KR880003431A - I²l 소자의 제조방법 - Google Patents

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KR880003431A
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor

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Abstract

내용 없음

Description

I2L 소자의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 I2L 소자를 보인 설명도.
제2도의 (가)-(다)는 본 발명에 의한 I2L 소자의 제조 공정도.

Claims (1)

  1. 매립층(2)이 확산되고, n형 에피텍셜층(3)이 성장된 p형 기판(1)상에 p+형 확산영역(4) 및 ROX(5)로 소자를 분리하고, 공지와 같이 p형 베이스 영역(6)을 형성하며, NPN형 트랜지스터의 콜렉터 영역에 n+형 폴리실리콘을 입혀 드라이브인 확산한 후 전극을 형성할 부위에 알루미늄층(9)을 입혀 제조함을 특징으로 하는 I2L소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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