脂膜を塗布する際にも上述
の制御を行うことにより、両方の主面に均一な膜を形成
することができるのである。すなわち、一方の主面に膜
を形成した後、他方の主面に膜を形成する際に条件変動
等により他方の主面の膜が不均一になれば、結果として
マスクとしては品位劣化を起こす。また、連続帯状金属
薄板を反転して両方の主面にレジスト膜を塗布形成する
ので、一方の主面に膜を形成するときの搬送速度の変動
は他方の主面に膜を形成する工程に位置している金属薄
板の搬送速度にも影響するため、個々の主面の塗布形成
工程での制御が重要となる。

【００３２】上記のようにして、約３００ｍの長さの金
属薄板１の両主面に厚さ７μｍのレジスト膜４ａおよび
４ｂを形成した後、次の露光工程では、所定のシャドウ
マスク焼き付けパターンを用いて約１ｍの距離から５ｋ
Ｗの高圧水銀ランプで約４０秒間露光を行う。さらに、
現像は約４０℃の温水で圧力１．５ｋｇ／cm² のスプレ
ーにて約１分間行い、１５０℃の雰囲気で約２分間乾燥
し、さらに約２００℃の雰囲気で約１．５分間バーニン
グを施す。以上の工程で開孔が穿設されるべき対応部分
が露出した金属薄板１つまりシャドウマスク用素材が得
られる。

【００３３】次に、エッチング工程は、例えば、液温６
７℃、比重１．４６７に調整された塩化第二鉄液をエッ
チング液として、レジスト膜４ａおよび４ｂから約２５
０mmの位置に配置したノズルからエッチング液を噴出し
てエッチングを行う。エッチングにて所定の開孔が得ら
れた後水洗を行い、次いで９０℃のＮａＯＨ２．０％水
溶液を約２．０ｋｇ／cm² の圧力でスプレーして残存し
ているレジスト膜４ａおよび４ｂを除去し、水洗・乾燥
してシャドウマスクを得る。このようにして、得られた
シャドウマスクは、所望の開孔寸法を有し、品位の優れ
たものである。 （変形例）

【００３４】この発明では、金属薄板の各々の面に独立
でレジスト膜を形成することが可能なため、小孔側を薄
く大孔側を厚くすることは容易に行うことができる。例
えば、小孔側と大孔側とでエッチング時間が大幅に異な
る２段エッチングにおいても、マスク開孔寸法を決める
小孔側のレジスト膜を薄くしてレジスト膜の解像度を上
げることができ、結果としてマスク品位を向上させるこ
とができ、非常に有効である。さらに、小孔側と大孔側
とで組成の相異なるレジスト膜を形成することが可能で
ある。

【００３５】なお、上記実施例では、パイプドクターノ
ズルとコーティングローラーとを用いた塗布方法を述べ
たが、それ以外には図３のようにパイプドクターノズル
単体を用いた方法、但しこれは裏面へのレジストの回り
込みがあり他方の主面を汚すので、金属板薄１の両端面
がバックアップローラーと非接触になるように段付きバ
ックアップローラーを用いるとよい。

【００３６】また、リバースビート・リバースコーター
・ダイレクトキス・ダイレクトビート等、一般的に片面
塗布に用いられているコーターを使用してレジスト膜を
形成できることは勿論である。

【００３７】

【発明の効果】この発明によれば、金属薄板の両方の主
面に独立にレジスト膜を形成するので、金属薄板上に所
望の膜厚を有するレジスト膜を任意に形成することがで
き、レジスト材の塗布は水平に搬送される金属薄板の上
部に常に行われるため感光性樹脂液の流れがなく、且つ
乾燥時においても感光性樹脂液は金属薄板表面に固着し
た状態で乾燥される。したがって、感光性樹脂液の流れ
やタレ落ちが発生せず、金属薄板の巾方向及び長手方向
で均一な厚みのレジスト膜を形成できる。且つ、レジス
ト膜の乾燥時及び乾燥後の温度管理を正確に行うことに
より、両主面のレジスト膜の膜感度が安定しているた
め、露光現像後のレジストパターン開孔寸法ばらつきが
少なく、且つ切れの良いレジストパターンを容易に形成
することができる。

【００３８】さらに、従来の方法は、金属板の搬送速度
を上げ単位時間当たりのレジスト膜形成効率を上げるた
めには、感光性樹脂液のタレ落ちが安定するために必要
な乾燥炉内域を増やす必要があり、搬送速度のアップ分
以上に乾燥炉長を長くする必要があった。これに対し
て、この発明によれば、感光性樹脂液のタレ落ちが生じ
ないので、感光性樹脂液の固形分を増し溶剤量を減少さ
せることにより乾燥に必要な熱エネルギーが少なくてす
み、乾燥炉長が同じでも金属薄板の搬送速度を大幅に速
くできる利点を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるシャドウマスクの製造
方法に用いられる感光性樹脂膜塗布形成装置の構成を示
す模式図である。

【図２】図１の感光性樹脂を塗布するコーターの構成を
示す要部模式図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す要部模式図である。

【図４】シャドウマスクの構造を示す要部断面図であ
る。

【図５】一般的なシャドウマスク製造方法を示す要部断
面図である。

【図６】従来のシャドウマスク製造方法に用いられる感
光性樹脂塗布方法を示す模式図である。

【図７】従来のシャドウマスク製造方法に用いられる感
光性樹脂塗布方法を示す模式図である。

【符号の説明】

１…金属薄板 ６ａ，６ｂ…感光性樹脂液 15ａ，15ｂ…乾燥炉 21ａ，21ｂ…コーティングローラー 22ａ，22ｂ…パイプドクターノズル 23ａ，23ｂ…バックアップローラー 24ａ，24ｂ…アジャスティングローラー 25ａ，25ｂ…反転ローラー 26…インフラスタインヒーター 27…熱風吹き出し口 28ａ，28ｂ…放射温度計

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 連続帯状金属板の両主面を脱脂水洗後、
   感光性樹脂液を塗布して乾燥させることにより感光性樹
   脂層を形成する第１の工程と、上記感光性樹脂層に所定
   の微細開孔のパターンを写真露光にて形成する第２の工
   程と、エッチングにより上記連続帯状金属板に微細開孔
   を穿設する第３の工程とからなるシャドウマスクの製造
   方法において、 上記第１の工程は、上記連続帯状金属板の両主面を脱脂
   乾燥後水平方向に搬送し、先ず１回目の塗布として一方
   の主面にのみ上記感光性樹脂液を塗布した後、塗布され
   た面を上方にし水平の状態を保持しながら第１の乾燥と
   して乾燥炉を通過させて感光性樹脂膜を形成後全体を冷
   却し、次いで連続帯状金属板を反転し、２回目の塗布と
   して他方の主面にのみ上記感光性樹脂液を塗布した後、
   ２回目に塗布された面を上方にし水平の状態を保持しな
   がら第２の乾燥として乾燥炉を通過させて感光性樹脂膜
   を形成後全体冷却する工程であり、 上記第１および第２の乾燥の際、乾燥炉の出口で感光性
   樹脂膜の温度を測定し、乾燥炉の温度をフィードバック
   制御することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
2. 【請求項２】 乾燥炉の出口で非接触放射温度計を用い
   て感光性樹脂膜の温度を測定し、設定温度にはいるよう
   乾燥炉のヒーター又は熱風にフィードバックがかかるこ
   とを特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの製造方
   法。