KR870011506A - 패턴 전사방법 및 이 방법에 사용하는 할로겐화은 사진 건판 - Google Patents

패턴 전사방법 및 이 방법에 사용하는 할로겐화은 사진 건판 Download PDF

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도시오 야마모또
마사루 가와사끼
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이시다 도꾸지로
다이 닛뽄 스크린 세이조 가부시기가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

패턴 전사방법 및 이 방법에 사용하는 할로겐화은 사진 건판
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (6)

  1. 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖는 제1의 사진 건판에 원화 패턴을 형성하고, 이 원화 패턴을 포토레지스트층을 갖는 기판에 밀착 전사하는 패턴 전사 방법에 있어서, 상기 제1사진 건판은, 그 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 요오드화은 함유량이 8몰% 이하의 요오도 브롬화은 유제이고, 그 평균 입경이 0.1㎛ 이하의 것이거나, 또는 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 50몰% 이상의 염화은을 함유하는 것인 사진 건판이며, 또한, 상기 제1사진 건판의 유제층의 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인 것을 특징으로 하는 패턴 전사 방법.
  2. 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖는 제1의 사진 건판에 원화 패턴을 형성하고, 이 원화 패턴을 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖는 제2의 사진 건판에 밀착 전사하는 패턴 전사 방법에 있어서, 상자 제1 및 제2 사진 간판은 그 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 요오드화은 함유량이 8몰% 이하의 요오도브롬화은 유제이고, 그 평균 입경이 0.1㎛ 이하의 것이거나, 또는 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 50몰% 있의 염화은을 함유하는 것인 사진 건판이며, 상기 사진 건판 중 적어 도 제2의 사진 건판의 유제층의 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인 것을 특징으로 하는 패턴 전사 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖고, 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 요오드화은 함유량이 8몰% 이하의 요오도브롬화은을 함유하고, 그 평균 입경이 0.1㎛ 이하인 것인 사진 건판을 사용해서, 이 사진 건판 상에 원화 패턴을 형성하고, 이 원화 패턴을 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖고, 이 유제층이 함유되는 할로겐화은이 적어도 50몰% 이상의 염화은을 함유하는 사진 건판에 밀착, 전사시키고, 상기 사진 건판 중 적어도 1개의 유제층이 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인 것을 특징으로 하는 패턴 전사 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖고, 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 50몰% 이상의 염화은을 함유하고, 이 유제층의 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인사진 건판을 사용해서, 이 사진 건판 상에 패턴을 형성하고, 이 패턴을 지지체 상에 포토레지스트층을 갖는 기판에 밀착, 전사시킴을 특징으로 하는 패턴 전사 방법.
  5. 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖는 할로겐화은 사진 건판에 있어서, 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 요오드화은 함유량이 8몰% 이하의 요오도 브롬화은 유제이고, 그 평균 입경이 0.1㎛ 이하의 것이며, 이 유제층의 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인 것을 특징으로 하는 할로겐화은 사진 건판.
  6. 유리 지지체 상에 할로겐화은 유제층을 갖는 할로겐화은 사진 건판에 있어서, 이 유제층에 함유되는 할로겐화은 유제가 적어도 50몰% 이상의 염화은을 함유하고, 이 유제층의 표면 조도가 0.3㎛-3㎛인 것을 특징으로 하는 할로겐화은 사진 건판.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870004390A 1986-05-07 1987-05-06 패턴 전사 방법 및 이 방법에 사용하는 할로겐화은 사진 건판 KR940002540B1 (ko)

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