JPS6187152A - 回路痕跡全体にわたるスクリ−ン塗被用高分解能ソルダ−マスク感光性ポリマ−及びその生成法 - Google Patents

回路痕跡全体にわたるスクリ−ン塗被用高分解能ソルダ−マスク感光性ポリマ−及びその生成法

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JPS6187152A
JPS6187152A JP60200426A JP20042685A JPS6187152A JP S6187152 A JPS6187152 A JP S6187152A JP 60200426 A JP60200426 A JP 60200426A JP 20042685 A JP20042685 A JP 20042685A JP S6187152 A JPS6187152 A JP S6187152A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明はプリント配線板に関し、具体的には、プリン
ト配線板の配線痕跡をおおうための高分解能現場光造像
特性と流れ特性を備えた０、００２インチ（０．００５
センチ）以上の濃液体感光性ポリマーソルダーマスク塗
料に関する。
この発明は、米国特許第４５０６００４号の改良であっ
て、その客体が全部引用されてこの明細書に含まれてい
る。
（従来の技術） 米国特許第４　、４２４　、０８９号に説明しであるよ
うに、ペースト状稠度の液体感光性ポリマーは、スクリ
ーン印刷によって所望の厚さに溶着させることができる
。しかし、光透像分解能が失われると、よシ一層厚い層
となる。前記特許のなかには、ポリマーの一様な厚みと
非常に滑らかな表面が望ましいということも示されてい
る。泡とスクリーンの跡は、層を液体ポリマーを用いて
スクリーンするときに遭遇する普通の傷である。また、
つぎのことが分っている。すなわち、文献に記述されて
いるものや現在市販されているもののような従来の感光
性ポリマー塗料は、プリント回路配線板上に、０．０１
２インチ（０，０４センチ）離間によって離間された標
準０．０１２インチ（０，０４センチ）幅の痕跡を備え
た厚さ０．００２インチ（０，００５センチ）またはそ
れ以上の回路痕跡全体にわたグて溶着したとき、痕跡全
体にわたる塗被の窮乏または稀薄の影響を受け、不良に
ソルダーマスク絶縁特性となる。したがって、負作用液
体感光性、ｌ？９マーの使用が望ましく、該ポリマーは
、コストが安く、かつ良好なソルダー塗被特性を提供す
るものである。
しかし、米国特許第４　、２６０．６７５号のなかで同
定識別されるもののようなこの性質の市販の感光性、ｔ
？　ＩＪママ−、米国特許に説明したように、０．００
６インチ（０，０１５センチ）までの厚さの高品質ソル
ダーマスク塗料を生成するための適切な粘度も分解能も
提供しないのである。したがって、高分解能の厚いソル
ダーマスク層については、米国特許第４．４１３．０５
１号が教示しているような高価な乾燥フィルムを使用す
ることが必要であった。
米国特許第４，３７６．８１５号には、数ミクロンの厚
さの光に敏感な、好ましくは正作用のフォトレジストの
非常に層をスクリーンからプリント配線板へ移動させる
技術が説明されている。この技術は、揮発性溶剤を含有
している特殊なフォトレジストの非常に薄い層に依存し
ているが、該フォトレジストは光造像前に該溶剤を除去
するために加熱乾燥させることが必要なのである。また
、非常に薄い粘度のために、非常に目の細かいスクリー
ンを用いても、これらのフォトレジストには、プリント
配線板内の貫通穴の存在で液体フォトレジストを滴下さ
せないための連続的プリント配線板の位置を狂わせて変
更することのような特殊技術が必要とされている。厚み
が０．００２インチ（０．００５センチ）乃至０．００
６インチ（０，０１５センチ）のよう表より一層厚いフ
ィルム層も、これらのフィルム層の非常な低粘度のため
に、スクリーンニングできなかったのである。更に、薄
い粘度の液体フォトレジストは、配線痕跡から流れ去っ
て、細かに離間している狭いプリント配線痕跡全体にわ
たって不適邑なソルダーマスクの厚みまたは窮乏不足を
生じたのであった。この特殊なフォトレジストは、溶剤
に対する固体の割合を増加させることによるか、または
、充填剤を添加することによるかＫよって、溶剤を除去
するための加熱乾燥の間にフォトレジストが非常に細か
いメツシュのスクリーンを介して流れないように、ある
いは基板の滑らかな表面を流れ去らないように、流れ特
性を変更する必要がある。使用されているリアシフオド
レジストは、溶剤が存在している液体状態での光造像に
は不適切であシ、したがって、散在加熱乾燥サイクルで
は、この技術を、現場でプリント配線板上に光発現する
永久ソルダーマスク塗被として使用できるよりなよシ一
層厚い乾燥フィルム層やより一層良好な光透像分解能と
競争するためには、競争力のあるプリント配線板の使用
を経、済的に不適切としているのであって、これは、溶
剤を含有しているフォトレジストをどのように処理でき
、かつ高分解能で光造像できるかが分かつていたとして
も、不適切としているのである。
厚みが０．００５インチ（０，０１３センチ）のような
厚い塗被のフォトレジストを達成する仁とは、上記米国
特許第４，４１３，０５１号が示すように、特に高光造
偉分解能が必要とされる場合に、この技術の１つの問題
である。このように、私の発明以前には、約０．０００
５インチ（０，００１３センチ）以上の厚みが必要とさ
れる場合に光造像前に処理工程を行なわないで現場τ残
すことのできる液体フォトレジストを付着させる方法が
知られておらず、厚い液体フォトレジスト層から高度の
光分解能を得る方法も知られていないのである。
厚みが０．００３インチ（０．００５センチ）のよりな
よシ一層厚い層を達成するために、光造像前にプリント
配線板の適所で液体ポリマー層を重合させるための中間
露光工程によって液体感光性ポリマーを使用することは
、米国特許第４，２９１，１１８号に説明されている。
このように、中間化学線輻射露光工程は、液体感光性ポ
リマーを適所に保持せんがために必要であり、液体ポリ
マー用の困難なエアナイフ塗布工程が輻射中に心線であ
って、コストの高い工程とコストの高い工具を用いるこ
とになる。この方法は、ポリマーが部分的に重合したと
きに限界的となシ分解能が減少する。それでも、この方
法は、回路痕跡全体にわたる最小厚さの塗被をつくるた
めに、回路痕跡を備えた配線板上で用いることはできな
い。
英国特許明細書第７４１，４７０号で分かるように、液
体、ｔ？　ＩＪママ−従来的なのは、より一層厚い層を
達成することであシ、光造像前に中間光重合工程が必要
であるか、それに代わって、液体ポリマーに珪素などの
充填剤を添加することであって、それが化学光線を回折
し、そのため分解能を乱し得るのである。重合中に液体
層を平らに保ち厚みを一定にするに際して問題に遭遇し
ているのである。
これらの技術は、中間調の像を得る目的で開発されてい
るのであるが、分解能が非常に劣っている。
その理由は、感光性ポリマー中への輻射が分岐して、最
新の高分解能プリント配線板へのソルダーマスクの光造
像に必要な鋭く真すぐな側面よりはむしろ円錐側面を形
成するからである。
（発明が解決しようとする問題点） 米国特許第４５０６００４号では、約０．００６インチ
（０，０１５センチ）の厚さは、厚さを調節するために
スクリーンからそれぞれ溶着されるペースト状稠度の液
体感光性ポリマーのより一層薄い２層を載置することに
よって達成される。基板と内側層表面における気泡のな
い付着性接触と滑らかな気泡のない外側表面を目的とす
ることは、高分解能光像を生成するのに必要である。し
かし、この目的は、高分解能光造像を達成するためのポ
リマーの限界釣元品質のみならず感光性ｄ？　ＩＪママ
−粘度にも非常に関連があるということが分かつている
。
満足的な粘度と光品質に使用できる感光性ポリマーは公
開された技術には存在しなかったし、市販のポリマーは
、基板上に設置される液体感光性ポリマー塗被上の直接
の永久ソルダーマスク塗被の高分解能光造像には利用で
きなかった。したがって、次のことが分かった。すなわ
ち、利用できる液体負作用感光性ポリマーは、薄層の生
成には非常に薄かったか、あるいは、非常に厚く、化学
光線を屈折または拡散できる充填剤あるいは添加剤を含
んでいたのであって、したがって分解能および／または
硬化深さ、特に０．００４インチ（０，０１センチ）乃
至０．００６インチ（０，０１５センチ）もの厚さの層
における分解能および／または硬化深さを限定している
。
ところで、この発明の目的は、この先行技術の欠点を克
服し、かつ粗いスクリーンを介してのスクリーンニング
て滑らかな気泡のない表面を生成するための改善された
液体感光性ポリマーのソルダーマスク耐蝕膜と約０．０
０２インチ（０．００５センチ）乃至０．００６インチ
（０，０１５センチ）の厚さ範囲全体にわたっての光透
像高分解能とを提供することでちる。したがって、現場
塗被がプリント配線板上に印刷された配線痕跡を永久的
におおう高分解能パターンを得るために光発現すること
が望ましい。液体ポリマー塗被け、約ｏ　、ｏｏｓイン
チ（０，０１３センチ）までの厚さの基板上の配線痕跡
によって与えられた粗い基板領域全体にわたって液体ポ
リマー形状で適所Ｋｆ造像可能であシ、かつ所望の層の
厚さと適切な流れ特性を達成するためにスクリーン印刷
忙よって調節可能であることが必要である。
（問題を解決するための手段） 次に１この発明の概要を開示する。この発明は、実質的
Ｋ　ｉｏｏ　ｓ不揮発物を有する光造偉品質の負作用液
体感光性ポリマーを提供し、該ポリマーはモノマーと、
ポリマーと、光増感剤と、所望の場合、重合に用いられ
る化学線輻射の存在で屈折または拡散を限定する透明光
学的特性を備え走すぺでの成分と充填剤で気泡を発達さ
せ保留する傾向を減じる界面活性剤とから成る。このポ
リマーけ、限界粘度が父乃至１２０メツシュのスクリー
ンからのメックニスクリーンニングについて明確であっ
て該メツシュスクリーンニングから約０．００２インチ
（０，００５セｙｆ−）乃至０．００３　イア　チ（０
，００８セｙチ）の一定厚みの層を、スクリーンまたは
回路板穴を介してつまったシあるいは滴下したり、ある
いは、スクリーンユング工程後に残される気泡を発生さ
せないで、生成し、かつ表面にスクリーンメツシュの跡
または隆起がなく、しかして、回路痕跡に並んで気泡を
閉じ込めないで回路板の基板上の回路痕跡全体にわたっ
て流れる。
この感光性ポリｉ−は、スクリーンニング２層を０．０
０６インチ（０，０１５センチ）の厚みで載置したとき
に、少なくとも１２５ラインまでの分解能を生成すると
いう光造像特性を更に備えている。このことは、感光性
１リマーを露光させるのに用いる化学光線を注目に値す
るぐらいに拡散または回折する充填剤または成分なしで
部分的に達成される。
光特性は、効率的な生産コストと速度を達成するための
化学光線からの効率的な低エネルギー七迅速重合という
特性を更に備えている。それらの材料は、輻射の際に１
表面が空気に対して開放されているときに１選択された
深さまで重合可能であるという特性を備えており、した
がって、現代のプリント配線板の狭い痕跡全体にわたっ
て、確実に％貫通穴をおおい、かつ適切なソルダーマス
ク絶縁物となっている。十分に重合し硬化したｇ光性ポ
リマーは、液状で露光されて永久的ソルダーマスクとし
て役立つときに、プリント配線板上の適所に存在するた
めの良好な絶縁特性と耐熱性を備えている。
したがって、プリント配線板は、その上に、平らな表面
であっても、基板表面であっても、絶縁基板上に載置さ
れた導電層内の細かく離間した微細な配線痕跡全体にわ
たっても、感光性、ｆ　＋）マーを籐光させるための化
学光線を十分に通す厚さに調節され、かつ均一な厚さの
これらの重要なポリマー特徴の厚い気泡のない高分解能
の感光性ポリマー層が溶着されている。これらの層は、
父乃至１２０メツシュの粗いスクリーンを介しての移動
によって溶着される。感光性ポリマーの限界粘度を備え
た２載置層は、未重合状態での表面から表面への液体、
ｄ　１７マー接触を提供し、気泡の防止に役立つ。これ
らの表面にけ、光速像分解能を乱す気泡やスクリーンメ
ツシュの跡はない。感光性ポリマー特性によって可能で
ある重要な特徴は、粗いスクリーンでペースト状の稠度
の液体感光性ポリマーの１枚またはそれ以上の調節され
た厚さの層を高分解能光造像のためにプリント配線板上
にその液体形状で乾燥または重合という中間工程なしで
直接に置く能力である。液体感光性ポリマーの粘度は、
それがプリント配線板を流れ去らないし、現場での感光
性７オトボリマーの７オトツ一ル乳化表面との繰返され
る直接接触を防止するに十分な程度に堅くなってもいな
込し、また摩耗しないようなものである。これらの状況
のもとで、この感光性ポリマーは、良好なフォトツール
摩耗特性を備えている。
以下、添付図面を参照してこの発明の好ましい実施例に
ついて詳述する。
第１図から分かるように、メツシュスクリーンは、配線
痕跡１３と最初の感光性ポリマー塗被層１９の上に第２
層１４を載置せんがために加工物表面１２上にあるプリ
ント配線板１１全体にわたって平行位置にある部材間に
保持されており、該第２層１４は、力１６と１７の影響
下でプム刃１５によってメツシュスクリーン１８から浴
着されている。
第２図から分かるように１液体感光性、ｆ　＋７マ一層
１４の上表面と接触して乳化側面とともにフォトツール
像パターン加がその上に載置される平らな頂部表面を提
供するために択一的な中間工程を採用することができる
。したがって、０．００３インチ（０，００７センチ）
というその深さ全体の部分的ノ・ツチングが示すように
、上層１４′は、約０．００２インチ（０．００５セン
チ）深さまで部分的に重合される。
したがって、上ｒｔ４１４’は液体感光性ポリマー層で
、約０．００２インチ（０，００５センチ）よりも厚い
実質的に一定の厚さの層が空気の存在にさらされている
′　１表面だけと貫通穴ｎをカバーしている２１におけ
るような像を運ぶ光透過物と接触している他の表面を有
しているとき、しかして、光透過物を介して１平方セン
チ当り約０．１０９ジュールの化学線輻射を受けたとき
、液体ポリマー層が光透過物に隣接している側面上でそ
の厚さの少なくとも３０係の深さまで重合されるように
なるように、また空気にさらされている側面で未重合と
なるように、光特性を備えている。図示したように１代
表的には、光透過物田上を運ばれる０、００３インチ（
０，００７センチ）の層は、その厚みの％が重合され、
イが液体感光性ポリマーの未重合の形で残って提供され
るが、それは、前に溶着した液体、ｌ　ＩＪマ一層の上
に液体ペースト稠度の感光性ポリマーの下層１９と表面
と表面の液体感光性セリマー接触で載置されたときであ
る。この手順で、配線痕跡１３が欠乏することなくすべ
ての痕跡にわ走って少なくとも０．００２インチ（０．
００５センチ）の厚みでソルダーマスク塗被を、備える
ことが確実となる。
この明細書で使用する用語を明確にするために。
次のことを認識してもらいたい。すなわち、液体感光性
ポリマーとは、感光性ポリマー組成物であって、揮発物
を含有していないで固体のみを含有し、その場合、未重
合（化学線輻射にさらされていない）状態の光活性ポリ
マーが液体または硬くされてない形になっている。化学
線輻射、通常は紫外線輻射、Ｋよって重合したとき、感
光性１リマーは、光透過像によって運ばれる特殊な形全
体にわたるといった重合状態で硬くなり、その結果、未
重合液体感光性ｄ？　リ−ｒ−は、発現工程だおいて洗
い流すことができる。
したがって、この発明は、プリント配線板上の細密に離
間している配線痕跡をその全体にわたって欠乏または稀
釈が絶対になく力、１−する最低深さのソルダーマスク
でおおうための感光性ポリマーソルダーマスクを提供す
る。したがって、液体ソルダーマスクボリマーは、配線
痕跡１３１７ｔ：並んだアンダーカット領域２３におい
てでも、痕跡間のギャップを気泡なしでみたすために、
また液体と液体表面の界面に載置された２面を形成する
ため九ペースト状の稠度のプリント配線板上に溶着する
性質があり、配線痕跡をおおうソルダーマスクの厚みと
品質を保証する。
この明細書で提供するフォトツール透過物上の前記の特
性の液体感光性、ｔ？　ＩＪママ−実質的に一定の厚み
の層を溶着しその層を空気にさらされた外側の感光性、
ｔ？　＋７マ一表面を備えた光透過物を介して十分な化
学線輻射Ｋｌｌ光させて空気にさらされている外表面を
液体未重合形に残す間に光透過物に隣接している感光性
ポリマーの深さの実質的部分を重合させる方法は、その
上に感光性ポリマーを移動する回路板の配線痕跡全体に
わたって厚いソルダーマスク塗被を確実に提供する。し
かし、このことは、後程説明するように特別の感光性ポ
リマーを必要とする。その理由は、市販の感光性、）？
　リマーが次のような特性、すなわち、１つの表面を空
気にさらすと、光透過物を介して重合を輻射されたエネ
ルギーの合理的な量でそれと分る深さまで妨げる特性を
有しているからである。
この方法は、特別の感光性ｙｔ？　リマーの特性に従っ
て、一部の層の深さを介して重合を可能にするために１
表面が空気にさらされた状態で所望の像を介して光透過
物上の感光性ポリマー層と、配線痕跡と他の一様でない
表面のまわりに従う特性を有する液体の相対する表面と
を予備的に露光する能力を特徴とし、この場合、層の液
体部分は、光透過物を介して２番目Ｋｍｌ光されて塗被
をその全体の深さを介して重合させ、かつプリント配線
板または他の同等な基板に対して所望のパターンの重合
された塗被を永久塗被として確保する。これは、米国特
許第４，０８７，１８２号に述べられている既知の先行
技術である予備露光技術と区別されるものであって、予
備露光は液体感光性ポリマーの両面をおおうことを必要
とし、かつ、全く異なった目的と像を介しての露光に必
要な時間が短縮できるように光重合性物質を予備的に活
性化させる効果のためのものであった。
（作　用） この発明の目的のために必要な特殊感光性−リマー組成
物の前記の特性に加えて、すなわち、１側面が空気にさ
らされているときに層の部分的重合を可能くしている感
光性液体ポリマーの感光性とペースト状の稠度を液体感
光性ポリマーに与える流れまたは粘度特性は、重要であ
る。表面を非常に一様でないようＫしている配線痕跡を
おおうために特定の領域全体くわたってプリント配線板
上でそれが直接に使用できるようｋするためには、粘度
は制限された範囲内である。また、粘度は層の厚みに密
接な関係がある。したがって、たいてｈの市販の液体負
作用感光性ポリマーは、２乃至３ミクロンのような非常
に薄い層に４１：向けられている。液体形状で取付けら
れ、像にさらされ、発現され、しばしば厚みが０．００
４インチ（０，１センチ）もあり、かつ代表的には痕跡
と＜）、０１２インチ（０，０３センチ）の基板内部痕
跡幅の非常に微細かつ密接に離間している配線痕跡全体
にわたって永久的に適所に残されているプリント配線板
の配線痕跡全体にわたってソルダーマスクを直接に処理
加工するための厚さが約０．００２インチ（０，００５
センチ）以上のより一層厚い層を提供するためには、流
れ特性は、決定的に重要である。同様に、感光性ポリマ
ーは、約０．００２インチ（０．００５センチ）から約
０．００４インチ（０，０１センチ）の範囲内の実質的
に一定の厚みの層で塗被できることか必要である。これ
を行なう簡単で費用の安い方法は、駒間乃至１２０のメ
ツシュのメツシュスクリーンから溶着させることによる
ものである。流れ特性の上記の内必要条件をみたすこと
は、困難であシ、特に、粘度の限界範囲がスクリーンメ
ツシュによって確立されているということを考慮すると
きに、困難である。し念がって、所望のペースト状の稠
度があまりＫも液状である場合にけ、感光性ポリマーは
、メツシュを介して滴下し、その場所に気泡または望ま
し１滴を残し、あるいは、プリント配線板の貫通穴を介
してのときの場合のようＫ。
あまりＫも多くの一すマーを盛り上げる傾向がある。他
方、あまりＫも濃すぎると、スクリーンメツシュの痕が
溶着後の表面に残り、再度、気泡の形成となるが、これ
は、特に、この発明が教示するように他の液体層にかぶ
せた場合においてである。一般的な粘度目的は、溶着深
さにおいて溶着層がプリント配線板の取扱い、ひつ〈シ
かえしなどのとき、流れ去らないか、あるいは縁で位置
を変えて高分解能／ＩＩ！ターンを破壊しない粘度濃さ
で溶着層が適所に維持されることである。また、溶着層
は、気泡を閉じ込めないで、アンダーカットを含めて配
線痕跡間の割れ目のなかとそのまわ抄に流れ込むために
粘度が十分に薄くなければならない。
したがって、この発明を実施するためには、空気の存在
、感光性、流れ特性、スクリーン可能性およびこの明細
書の後の部分で述べる他の要因に関して、限界的な感光
性２リマーが必要とされる。
したがって、現場における商業的実施について、プリン
ト配線生産技術の機構に習熟しているが感光性ｙｔ？　
ＩＪママ−化学や物理学に習熟していない八人にとって
は負作用液体ソルダーマスク感光性ポリマー組成物であ
って容認できる品質のプリント回路配線板を製造できる
ために必要な製造条件に特に適合したものが提供される
べきである。そのようなものは、これまで利用すること
ができなかったのであって、その理由は、高温での安定
性、電気抵抗特性、現場での設置のための付着と能力お
よび回路痕跡のだいたいの形状全体にわたる光発現の結
果としての永久塗被のような光特性、流れ特性、層の厚
みおよびソルダーマスク特性の同じ組合せを、技術が要
求していなかったからである。
特に、鋭い真すぐな縁と約１００ラインを越える分解能
を備えた高分解能光反応の実績は、液体感光性ポリマー
を塗布したプリント回路では達成されなかった。したが
って、乾燥ポリマーが、高分解能ソルダーマスク塗被所
望の場合に、必要とされてきた。更に、上記の約０．０
０２インチ（０，００５センチ）厚み、しかして、　０
．００６インチ（０，０１５センチ）が普通であるプリ
ント配線板上の配線痕跡をおおうに必要な比較的厚い層
は、その厚みを体を通じて従来の液体感光性、）？　Ｉ
Ｊママ−成物で光重合させることは困難である。液体感
光性ポリマーから高分解能を期待することは不適切であ
ると考えられてきたし、この特性を前記のものに加える
ことが必要である場合には、それは、先行技術の液体感
光性ポリマー組成物で期待されなかったであろう一組の
特性である。
現在のプリント配線板の発達において、これらの配線板
は、複雑かつ高価となっており、したがって、感光性、
Ｎ　リマー塗被、露光および発現工程に欠陥がある場合
には救助することが必要である。
このため、ポリマー、製造工程および中間の結果として
の製品要素は、検査でその上のソルダーマスク塗被に容
認できない欠陥が発見された場合、広範囲の救助作業が
可能でなければならない。このため、現在の過程には、
いくつかの工程があ抄、救助は、ソルダーマスク層をプ
リント回路板の配線痕跡全体にわたって適所に永久的に
硬くする最終硬化工程の前に、いつでも簡単に行なうこ
とができる。感光性ポリマー像は、このため、３回別別
に、化学光線輻射にさらされるのが好ましい。
第１番目は、前記のように、光透過物に溶着された液体
層の厚さを介しての部分的露光であり、層の一側面は、
液体形状における空気側を配線痕跡を越えまたそのまわ
シを流れるため光透過像を介して露光中に空気にさらさ
れている状態である。
第２番目は、透過物が配線痕跡と基板の全体にわたって
適所にある状態で、その場合、両表面は、液体ポリマー
の全体の厚さを重合するために、同じ光透過像を介して
深さの露光のために空気のない接触をしている。この重
合工程は、液体層をその全体の深さを介して同じ像パタ
ーン全体にわたつて、それが未硬化液体感光性、３？　
ＩＪママ−洗い流すことＫよって発現されるが配線痕跡
全体にわたって層を配線板にゆるく接着したままにして
おくように、硬化する。したがって、第１工程での検査
後に、欠陥のある層は、配線全体にわたって載置する必
要がない。同様に、第１工程後、検査で欠陥のあるソル
ダーマスク層が発見されると、それを配線板からはぎ取
り新しいマスクを設置することができる。第３番目の硬
化と確実に輻射露光する工程は、発現後記線板の適所で
溶着、ｅターンを露光するために光透過物を間に置かな
いで、行なうことができるが、これは、検査でソルダー
マスクが適切に溶着していることが分かった場合である
。この最終硬化工程が第２工程で行なわれた場合それは
、ソルダーマスクに欠陥があれば、広範囲の救助を困難
にする。したがって、ポリマーは、その厚みを介して、
前述のように、部分的に重合するのみならず層の全体の
深さを介して硬化する第２工程重合をも可能和する特性
であることが必要であるが、第２工程重合は、層を配線
板にそれをはぎ取る′ことができないくらい確実に接着
するのではない。
感光性は、感光性／　＋７マーに加えられるエネルギー
という点で、感光性ポリマーを重合させるために重要で
ある。可撓性の薄いフィルムの透過物を使用することが
望ましいので、露光輻射に反応する加熱量は、極めて限
られたものである。また、標準で、１直線インチ当り２
００ワツトを伝達する定格の水銀蒸気ランプ２個を使用
する低コストの輻射発現装置が利用できる。したがって
、ポリマーの感光性は使用できる処理装置の能力と調和
する必要がある。このことを保証するために、感光性ポ
リマーの感光性は、以下に記述する例の結果に達するこ
とができるようなものである。この発明は特殊材料また
は特定寸法の特殊工程に限定されているので、一般に特
殊試験が意味のあるものとして必要とされる。したがっ
て、下記の条件は、この発明に必要な独特の結合的感光
特性を明示し限定するものである。
１表面が空気中で０．００４インチ（ｏ、ｏｉセンチ）
の厚さの薄いフィルムの可撓性ポリエステルフォトツー
ル上の０．００３インチ（０，００７センチ）の感光性
塗被の厚さの状態での第１番目の露光工程については、
感光性は、ランプとフォトツールの距離が（至）インチ
（７５センチ）で１キロワツトの水銀蒸気ランプへの（
９）秒間の露光で、０．００２インチ（０．００５セン
チ）の厚さの重合層がフォトツールと並んで形成され、
　０．００１インチ（０，００３センチ）厚さの層が空
気にさらされている表面に未重合のままＫなっている程
度である。したがって、感光性ポリマーが受ける輻射エ
ネルギーは、１平方センチメートル当り０．１０９ジュ
ールである。
厚さ０．００６インチ（０，０１５センチ）の感光性ポ
リマーと伯秒間の露光時間で１８インチ（４４センチ）
の離間での２．５キロワツトのランプの力での第２番目
の露光工程については、層は深さ全体に重合し、基板の
適所に接着する。このようＫして、感光性ポリマーが受
ける輻射エネルギーは、１平方センチメートル当り３．
５４ジュールである。
硬化深さ特性は、それぞれ１インチ当り定格２００ワツ
トの２本の管状水銀蒸気ランプをすぎる１分間当り１０
フイート（３，４メートル）で伝えられたとき０．０２
４インチ（０，０６センチ）の硬化深さとして択一的に
測定される。硬化深さは、０．０２インチ（Ｏ，ＯＳセ
ンチ）の深さで未重合残分かないとき、満足的である。
感光性、ｔ？　ＩＪママ−所望の感光性レベルは、米国
特許第３，８２４，１０４号に述べられているような光
増感剤の使用で確立することができる。
プリント配線板上の０．００４インチ（０，０１センチ
）厚みの配線痕跡をおおうために必要である１００ライ
ン以上で厚さ約０．００２インチ（０，００５センチ）
以上で約０．００６インチ（０，０１５センチ）までの
比較的厚い層での高分解能の目的は、先行技術の負作用
液体感光性ポリマー製品に期待された特徴ではない。
先行技術の用途状態が低分解能の商業上の液体感光性ポ
リマーとなったのであって、その理由は、それらの液体
感光性ポリマーが、これまでは、非常に薄い層に使用さ
れたか、または、中間調点マトリックス石版板などの場
合のように劣っている分解能が有利点であるという目的
のために使用されたからであった。この発明の在来的で
ない高分解能能力を達成するために、しかして、それに
よって、フォトツールの像パターンによって限定できる
真すぐな垂直縁側壁を提供するためには、全範囲の他の
条件もこの発明の工程で要求されるすべての結合特性を
備えた広範囲の組成物を提供するためにみたされなけれ
ばならないということを十分に実感して、特別の注意を
感光性、ｔ？　＋３マ一組成物の調製に払わなければな
らない。
次のことが分かつている。す表わち、分解能のないこと
は、ソルダーマスク塗被感光性２リマー組成物の技術に
用いられる顔料、熱反応剤および充填剤のよう力成分に
よる紫外線化学輻射の吸収、拡散および回折から生じる
ということである。例えば、鉛、炭酸カルシウムおよび
二酸化チタンは、この発明で望まれている厚さの層内の
分解能を犬いに減少させるのである。前述の輻射源とは
逆に、二酸化珪素充填剤およびフタロシアニン顔料は、
この明細書に開示の層の厚さ全体にわたって殆んど悪影
響を生じない。
したがって、この発明の教示に従って与えられ用いられ
る感光性ポリミーソルダー１１ク組成物は、適切な電気
的絶縁を備えた約０．００２インチ（０，００５センチ
）乃至約０．００６インチ（０，０１５センチ）の層を
介しての高分解能（約１００ライン以上）の特性を、プ
リント配線板上の永久ソルダーマスク塗被を生じるため
に硬化されたときの付着および耐熱特性とともに提供す
るための適切に相互作用する成分を備える必要がある。
必要とされる粘度と流れ特性は、ｏ、ｏｏ４インチ（０
，０１センチ）の厚さの配線痕跡が駒間乃至１２０のメ
ツシュ範囲でスクリーンから実質的に一定の厚さの層内
での移動の際に気泡を閉じ込めないでおおわれることの
できるような程度である。また、その組成物は。
層の庫さを介しての部分的な重合と適合する重合特性と
硬化特性で薄いポリエステルフォトツールと標準紫外線
ランプ輻射源とともに作用するためにエネルギーと熱が
十分に低い程度の感光性特性とフォトツール偉を介して
の２つの連続的サイクルとを備える必要がある。殆んど
１００％不揮発性の組成物は、処理中に寸法が大いに変
化しないし、その液体または未重合（露光されない）形
状であって、プリント配線板上の実質的に一定の厚さの
層としてＪ　ＩＪママ−現場でその上の配線痕跡全体に
わたって配線板に確実に固定される永久的な高分解能ソ
ルダーマスク塗被パターンに転化する際のいくつかの製
造工程中の取扱いと検査のためにスクリーンされる場合
に適所に安定して残っているペースト状の粘度を備えて
いる。
特定のプリント配線板ソルダーマスク必要条件に関する
これらの特定目的を達成するためＫは、液体感光性ポリ
マーの通常の粘度と流れ特性は、意味がない。したがっ
て、同じ従来の粘度測定は、広範囲の条件を導くことＫ
なるのであって、その理由は、液体感光性ポリマーの流
動掌上とトリキシオトロピツク特性は、その多くがこの
発明の必要な流れ特性には容認できないからである。
（発明の効果） したがって、この発明のペースト状の稠度の感光性ｄｅ
　リマーの所望の流れ特性の容易に適用される試験には
、その上に液体ポリマーが溶着される試験用プリント配
線板が含まれている。したがって、この発明が要求する
粘度と流れ特性は、０．０１２インチ（０，０３センチ
）の離間で分離された０、０１２インチ（０，０３セン
チ）幅の０．００４インチ（０，０１’センチ）厚さの
配線痕跡がωメツシュのポリエステルスクリーン織物か
らの感光性ポリマーで塗被され、表蘭上にメツシュの痕
または気泡が残されておらず、一様な色彩が塗被全体に
わたって見られ、それによって、粗い表面全体にわたっ
て実質的に一定の厚さの塗被が示された場合に、みたさ
れる。
生産速度は、重要な品質である。したがって、感光性、
）？　リマー組成物は、界面活性剤を含むか、さもなけ
れば、気泡形成と表面張力を制御し、メツシュの痕また
は気泡を加秒以内のような特定期間内にスクリーンニン
グ工程から除去する特性を提供するのが好ましい。
一般に・気泡の形成と保留は、いくつかの理由のため忙
望ましくない。したがって、基板の離間の配線痕跡に隣
接する気泡は、付着性に影響を与える。閉じ込められた
気泡は、分散し、化学線輻射を回折し、したがって、分
解能に影響を与える。
表面の気泡、および、この発明におけるように液体の２
層が載置されるときに気泡を閉じ込めるメツシュの痕は
、目視的外観に望ましくない影響を与えるばかシでなく
、ソルダーマスク内にソルダー界面問題を生じる。した
がって、閉じ込められた気泡、気泡の形成、ｉ光は表面
泡立ちのないことけ、この発明によって与えられた。１
　＋７マーの特性である。
第２図を参照すると、この発明が与える手順と材料の有
利点が理解できる。未重合形状の液体感光性、ｔ？　Ｉ
Ｊママ−排除できるので、第１図に示すように、溶着層
は突出している配線痕跡によって形造された粗い配線板
表面の輪郭に一致することが予期される。また、液体感
光性ｒＮ　１７マーけ、スキージ−によるように合せ刃
によって共に結合されるときに力が配線痕跡の頂部の塗
被を粉砕する傾向かあシ、導線痕跡全体にわたるソルダ
ーマスク層の塗被厚みの欠乏または薄くすることを生じ
る特性があり、これは、明らかに、ソルダーマスク永久
塗被の品質を低下させる。また、一様でない輪郭形状は
、多層プリント配線板の形成におけるような各層が識別
可能な平らな平面レベルからスタートしなければならな
い場合のようないくつかの場合には望ましくない。した
がって、平らで平坦な表面を提供する際のフォトツール
の役割は、前記の米国特許第４．４２４．０８９号にお
ける役割と同様に、層の厚さの一部を介してフォトツー
ルと並んでいる層を部分的に重合させる前記の技術と組
合わせて、欠乏しないし、外側感光性、Ｊ　ＩＪマ一層
１４’の重合深さの最小厚みに等しい最小厚みを有する
配線痕跡１３全体にわたって平らな表面を生じることで
ある。また、２つの液体状態のポリマー表面を手順の工
程に従って気泡のない輪郭形状に溶け込ませるという有
利性が保留されている。したがって、この発明は、有利
に、すぐれた技術、製品、ポリマーおよび液体感光性ポ
リマーソルダーマスク技術の進歩をもたらすものである
。以下に、この発明の必須条件をみたす感光性ポリマー
組成物の例を示す。
（実施例） 例　　ｌ この発明を具体化している光造像品質のソルダーマスク
食作用感光性ポリマー組成物は下記の一致性を備えてい
る。
ウレタンアクリレート　　　　　　　５０．０芳香族ジ
アクリレート　　　　　　　８．０脂肪族トリアクリレ
ート　　　　　　　　１０．０トリプロピレングリコー
ルジアクリレート　　　１６．０ペンタエリトリトール
３−メルカプトプロピオネート　　　５．０ヘキサンジ
オールジアク’）　Ｌ／　−ト０．６界面活性剤　　　
　　　　　　　　　０．９４ミクロン寸法のヒユームド
シリカ　　　　　　　　３．９４顔　　　　料　　　　
　　　　　　　　　　　　　０．１５ヒドロキノン　　
　　　　　　　　　０．０８すべての成分は、重量％で
示されている。
すべての容認できる界面活性剤は、モンサント社（Ｍｏ
ｎ５ａｎｔｏ　）から商品名”モダフロー”じＭＯ−ｄ
ａｆｌｏｗ”）で入手できる。
この組成物は、１平方センチ当り０．６ジュールの紫外
線露光で、鉛篭の硬度４Ｈの不粘着性での１９．５　ミ
ル（０，０５センチ）の硬化深さと１０回以上の塩化メ
チレン浸漬耐性を備えている。この露光は、塗被供試体
を１インチ当りの２００ワツトの紫外線ランプの下を１
分間当り１２フイートの割合で通過させることによって
得られる。
ソルダーマスクは、下記の一組の特性を備えている。す
なわち、 滑らかな光沢のある表面、 １０分以上の後ソルダー塩化メチレン耐性、２６０℃の
はんだポットにＩ秒浸漬後鍋全体にわたるすぐれた接着
、 ν秒という期間後表面突出部または表面気泡のない、ω
メツシュスクリーンからの約０．００３インチ（０，０
０７センチ）のフィルム厚みの良好なスクリーン移動、
および、 ２２’Ｃと１０ＯＲＰＭでの約１２．５０００のブルッ
クフィールド粘度、 である。
例　　２ ２００スクリーンメツシュなどともに用いるための市販
の感光性ポリマー溶液は、ヒユームドシリカの添加によ
って所望の粘度に一致する；１表面を空気にさらした状
態で硬化の満足的な深さに容認できなかった場合、アド
バンスプロセシングアンドサプライコーポレーション（
Ａｄｖａｎｃｅ　Ｐｒｏ−ｃｅａａｉｎｇ　ａｎｄ　５
ｕｐｐｌｙ　Ｃｏｒｐ、）から入手できるＢｏ　ｌｅ：
ｃＶＶ開始剤ＵＶ６１１のような光重合開示剤の２部ま
での添加によって一致した；表面気泡が約１０秒後に消
散しなかったとき、ビーワイケイーマルリネクロット社
（ＢＹＫ−Ｍａｌｌｉｎｅｋｒｏｄｔ　ｃｏ、　）から
入手できる界面活性剤ＢＹＫ−０５２脱泡剤を０．１部
まで添加することによって、またヘキサンジオールジア
クリレートを４部まで添加することによって脱泡した。
例　　３ 銅表面への付着が劣っている感光性ポリマー組放物を有
する例２の溶液について、感光性ポリマー組成物に溶解
しないで懸濁したままになっているＢ段階のエポキシ粉
末は、限界温度後にのみ重合するようになる。処理段階
中に、これは、前に明示した粘度範囲に達する際に作用
する充填剤として役立つ。代表的Ｋ、０．１部を使用す
る。銅とポリマーの接着表面は、２７５Ｆでの（資）分
間の硬化焼付はサイクルで発生する。これは、エポキシ
を液化し、エポキシの場所を銅表面に接着させて、ポリ
マーの接着構造を強化する複合接着構造を形成する。絶
縁耐力も増加する。
適切なそのようなエポキシ粉末は、インシル／々ニア州
、リーディングのザボリマー社（ＴｈｅＰｏ−１部ｍｏ
ｒ　ｃｏｒｐ、　ｏｆ　Ｒｅａｄｉｎｇ、　ＦＡ　）か
ら（ｏｒｖｅｌ　ＥＣム１５５５として入手できる。
例　　４ 短かい露光時間のための感光速度とそのための限られた
熱にさらすこととを調節するために、薄いフィルムの再
使用可能なフォトツールを使用するとき、溶液には、入
手できる光重合開始剤のうちの１つを含めることができ
るが、好ましいのは、約５−の光重合開始剤でチバガイ
ギー社（Ｃ１’ｂａＧｅｉｇｇ　）から商標１工ｎｇａ
ｃｕｒｅφ６５１”で入手できるものである。
したがって、技術状態を改善したので、この発明の精神
と性質を説明するものと信じる新規性の特徴は、特に特
許請求の範囲に限定されているものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、プリント配線板にメツシュスクリーンからの
２層のフルグーマスク塗被で塗被を行なう工程の線図、
第２図は、プリント配線痕跡をおおい、かつ高分解能の
光像を生起させるために特定的に用いる独特の特性を有
する液体感光性ポリマーのソルダーマスク塗被を備えた
プリント配線板の部分断面図である。 １０・・・部材、１１・・・プリント配線板、ル・・・
加工物表面、１３・・・配線痕跡、１４・・・第２層、
１４′・・・上層（液体感光性ポリマー層）、１５・・
・ゴム刃、１６　、１７・・・力、１８・・・メツシュ
スクリーン、１９・・・下Ｍ（最初の感光性ポリマー塗
被層）、加・・・フォトツール傷パターン（光透過物）
、乙・・・貫通穴、ｎ・・・アンダーカット領域

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）モノマーと、ポリマーと、プリント配線板の絶縁
    基板が支えている導電層全般にわたつて塗被するに適し
    ている光増感剤とを含み、厚さが約０．００２インチ（
    ０．００５センチ）以上の高分解能層を生じるための改
    善された相互作用特性を備えて、実質的な表面の不規則
    性、細かく離間している精細配線痕跡全体にわたる欠乏
    、または気泡の閉じ込めがなくプリント配線板の導線痕
    跡全体にわたつて深さ全体を通じて硬化している永久ソ
    ルダーマスクパターンを限定するソルダーマスクフォト
    レジストにおいて、 前記プリント配線板上で硬化して永久ソルダーマスク層
    を生じたときの電気絶縁、付着および耐熱性と、 間置したフォートツール像を介して化学線にさらしたと
    きの厚さ０．００２インチ（０．００５センチ）以上約
    ０．００６インチ（０．０１５センチ）までの層の深さ
    全体を通じて延びているパターンを硬化させるための感
    光特性と、 深さ０．０２インチ（０．００５センチ）以上への光の
    輻射の存在で１２５ラインの分解が可能である光分解特
    性と、 永久ソルダーマスク状態に達する前にいつでも感光性ポ
    リマーから除去し得る揮発分の主要なパーセンテージの
    自由度と、 厚さ約０．００４インチ（０．０１センチ）までの配線
    痕跡全体にわたる約５０から１２０までの範囲のメッシ
    ュでのスクリーンからの溶着を表面上にスクリーンメッ
    シュのあとがなく気泡を埋め込まないで可能にするさら
    されてない状態の液体ポリマー流れ特性と、 空気にさらされている未重合の液体感光性ポリマーの約
    ０．００２インチ（０．００５センチ）乃至０．００４
    インチ（０．０１センチ）の１つの表面だけで重合を２
    ５％以上の深さへ生じ空気にさらされている側に厚さの
    ２５％以上の未重合の深さを残す光輻射の存在での重合
    特性と、を有すること、 を特徴とする光活性ポリマーの負作用液体感光性ポリマ
    ー組成物である光造像特性ソルダーマスクフォトレジス
    ト。
  2. （２）モノマーと、ポリマーと、プリント配線板の絶縁
    基板が支えている導電層全般にわたつて塗被するに適し
    ている光増感剤とを含み、厚さが約０．００２インチ（
    ０．００５センチ）以上の高分解能層を生じるための改
    善された相互作用特性を備えて、実質的な表面の不規則
    性、細かく離間している精細配線痕跡全体にわたる欠乏
    、または気泡の閉じ込めがなくプリント配線板の導線痕
    跡全体にわたつて深さ全体を通じて硬化している永久ソ
    ルダーマスクパターンを限定するソルダーマスクフォト
    レジストにおいて、 前記プリント配線板上で硬化して永久ソルダーマスク層
    を生じたときの電気絶縁、付着および耐熱性と、 間置したフォートツール像を介して化学線にさらしたと
    きの厚さ０．００２インチ（０．００５センチ）以上約
    ０．００６インチ（０．０１５センチ）までの層の深さ
    全体を通じて延びているパターンを硬化させるための感
    光特性と、 深さ０．０２インチ（０．００５センチ）以上への光の
    輻射の存在で１２５ラインの分解が可能である光分解特
    性と、 永久ソルダーマスク状態に達する前にいつでも感光性ポ
    リマーから除去し得る揮発分の主要なパーセンテージの
    自由度と、 厚さ約０．００４インチ（０．０１センチ）までの配線
    痕跡全体にわたる約５０から１２０までの範囲のメッシ
    ュでのスクリーンからの溶着を表面上にスクリーンメッ
    シュのあとがなく気泡を埋め込まないで可能にするさら
    されてない状態の液体ポリマー流れ特性と、 空気にさらされている未重合の液体感光性ポリマーの約
    ０．００２インチ（０．００５センチ）乃至０．００４
    インチ（０．０１センチ）の１つの表面だけで重合を２
    ５％以上の深さへ生じ空気にさらされている側に厚さの
    ２５％以上の未重合の深さを残す光輻射の存在での重合
    特性と、を有し、更に前記光増感剤は、厚さの０．００
    ３インチ（０．００８センチ）程度が露光されているさ
    らされてない感光性ポリマーの一次層内に平方センチ当
    り０．１０９ジュールの化学線エネルギーを１つの側面
    でそれと接触しているフォトツール像を介して与えて空
    気を排除し、空気にさらされている他の側面が約０．０
    ０２インチ（０．００５センチ）の深さの層内の像に対
    応するパターンの重合を生じ、空気にさらされている側
    面の深さ約０．００１インチ（０．００３センチ）の層
    が実質的に重合されてないことを特徴とする光造像特性
    ソルダーマスクフォトレジスト。
  3. （３）モノマーと、ポリマーと、プリント配線板の絶縁
    基板が支えている導電層全般にわたつて後被するに適し
    ている光増感剤とを含み、厚さが約０．００２インチ（
    ０．００５センチ）以上の高分解能層を生じるための改
    善された相互作用特性を備えて、実質的な表面の不規則
    性、細かく離間している精細配線痕跡全体にわたる欠乏
    、または気泡の閉じ込めがなくプリント配線板の導線痕
    跡全体にわたつて深さ全体を通じて硬化している永久ソ
    ルダーマスクパターンを限定するソルダーマスクフォト
    レジストにおいて、 前記プリント配線板上で硬化して永久ソルダーマスク層
    を生じたときの電気絶縁、付着および耐熱性と、 間置したフォートツール像を介して化学線にさらしたと
    きの厚さ０．００２インチ（０．００５センチ）以上約
    ０．００６インチ（０．０１５センチ）までの層の深さ
    全体を通じて延びているパターンを硬化させるための感
    光特性と、 深さ０．０２インチ（０．００５センチ）以上への光の
    輻射の存在で１２５ラインの分解が可能である光分解特
    性と、 永久ソルダーマスク状態に達する前にいつでも感光性ポ
    リマーから除去し得る揮発分の主要なパーセンテージの
    自由度と、 厚さ約０．００４インチ（０．０１センチ）までの配線
    痕跡全体にわたる約５０から１２０までの範囲のメッシ
    ュでのスクリーンからの溶着を表面上にスクリーンメッ
    シュのあとがなく気泡を埋め込まないで可能にするさら
    されてない状態の液体ポリマー流れ特性と、 空気にさらされている未重合の液体感光性ポリマーの約
    ０．００２インチ（０．００５センチ）乃至０．００４
    インチ（０．０１センチ）の１つの表面だけで重合を２
    ５％以上の深さへ生じ空気にさらされている側に厚さの
    ２５％以上の未重合の深さを残す光輻射の存在での重合
    特性と、を有し、更に前記光増感剤は、厚さの０．００
    ３インチ（０．００８センチ）程度が露光されているさ
    らされてない感光性ポリマーの一次層内に平方センチ当
    り０．１０９ジュールの化学線エネルギーを１つの側面
    でそれと接触しているフォトツール像を介して与えて空
    気を排除し、空気にさらされている他の側面が約０．０
    ０２インチ（０．００５センチ）の深さの層内の像に対
    応するパターンの重合を生じ、空気にさらされている側
    面の深さ約０．００１インチ（０．００３センチ）の層
    が実質的に重合されておらず、また、前記パターンは、
    それがフォトツールを介して選択的に重合され、両側面
    から空気を排除したフォトツールを介して第２番目に化
    学線にさらされたとき、層の全体の厚みを実質的に介し
    て選択的に重合されるように、互いに反応可能な成分を
    前記フォトレジストが有することを特徴とする光造像特
    性ソルダーマスクフォトレジスト。
  4. （４）前記フォトレジストは、その粘度が、プリント配
    線板上の未重合スクリーン溶着一次層が、それの上に厚
    さが約０．００２インチ（０．００５センチ）以上の他
    のスクリーン溶着同様層を塗被したとき、未重合の面か
    ら面への気泡のないフォトレジスト接合面で配置される
    程度のものであり、かつ感光性を与える相互作用成分を
    有し、該感光性は、全体の厚みののちの約０．００４イ
    ンチ（０．０１センチ）以上がその全体の厚みを介して
    １平方インチ当り約３．５４ジュールの化学線エネルギ
    ーによつて重合される程度のものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載の光造像特性ソルダーマス
    クフォトレジスト。
  5. （５）前記フォトレジストは、空気の存在によつて光像
    露出感度を与える相互作用物質を有し、該感度は、概略
    、フォトレジストが１平方センチ当り３．５ジュールの
    化学線エネルギーを受けたとき約０．０２４インチ（０
    ．０６センチ）の深さまで重合する程度であることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項記載の光造像特性ソルダ
    ーマスクフォトレジスト。
  6. （６）前記フォトレジストは、スクリーン印刷によつて
    高さ約０．００２インチ（０．００５センチ）以上の導
    電性回路痕跡全体にわたる厚さ約０．００１インチ（０
    ．００２５センチ）以上の感光性ポリマー層内のプリン
    ト配線板の絶縁基板上の導電性層にわたつて溶着し、か
    つ絶縁基板上に実質的に一定の厚さで痕跡と絶縁基板に
    わたつて分布し、気泡が痕跡のそばで閉じ込められてい
    ないことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光造
    像特性ソルダーマスクフォトレジスト。
  7. （７）前記フォトレジストは、その全体にわたつて、第
    ２番目の感光性ポリマー層を有し、該層は、厚さが約０
    ．００１インチ（０．００２５センチ）以上で、一定の
    厚みにわたつて液体ペースト稠度で面から面への接触で
    スクリーン印刷によつて載せられており、気泡のない表
    面接合内の該層は、厚みが約０．００２インチ（０．０
    ０５センチ）以上の複合層を形成し、層内の中間気泡も
    その表面上のスクリーンの跡も気泡もないことを特徴と
    する特許請求の範囲第６項記載の光造像特性ソルダーマ
    スクフォトレジスト。
  8. （８）前記特性は、はつきりと相互作用して、約印乃至
    １２０メッシュの範囲でスクリーンからのメッシュスク
    リーン溶着によつて達せられる約０．００２インチ乃至
    ０．００３インチ（０．００５センチ乃至０．００８セ
    ンチ）位の層の厚みの滑らかな表面肌との一定の厚みの
    層での絶縁基板にわたる導電層表面上のプリント配線板
    永久ソルダーマスクオーバーレイを生じ、さらに、揮発
    分のない１２５ライン分解能を達することのできる光造
    像特性の負作用液体感光性ポリマーを特徴とし、該ポリ
    マーは、モノマー、ポリマー、光増感剤の混合物から成
    り、かつ、フォトレジストの重合に使用される化学線輻
    射の拡散または回折を防止するために選択される成分を
    有し、光造像され適所にわたつて硬化したとき、前記導
    電層はフォトツール像から高度な分解能で限定されたソ
    ルダーマスク層として永久に付着し、前記混合物は液体
    感光性ポリマー形であつてスクリーンから導電層に溶着
    したときその未重合状態でのペースト稠度粘性を有し、
    ペーストの粘度は、スクリーンメッシュの前記範囲にわ
    たつてスクリーン溶着工程によつて導かれる気泡を保留
    しないでメッシュの跡からみづから滑らかにする特性を
    提供し、高さが０．００４インチ（０．０１１センチ）
    もの前記導電層内に導線痕跡にわたつて溶着したとき流
    れ特性を有し、かつプリント配線板上の適所で光造像さ
    れたとき層の厚み全体を通じて１２５ラインの光像分解
    像を達成する特性での一様な色で示されるのと同じ塗被
    厚みを痕跡と点在している離間にわたつて達成するため
    の痕跡間の同様な離間と０．０１２インチ（０．０３セ
    ンチ）の痕跡といつた狭い痕跡を有し、また、永久耐熱
    ソルダーマスクオーバーレイをスクリーンの跡または閉
    じ込められた気泡の表面欠陥なしに提供することのでき
    る硬化後の特性を有し、しかして該表面欠陥は基板に垂
    直な実質的に平らな垂直側壁によるパターンを有するこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光造像特性
    ソルダーマスクフォトレジスト。
  9. （９）相互作用して実質的に一定の固定した厚さ０．０
    ０１インチ（０．００３センチ）以上の層内においてフ
    ォトツールの表面上に付着する粘度を生じ、かつ層の相
    対する側が液体ポリマーの未重合形における層の空気暴
    露側面を残して層の厚みの一部を介して重合を生起させ
    る空気にさらされたときフォトツールを介して層に通入
    する化学線輻射に対する感光性を有する混合物を特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の液体感光性ポリマー。
  10. （１０）厚さが約０．０２インチ（０．００５センチ）
    以上の実質的に一定の厚みの層が空気の存在にさらされ
    ている１つの表面のみとその上に像を有する光透明物と
    接触している他の面を有しているとき、しかして、光透
    明物を介して１平方センチ当り０．１０９ジュール位の
    化学線輻射をうけたとき、液体ポリマー層が透明物に隣
    接する側面上でその厚さの少なくとも約３０％の深さま
    で重合されるようになり空気にさらされている側面上で
    重合されないような光特性を有することを特徴とする特
    許請求の範囲第１項記載の液体感光性ポリマー。
  11. （１１）モノマーと、ポリマーと、プリント配線板の絶
    縁基板が支えている導電層全般にわたつて塗被するに適
    している光増感剤とを含み、厚さが約０．００２インチ
    （０．００５センチ）以上の高分解能層を生じるための
    改善された相互作用特性を備えて、実質的な表面の不規
    則性、細かく離間している精細配線痕跡全体にわたる欠
    乏、または気泡の閉じ込めがなくプリント配線板の導線
    痕跡全体にわたつて深さ全体を通じて硬化している永久
    ソルダーマスクパターンを限定するソルダーマスクフォ
    トレジストにおいて、 前記プリント配線板上で硬化して永久ソルダーマスク層
    を生じたときの電気絶縁、付着および耐熱性と、 間置したフォートツール像を介して化学線にさらしたと
    きの厚さ０．００２インチ（０．００５センチ）以上約
    ０．００６インチ（０．０１５センチ）までの層の深さ
    全体を通じて延びているパターンを硬化させるための感
    光特性と、 深さ０．０２インチ（０．００５センチ）以上への光の
    輻射の存在で１２５ラインの分解が可能である光分解特
    性と、 永久ソルダーマスク状態に達する前にいつでも感光性ポ
    リマーから除去し得る揮発分の主要なパーセンテージの
    自由度と、 厚さ約０．００４インチ（０．０１センチ）までの配線
    痕跡全体にわたる約５０から１２０までの範囲のメッシ
    ュでのスクリーンからの溶着を表面上にスクリーンメッ
    シュのあとがなく気泡を埋め込まないで可能にするさら
    されてない状態の液体ポリマー流れ特性と、 空気にさらされている未重合の液体感光性ポリマーの約
    ０．００２インチ（０．００５センチ）乃至０．００４
    インチ（０．０１センチ）の１つの表面だけで重合を２
    ５％以上の深さへ生じ空気にさらされている側に厚さの
    ２５％以上の未重合の深さを残す光輻射の存在で重合特
    性と、を有するとともに、厚さが約０．０２インチ（０
    ．００５センチ）以上の実質的に一定の厚みの層が空気
    の存在にさらされている１つの表面のみとその上に像を
    有する光透明物と接触している他の面を有しているとき
    、しかして、光透明物を介して１平方センチ当り０．１
    ０９ジュール位の化学線輻射をうけたとき、液体ポリマ
    ー層が透明物に隣接する側面上でその厚さの少なくとも
    約３０％の深さまで重合されるようになり空気にさらさ
    れている側面上で重合されないような光特性を有し、更
    に、ポリマー組成物に溶解しないが１５０°Ｆ以上の限
    界温度で重合する乾燥Ｂ−段階エポキシ粉末と混合して
    いることを特徴とする液体感光性ポリマー。
  12. （１２）５０乃至１２０メッシュのメッシュスクリーン
    からスクリーンして約０．００２インチ（０．００５セ
    ンチ）以上の厚さの一定の厚み塗被を生成させる臨界粘
    度範囲と、該塗被が溶着の際に残留メッシュの跡または
    気泡のない滑らかな光沢のある表面を有し、かつスクリ
    ーンから滴下しないでプリント配線板の配線痕跡にわた
    つて空気を閉じ込めないで一様でない表面をおおう実質
    的にペースト状の稠度を有することを特徴とする特許請
    求の範囲第１０項記載の液体感光性ポリマー。
  13. （１３）スクリーンを介して約５０乃至１２０のメッシ
    ュで導電層全体にわたつて光造像特性の負作用液体感光
    性ポリマーの層をスクリーン印刷する工程と、該層をモ
    ノマー、ポリマーおよびペースト状稠度の光重合開始剤
    の実質的に揮発分のない混合物から形成する工程と、該
    光重合開始剤を実質的に一定の厚さの固定層内の適所に
    痕跡と基板の全体にわたつて少くとも０．００１インチ
    （０．００３センチ）の厚みのフォトレジスト層を残し
    て構成する工程と、該フォトレジスト層をスクリーン印
    刷工程によつて導かれるスクリーンの跡と気泡のない滑
    らかな表面にする工程と、ペースト状の稠度の液体感光
    性ポリマー層をプリント配線板上の適所において感光性
    ポリマー層と接触して配設されているフォトツールを介
    して液体感光性ポリマーの実質的に一定な厚みのフィル
    ムによつて回路痕跡から分離されている実質的に平らな
    表面全体にわたつて露光する工程と、プリント配線板に
    永久的に付着している該表面上のパターンを導線痕跡全
    体にわたるソルダーマスク層として重合する工程とから
    成り、絶縁基板表面上に載置されている導電層によつて
    プリント配線板内に限定されている回路痕跡全体にわた
    つてプリント配線板上の適所に塗被することを特徴とす
    る永久ソルダーマスク耐蝕膜の調製方法。
  14. （１４）スクリーンを介して約５０乃至１２０のメッシ
    ュで導電層全体にわたつて光造像特性の負作用液体感光
    性ポリマーの層をスクリーン印刷する工程と、該層をモ
    ノマー、ポリマーおよびペースト状稠度の光重合開始剤
    の実質的に揮発分のない混合物から形成する工程と、該
    光重合開始剤を実質的に一定の厚さの固定層内の適所に
    痕跡と基板の全体にわたつて少くとも０．００１インチ
    （０．００３センチ）の厚みのフォトレジスト層を残し
    て構成する工程と、該フォトレジスト層をスクリーン印
    刷工程によつて導かれるスクリーンの跡と気泡のない滑
    らかな表面にする工程と、ペースト状の稠度の液体感光
    性ポリマー層をプリント配線板上の適所において感光性
    ポリマー層と接触して配設されているフォトツールを介
    して液体感光性ポリマーの実質的に一定な厚みのフィル
    ムによつて回路痕跡から分離されている実質的に平らな
    表面全体にわたつて露光する工程と、プリント配線板に
    永久的に付着している該表面上のパターンを導線痕跡全
    体にわたるソルダーマスク層として重合する工程とから
    成り、絶縁基板表面上に載置されている導電層によつて
    プリント配線板内に限定されている回路痕跡全体にわた
    つてプリント配線板上の適所に塗被し、更に、一側面上
    で空気にさらされている液体感光性ポリマーの層をフォ
    トツールを介して十分な化学光線で露光してこの層をそ
    の深さを介して部分的に重合しその上にペースト稠度の
    未重合表面を残す工程と、この未重合表面を、前記実質
    的に一定の厚さのフィルムによつて液体感光性ポリマー
    層の表面から配線痕跡を分離している重合されている層
    を有する回路痕跡全体にわたつて、プリント配線板上に
    載置する工程と、その後前記フォトツールを介して化学
    線輻射に露光して感光性ポリマーの全体の厚さをフォト
    ツール像に対応するパターンに重合させる工程とを含む
    従属光乳化特性を有することを特徴とする永久ソルダー
    マスク耐蝕膜の調製方法。
  15. （１５）厚さが約０．００２インチ（０．００５センチ
    ）以上のさらされてない感光性耐蝕膜の２つの層を印乃
    至１２０のメッシュのスクリーンを介しての配線板上へ
    のスクリーン印刷によつて該層をその全体の厚みを介し
    て約１２５ライン以上の高分解能で重合するのに用いら
    れる化学光線輻射に十分な透明の揮発分を含有していな
    い負作用の液体感光性ポリマー混合物のペースト状稠度
    感光性ポリマー混合物にラミネートする工程と、液体未
    硬化状態の感光性ポリマー混合物内に、プリント配線板
    表面をたれないかまたは流れない一定の厚みの固定位置
    層を生成するに十分濃く、かつスクリーンニング工程に
    導入されるスクリーン跡または気泡が平らで滑らかな表
    面にすみやかに溶け込むに十分薄い粘度を確立する工程
    と、感光性ポリマー混合物内に、２つのラミネートされ
    た層を組合わせた深さを介して十分に重合させ、かつソ
    ルダーマスク層として配線板に永久的に取付けられる１
    つの層に溶け込ませるフォトツールを通過する化学光線
    輻射に対する感光性を確立する工程と、載置した層を液
    体感光ポリマー表面上に載置されているフォトツール像
    を介して前記化学光線にさらす工程とから成ることを特
    徴とするプリント配線板上の高分解能光造像ソルダーマ
    スク生成方法。
  16. （１６）厚さが約０．００２インチ（０．００５センチ
    ）以上のさらされてない感光性耐蝕膜の２つの層を５０
    乃至１２０のメッシュのスクリーンを介しての配線板上
    へのスクリーン印刷によつて該層をその全体の厚みを介
    して約１２５ライン以上の高分解能で重合するのに用い
    られる化学光線輻射に十分な透明の揮発分を含有してい
    ない負作用の液体感光性ポリマー混合物のペースト状稠
    度感光性ポリマー混合物にラミネートする工程と、液体
    未硬化状態の感光性ポリマー混合物内に、プリント配線
    板表面をたれないかまたは流れない一定の厚みの固定位
    置層を生成するに十分濃く、かつスクリーンニング工程
    に導入されるスクリーン跡または気泡が平らで滑らかな
    表面にすみやかに溶け込むに十分薄い粘度を確立する工
    程と、感光性ポリマー混合物内に、２つのラミネートさ
    れた層を組合わせた深さを介して十分に重合させ、かつ
    ソルダーマスク層として配線板に永久的に取付けられる
    １つの層に溶け込ませるフォトツールを通過する化学光
    線輻射に対する感光性を確立する工程と、載置した層を
    液体感光ポリマー表面上に載置されているフォトツール
    像を介して前記化学光線にさらす工程とから成り、前記
    、最も外の層をフォトツールを介して化学線輻射によつ
    て重合させてその上にフォトツール像に対応する重合層
    パターンを生じさせる工程は、層を面から面への接触で
    ラミネートし、２つの層をフォトツールを介して化学線
    輻射によつてさらに重合させて適所に永久的にソルダー
    マスクとして取付ける工程を含んでいることを特徴とす
    るプリント配線板上の高分解能光造像ソルダーマスク生
    成方法。
  17. （１７）前記感光性耐蝕膜の１層をフォトツール像によ
    つて限定されたパターンでプリント配線板の絶縁基板上
    の導電層内の配線パターンに限定された実質的に長方形
    の断面部の配線痕跡全体にわたつて、少なくともいくつ
    かの痕跡が基板表面によつて限定されているそれらの痕
    跡間の離間で並んでいる状態で、塗被することと、未重
    合状態で配線痕跡全体にわたり、かつそのまわりを流れ
    、また気泡を閉じ込めないで基板離間へ流れるペースト
    状の粘度の液体感光性ポリマー耐蝕膜を生成させること
    と、前記フォトツールをフィルムに接触している像と気
    泡のない表面と表面の接触のペースト状粘度の前記液体
    感光性ポリマーのソルダーマスクフィルムの１表面に取
    付けることと、前記フィルムを重合させることとを特徴
    とする特許請求の範囲第１５項記載のプリント配線板上
    の高分解能光造像ソルダーマスク生成方法。
  18. （１８）厚さが約０．００２インチ（０．００５センチ
    ）以上のさらされてない感光性耐蝕膜の２つの層を５０
    乃至１２０のメッシュのスクリーンを介しての配線板上
    へのスクリーン印刷によつて該層をその全体の厚みを介
    して約１２５ライン以上の高分解能で重合するのに用い
    られる化学光線輻射に十分な透明の揮発分を含有してい
    ない負作用の液体感光性ポリマー混合物のペースト状稠
    度感光性ポリマー混合物にラミネートする工程と、液体
    未硬化状態の感光性ポリマー混合物内に、プリント配線
    板表面をたれないかまたは流れない一定の厚みの固定位
    置層を生成するに十分濃く、かつスクリーンニング工程
    に導入されるスクリーン跡または気泡が平らで滑らかな
    表面にすみやかに溶け込むに十分薄い粘度を確立する工
    程と、感光性ポリマー混合物内に、２つのラミネートさ
    れた層を組合わせた深さを介して十分に重合させ、かつ
    ソルダーマスク層として配線板に永久的に取付けられる
    １つの層に溶け込ませるフォトツールを通過する化学光
    線輻射に対する感光性を確立する工程と、載置した層を
    液体感光ポリマー表面上に載置されているフォトツール
    像を介して前記化学光線にさらす工程とから成り、前記
    感光性耐蝕膜の１層をフォトツール像によつて限定され
    たパターンでプリント配線板の絶縁基板上の導電層内の
    配線パターンに限定された実質的に長方形の断面部の配
    線痕跡全体にわたつて、少なくともいくつかの痕跡が基
    板表面によつて限定されているそれらの痕跡間の離間で
    並んでいる状態で、塗被することと、未重合状態で配線
    痕跡全体にわたり、かつそのまわりを流れ、また気泡を
    閉じ込めないで基板離間へ流れるペースト状の粘度の液
    体感光性ポリマー耐蝕膜を生成させることと、前記フォ
    トツールをフィルムに接触している像と気泡のない表面
    と表面の接触のペースト状粘度の前記液体感光性ポリマ
    ーのソルダーマスクフィルムの１表面に取付けることと
    、前記フィルムを重合させることを含み、更に、光透明
    物上に、外表面が空気にさらされた状態で層が該光透明
    物を介して化学線輻射に応じて層の厚さの約３０％以上
    まで重合する特性の液体ポリマーの実質的に一定の厚さ
    の層を溶着させることと、前記光透明物に隣接する感光
    性ポリマー部を少なくとも約３３％の深さまで重合させ
    るに十分なエネルギーの光透明物によつて運ばれる像を
    介して前記層に化学線を輻射させること、 のような粗表面にわたつてポリマーの厚み塗被を行なう
    ことを特徴とするプリント配線板上の高分解能光造像ソ
    ルダーマスク生成方法。
  19. （１９）液体負作用感光性ポリマーと光重合開始剤を結
    合して１平方センチ当り約６ジュールの輻射の紫外線輻
    射による露光用の溶液を提供し該溶液を少なくとも約０
    ．０５センチの深さまで硬化させる工程と、 紫外線を実質的に透過して、層のスクリーンからメッシ
    ュの跡のない滑らかな光沢のある表面での溶着を可能に
    し、かつメッシュの開口からの滴下を防止するペースト
    状の粘度を生成する特性の充填剤を提供する工程と、 紫外線輻射を回折、拡散またはさえぎる成分の約０．０
    ０６インチ（０．０１５センチ）の厚さの感光性ポリマ
    ー層を介しての浸透を防止する工程と、紫外線輻射によ
    つて硬化したとき銅に良好に接着する成分に溶融はんだ
    の存在での安定特性と良好な電気的絶縁を提供する工程
    と、 約１００ラインを越える分解能を有するフォトツール像
    を介して露光に応じて重合する成分を選択する工程と、 から成り、感光性ポリマーを厚さ約０．００２インチ（
    ０．００５センチ）以上の配線痕跡全体にわたつて約５
    ０乃至１２０メッシュのスクリーンからのスクリーン溶
    着工程によつて製造されたプリント配線板の配線痕跡全
    体にわたつてソルダーマスク塗被を行うための特性を明
    確に備えていることを特徴とする特許請求の範囲第１８
    項記載の液体負作用感光性ポリマー溶液の調製方法。
  20. （２０）前記液体負作用感光性ポリマー溶液は、厚さが
    約０．００２インチ（０．００５セチチ）以上の層のラ
    ミネーションを配線痕跡をカバーしている層の一定厚み
    部分を有する配線痕跡全体にわたつて行なうための明確
    な特性を備えており、かつ前記工程は、薄いフィルムの
    フォトツール像を通過し、相対する表面が空気にさらさ
    れている状態で、未重合層に溶着している溶液の約０．
    ００２インチ（０．００５センチ）よりも厚い厚みの該
    未重合層に達する１平方センチ当り４ジュール以下まで
    のレベルでのエネルギーの輻射に応じる成分の結合を生
    ずることから更に成り、この層をその厚みを介してその
    厚みの少なくとも１／３までフォトツール像に対応する
    パターンで部分的に重合させることを特徴とする特許請
    求の範囲第１９項記載の液体負作用感光性ポリマー溶液
    の調製方法。
  21. （２１）前記工程は、液体感光性ポリマー内に、該感光
    性ポリマーに溶解しないが１５０°Ｆ以上の限界温度で
    重合するＢ段階エポキシ粉末を結合させる工程と、ポリ
    マーエポキシ組成物の層を銅表面に溶着させる工程と、
    該層をエポキシ重合限界以上の温度で燃焼させる最終硬
    化工程で処理してエポキシを銅に接着させる工程とを更
    に含んでいることを特徴とする特許請求の範囲第１９項
    記載の液体負作用感光性ポリマー溶液の調製方法。
JP60200426A 1984-09-13 1985-09-10 回路痕跡全体にわたるスクリ−ン塗被用高分解能ソルダ−マスク感光性ポリマ−及びその生成法 Pending JPS6187152A (ja)

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