KR890002971A - 마스크 정렬방법 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

마스크 정렬방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 한 실시예에 따른 감광성 마스크 정렬을 위한 장치의 개략도. 제 2 도는 본 발명의 또다른 실시예에 따르는 장치 노출과 마스크 정렬의 개략도. 제 3 도는 제 2 도의 장치 일부분에 대한 확대도.

Claims (17)

  1. 감광성 내식막 물질로 부재를 코팅시키는 단계와, 상기 부재의 반대측상에 편평한 제 1 및 제 2 마스크를 정렬시키는 단계와, 화학선 광으로 마스크된 광감지 물질을 노출시키는 단계와, 편평한 부재를 선택적으로 처리하는 마스크로 개선된 광감지 코팅을 이용하고 광감지 물질을 생성시키는 단계를 구비하는 편평한 부재로부터 장치를 제조하는 방법에 있어서, 제 1 마스크내에 제 1 존 플레이트를 형성하는 단계와, 제 1 존 플레이트의 제 1 마스크내의 위치에 대해 설정된 위치에서 제 2 마스크내에 제 1 투명한 슬릿을 형성하는 단계를 특징으로 하며, 정렬 단계는 제 1 존 플레이트를 통해 제 2 마스크로 광 빔을 방향지우는 단계와 광 빔이 제 1 투명한 슬릿을 통해 전송될때까지 제 1 마스크에 대해 제 2 마스크를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,제 1 마스크내에 제 2 존 플레이트를 형성하는 단계와, 제 2 마스크내에 제 2 투명한 슬릿을 형성하는 단계를 특징으로 하며, 정렬 단계는 제 2 존 플레이트를 통해 제 2 마스크로 광 빔을 방향지우는 단계와 제 2 광 빔이 제 2 투명한 슬릿을 통해 전송될때까지 제 1 마스크에 대해 제 2 마스크를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 광 빔이 먼저 제 1 투명한 슬릿을 통해 전송된 후, 제 2 마스크는 제 1 투명한 슬릿의 폭을 주사시키도록 광 빔을 야기시키는 바와 같이 제 1 마스크에 대해 이동되며, 그러한 주사동안 광 세기의 복수의 측정은 슬릿을 통해 이루어지며, 측정은 포물선으로 정해지며, 포물선은 제 1 투명한 슬릿의 중심이 거의 광 빔의 중심과 일치시키도록 제 2 마스크를 위치시키는데 사용된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 광 빔은 반복적으로 제 1 투명한 슬릿의 폭을 주사시키도록 야기되며, 각각의 주사동안, 광 세기에 대한 세개의 측정은 슬릿을 통해 이루어지며, 각각의 주사후, 연속주사에 대한 초기의 위치는 세개의 측정중 둘이 거의 같을때까지 변화되고 광 세기의 세개 측정 대 거리는 거의 포물선으로 묘사되며, 상기 포물선은 제 1 투명한 슬릿을 광 빔상에 집중시키는데 사용된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 제 1 마스크에 대해 제 2 마스크를 이동시키는 단계는 참고구조에 대해 제 2 마스크를 고정시키는 단계와, 참고구조에 대해 제 1 마스크를 이동시키는 단계를 구비하며, 광 빔은 제 1 마스크에 대해 고정된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  6. 제 1 및 제 2 편평한 부재를 정렬시키는 방법에 있어서, 제 1 편평한 부재내에 제 1 및 제 2 존 플레이트를 형성하는 단계와, 제 1 및 제 2 존 플레이트를 각각 정렬되도록 제 2 부재내에 제 1 및 제 2 투명한 개구를 형성하는 단계와, 제 1 편평한 부재 반대와 제 1 및 제 2개구 근처 각각에 제 1 및 제 2 광검출기를 위치시키는 단계와, 제 2 편평한 부재로 제 1 존 플레이트를 통해 제 1 광 빔을 방향지우는 단계와, 제 2 부재로 제 2 존 플레이트를 통해 제 2 광 빔을 방향지우는 단계와, 제 1 빔이 제 1 개구를 통해 전송되고 제 1 광검출기에 의해 검출되고 제 2 광 빔을 동시에 제 2 개구를 통해 전송되고 제 2 검출기에 의해 검출될때까지 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 이동시키는 단계는 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 X선형 방향으로 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 제 1 편평한 부재에 대해 제 2 편평한 부재를 이동시키는 단계는 참고구조에 대해 제 2 부재 고정을 유지시키는 단계와 참고구조에 대해 제 1 부재 이동을 유지시키는 단계를 구비하고, 상기 제 1 및 제 2 광 빔은 제 1 부재에 입력으로 고정된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  9. 제 7 항에 있어서, 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 이동시키는 단계는 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 각도방향으로 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  10. 제 6 항에 있어서, 제 1 편평한 부재내에 제 3 존 플레이트를 형성하는 단계와,제 3 존 플레이트로 정렬되도록 제 2 부재내에 제 3 투명한 개구를 형성하는 단계와, 제 1 편평한 부재 반대와제 3 개구 근처에 제 3 광 검출기를 위치시키는 단계와, 제 2 부재로 제 3 존 플레이트를 통해 제 3 광 빔을 방향지우는 단계와, 제 3 빔이 제 3 개구를 통해 전송되고 제 3 광 검출기에 의해 검출될때까지 제 1 부재에 대해 제 2 부재를 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬방법.
  11. 제10항에 있어서, 제 1 및 제 2 광 빔이 각각 제 1 및 제 2 광 검출기에 의해 검출될때까지 제 2 편평한 부재를 이동시키는 단계는 제 1 부재에 대해 제 2 편평한 부재를 X선형 방향으로 이동시키는 단계와, 제 1 부재에 대해 제 2 편평한 부재를 각도방향으로 이동시키는 단계를 구비하고, 상기 제 3 광 빔이 검출될때까지 제 2 부재를 이동시키는 단계는 제 1 부재에 대해 제 2 편평한 부재를 X방향으로 가로지르는 Y선형 방향으로 이동시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  12. 제 6 항에 있어서, 제 2 부재는 제 1 부재에 대해 제 1 광 빔의 최대 광 세기가 제 1 광 검출기에 의해 검출되고, 제 2 광 빔의 최대 광 세기가 제 2 광 검출기에 의해 검출되도록 위치되는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  13. 제12항에 있어서, 제 1 및 제 2 광 빔을 각각 제 1 및 제 2 개구의 폭을 주사시키도록 야기되며, 광 세기에 대한 세개의 같은 간격 측정은 각각의 개구를 통해 이루어지며, 각각 연속주사의 초기 위치를 주사하고 난 후 제 2 마스크의 각도 방위는 세개의 측정중 둘이 거의 같을때까지 변화되고 광 세기의 측정 대 거리는 각각 거의 포물선으로 묘사되며, 상기 포물선은 각각 제 1 빔상의 제 1개구와 제 2 빔상의 제 2 개구를 집중시키는데 사용된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  14. 감광성 내식막 물질로 부재를 코팅시키는 단계와, 상기 부재의 반대측상에 편평한 제 1 및 제 2 마스크를 정렬시키는 단계와, 화학선 광으로 마스크된 광감지 물질을 노출시키는 단계와, 편평한 부재를 선택적으로 처리하는 마스크로 개선된 광감지 코팅을 이용하고 광감지 물질을 생성시키는 단계를 구비하는 편평한 부재로부터 장치를 제조하는 방법에 있어서, 제 1 마스크내에 제 1 개구를 형성하는 단계와, 제 1 개구와 정렬하여 제 2 마스크내에 제 2 개구를 형성하는 단계를 특징으로 하며, 정렬단계는 제 1 개구를 통해 제 2 마스크로 광빔을 방향지우는 단계와 광빔이 제 1 및 제 2 개구를 통해 전송될때까지 제 2 마스크에 대해 제 1 마스크의 상대 이동을 야기시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  15. 제13항에 있어서, 제 1 개구는 존 플레이트이고, 제 2 개구는 투명한 슬릿이고, 광 검출기는 제 1 및 제 2 개구를 통해 광빔의 전송을 동시에 검출하는데 사용된 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  16. 제14항에 있어서, 제 2 마스크에 대해 제 1 마스크의 상대 이동을 야기시키는 단계는 제 1 및 제 2 개구를 통하는 광전송이 최대인 위치를 결정하도록 광 빔으로 개루를 반복하여 주사하는 단계와, 제 1 및 제 2 개구를 통하는 광전송이 최대인 위치에서 제 1 마스크에 대해 제 2 마스크를 고정시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
  17. 제14항에 있어서, 제 1 마스크내에 제 3 개구를 형성하는 단계와, 제 3 개구와 정렬하여 제 2 마스크내에 제 4 개구를 형성하는 단계를 특징으로 하며, 정렬 단계는 제 3 개구를 통해 제 2 마스크로 제 2 광 빔을 방향지우는 단계와, 제 2 광 빔이 제 3 및 제 4개구를 통해 전송될때까지 제 2 마스크에 대해 제 1 마스크의 이동을 야기시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 정렬 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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