KR860002739A - 회로 트레이스상의 스크린 코팅을 위한 고분해능납 마스크 광중합체 - Google Patents

회로 트레이스상의 스크린 코팅을 위한 고분해능납 마스크 광중합체 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

회로 트레이스상의 스크린 코팅을 위한 고분해능납 마스크 광중합체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 메쉬 스크린으로부터 인쇄 배선반 위에 두층의 납 마스크를 코팅하는 코팅공정의 선도.
제2도는 인쇄 배선 트레이스용으로 특히 적당한 성질을 가지며 고분해능 광 영상을 가지는, 액체 광중합체의 납마스크로 코팅된 인쇄 배선반의 부분도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 부재, 11 : 기질, 12 : 작업표면, 13 : 배선트레이스, 14 : 두번째층, 15 : 고무날, 16 : 힘, 18 : 메쉬스크린, 19 : 초기광중합체코팅층, 14' ; 액체광중합체층, 20 : 과영상패턴, 22 : 구멍.

Claims (21)

  1. 상당한 표면 불규칙성, 밀접한 간격의 미세 배선 트레이스 상의 불완전화 또는 공기 거품이 내포되는 일없이 인쇄배선 반의 전도체 트레이스 상의 그 깊이를 통해 경화된 영구납마스크 패턴을 규정하는 약0.002인치(0.005cm)이상 두께의 고분해능 층을 생성하기 위해 개선된 상호작용 성질을 갖는, 인쇄배선반의 절연 기질에 의해 지지되는 전도체 층 상에 코팅하기 적당한, 단량체, 중합체 및 감광제를 포함하는 광할성 중합체의 광영상 품질 납 마스크 포토레지스트 네가티브 작용 액체 광중합체 조성물에 있어서, 상기 인쇄 배선 반상에서 경화할때 영구 납 마스크 층으로 생성하기 위한 전기 절연, 접착성 및 내열성을 가지며, 도입된 광기구 영상을 통해 화학선 방사에 노출될 때 0.002인치(0.05cm)이상 및 약 0.006인치(0.015cm)까지의 두께를 가진 층의 깊이를 통해 확장되는 패턴경화용 감광성을 가지며 0.002인치(0.005cm)이상의 깊이로의 광 방사 존재하에 125선 분해능을 제공할 수 있는 광분해능 성질을 가지며, 영구납 마스크 상태를 얻기전의 어느 시간에서 광중합체로부터 제거가능한 휘발성 물질을 상당한 백분율로 갖고 있지 않으며, 공기 거품을 내포하지 않으며 표면상에 스크린 메쉬 얼룩이 없는 약 0.004인치(0.01cm)까지 두께의 배선 트레이스 상에 약 50-120범위로 메쉬를 가진 스크린으로부터 적층할 수 있는 액체 중합체 비노출된 상태에서의 유동 성질을 가지며, 광방사의 존재하여서 비중합된 액체 광중합체의 약 0.002인치(0.005cm)내지 0.004인치(0.01cm)의 층의 단지 한 표면이 공기 노출되어 25%이상의 깊이로 중합화를 일으키고 공기 노출면상에 두께의 25%이상의 비 중합된 깊이를 남기는 중합화 성질을 가짐을 특징으로 하는 회로 트레이스 상에 스크린 코팅하기 위한 고분해능 납 마스크 광중합체 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 첫번째 층에서, 0.003인치(0.08cm)두께의 비 노출된 광중합체 층이 광기구 영상을 통해 0.109J/㎠의 화학선 에너지로 광노출되어 한 면은 공기 배제되고 한 면은 공기 노출되어 층에서 약 0.002인치(0.005cm)깊이로 영상에 상응하는 패턴을 중합화하고 공기 노출된 측면상에서는 약 0.001인치(0.003cm)의 상당히 비 중합화된 층을 생성하는 감광계를 가짐을 특징으로 하는 포토레지스트.
  3. 제2항에 있어서, 광기구를 통해 화학선에 두번째 노출될때 광기구를 통해 선택적으로 패턴이 중합하도록 하여 양면으로부터 공기 배제된 것은 층의 전체두께를 통해 상당히 선택적으로 중합화시키는, 서로 반응가능한 성분을 가짐을 특징으로 하는 포토레지스트.
  4. 제1항에 있어서, 약 0.002인치(0.005cm)두께 이상의 또다른 스크린 적층된 유사층으로 코팅될 때 인쇄회로 반 상의 비 중합된 스크린 적층된 첫번째 층은 거품없는 포토레지스트 결합 면에 비 중합된 면으로 적층시킬 수 있는 점도, 및 감광성을 부여하여 약 0.004인치(0.01cm)이상의 두께가 그 전체 두께에 걸쳐서 약 3.54J/인치2에너지의 화학선 방사에 의해 중합되도록 하는 상호 작용성분을 가지는 것을 특징으로 하는 포토레지스트.
  5. 제1항에 있어서, 공기의 존재하에서 광영상 노출 민감성을 부여하는 상호 작용 물질은, 3.5J/㎠에너지의 화학선을 가하였을 때 포토레지스트가 약 0.24인치(0.06cm)의 두께로 중합화 될 수 있는 대략 그러한 정도여야 함을 특징으로 하는 포토레지스트.
  6. 제1항에 있어서, 약 0.002인치(0.005cm)이상의 높이를 가진 전도성 회로 트레이스 상에 약 0.001인치(0.0025cm)두께 이상의 광중합체 층으로 인쇄 배선 반의 절연기질상에 전도성 적층화로 스크린 인쇄에 의해 적층되며, 트레이스 전체를 통해 상당히 일정한 두께의 층으로, 공기 거품을 내포하지 않는 절연 기질상에 분포됨을 특징으로 하는 포토레지스트.
  7. 제6항에 있어서, 공기 거품 없는 상기 일정한 두께 층상에 표면 대 표면으로 액체 페이스트 공기 상태에서 두번째 광중합체 층을 약 0.001인치(0.0025cm)이상 두께로 겹층을 형성하여, 층내에 거품을 내포하지 않고 또한 표면상에 스크린 얼룩이나 거품이 없는 약 0.002인치(0.005cm)이상의 조성층을 형성함을 특징으로 하는 포토레지스트.
  8. 제1항에 있어서, 약 50내지 120메쉬의 범위로 스키린으로부터 메쉬 스크린 적층함으로서 얻어지는 약 0.002인치∼0.003인치(0.005∼0.008cm)층 두께의 매끄러운 표면 조직을 가지는 일정 두께 층으로 절연 기질상의 전도체 층 표면에 인쇄배선반 영구 납 마스크 겹층을 생성하는 우수한 성질을 지니는 포토레지스트에 있어서, 단량체, 중합체, 감광제의 혼합물로 구성되는 125선 분해능의 휘발성 물질없는 광 영상품질의 네가티브 작용 액체 광중합체는, 포토레지스트 중합화에 사용되는 화학선 방사를 분산 또는 회절시키는 것을 억제하기 위해 선택된 성분을 가지며, 광기구영상으로부터 고 분해능으로 한정된 납 마스크층으로서 영구 부착하는 상기 전도 층의 적소에 광 영상화되고 경화될 경우 상기 혼합물은 스크린으로 부터 전도 층상에 적층될 때 비 중합된 상태로서 페이스트 굳기의 점도를 가진 액체 광중합체 형태로 있으며, 상기 범위의 스크린 메쉬 상에 스크린 적층 단계에 의핸 도입되는 공기 거품이없고 메쉬 얼룩이 없는 매끄러운 성질을 제공하는페이스트점도를 가지며, 0.004인치(0.011cm)높이의 상기 전도 층내의 전도체 트레이스 상에 적층될 경우 유동 성질을가지며, 0.012인치(0.03cm)트레이스 만큼 좁은 트레이스를 가지며, 트레이스상의 동일한 코팅 두께를 얻기위해 트레이스 간의 유사 간격 및 균일한 색에 의해 지시되는 점재된 간격을 가지며, 인쇄 배선 반상의 적소에서 광영상화될 때 층 두께를 통해 125선의 광영상분해능을 얻을 수 있는 성질을 가지며, 경화후에 거품의 내포나 포면 스크린 얼룩이 없는 영구 내열성 납마스크 겹층을 제공할 수 있는 성질을 가지며, 기질에 대해 수직인 직선 측벽에 의해 특정지워지는 패턴을 가짐을 특징으로 하는 포토레지스트.
  9. 제1항에 있어서, 광기구 표면에서 0.001인치(0.03cm)이상의 상당히 일정한 고정된 두께를 가지는 층을 점착시키는 점도를 제공하며, 광기구를 통해 층을 통과하는 화학선 방사를 하면 층의 반대면이 공기 노출될 경우 층 두께의 일부를 통해 중합화가 일어나며 층의 공기노출면은 액체 중합체 비중합화된 형태로 남아 있도록 하는 감광성을 가짐을 특징으로 하는 액체 광중합체.
  10. 제1항에 있어서, 약 0.002인치(0.005cm)두께 이상의 상당히 일정한 두께 층이 단지 한 표면만 공기에 노출되며 다른 표면은 영상을 가진 광투명과 접촉되어 있는 경우, 또한 광투명을 통해 0.109J/㎠의 화학선 방사를 받을 경우, 액체 중합체 층은 투명에 인접한 면상의 두께의 최소한 약 30%깊이로 중합화되며 공기노출된 면상에서는 비 중합되는 광 성질에 의해 특정지워지는 액체 광중합체.
  11. 제10항에 있어서, 중합체 조성물 내에는 용해하지 않고 150°F이상의 임계온도에서 중합화되는 건조β-단계 에폭시 분말과 혼합되어 있음을 특징으로 하는 광중합체.
  12. 제10항에 있어서, 잔류 메쉬 얼룩이나 공기 거품이 없이 적층상에 매끄러운 광택 표면을 가지며 스크린으로 부터 흘러내리지 않는 상당한 페이스트 굳기를 가지며 공기 거품의 내포없이 인쇄 배선반의 배선 트레이스상에 평평하지 않은 표면을 커버하는, 약 0.002인치(0.05cm)이상의 일정한 두께의 코팅을 제공하기 위해 50내지 120메쉬의 메쉬스크린으로 부터 스크린하기 위한 임계 정도 범위를 가짐을 특징으로 하는 광중합체.
  13. 절연 기질 표면상에 겹치는 전도 층에 한정되는 회로 트레이스 상의 인쇄 배선 반상에 영구납 마스크 레지스트 코팅을 제조하는 방법에 있어서, 약 50내지 120메쉬를 가진 스크린을 통해 상기 전도층 상에 단량체, 중합체 및 광개시제를 함유하는 광 영상 질의 네가티브 작용 액체 광중합체 층을, 페이스트 굳기로 스크린 인쇄하여 트레이스 및 기질상에 걸쳐 상당히 일정한 두께를 가지는 고정된 층을 적소에 남아 있게 하며, 최소한 0.001인치(0.003cm)의 두께의 포토레지스트 층은 스크린 인쇄 단계에 의해 도입되는 스크린 얼룩 및 공기 거품이 없는 매끄러운 표면을 제공하며, 액체 광중합체의 상당히 일정한 두께의 필름에 의해 회로 트레이스로 부터 분리된 상당히 편평한 표면상에 광 중합체층과 접촉하도록 위치된 광기구를 통해 인쇄 배선반 상의 적소에서 페이스트 굳기 액체 광중합체 층을 광노출하여 전도체 트레이스 상에 걸쳐서 납 마스크 층으로서 인쇄 배선 반에 영구 부착되는 패턴을 중합화함을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 광 유제 성질은, 한 측면을 공기 노출시키고 충분한 화학선으로 액체 광중합체층을 광기구를 통해 광노출시켜 그의 깊이를 통해 이 층을 부분적으로 중합하여 페이스트 굳기의 비중합된 표면을 남기고 상기의 상당히 일정한 두께의 필름에 의해 액체 광중합체 층의 표면으로부터 배선 트레이스를 분리하는 중합층으로 인쇄 트레이스를 통해 인쇄 배선반 상에 비중합된 표면을 겹층하고 그런다음 상기 광기구를 통해 화학선 방사에 광 노출하여 광기구 영상에 상응하는 패턴으로 광중합체의 전체 두께를 중합화하는 단계를 포함하는 방법.
  15. 인쇄 배선반 상에 고분해능 광영상화 납 마스크를 생성하는데 있어서, 125선 이상의 고 분해능을 가지고 전체 두께를 통해 층을 중합화하는데 사용되는 화학선 방사에 충분하게 투명한 휘발성 물질 없는 네가티브 작용 액체 광중합체 혼합물의 페이스트 굳기 광중합체 혼합물을 50내지 120메쉬의 스크린을 통해 배선반상에 스크린 인쇄에 의해 약 0.002인치(0.05cm)이상 두께의 비노출된 포토레지스트를 두층 적층하고, 액체 비경화된 상태로 있는 광중합체 혼합물이 인쇄 배선반 표면에 흐르거나 떨어지지 않는 일정두께의 고정위치 층을 형성하기 충분한 정도의 농후함 및 스크린 단계에서 도입된 혹종의 스크린 얼록이나 거품이 재빨리 편평한 매끄러운 표면 내로 합침될 수 있기에 충분한 엷음을 갖도록 설정하고, 광중합체 혼합물이 광기구를 통해 화학선 방사되어 두개의 적층된 층이 결합 깊이를 통해 충분히 중합되고 납마스크 층으로서 배선반에 영구 부착된 한 층내에 함침되도록 설정하며, 겹층된 층을 액체 광중합체 표면상에 겹층된 광기구 영상을 통해 상기 화학선에 노출시키는 단계로 구성된 방법.
  16. 제15항에 있어서, 가장 바깥층을 광기구를 통한 화학선 방사함으로서 광영상에 상응하는 중합층 패턴을 생성하고, 표면 대 표면 접촉으로 층을 적층하고 두층을 광전지를 통해 화학선 방사함으로서 중합화하여 납 마스크로서 적소에 영구 부착시키는 단계를 부착시키는 단계를 더욱 포함하는 방법.
  17. 제15항에 있어서, 기질 표면에 의해 간격 한정되는 나란히 위치한 최소한 몇몇 트레이스를 가진 인쇄 배선 반의 절연기질 상에 전도 층으로 배선 패턴내에서 한정된 상당히 직사각형 모양의 횡단면을 가지는 배선 트레이스 상에 광기구 영상에 의해 한정된 패턴으로 상기 레지스트의 한 층을 코팅하고, 공기 거품의 내포없이 기질 간격상에 및 배선 트레이스의 위 및 둘레를 흐르는 비중합된 상태로 있는 페이스트 굳기의 점도를 가지는 액체 광중합체 레지스트를 생성하고, 필름과 접촉상태로 있는 영상과 표면 대 표면 접촉된 공기 거품 없는 페이스트 굳기 점도로서 상기 액체 광중합체의 납마스크 필름의 한 표면에 상기 광기구를 접촉시키고 상기 필름을 중합하는 것에 의해 특정지워지는 방법.
  18. 제17항에 있어서, 광투명상에 상당히 일정한 두께층의 액체 광중합체를 적층하여 외부층이 공기 노출되도록 하여 광투명을 통해 화학선 방사에 반응하여 층두께의 약 30%이상까지 층이 중합화되고, 충분한 에너지의 광투명에 의해 운반된 상을 통해 층으로 하여금 화학선 방사를 받게 하여 광투명에 인접한 광중합체층 부분을 최소한 약 33%깊이로 중합화하는 것과 같이, 거친 표면상에 두꺼운 중합체 코팅을 하는 것으로서 특정지워지는 방법.
  19. 약 0.002인치(0.005cm)이상의 두께로 배선 트레이스 상에 약 50내지 120메쉬 스크린으로부터 광중합체 층을 스크린 적층하는 단계에 의해 제조되는, 인쇄 배선반의 배선 트레이스 상에 납 마스크 코팅하기 위한 성질을 가지는 액체 네가티브 작용 광중합체 용액을 제조하는 공정에 있어서, 액체 네가티브 작용 광중합체와 광개시제 성분을 결합하여 광 노출용 광반성 용액을 제조하고 약 6J/㎠의 방사로 uv방사하여 최소한 약 0.05cm깊이로 용액을 경화시키고, 메쉬 얼룩이 없는 매끄러운 광택 표면을 가진 층의 상기 표면으로부터 적층시키고 메쉬 구멍으로부터 흘러떨어지는 것을 피하도록 하는 페이스트 굳기 점도를 생성하기위해 uv방사에 상당히 투명한 성질의 충진제를 제공하고, 약 0.006인치(0.015cm)두께의 광중합체 층을통해 투과하는 것으로 부터 uv방사를 회절, 분산 또는 차폐시키는 성분을 피하고, uv에 의해 경화되었을 때 구리에 양호한 점착성을 생성하고 용해된 납의 존재하에서 안정한 성질을 생성하며 양호한 전기 절연을 생성하는 성분을 제공하고, 약 100선을 초과하는 분해능을 가지고 광영상을 통한 광 노출에 반응하여 중합화하는 성분을 선택하는 단계로서 특정지워지는 공정.
  20. 제19항에 있어서, 배선 트레이스를 커버하는 층의 일정 두께 부분을 가지는 배선 트레이스 상에서 약 0.002인치(0.005cm)두께 이상의 층을 적층하기 위한 명백한 성질을 갖는 방법에 있어서, 얇은 필름광기구 영상을 통해 4J/㎠미만까지의 에너지 방사에 반응하여 적층된 용액의 약 0.002인치(0.005cm)이상 두께의 비중합된 층을 제공하고 반대 표면은 공기 노출시켜 그 두께를 통해 이 층을 부분적으로 중합화하여 광기구 영상에 상응하는 패턴으로 그 두께의 최소한 1/3깊이를 중합화하는 성분의 조합을 생성하는 것에 의해 특정지워지는 공정.
  21. 제19항에 있어서, 액체 공중합체 내에서, 광중합체 내에는 용해되지 않으나 150°F이상의 임계온도에서는 중합화하는 건조 B-단계 에폭시 분말을 결합시키고, 구리 표면상에 중합체-에폭시 조성물의 층을 적층하고 에폭시 중합 임계점 이상의 온도에서 굽는 최종 경화단계에서 층을 공정함으로서 에폭시를 구리에 결합시키는 단계를 포함하는 공정.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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