KR880700244A - 측정방법및 장치 - Google Patents

측정방법및 장치

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Abstract

내용 없음

Description

측정방법및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 실시예가 될 수 있는 슬릿조명기술(slitillumination Technique)의 도시도.

Claims (11)

  1. 한물체의 표면의 최소한 일부분의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보를 제공하는 방법에 있어서, 기지자료를 제공하는 단계와, 상기 기지자료를 검파하는 단계와, 상기 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보를 제공 할 수 있도록 상기 물체로 부터 반사광이 생기도록 물체를 조명하는 단계 및 상기예비정보를 변환하는 단계로 구성되며, 상기 기지자료검파단계는 측정평면에 수직한 최소한 4개의 평면표면을 갖고 있으므로 측정평면을 지닌 상기 평면의 교차로 인해 생기는 4개의 선은 상기선의 교정에 최소한 3개의 비공통선 기준위치를 정의하며, 검파된 자료와 기지자료사이의 편차에 따라 예비정보를 변환하여 물체표면의 최소한 일부분의 실제 단면형상 또는 윤곽의 보다 정확한 지시를 얻도록 하며 그렇게 함으로써 상기정보를 구비하거나 상기 정보가 얻어질 수 있도록 하는 것을 특징으로하는 물체의 단면 형상 또는 윤곽에 관한 정보제공방법.
  2. 한 물체표면의 최소한 일부분의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보를 제공하는 장치에 있어서, 상기 물체로 빛을 투영하는 조명장치와, 기지자료 장치로부터 온 빛을 검파하는 감지장치와, 상기 기지자료장치와, 상기 물체 및 상기 자료장체에 관한 예비정보를 제공하기 위해 상기 물체로부터 온 빛을 감지하는 감지 장치및 상기 예비정보를 변환하는 변환장치로 구성되며 상기 기지자료 장치는 측정평면에 수직한 최소한 4개의 평면표면을 갖고 있으므로 측정평면을 지닌 상기평면의 교차로 인해 생기는 4개의 선은 상기선의 교점에 최소한 3개의 비공통선 기준위치를 정의하며 상기 변환장치는 검파된 자료와 기지자료사이의 편차에 따라 예비정보를 변환하여 물체표면의 최소한 일부분의 실제단면형상 또는 윤곽의 보다 정확한 지시를 얻도록 하며 그렇게 함으로써 상기 정보를 구비하거나 상기 정보가 얻어질수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 물체의 단면 형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공장치.
  3. 제1항에 있어서, 기지자료는 십자형태의 단면을 지닌 강봉으로 구성되며, 제1, 제2, 제3 및 제4평면은 십자형의 한변의 단면과, 십자형중 한변의 측면과, 십자형중 상기변에 인접한 측면 및 십자형중 상기변에 인접한 단면에 의해 정의되는 것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보제공방법.
  4. 제2항에 있어서, 기지자료는 십자형태의 단면을 지니 강봉으로 구성되며, 제1, 제2, 제3 및 제4평면은 십자형의 한변의 단면과, 십자형중 한변의 측면과, 십자형중 상기변에 인접한 측면 및 십자형중 상기변에 인접한 단면에 의해 정의되는 것을 특징으로하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보제공장치.
  5. 제1항에 있어서, 검정매개변수가 상기 기준위치로 부터 결정되어지므로 정확한 기준위치는 결정될 수 있으면, 정확한 기준위치를 기지자료로 사용되며, 상기 검정매개변수는 다수의 감지장치로 기준위치를 관측함으로써 상기 자료로부터 검정자료를 얻음으로 인해 결정되면, 모든 감지장치에 대해 각 감지장치의 관계가 상기 검정매개변수를 반복해서 결정함에 의해 정확히 결정되는 실제 측정 평면을 만들기 위해 상기 자료를 처리할것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보제공방법.
  6. 제2항에 있어서, 검정매개변수가 상기 기준위치로부터 결정되어지므로 정확한 기준위치는 결정될 수 있으며, 정확한 기준위치는 기지자료로 사용되며, 상기 검정매개변수는 다수의 감정장치로 기준위치를 관측함으로써 상기자료로 부터 검정자료를 얻음으로 인해 결정되며, 모든 감지장치에 대해 각 감지장치의 관계가 상기 검정매개변수를 반복해서 결정함에 의해 정확히 결정되는 실제 측정평면을 만들기 위해 상기 자료를 처리하는 것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보제공장치.
  7. 한물체 표면의 최소한 일부분의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보를 제공하는 방법에 있어서, 기지자료를 제공하는 단계와, 기지자료를 검파하는 단계와, 상기 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보를 제공할 수 있도록 상기 물체로부터 반사광이 생기도록 물체를 조명하는 단계및 상기 예비정보를 변환하는 단계로 구성되며, 상기 기지자료 검파단계는 기지자료를 적어도 3개의 기준위치로 형성하며, 3개의 기준위치는 유도된 제4기준위치와 함께 평행사변형을 정의하며 그 평행사변형의 형상은 검정매개변수를 결정하는데 이용되며, 상기 검정 매개변수를 반복해서 결정함으로써 제1, 제2, 제3및 제4기준위치가 정확히 결정될 수 있으며, 상기 예비정보 변환단계는 검파된 자료와 기지자료사이의 편차에 따라 예비정보를 변환하여 물체표면의 최소한 일부분의 실제 단면형상 또는 윤곽에 대한 보다 정확한 지시를 얻도록 하며 그렇게 함으로써 상기 정보를 구비하거나 상기정보를 얻을 수 있도록 하는것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공 방법.
  8. 한 물체표면중 최소한 일부분의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보제공장치에 있어서, 상기 물체로 빛을 투영하는 조명장치와, 기지자료로부터 온 빛을 검파하는 감지장치와, 상기 검정매개변수를 반복해서 결정하는 처리장치와 물체에 관한 예비정보를 제공하기 위해 물체로부터 온 빛을 감지하는 감지장치 및 상기 처리장치로 구성되며, 상기 감지장치는 유도된 제4기준위치와 함께 평행사변형을 정의하는 최소한 3개의 기준위치로부터 얻은 기지자료를 검파하며, 상기 평행사변형의 형상은 검정매개변수를 결정하는데 이용되며 상기 처리장치를 검파된 자료와 기지자료사이의 편차에 따라 예비정보를 변환하여 물체표면의 최소한 일부분의 단면형상 또는 윤곽에 대한 보다 정확한 지시를 얻도록하여 그렇게 함으로써 상기 정보를 구비하거나 상기정보를 얻을 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공 장치.
  9. 제7항에 있어서, 검정매개변수는 다수의 감지장치에 의해 상기 기지자료로 부터 검정자료를 얻는 단계를 구비함으로써 결정되며, 모든 감지장치에 대해 각 감지장치의 관계가 상기 검정매개변수를 반복해서 결정함에 의해 정확히 결정되는 실제 측정평면을 만들기 위해 상기 자료를 처리하는 것을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공 방법.
  10. 제8항에 있어서, 검정매개변수는 다수의 감지장치에 의해 상기 자료로부터 검정자료를 얻는 단계를 구비함으로써 결정되며, 모든 감지장치에 대해 각 감지 장치의 관계가 상기 검정매개변수를 반복해서 결정함에 의해 정확히 결정되는 실제측정평면을 만들기 위해 상기 자료를 처리하는 것을 특징으로하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공 장치.
  11. 제7항에 있어서, 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 예비정보가 얻어질때 상기 물체의 상이 일정하게 되도록 상기 물체로 부터의 조명이 스티로브됨을 특징으로 하는 물체의 단면형상 또는 윤곽에 관한 정보 제공 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870700131A 1985-06-14 1986-05-27 물체의 단면형상 및 윤곽의 측정방법 및 장치 KR940007111B1 (ko)

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