KR880003431A - I²l 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 I2L 소자를 보인 설명도.
제2도의 (가)-(다)는 본 발명에 의한 I2L 소자의 제조 공정도.
Claims (1)
- 매립층(2)이 확산되고, n형 에피텍셜층(3)이 성장된 p형 기판(1)상에 p+형 확산영역(4) 및 ROX(5)로 소자를 분리하고, 공지와 같이 p형 베이스 영역(6)을 형성하며, NPN형 트랜지스터의 콜렉터 영역에 n+형 폴리실리콘을 입혀 드라이브인 확산한 후 전극을 형성할 부위에 알루미늄층(9)을 입혀 제조함을 특징으로 하는 I2L소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR900000816B1 KR900000816B1 (ko) | 1990-02-17 |
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ID=19251678
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1986
- 1986-08-13 KR KR1019860006670A patent/KR900000816B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
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KR900000816B1 (ko) | 1990-02-17 |
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