KR900010469A - 차광성 마스킹 필름 - Google Patents

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KR900010469A
KR900010469A KR1019880016178A KR880016178A KR900010469A KR 900010469 A KR900010469 A KR 900010469A KR 1019880016178 A KR1019880016178 A KR 1019880016178A KR 880016178 A KR880016178 A KR 880016178A KR 900010469 A KR900010469 A KR 900010469A
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shielding
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히로시 마루야마
요시하루 호리이
Original Assignee
요시우라 이사무
소마루 가부시끼가이샤
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
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Abstract

내용 없음

Description

차광성 마스킹 필름
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 플라스틱재로 형성된 지지체 및 상기 지지체의 표면에 제공된 박리 가능한 차광성층으로 구성되고, 조광조건하에서 상기 차광성층에 형성된 절단선이 형광하여 식별 가능한 패턴을 형성하도록 형광 물질을 함유함을 특징으로 하는 차광성 마스킹 필름.
  2. 제1항에 있어서, 차광성층의 형광물질의 함량이 2~50중량 %인 차광성 마스킹 필름.
  3. 제1항에 있어서, 차광성층의 결합제, 차광물질 및 형광물질을 함유하는 차광성 마스킹 필름.
  4. 제3항에 있어서, 형광물질대 차광성물질의 비가 5:95내지 80:20인 차광성 마스킹 필름.
  5. 제1항에 있어서, 상기 차광성층의 두께가 20~50㎛인 차광성 마스킹 필름.
  6. 차광성층에 형성된 절단선이 조광 조건하에 형광하여 식별 가능한 패턴을 형성하도록 프라스틱재로 형성된 지지체, 지지체에 제공된 박리성 차광성층 및 형광물질을 함유하고 상기 지지체 및 상기 차광성충 또는 상기 차광성층간에 제공된 형광층으로 구성됨을 특징으로 하는 차광성 마스킹 필름.
  7. 제6항에 있어서, 형광물질이 차광성층 및 상기 형광층의 전체 중량에 대하여 2~50중량%로 사용되는 차광성 마스킹 필름.
  8. 제6항에 있어서, 차광성층이 제1결합제 및 차광물질을 함유하고, 형광층이 제2결합제 및 상기 형광물질을 함유하는 차광성 마스킹 필름.
  9. 제8항에 있어서, 형광물질대 차광물질의 중량비가 5:95내지 80:20인 차광성 마스킹 필름.
  10. 제6항에 있어서, 상기 차광층의 두께가 20~50㎛이고, 상기 형광층의 두께가 0.5~25㎛인 차광성 마스킹 필름.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880016178A 1987-05-29 1988-12-05 차광성 마스킹 필름 KR920005768B1 (ko)

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CA1307981C (en) 1992-09-29
JPS63298247A (ja) 1988-12-06

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