CN209756491U - 干燥系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种干燥系统，其包括：样品台，样品台的一侧用于承载待干燥样品；加热模块，加热模块包括与样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，第一加热模块和第二加热模块用于在干燥时分别对样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。上述干燥系统最终制备的薄膜均匀，成膜性好。

Description

干燥系统

技术领域

本实用新型涉及样品干燥技术领域，特别是涉及一种干燥系统。

背景技术

喷墨打印(Ink Jet Print，简称IJP)是一种可直接进行图案化薄膜沉积的新型制程技术，普遍应用到发光显示器件的各功能层的制备中，例如：OLED(Organic Light-Emitting Display，有机电致发光显示)器件中的各功能层，如空穴传输层、有机发光层以及电子传输层等通常是采用喷墨打印技术形成特定的图案。

然而，在喷墨打印过程中，由于传统喷墨打印机的喷头尺寸远小于样品台上待打印区域的尺寸，喷墨打印机需要通过多次打印才能将墨滴完全覆盖在整个待打印区域上。但是由于待打印中心区和边缘区上方的蒸汽压不同，会导致待打印中心区和待打印边缘区墨滴的挥发速度不同，造成待打印中心区和边缘区的墨滴挥发量不均匀，进而造成最终制成的薄膜厚度不均。

实用新型内容

基于此，有必要针对在喷墨打印过程中，传统的喷墨打印装置制备的发光显示器件薄膜均匀性差的问题，提供一种干燥系统，利用此干燥系统可提高成膜的均匀性。

一种干燥系统，所述干燥系统包括：

样品台，用于承载待干燥样品；

加热模块，所述加热模块包括与样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，所述第一加热模块和所述第二加热模块用于在干燥时分别对所述样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。

上述干燥系统是针对样品台不同的区域(中心区和边缘区)对应设置了不同温度的加热模块，在样品干燥过程中，第一加热模块和第二加热模块分别对所述样品台上的待干燥样品的中心区和边缘区进行加热。具体而言，将第一加热模块的设定的温度高于第二加热模块设定的温度，通过这种设置，降低了样品台边缘区域的蒸汽压，提高了样品台中心区域的蒸汽压，进而使样品台中心区内的墨滴挥发速率比样品台边缘区域内的墨滴挥发速率快，以使样品台中心区域内的墨滴挥发量与样品台边缘区域内的墨滴挥发量持平。这样也就弥补了样品台不同区域的墨滴挥发量不均匀的问题，最终制备的薄膜均匀，成膜性好。

在其中一个实施例中，所述加热模块位于所述样品台的另一侧，所述第一加热模块的温度比所述第二加热模块的温度高。

在其中一个实施例中，所述第一加热模块与所述第二加热模块之间设有隔热层。

在其中一个实施例中，所述第一加热模块包括第一加热管和第一导热层，所述第一导热层的底面与所述第一加热管连接，所述第一导热层的顶面与所述样品台连接；

所述第二加热模块包括第二加热管和第二导热层，所述第二导热层的底面与所述第二加热管连接，所述第二导热层的顶面与所述样品台连接。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述第一加热模块和所述第二加热模块分别以不同的发热功率对待干燥样品进行干燥。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括用于对样品台上的待干燥样品进行冷却的冷凝模块，所述冷凝模块位于所述样品台放置待干燥样品的一侧。

在其中一个实施例中，所述冷凝模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一冷凝模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二冷凝模块，所述第一冷凝模块和所述第二冷凝模块用于在干燥时分别对待干燥样品进行冷却。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括干燥箱，所述样品台、所述加热模块以及所述冷凝模块设于所述干燥箱内，所述冷凝模块位于所述样品台的上方，所述加热模块位于所述样品台的下方。

在其中一个实施例中，所述干燥系统还包括抽气装置，所述抽气装置与所述干燥箱连接，所述抽气装置用于抽取干燥箱内的气体以使干燥箱形成负压。

在其中一个实施例中，所述样品台为可升降式样品台。

附图说明

图1为本实用新型一实施方式的干燥系统的正视图；

图2为本实用新型一实施方式的干燥系统中第一加热管的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参阅图1，本实用新型一实施例中提供一种干燥系统，其包括样品台110和加热模块。

其中，样品台110的一侧用于承载待干燥样品。样品台110包括样品台110 的中心区(图中A区)和样品台110的边缘区(图中B)，样品台110的中心区与其承载的待干燥样品的打印墨滴的中心区的位置相对应，样品台110的边缘区与其承载的待干燥样品的打印墨滴的边缘区的位置相对应。在干燥过程中，打印墨滴会挥发，留存的不挥发的物质干燥后就会在样品台110上形成发光器件薄膜。进一步地，样品台110为可升降式样品台，可升降式样品台便于调节待干燥样品的高度，利于待干燥样品干燥。

其中，加热模块，主要作用是用于对放置在干燥系统内的样品台110上的打印墨滴区域进行加热，以使墨滴快速挥发，留存的不挥发的物质干燥后就会形成发光器件薄膜。具体而言，所述加热模块包括与样品台110的中心区对应设置的第一加热模块211以及与样品台110的边缘区对应设置的第二加热模块 212，所述第一加热模块211和第二加热模块212位于所述样品台110的另一侧，所述第一加热模块211和所述第二加热模块212用于在干燥时分别对所述样品台110上的待干燥样品的不同区域进行加热。在干燥过程中，所述第一加热模块211的温度比所述第二加热模块212的温度高。这样设计的好处是可以使第一加热模块211对应的样品台110的中心区(即打印墨滴的中心区)的墨滴挥发速率大于第二加热模块212对应的样品台110的边缘区(即打印墨滴的边缘区)，尽可能减少由于蒸汽压的不同，导致样品台110的边缘区的墨滴挥发快、样品台110的中心区的墨滴挥发慢的不利影响。从而保证打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。

在一个具体示例中，所述第一加热模块211与所述第二加热模块212均为独立设置，两者之间设有隔热层213，以防止两者由于温度不同相互传热，进而保证在加热模块在传热过程中，样品台110的中心区比样品台110的边缘区吸收更多热量，样品台110的中心区的挥发速率更快，利于打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。

在一个具体示例中，所述第一加热模块211包括第一加热管220和第一导热层222，所述第一导热层222的顶面与样品台110连接，所述第一导热层222 的底面与所述第一加热管220连接；所述第二加热模块212包括第二加热管230 和第二导热层232，所述第二导热层232的顶面与样品台110连接，所述第二导热层232的底面与所述第二加热管230连接。当然，第一加热模块211与第二加热模块212也可以不是加热管加热的方式，例如：第一加热模块211与第二加热模块212均为电阻丝，干燥过程中，控制不同模块的发热功率不同即可。

优选地，当第一导热层222与第二导热层232的材质相同时，所述第一导热层222的厚度设置比所述第二导热层232的厚度薄，也就是说，样品台110 的中心区与第一加热管220之间的距离比样品台110的边缘区与第二加热管230 之间的距离更近，利于样品台110的中心区先吸热，中心区域内的墨滴先蒸发，样品台110的边缘区后吸热，边缘区内的墨滴后蒸发，从而使打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。当然可以理解的是，第一导热层222 可以为比第二导热层232导热性更好的导热材质，这样也可以实现样品台110 的中心区先吸热，样品台110的边缘区后吸热的效果。

在一个具体示例中，第一导热层222和第二导热层232的材质可以相同也可不同，例如：第一导热层222为金属层，第二导热层为232为泡沫层，以使样品台110的中心区先接收热量，样品台110的边缘区后接收热量。利于打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。

在一个具体示例中，为了保证样品台110的中心区和边缘区能够均匀受热，第一加热管220的管路均匀布设于样品台110的中心区，第二加热管230的管路均匀布设于样品台110的边缘区。参阅图2，以第一加热管220为例，第一加热管220的管路的形状可以为蛇形管路，也可以为其他本领域技术人员认为合适的管路形状。当然可以理解的是，为了增强加热效果，第一加热管220还可以为均匀叠层布设的多条加热管路。

在一个具体示例中，所述干燥系统还包括控制机构(图中未示出)，所述控制机构用于控制所述第一加热模块211和所述第二加热模块212分别以不同的发热功率对待干燥样品进行干燥。优选地，控制机构为PLC控制系统，实现自动化控制。

在一个具体示例中，所述干燥系统还包括用于对样品台上的待干燥样品进行冷却的冷凝模块，所述冷凝模块位于所述样品台的待干燥样品的一侧。加热模块对待干燥样品进行加热，墨滴蒸汽挥发至冷凝模块的表面变为液滴，这样就会使样品的待干燥区与所述冷凝模块之间形成温度差，便于墨滴快速挥发，快速成膜。

在一个具体示例中，所述冷凝模块包括与样品台110的中心区对应设置的第一冷凝模块311以及与样品台110的边缘区对应设置的第二冷凝模块312，所述第一冷凝模块311和所述第二冷凝模块312用于在干燥时分别对待干燥样品进行冷却，所述第一冷凝模块311和所述第二冷凝模块312之间设有隔温层。具体而言，所述第一冷凝模块311比第二冷凝模块312的温度低，以使第一冷凝模块311与样品台110的中心区之间的温差比第二冷凝模块312与样品台110 的边缘区之间的温差大。利于打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。

在一个具体示例中，所述第一冷凝模块311包括第一冷凝板和用于供过冷液体流通的第一冷凝管、所述第二冷凝模块312包括第二冷凝板和用于供过冷液体流通的第二冷凝管。其中，第一冷凝板与第二冷凝板可以位于同一平面上一体成型，也可以分体设计。具体地，第一冷凝管和第二冷凝管分别设于第一冷凝板和第二冷凝板远离样品台110的一侧，为各自的冷凝板提供冷源，挥发的墨滴在第一冷凝板和第二冷凝板的表面上再次凝结成液滴。可以理解的是，所述第一冷凝管还可嵌设在所述第一冷凝板中，所述第二冷凝管还可嵌设在所述第二冷凝板中。进一步节省空间。

实际工作中，所述第一冷凝管比第二冷凝管的温度低，以使第一冷凝板与样品台110的中心区之间的温差比第二冷凝板与样品台110的边缘区之间的温差大。利于打印墨滴的中心区和边缘区的墨滴挥发量持平，成膜均匀。

可以理解的是，所述第一冷凝管和所述第二冷凝管在各自的冷凝板上的排布可以是蛇形排布，也可以是其他本领域技术人员认为合适的其他排布方式。

在一个具体示例中，所述干燥系统还包括干燥箱100，所述样品台110、所述加热模块以及所述冷凝模块310设于所述干燥箱100内，所述冷凝模块310 位于所述样品台110的上方，所述加热模块位于所述样品台110的下方，这样设计的好处是与让墨滴挥发方向保持一致。

在一个具体示例中，所述干燥系统还包括抽气装置(图中未示出)，与所述干燥箱100连接，用于抽取干燥箱100内的气体以使干燥箱形成负压。干燥箱 100内的负压环境更利于墨滴的快速挥发。

上述干燥系统是针对样品台不同的区域(中心区和边缘区)对应设置了不同温度的加热模块，在样品干燥过程中，第一加热模块和第二加热模块会分别对所述样品台上的待干燥样品的中心区和边缘区分别进行加热。具体而言，将第一加热模块的设定的温度高于第二加热模块设定的温度，通过这种设置，降低了样品台边缘区域的蒸汽压，提高了样品台中心区域的蒸汽压，进而使样品台中心区内的墨滴挥发速率比样品台边缘区域内的墨滴挥发速率快，以使样品台中心区域内的墨滴挥发量与样品台边缘区域内的墨滴挥发量持平。这样也就弥补了样品台不同区域的墨滴挥发量不均匀的问题，最终制备的薄膜均匀，成膜性好。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种干燥系统，其特征在于，包括：

样品台，所述样品台的一侧用于承载待干燥样品；

加热模块，所述加热模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一加热模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二加热模块，所述第一加热模块和所述第二加热模块用于在干燥时分别对所述样品台上的待干燥样品的不同区域进行加热。

2.根据权利要求1所述的干燥系统，其特征在于，所述加热模块位于所述样品台的另一侧，所述第一加热模块的温度比所述第二加热模块的温度高。

3.根据权利要求2所述的干燥系统，其特征在于，所述第一加热模块与所述第二加热模块之间设有隔热层。

4.根据权利要求3所述的干燥系统，其特征在于，所述第一加热模块包括第一加热管和第一导热层，所述第一导热层的底面与所述第一加热管连接，所述第一导热层的顶面与所述样品台连接；

所述第二加热模块包括第二加热管和第二导热层，所述第二导热层的底面与所述第二加热管连接，所述第二导热层的顶面与所述样品台连接。

5.根据权利要求1所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述第一加热模块和所述第二加热模块分别以不同的发热功率对待干燥样品进行干燥。

6.根据权利要求2-5任一项所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括用于对样品台上的待干燥样品进行冷却的冷凝模块，所述冷凝模块位于所述样品台放置待干燥样品的一侧。

7.根据权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述冷凝模块包括与所述样品台的中心区对应设置的第一冷凝模块以及与所述样品台的边缘区对应设置的第二冷凝模块，所述第一冷凝模块和所述第二冷凝模块用于在干燥时分别对待干燥样品进行冷却。

8.根据权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括干燥箱，所述样品台、所述加热模块以及所述冷凝模块设于所述干燥箱内，所述冷凝模块位于所述样品台的上方，所述加热模块位于所述样品台的下方。

9.根据权利要求8所述的干燥系统，其特征在于，所述干燥系统还包括抽气装置，所述抽气装置与所述干燥箱连接，所述抽气装置用于抽取干燥箱内的气体以使干燥箱形成负压。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的干燥系统，其特征在于，所述样品台为可升降式样品台。