KR890004169A - 가속도 센서 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

가속도 센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 가속도 센서를 설명하는 도식적 블록도. 제 2 도는 본 발명의 다른 가속도 센서 : 도식적 블록도. 제 3 도는 제 2 도에 도시된 가속도 센서의 변형의 개략도.

Claims (22)

  1. 베이스 : 상기 베이스에 견고하게 고정된 적어도 하나의 제 1부 및 상기 제 1 부로 부터 이격위치한 제 2 부를 가지며, 가해진 가속도에 따라 변형될때는 상기 제 2 부가 초기위치로 부터 어떤 거리만큼 이동되며 가속도가 가해지지 않을때는 상기 추기 위치로 복귀하도록하는 재질로 이루어진 변형 가능부재 : 상기 제 2 부에서 상기 변헝가능 부재에 부착되는 영구자석의 한쪽 및 자기저항 센싱 소자로 구성되는 자기센서 ; 상기 영구 자석의 상기 한쪽 및 자기 센서에 대향하는 상기 베이스상에서 본질적으로 상기 영구 자석의 상기 한쪽 및 자기 센서가 이동되는 방향의 선에 고정 장치되는 상기 영구자석의 다른쪽 및 자기센서 ; 및 상기 자기 센서로 부터의 출력에 따라 가속도를 검출하는 전기회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 자기센서는 바버폴형 자기저항 센싱 소자인것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 변형가능 부재는 비임인것을 특징으로하는 가속도 센서.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 비임은 상기 베이스에 견고하게 고정된 제 1 단 및 상기 영구자석이 부착되는 제 2 자유단을 갖는 켄틸레버인것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 비임은 베이스에 견고하게 지지되는 각단에서는 상기 제 1 부 및 상기 영구자석이 장치되는 제 2 중심부를 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 변형가능부재는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 꼬일 스프링은 상기 베이스에 견고하게 고정된 제 1 단 및 상기 영구자석이 부착된 제 2 자유단을 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 코일 스프링은 베이스에서 견고하게 지지되는 각단페서의 상기 제 1 부 및 상기 영구 자석이 장치되는 제 2 중심부를 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  9. 베이스 ; 상기 베이스에 견고하게 고정된 직어도 하나의 제 1 부 및 상기 제 1 부로 부터 이격위치한 2부를 가지며, 가해진 가곡도에 따라 변형될때는 상기 제 2 부가 초기 위치로 부터 어떤 거리만큼 이동되며 가속도가 가해지지 않을때는 상기 초기 위치로 복귀하도록 하는 재질로 이루어진 변형가능부재 ; 상기 제 2 부에서 상기 변형가능 부재에 부착된 영구자석 ; 가속도가 가해지지 않을때 상기 자석에 대향하는 상기 베이스에 고정장착되며 상기 자석에 대해 본질적으로 대칭배열되는 자기저항 센싱 소자로 각각 구성되는 적어도 한쌍의 자기센서 ; 및 상기 자기 센서로 부터의 출력에 따라 가속도를 검출하는 전기회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 각속도 센서.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 자기 센서는 바버폴형 자기저항 센싱 소자인것을 특징으로 하는 가속도 센서
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 변형가능 부재는 비임인것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  12. 제11항에 있어서, 상기 비임은 상기 베이스에 견고하게 고정된 제 1 단 및 상기 영구 자석이 부착되는제 2자유단을 갖는 캔틸레버인것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  13. 제12항에 있어서, 상기 베이스는 상기 한쌍의 자기센서가 간격을 이줘 배열되며, 상기 자기 센서시의 개구 및 상기 개구의 한측의 흠으로써 비등방성 에칭에 의해 헝성되는 실리콘 기판으로 이루어지며, 상기 캔틸레버는 가속도가 상기 비임에 가해지지 않을때 상기 자기센서가 상기 자석에 대하여 본질적으로 대칭 위치되도록 상기 홈에 고정삽입되는 상기 제 1 단 및 상기 영구 자석이 부착되는 상기 제 2 자유단을 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  14. 제11항에 있어서, 상기 비임은 반경식 자기 재질로 상기 영구 자석에 일체로 형성된것을 특징으로는 가속도 센서.
  15. 제11항에 있어서, 상기 비임은 상기 베이스에 견고하게 지지된 각단에서의 상기 제 1 부 및 상기 영구자석이 장치되는 제 2 중심부를 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  16. 제 9 항에 있어서, 각각의 상기 자기저항 센싱 소자는 상기 자기저항 센싱 소자의 초기방향이 상기 영구자석의 자계의 분포에 적합하도록 배열되는 것을 특징으로 하는 가속도센서.
  17. 제 9 항에 있어서, 적어도 상기 베이스, 상기 변헝가능부재, 상기 영구자석 및 상기 자기저항 센싱소자는 바람직하지못한 진동을 방지하기 위해 기름으로 채워진 케이스에 설치되며, 상기 케이스는 자기 차폐 케이스를 형성하기 위해 자기물질로 이루어진것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  18. 제 9 항에 있어서, 가속도가 가해지지 않을때 상기 두쌍의 자기저항 센싱 소자가 각각 서로에 대해 직각인 2선상에 배열되도록, 각각 자기저항 센싱 소자로 구성되며 상기 자석에 대향인 상기 베이스에 고정 장착되며 상기 자석에 대해 본질직으로 대칭으로 배열되는 한쌍의 제 2자기센서로 더 구성되는 것을 특징으로 하는 가속도 센서
  19. 제10항에 있어서, 각각의 상기 바버폴헝 자기저항 센싱소자는 예를들면 45˚정도 경사지도록 적어도 하나의 권선 혹은 지그재그패턴의 자기박막 및 그위에 부착된 다수의 도전패턴으로 구성되는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  20. 제19항에 있어서, 각각의 상기 바버폴형 자기저항 센싱소자는 입력단 패드를 한정하는 일단 잊 출력 패드를 형성하기 위해 서로 접속된 타단을 갖는 제 1및 제 2권선 혹은 지그재그패턴의 자기박막으로 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 자기 박막상의 상기 도전패턴은 서로 대향방향으로 경사를 이루어서, 제 1 자기막상의 도전패턴을 통해 흐르는 바이어스 전류 및 제 2 막상의 도전패턴을 통해 흐르는 바이어스전류는 예를들어 90˚정도 각을 이루는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  21. 제20항에 있어서, 각각의 상기 바버폴형 자기저항 센싱 소자는 두 권선 혹은 지그재그 패턴의 자기박막으로 구성되며 서로 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
  22. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스는 상기 변형가능 부재가 갑작스런 쇼크에 의해 굽어질때 정지부재로서 역활을 하여 바람직하지 못한 진동을 방지하는 적어도 두 지지부재를 갖는 것을 특징으로 하는 가속도 센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
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