KR20240048230A - 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치 - Google Patents

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cooling
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정종열
김영임
서지민
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주식회사 선익시스템
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Abstract

히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치는 진공의 건조공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 하측면과 접촉하며, 상기 기판을 가열하여 기판에 적하된 용매를 증발시키는 히터; 상기 히터가 상기 기판의 건조를 완료하였을 때, 상기 히터와 접촉하여 상기 히터를 냉각하는 냉각부; 상기 냉각부를 승강시켜 상기 히터와 접촉시키거나 상기 히터로부터 이격시키는 냉각 승강부; 상기 히터와 상기 냉각부 및 상기 냉각 승강부를 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.

Description

히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치{Substrate drying device equipped with heater cooling unit}
본 발명은 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 히터의 쿨링타임을 단축시켜 생산성을 높일 수 있는 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에 관한 것이다.
전자장치의 사용이 증대됨에 따라 평판형 디스플레이가 각광을 받고 있다. 이러한 평판형 디스플레이는 LCD나 LED등 다양한 방식의 디스플레이가 생산되고 있는데, 그 중 유기 발광 다이오드 방식의 디스플레이의 사용이 늘고 있다. 이러한 OLED방식의 디스플레이는 별도의 백라이트를 사용할 필요가 없으므로 보다 얇고 가볍게 제작할 수 있어 핸드폰 등의 모바일기기나 TV등의 사용이 늘고 있다.
이러한 OELD의 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 글래스 기판(10)의 각 뱅크(12)에 에미터(1)(emitter)를 입혀야 하는데, 최근에는 잉크젯 방식으로 각 뱅크(12)에 에미터(1)를 주입하는 기술이 사용되고 있다.
일반적인 글래스 기판(10)에 에미터(1)를 입히는 방식은 도 1에 도시된 바와 같이, (a) 글래스 기판(10)의 각 뱅크(12)에 생상별 에미터(1)를 분사하고, (b)분사된 에미터(1)에 포함된 솔벤트 등의 용매를 증발건조 시킨 후, (c) 열경화 과정을 거쳐 큐어링하고, (d) 이상이 없는지를 검사하는 과정으로서 생산할 수 있다.
이 중, 분사된 에미터(1)에 포함된 솔벤트 등의 용매를 증발 건조시키는 건조장치(50)는 도 2에 도시된 바와 같이, 진공이 형성되며 용매의 증발공간을 형성하는 챔버(20), 상기 챔버(20)내에 반입된 기판(10)을 지지하는 기판 지지부(30), 상기 챔버(20) 내에 증발되는 용매 증기를 흡입하는 펌프(60)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 지지부(30)에 지지된 기판(10)의 저면을 가열하는 히터(70) 및 상기 기판 지지부(30)에 지지된 기판(10)의 상측을 덮어 증발공간(50)을 형성하는 커버(40)가 구비될 수 있다.
상기 커버(40)의 상측에는 복수개의 홀(42)이 형성되어 상기 증발공간(50)으로 기화된 용매가스를 챔버(20) 내로 흘러나오도록 할 수 있다.
또한, 상기 기판 지지부(30)에 안착된 기판(10)의 저면에 접촉하여 상기 기판(10)을 지지함과 동시에 가열하는 히터(70)이 구비될 수 있다.
따라서, 상기 기판(10)이 상기 기판 지지부(30)에 안착된 상태에서 상기 커버(40)를 덮고, 하측에서 히터(70)가 상기 기판(10)을 가열하면서, 상기 펌프(60)로서 상기 챔버(20)내부에 진공을 형성하면, 상기 기판(10)에 적하된 용매가 증발되면서 건조될 수 있다.
그런데, 상기 기판(10)의 건조가 완료된 후에는 다음 기판(10)이 반입되기 전에 상기 히터(70)가 초기온도로 하강되어야 하는데, 상기 히터(70)가 구비된 챔버(20) 내부가 진공분위기로 형성됨에 따라 열전달 매체인 공기가 희박하여, 상기 히터(70)가 초기온도로 냉각되기 까지는 매우 장시간이 걸리며, 이는 생산성 저하의 원인으로 지목되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 히터를 빠르게 냉각할 수 있는 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치를 제공하는 것이 과제이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 진공의 건조공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 하측면과 접촉하며, 상기 기판을 가열하여 기판에 적하된 용매를 증발시키는 히터; 상기 히터가 상기 기판의 건조를 완료하였을 때, 상기 히터와 접촉하여 상기 히터를 냉각하는 냉각부; 상기 냉각부를 승강시켜 상기 히터와 접촉시키거나 상기 히터로부터 이격시키는 냉각 승강부; 상기 히터와 상기 냉각부 및 상기 냉각 승강부를 제어하는 제어부;를 포함하는 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치가 개시된다.
상기 냉각부는, 상기 히터의 저면에 접촉되도록 구비되는 쿨링 플레이트; 상기 쿨링 플레이트의 열을 상기 챔버 외부로 배출하는 냉매가 유동되는 냉매관; 상기 챔버의 외부에 구비되며, 상기 냉매관의 열이 상기 챔버의 외부와 열교환되는 열교환기; 상기 냉매관 내 냉매를 유동시키는 펌프를 포함할 수 있다.
상기 냉각 승강부는, 상기 쿨링 플레이트의 저면으로부터 하측으로 연장되는 적어도 한 쌍의 레그부; 상기 레그부에 구비되어 상기 레그부를 승하강 시키는 동력부;를 포함할 수 있다.
한 쌍의 레그부와 상기 챔버의 내측면 사이에는 상기 레그부의 승하강에 따라 신장 및 수축되며, 상기 챔버 내부와 기밀을 이루는 벨로우즈관이 더 구비될 수 있다.
상기 냉매관은 상기 레그부 또는 상기 벨로우즈관 내부를 통해 상기 챔버의 외부로 연장될 수 있다.
상기 쿨링 플레이트는, 상기 히터의 저면과 접촉되는 평판부를 포함할 수 있다.
상기 쿨링 플레이트는, 상기 평판부의 양측단으로부터 상측으로 연장되어 상기 히터의 측면과 접촉하도록 구비되는 난간부;를 더 포함할 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치는 기판의 건조가 종료된 후, 챔버의 진공분위기에도 불구하고 히터를 보다 빨리 냉각할 수 있어, 다음 기판이 반입될 때 까지 대기해야 하는 시간이 대폭 단축되므로 생산성이 증가하는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 잉크젯 분사방식의 기판 제조과정을 도시한 도면이다.
도 2는 종래의 기판 건조장치를 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치를 도시한 단면도 이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 다른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치의 히터 및 히터 냉각부를 도시한 사시도 이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에서, 기판이 건조될 때를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에서, 히터가 냉각될 때를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에서, 기판이 건조될 때를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치에서, 히터가 냉각될 때를 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 도면에서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치를 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치(100)를 도시한 단면도 이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 다른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치의 히터(150) 및 히터 냉각부(160)를 도시한 사시도 이다.
본 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치(100)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 챔버(110), 기판 지지부(120), 커버(140), 히터(150), 냉각부(160), 냉각 승강부(170) 및 제어부(190)를 포함할 수 있다.
상기 챔버(110)는 에미터 액적이 도포된 기판(10)이 건조되는 진공의 건조공간을 형성하는 구성요소이다. 상기 챔버(110)에는 기판(10)의 반입 및 반출 등을 위한 도어(미도시) 등이 구비될 수 있다.
상기 기판 지지부(120)는 상기 챔버(110) 내에 반입되는 기판(10)을 지지하는 구성요소이다. 상기 기판(10)은 상기 기판 지지부(120)에 안착되어 챔버(110) 내에서 지지될 수 있다. 이 때, 상기 기판(10)은 에미터 액적이 도포된 면이 상측을 바라보는 상태로 안착될 수 있다.
또한, 상기 챔버(110) 저면의 상기 기판 지지부(120) 측면 둘레에 상기 챔버(110)내의 가스를 배출하는 진공 흡입부(130)가 배치될 수 있다.
한편, 상기 기판(10) 및 상기 기판 지지부(120)의 상측에는 커버(140)가 구비될 수 있다. 상기 커버(140)의 상측에는 복수개의 홀(142)이 형성되어 상기 증발공간(144)으로 기화된 용매가스를 챔버(110) 내로 흘러나오도록 할 수 있다.
또한, 상기 기판 지지부(120)에 안착된 기판(10)의 저면에 접촉하여 상기 기판(10)을 지지함과 동시에 가열하는 히터(150)가 구비될 수 있다.
한편, 상기 히터(150)는 상기 기판 지지부(120)에 지지된 기판(10)의 하측면과 접촉하여, 상기 기판(10)을 지지하면서 상기 기판(10)을 가열하여 상기 기판(10)에 적하된 용매를 증발시킬 수 있다.
따라서, 상기 기판(10)이 상기 기판 지지부(120)에 안착된 상태에서 상기 커버(140)를 덮고, 하측에서 히터(150)가 상기 기판(10)을 가열하면서, 상기 챔버(110) 내에 구비된 진공 흡입부(130)로서 상기 챔버(110)내부에 진공을 형성하면, 상기 기판(10)에 적하된 용매가 증발되면서 건조될 수 있다.
상기 냉각부(160)는 상기 히터(150)가 상기 기판(10)의 건조를 완료하였을 때, 상기 히터(150)와 접촉하여 상기 히터(150)를 냉각하도록 구비될 수 있다.
또한, 상기 냉각 승강부(170)는 상기 냉각부(160)를 승강시켜 상기 히터(150)와 접촉시키거나 또는 상기 히터(150)로부터 이격시킬 수 있다.
한편, 상기 제어부(190)는 상기 히터(150)와 상기 냉각부(160) 및 상기 냉각 승강부(170)를 제어할 수 있다.
즉, 상기 제어부(190)는, 상기 히터(150)가 상기 기판(10)을 가열할 때에는 상기 냉각 승강부(170)가 상기 냉각부(160)를 하강시키도록 제어하여 상기 히터(150)와 이격시키며, 상기 히터(150)가 상기 기판(10)의 가열을 종료했을 때에는 상기 냉각 승강부(170)가 상기 냉각부(160)를 상승시키도록 제어하여 상기 히터(150)와 접촉시키도록 구비될 수 있다.
상기 냉각부(160)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 쿨링 플레이트(162), 냉매관(165), 열교환기(167) 및 펌프(169)를 포함할 수 있다.
상기 쿨링 플레이트(162)는, 상기 히터(150)의 저면에 접촉되도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 히터(150)의 저면 전체에 균일하게 밀찰되도록 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150) 저면의 형태에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다.
예를 들어, 상기 히터(150)가 평판 형태를 띄고 있다면, 상기 쿨링 플레이트(162) 또한 평판형태로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150)의 열을 전도의 방식으로 효율적으로 절달받기 위하여 열 전도율이 높은 금속으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 냉매관(165)은 상기 쿨링 플레이트(162)의 열을 상기 챔버(110) 외부로 배출하는 냉매가 유동되는 관체로서, 적어도 일부가 상기 쿨링 플레이트(162) 내부에 매립되어 형성되거나 또는, 상기 쿨링 플레이트(162)의 저면에 밀착되도록 배치될 수 있다.
상기 냉매관(165)은 상기 쿨링 플레이트(162)로부터 상기 챔버(110)의 외측으로 연장된다. 상기 냉매관(165)이 상기 챔버(110)의 외측으로 연장된 부분에는 열교환기(167) 및 펌프(169)가 구비될 수 있다.
상기 열교환기(167)는 상기 챔버(110)의 외측에 설치되어 상기 냉매의 열을 상기 챔버(110) 외부로 배출하는 구성이다. 또한 상기 펌프(169)는 상기 냉매관(165) 내부의 냉매를 한 방향으로 유동시키도록 구비된다.
따라서, 상기 냉매는 상기 쿨링 플레이트(162)로부터 열을 흡수하여 상기 챔버(110) 외부로 배출하는 것이다.
즉, 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150)와 접촉되어 히터(150)의 열을 전도의 방식으로 전달받아 상기 히터(150)를 냉각하고, 상기 쿨링 플레이트(162)의 열은 상기 냉매관(165)을 흐르는 냉매에 의해 상기 챔버(110)의 외부로 배출될 수 있다.
한편, 상기 냉각 승강부(170)는, 레그부(172) 및 동력부(174)를 포함할 수 있다.
상기 레그부(172)는 상기 쿨링 플레이트(162)의 저면으로부터 상기 챔버(110)의 바닥면을 향하여 연장되며, 상기 쿨링 플레이트(162)를 안정적으로 지지하기 위하여 적어도 한 쌍이 형성될 수 있다.
그리고, 상기 동력부(174)는 상기 레그부(172)에 구비되어 상기 레그부(172)를 승하강 시키도록 구비될 수 있다.
상기 동력부(174)는, 유압 또는 공압으로서 신축되어 상기 레그부(172)를 승하강 시키는 실린더이거나 또는 별도의 모터를 장착한 볼스크류 구조 또는 랙 앤 피니언 구조 등 알려진 다양한 구조로서 구현될 수 있다.
한편, 상기 레그부(172)와 상기 챔버(110)의 내측면 사이에는 상기 레그부(172)의 승하강에 따라 신장 및 수축되며, 상기 챔버(110) 내부와는 기밀을 이루는 벨로우즈관(180)이 더 구비될 수 있다.
그리고, 상기 냉매관(165)은 상기 레그부(172) 또는 상기 벨로우즈관(180)의 내부를 통해 상기 챔버(110) 외부로 연장될 수 있다.
한편, 전술한 바와 같이, 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150)의 저면 형상을 따라 형성되는데, 상기 히터(150)가 평판의 형태로 형성된 경우에는 상기 쿨링 플레이트(162) 또한 상기 히터(150)의 저면과 균일하게 밀착되는 평판 형태의 평판부(163)를 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치(100)에서, 기판(10)이 건조될 때를 도시한 도면이며, 도 6은 히터(150)가 냉각될 때를 도시한 도면이다.
따라서, 상기 기판(10)이 건조될 때에는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 기판(10)이 상기 기판 지지부(120)에 안착된 상태에서 상기 히터(150)가 상기 기판(10)과 접촉되어 상기 기판(10)을 가열한다. 이 때, 상기 냉각부(160)의 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150)와 이격되어 상기 히터(150)의 열이 전달되지 않으며, 상기 히터(150)의 열은 상기 기판(10)으로 모두 전달되어 기판(10)을 건조시키는데 사용될 수 있다.
또한, 상기 기판(10)의 건조가 완료된 후에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 쿨링 플레이트(162)가 상승되어 상기 히터(150)의 저면에 밀착됨으로써, 열 전도에 의해 상기 히터(150)의 열이 상기 쿨링 플레이트(162) 측으로 전달되어 상기 히터(150)가 냉각될 수 있다.
한편, 상기 쿨링 플레이트(162)는, 전술한 바와 같이 평판의 형태로서 이루어질 수도 있으며, 또는 도 7 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 평판부(163)의 양측단으로부터 상측으로 연장되어 상기 히터(150)의 측면과 접촉하도록 구비되는 난간부(164)를 더 포함할 수 있다.
상기 난간부(164)가 구비됨으로 인해, 상기 쿨링 플레이트(162)는 상기 히터(150)의 저면 뿐만 아니라 측면까지 접촉할 수 있어, 상기 히터(150)를 보다 더 신속하게 냉각할 수 있으며, 뿐만 아니라 상기 히터(150) 전체에 걸쳐 균일하게 냉각할 수 있으므로 히터(150)의 반복되는 열 팽창 및 열 수축에 따른 균열 또는 뒤틀림을 방지할 수 있는 효과도 있다.
따라서, 상기 기판(10)이 건조될 때에는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 기판(10)이 상기 기판 지지부(120)에 안착된 상태에서 상기 히터(150)가 상기 기판(10)과 접촉되어 상기 기판(10)을 가열한다. 이 때, 상기 냉각부(160)의 상기 쿨링 플레이트(162)의 평판부(163) 및 상기 난간부(164)는 상기 히터(150)와 이격되어 상기 히터(150)의 열이 전달되지 않으며, 상기 히터(150)의 열은 상기 기판(10)으로 모두 전달되어 기판(10)을 건조시키는데 사용될 수 있다.
또한, 상기 기판(10)의 건조가 완료된 후에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 쿨링 플레이트(162)가 상승되어 상기 평판부(163)가 상기 히터(150)의 저면에 밀착되고, 상기 난간부(164)가 상기 히터(150)의 측면에 밀착됨으로써, 열 전도에 의해 상기 히터(150)의 열이 상기 쿨링 플레이트(162) 측으로 전달되어 상기 히터(150)가 신속하게 냉각될 수 있다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10: 기판 100: 건조장치
110: 챔버 120: 기판 지지부
130: 진공 흡입부 140: 커버
142: 홀 144: 증발공간
150: 히터 160: 냉각부
162: 쿨링 플레이트 163: 평판부
164: 난간부 165: 냉매관
167: 열교환기 169: 펌프
170: 냉각 승강부 172: 레그부
174: 동력부 180: 벨로우즈관
190: 제어부

Claims (7)

  1. 진공의 건조공간을 형성하는 챔버;
    상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부;
    상기 기판 지지부에 지지된 기판의 하측면과 접촉하며, 상기 기판을 가열하여 기판에 적하된 용매를 증발시키는 히터;
    상기 히터가 상기 기판의 건조를 완료하였을 때, 상기 히터와 접촉하여 상기 히터를 냉각하는 냉각부;
    상기 냉각부를 승강시켜 상기 히터와 접촉시키거나 상기 히터로부터 이격시키는 냉각 승강부;
    상기 히터와 상기 냉각부 및 상기 냉각 승강부를 제어하는 제어부;
    를 포함하는 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 냉각부는,
    상기 히터의 저면에 접촉되도록 구비되는 쿨링 플레이트;
    상기 쿨링 플레이트의 열을 상기 챔버 외부로 배출하는 냉매가 유동되는 냉매관;
    상기 챔버의 외부에 구비되며, 상기 냉매관의 열이 상기 챔버의 외부와 열교환되는 열교환기;
    상기 냉매관 내 냉매를 유동시키는 펌프;
    를 포함하는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 냉각 승강부는,
    상기 쿨링 플레이트의 저면으로부터 하측으로 연장되는 적어도 한 쌍의 레그부;
    상기 레그부에 구비되어 상기 레그부를 승하강 시키는 동력부;
    를 포함하는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    한 쌍의 레그부와 상기 챔버의 내측면 사이에는 상기 레그부의 승하강에 따라 신장 및 수축되며, 상기 챔버 내부와 기밀을 이루는 벨로우즈관이 더 구비되는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 냉매관은 상기 레그부 또는 상기 벨로우즈관 내부를 통해 상기 챔버의 외부로 연장되는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 쿨링 플레이트는,
    상기 히터의 저면과 접촉되는 평판부를 포함하는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 쿨링 플레이트는,
    상기 평판부의 양측단으로부터 상측으로 연장되어 상기 히터의 측면과 접촉하도록 구비되는 난간부;를 더 포함하는, 히터 냉각부가 구비된 기판 건조장치.
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