KR880005669A - 다층 구리회로용 유전체 잉크 - Google Patents

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KR880005669A
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Abstract

내용 없음

Description

다층 구리회로용 유전체 잉크
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (45)

  1. 다층 집적회로 제조용 유전체 잉크에 있어서, a) 중량에 대하여 약 15 내지 약 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 산화 바륨과 산화 스톤튬으로 구성된 그룹중에서 선택된 약 3 내지 약 12%의 산화물, 약 5 내지 약 20%의 산화 알루미늄, 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 3%의 오산화 인 및 0 내지 약 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 약 50내지 약 75중량%의 비유리화된 유리 프린트, b) 약 30중량%까지의 세라믹 충진재 및 c) 약 15 내지 약 30중량%의 유기 부형제로 구성되는 것을 특징으로 하는 유전제 잉크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 비유리 프리트에 함유된 산화 바륨은 중량에 대하여 0 내지 약 0.5%의 오산화 인과 0 내지 약 1%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  3. 제1항에 있어서, 상기 유리 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화마그네슘, 약 5 내지 약 10%의 산화바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄 및 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 유기 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화 마그네슘, 약 3 내지 약 10%의 산화 스톤튬, 약 7 내지 약 11%의 산화 알루미늄, 약 38 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 2%의 오산화 인 및 0 내지 약 2%의 지르코늄 실리케이트로 구성된 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  5. 제1항에 있어서, 상기 잉크는 약 5 내지 약 15중량%의 충진재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  6. 제5항에 있어서, 상기 충진재는 알루미나, 바륨 디마그네슘 디실리케이트, 디마그네슘 보레이트, 지르코늄 실리케이트, 디마그네시아 실리케이트, 디마그네시아 디알루미나 페타실리케이트, 마그네슘 알루미네이트 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  7. 제6항에 있어서, 상기 충진재 물질은 알루미나와 바륨 디마그네슘 디실리케이트의 혼합물인 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  8. 제1항에 있어서, 상기 유기 부형제는 적당한 용매속의 유기 결합재 용액으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  9. 제8항에 있어서, 상기 유기 결합재는 폴리(이소부틸메타아크릴레이트)와 에틸 셀룰로우스로 구성되는 그룹중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  10. 중량에 대하여 약 15 내지 약 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 산화 바륨과 산화 스톤튬으로 구성되는 그룹중에서 선택되는 약 3 내지 약 12%의 산화물, 약 5 내지 약 20%의 산화알루미늄, 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 3%의 오산화 인 및 0 내지 약 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 비유리화 유리 프리트.
  11. 제10항에 있어서, 프리트에 함유된 산화 바륨은 중량에 대하여 0 내지 0.5% 의 오산화 인과 0 내지 1%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 비유리화 유리 프리트.
  12. 제10항에 있어서, 상기 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 23.5%의 산화아연, 약 17 내지 약 23,5%의 산화 마그네슘, 약 5 내지 약 10%의 산화 바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄 및 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘으로 구성된 것을 특징으로 하는 유리 프리트.
  13. 제10항에 있어서, 상기 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화 마그네슘, 약 3 내지 약 10%의 산화 스톤튬, 약 7 내지 약 11%의 산화 알루미늄, 약 38 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 2%의 오산화 인 및 0 내지 약 2%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 비유리화 유리 프리트.
  14. 적어도 2개의 도체 패턴화층이 놓인 적당한 기판을 구비하고, 상기 패턴화층은 바이어스를 갖는 유전체층에 의해 분리되고, 상기 바이어스는 상기 도체층과 접속하기 위해 도체로 채워지는 다층 집적 회로 구조체에 있어서, 상기 유전체층은 a) 중량에 대하여 약 15 내지 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 산화 바륨과 산화 스톤튬으로 구성되는 그룹중에서 선택된 약 3 내지 약 12%의 산화물, 약 5 내지 20%의 산화 알루미늄, 약 35 내지 50%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 3%의 오산화 인 및 0 내지 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성된 약 65 내지 100중량%의 비유리화 프리트와, b) 약 35중량%까지의 세라믹 충진재로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 집적회로 구조체.
  15. 제14항에 있어서, 프리트를 함유한 산화 바륨은 중량에 대하여 0 내지 0.5%의 오산화 인과 0 내지 약 1%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  16. 제14항에 있어서, 비유리화 유리 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화 마그네슘, 약 10%의 산화 바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄 및 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘으로 구성되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  17. 제14항에 있어서, 상기 비유리화 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 25.5%의 산화 아연 약 17 내지 약 23.5% 산화 마그네슘, 약 3 내지 약 10%의 산화 스톤튬, 약 7 내지 약 11%의 산화 알루미늄, 약 38 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 2%의 오산화 인 및 0 내지 약 2%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  18. 제14항에 있어서, 유전체층은 약 5 내지 약 26중량%의 충진재를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  19. 제18항에 있어서, 상기 충전재는 알루미나, 바륨 디마그네슘 디실리케이트, 디마그네슘 보레이트 지르코늄 실리케이트, 디마그네시아 실리케이트, 디마그네시아 디알루미나 펜타실리케이트, 마그네슘 알루미네이트 및 이들의 혼합물로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  20. 제19항에 있어서, 상기 충진재 물질은 알루미나와 바륨 디마그네슘 디실리 케이트와의 혼합물인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  21. 제14항에 있어서, 상기 기판은 알루미나 기판인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  22. 제14항에 있어서, 상기 기판은 상기 유리 프리트와 상기 충진재로 구성되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  23. 제14항에 있어서, 상기 도체는 구리인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  24. 집적회로 제조용 기판에 있어서, a) 중량에 대하여 약 15 내지 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 산화 바륨과 산화 알루미늄으로 구성된 그룹중에서 선택된 약 3 내지 약 12%의 산화물, 약 5 내지 약 20%의 산화 알루미늄 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 3%의 오산화인 및 0 내지 약 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성된 약 65 내지 약 100중량%의 비유리화 유리 프리트와, b) 약 35중량%까지의 세라믹 충진재로 구성되는 것을 특징으로 하는 집적회로 제조용 기판.
  25. 제24항에 있어서, 유리 프리트에 함유된 상기 산화 바륨은 중량에 대하여 0 내지 약 0.5%의 오산화 인과 0 내지 약 1%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판.
  26. 제25항에 있어서, 상기 유리 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화 마그네슘, 약 5 내지 약 10%의 산화 바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄 및 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판.
  27. 제24항에 있어서, 상기 비유리화 유리 프리트는 중량에 대하여 약 17 내지 약 23.5%의 산화 아연, 약 17 내지 약 23.5%의 산화 마그네슘, 약 38 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 0 내지 약 2%의 오산화 인 및 0 내지 2%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판.
  28. 제24항에 있어서, 상기 충진재는 알루미나, 바륨 디마그네슘 디실리케이트, 디마그네슘 보레이트, 지르코늄 실리케이트, 디마그네시아 실리케이트, 디마그네시아 디알루미나 펜타실리케이트, 마그네슘 알루미네이트 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 기판.
  29. 제28항에 있어서, 상기 충진재는 알루미나 및 바륨 디마그네슘 디실리케이트의 혼합물인 것을 특징으로 하는 기판.
  30. 다층 집적회로 제조용 유전체 잉크에 있어서, a) 중량에 대하여 약 15 내지 약 25%의 산화 아연 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 약 3 내지 약 12%의 산화 바륨, 약 5 내지 약 20%의 산화 알루미늄, 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 약 0.5 내지 약 3%의 오산화 인 및 약 1 내지 약 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 약 50 내지 약 75중량%의 유리 프리트, b) 30중량%의 세라믹 충진재 및 c) 약 15 내지 약 30중량%의 유기 부형제로 구성되는 것을 특징으로 하는 다층 집적회로 제조용 유전체 잉크.
  31. 제30항에 있어서, 상기 유리 프리트는 중량에 대하여 약 16 내지 약 22%의 산화 아연, 약 16 내지 약 22%의 산화 마그네슘, 약 5 내지 약 10%의 산화 바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄, 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 약 1 내지 약 2%의 오산화 인 및 약 2 내지 약 3%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  32. 제30항에 있어서, 상기 잉크는 약 5 내지 약 15중량 %의 충진재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  33. 제32항에 있어서, 상기 충진재는 알루미나, 바륨 디마그네슘 디실리케이트, 디마그네슘 보레이트, 지르코늄 실리케이트, 디마그네시아 실리캐이트, 디마그네시아 디알루미나 펜타실리케이트, 마그네슘 알루미네이트 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  34. 제33항에 있어서, 상기 충진재 물질은 알루미나와 바륨 디마그네슘 디실리케이트의 혼합물인 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  35. 제30항에 있어서, 유기 부형제는 적당한 용매속의 유기 결합재 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  36. 제35항에 있어서, 상기유기 결합재는 폴리(이소부틸메타아크릴 레이트)인 것을 특징으로 하는 유전체 잉크.
  37. 중량에 대하여 약 15 내지 약 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 25%의 산화 마그네슘, 약 3 내지 약 12%의 산화바륨, 약 5 내지 약 20%의 산화 알루미늄, 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 약 0.5 내지 약 3%의 오산화 인 및 약 1 내지 약 5%의 지프코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 프리트.
  38. 제37항에 있어서, 상기 프리트는 중량에 대하여 약 16 내지 약 22%의 산화 아연, 약 16 내지 약 22%의 산화 마그네슘, 약 5 내지 약 10%의 산화 바륨, 약 8 내지 약 11%의 산화 알루미늄, 약 39 내지 약 43%의 이산화 실리콘, 약 1 내지 약 2%의 오산화 인 및 약 2 내지 약 3%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리 프리트.
  39. 적어도 2개의 도체 패턴화층이 놓인 적당한 기판을 구비하고, 상기 패턴화층은 바이어스를 갖는 유전체층에 의해 분리되고 상기 바이어스 상기 도체층과 접속하기 위해 도체로 채워지는 다층 집적회로 구조체에 있어서, 상기 유전체층은 a) 중량에 대하여 약 15 내지 약 25%의 산화 아연, 약 10 내지 약 5 내지 약 20%의 산화 알루미늄, 약 35 내지 약 50%의 이산화 실리콘, 약 0.5 내지 약 3%의 오산화 인 및 약 1내지 약 5%의 지르코늄 실리케이트로 구성되는 약 65 내지 100중량%의 유리 프리트와, b) 약 35중량%까지의 세라믹 충진재를 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 집적회로 구조체.
  40. 제39항에 있어서, 상기 유전체층은 약 5 내지 약 26%의 충진재를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  41. 제39항에 있어서, 상기 충진재는 알루미나, 바륨, 디마그네슘 디실리케이트, 디마그네슘 보레이트 지르코늄 실리케이트, 디마그네시아 실리케이트, 디마그네시아 디알루미나 펜타실리케이트, 마그네슘 알루미네이트 및 이들의 혼합물로 구성되는 그룹중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  42. 제41항에 있어서, 상기 충전재 물질은 알루미나와 바륨 디마그네슘 디실리케이트의 혼합물인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  43. 제39항에 있어서, 상기 기판은 알루미나 기판인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  44. 제39항에 있어서, 상기 기판은 상기 유리 프리트와 상기 충진재로 구성되는 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
  45. 제39항에 있어서, 상기 도체는 구리인 것을 특징으로 하는 회로 구조체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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