KR20240042565A - 전기 특성 검사용 도선 및 그 제조 방법 - Google Patents

전기 특성 검사용 도선 및 그 제조 방법 Download PDF

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요시히로 사카가미
고 오다치
리쿠야 와타나베
쓰토무 고이즈미
류이치 아라이
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에스더블유씨씨 가부시키가이샤
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Abstract

높은 경도 및 높은 도전율을 갖는 전기 특성 검사용 도선의 제공을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하는 전기 특성 검사용 도선은, 구리 합금으로 구성되고, 외주부에, 길이 방향에 대하여 각도 0.5~20°의 방향으로 연장되는 섬유상 조직을 갖는다.

Description

전기 특성 검사용 도선 및 그 제조 방법{ELECTRICAL-PROPERTY-INSPECTION CONDUCTOR WIRE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR}
본 발명은 전기 특성 검사용 도선 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 전자 기기의 소형화에 따라, 그들에 사용되는 각종 회로 기판의 고밀도 실장 등이 요구되고 있다. 한편, 이와 같은 각종 실장 기판이나, IC 패키지 기판 등의 다양한 회로 기판에 대하여, 제조 시에 직류 저항값의 측정이나 도통 검사 등, 각종 전기 특성의 검사를 행하는 것이 일반적이다. 이와 같은 전기 특성의 검사는, 통상, 회로 기판의 전극에 접촉시키기 위한 콘택트 프로브와, 당해 콘택트 프로브를 통하여 저항값 등을 측정하기 위한 검사 장치(신호 처리 장치)로 구성되는 경우가 많다(예를 들면 특허문헌 1). 그리고, 이와 같은 검사 장치나 콘택트 프로브에 사용하는 도선에 대해서도, 각종 회로 기판의 고밀도 실장 등에 맞추어, 세경화(細徑化)나 고도전율화가 요구되고 있다. 또, 검사 장치나 콘택트 프로브에 사용하는 도선에는, 높은 경도가 요구되는 경우도 있다.
상기 검사 장치나 프로브 등에 사용하는 도선으로서는, 구리 합금선이 일반적이다. 구리 합금은, 일반적으로 변형을 가할수록 경도가 상승한다. 그 때문에, 종래, 신선(伸線) 가공하거나, 압연 가공하거나 함으로써, 구리 합금선의 경도를 높이고 있었다.
국제 공개공보 제2016/159316호
상술한 신선 가공이나 압연 가공에 의하여 경도를 높이기 위해서는, 주조 직경을 크게 하고, 다수의 신선 가공이나 압연 가공을 반복하는 것이 필요하다. 그러나, 주조 직경이 큰 선재(線材)를 신선 가공하는 것은 어렵고, 생산성의 저하나 생산 비용의 증대가 발생하기 쉽다. 또한, 일반적인 구리 합금에서는, 신선 가공이나 압연 가공에 의하여 도전율이 저하되기 쉽고, 고경도 및 고도전율을 겸비한 도선을 얻는 것은 어려웠다.
본 발명의 주된 목적은, 높은 경도 및 높은 도전율을 갖는 전기 특성 검사용 도선, 및 그 제조 방법의 제공을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양태에 의하면,
0.1~30질량%의 은을 함유하고, 잔부가 구리 및 불가피 불순물인 구리 합금으로 구성되는 전기 특성 검사용 도선으로서,
외주부에는 길이 방향에 대하여 각도 0.5~20°의 방향으로 연장되는 섬유상 조직을 가지며,
비커스 경도가 300HV 이상이고 또한 도전율이 57% IACS 이상인 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선이 제공된다.
본 발명의 다른 양태에 의하면,
0.1~30질량%의 은을 함유하고, 잔부가 구리 및 불가피 불순물인 구리 합금선을 준비하는 공정과,
상기 구리 합금선을 일방향으로 반송하고 또한 소정의 방향으로 압입하면서 상기 구리 합금선의 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 구리 합금선을 비틀림 가공하는 공정을 가지며,
상기 구리 합금선을 비틀림 가공하는 공정에서는, 압입 후의 상기 구리 합금선과, 상기 구리 합금선의 반송 방향이 이루는 각도를 10~70°로 하고, 상기 구리 합금선의 반송 속도에 대한, 상기 둘레 방향으로의 회전 속도가 1~60회전/mm로 설정하는 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법이 제공된다.
본 발명에 의하면, 높은 경도 및 높은 도전율을 갖는 전기 특성 검사용 도선, 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 전기 특성 검사용 도선을 사용 가능한 콘택트 프로브나 검사 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법에 있어서의 비틀림 가공 공정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 전기 특성 검사용 구리선의 제조 방법에 있어서의 비틀림 복원 공정을 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 비틀림 가공량에 대한, 전기 특성 검사용 도선의 길이 방향 및 섬유상 조직의 연장 방향이 이루는 각도와, 비커스 경도의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 5는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법에 있어서의 비틀림 복원 공정을 설명하기 위한 개략도이다.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 관한 전기 특성 검사용 도선(이하 간단히 「도선」이라고도 한다.), 및 그 제조 방법에 대하여 설명한다.
단, 본 발명의 도선 및 그 제조 방법은, 이하에 나타내는 실시형태에 한정되지 않는다. 본 명세서에서는, 수치 범위를 나타내는 「~」에는 상한값과 하한값이 당해 수치 범위에 포함된다.
[전기 특성 검사용 도선]
본 실시형태의 도선은 구리 합금으로 구성된다.
당해 구리 합금은 은, 주석, 베릴륨, 아연, 니켈, 마그네슘, 알루미늄, 타이타늄, 지르코늄, 인듐, 실리콘, 인 중 어느 1종 또는 2종 이상을 포함하고, 잔부가 구리 및 불가피 불순물인 것이 바람직하다. 당해 구리 합금선은 구리 및 은을 포함하는 구리 합금이 바람직하다.
은의 양은, 도선의 원하는 특성에 맞추어 적절히 선택되지만, 0.1~30질량%가 바람직하고, 10~15질량%가 보다 바람직하다. 은의 양이 당해 범위이면, 도선의 경도 및 도전율을 원하는 범위로 하기 쉬워진다.
도선의 직경은, 도선의 용도에 따라 적절히 선택되지만, 통상 0.2mm 이하가 바람직하고, 0.01mm~0.1mm가 보다 바람직하다. 도선의 직경이 당해 범위이면, 예를 들면 도선 전기 특성 검사 장치나 프로브 핀에 사용했을 때에, 협(狹)피치로 도선을 배치하는 것이 가능해진다.
본 실시형태의 도선은 그 외주부에 소정의 방향으로 연장되는 섬유상 조직을 갖는다.
「도선의 외주부」란, 도선의 둘레면 근방의 영역을 말하고, 예를 들면 도선의 외주면으로부터, 도선의 직경의 1/3의 깊이까지의 영역을 말한다. 도선의 길이 방향과, 당해 섬유상 조직의 연장 방향이 이루는 각도는, 0.5° 이상 20° 이하이며, 0.5° 이상 11.2° 이하가 바람직하고, 3.3° 이상 11.2° 이하가 보다 바람직하다. 상기 방향으로 연장되는 섬유상 조직은, 그 제조 시에, 소정의 방향으로 일정한 힘이 가해진 것을 나타낸다.
구체적으로는, 도선을 제조할 때에, 후술하는 비틀림 가공 공정을 행함으로써, 도선의 주위에 일정 방향으로 연장되는 섬유상 조직이 발생한다. 그리고, 상기 도선의 길이 방향과 섬유상 조직의 연장 방향이 이루는 각도가 0.5° 이상이면, 현격히 도선의 경도가 높아질 뿐만 아니라, 도전율이 양호해지기 쉽다. 상기 각도가 20°를 초과하면, 단선될 가능성이 있고, 20° 이하이면, 경도 및 도전율이 양호해지기 쉽다. 도선의 외주부가, 상기 섬유상 조직을 갖거나, 또 당해 도선의 길이 방향과, 당해 섬유상 조직의 연장 방향이 이루는 각도의 특정은, 도선의 표면으로부터 당해 도선의 직경의 20% 정도 연마하고 그 연마면을 비디오 마이크로스코프 또는 주사형 전자 현미경에 의하여 관찰함으로써 확인할 수 있다.
당해 도선의 도전율은 50% IACS 이상이 바람직하고, 57% IACS 이상이 보다 바람직하다.
도선의 도전율이 60% IACS 이상이면, 도선을 후술과 같이, 각종 용도에 사용하기 쉬워진다. 도선의 도전율의 상한은 특별히 제한되지 않지만, 통상 당해 도선에서는, 상한이 85% IACS 정도이다.
당해 도선의 비커스 경도는, 도선의 용도에 따라 적절히 선택된다.
예를 들면, 도선을 후술하는 전기 특성 검사용 프로브에 사용하는 경우, 그 비커스 경도는 300HV 이상이 바람직하고, 320HV 이상이 보다 바람직하다. 한편, 도선을 후술하는 전기 특성 검사용 장치의 리드선 등에 사용하는 경우, 그 비커스 경도는 250HV 이상이 바람직하다. 비커스 경도가 상기 범위이면, 각 용도에 사용하기 쉬워진다. 본 명세서에 있어서의 비커스 경도란, JIS Z 2244에 준거하여 측정한 값이다.
당해 도선의 신장은 1~5%가 바람직하다.
당해 신장률은, 정밀 만능 시험기(예를 들면 시마즈 세이사쿠쇼사제) 등에 의하여 특정할 수 있다. 도선의 신장이 5% 이하이면, 예를 들면 도선의 단부(端部)가 다른 부재와 반복하여 접촉해도, 단부에 처짐이 발생하기 어렵다.
당해 도선의 진직성(眞直性)은 높은 것이 바람직하다.
당해 도선의 곡률 반경은 300mm 이상이 바람직하고, 1000mm 이상이 보다 바람직하다. 도선의 진직성이 높으면, 도선을 전기 특성 검사용 장치 등에 사용했을 때에, 인접하는 도선끼리가 접촉하거나 얽히거나 하는 것을 억제할 수 있다. 도선의 진직성이 높으면, 도선을 각종 용도에 사용하기 쉬워진다. 상기 곡률 반경은, 키엔스사제 디지털 마이크로스코프 VHX-6000을 사용하여, 샘플의 원호로부터 임의로 3점을 선정하여, 산출한 값이다.
당해 도선은, 전기 특성을 검사하기 위한 장치나 기구 등에 주로 사용된다.
도선의 용도로서, 예를 들면, 전기 특성 검사용 장치의 리드선이나 콘택트 프로브의 프로브 핀 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되지 않는다.
도 1에, 기판(11) 및 전극(12)를 갖는 회로 기판(10)의 전기 특성을 검사하기 위한 콘택트 프로브(20)나, 이것에 접속하는 검사 장치(30)의 일부를 나타낸다.
도 1에 나타내는 콘택트 프로브(20)는, 프로브 핀(22) 및 이것을 지지하는 지지부(21)를 갖는다. 검사 장치(30)는, 리드선(32), 이것을 지지하는 유지부(31), 및 리드선(32)에 접속된 신호 처리부(도시하지 않는다)를 갖는다. 당해 구성의 콘택트 프로브(20)나 검사 장치(30)에서는, 프로브 핀(22)을 회로 기판(10)의 전극(12) 및 리드선(32)에 압압함으로써, 회로 기판(10) 측으로부터의 전기 신호가 검사 장치(30)에 전달된다. 그리고, 신호 처리부에 의하여, 당해 전기 신호를 검출함으로써, 회로 기판(10)의 직류 저항값의 측정이나, 도통 검사 등을 행할 수 있다.
또한, 상술한 도선은, 상기 콘택트 프로브(20)의 프로브 핀(22)이나, 검사 장치(30)의 리드선(32) 중 어느 것에도 사용하는 것이 가능하다. 프로브 핀(22) 및 리드선(32)은, 반복 접촉한다. 그 때문에, 이들에 사용하는 도선의 경도가 낮으면, 반복의 접촉에 의하여, 마모해 버리는 경우가 있다. 이에 대하여, 상술한 도선은, 높은 경도 및 높은 도전율을 겸비하고 있다. 따라서, 이들 용도에 매우 유용하다.
또한, 상술한 도선을 리드선(32)으로서 사용하는 경우에는, 상기 도선의 주위에 절연 피막을 형성해도 된다. 도선의 주위에 절연 피막을 형성하면, 인접하는 리드선(32)끼리의 접촉을 억제할 수 있다. 절연 피막은, 일반적인 도선의 절연 피막과 동일하게, 수지로 이루어지는 피막으로 할 수 있다. 절연 피막에 사용 가능한 수지의 예에는, 폴리유레테인 수지, 나일론 수지, 폴리에스터 수지, 에폭시 수지, 폴리에스터이미드 수지, 폴리아마이드 수지, 폴리아마이드이미드 수지 등이 포함된다. 단, 이들에 한정되지 않는다. 그 두께도 용도에 따라 적절히 선택되고, 예를 들면 1.0~10μm 정도로 할 수 있다.
[전기 특성 검사용 도선의 제조 방법]
상술한 도선은, 예를 들면, 이하의 방법으로 제조할 수 있다. 단, 상기 도선의 제조 방법은 당해 방법에 한정되지 않는다. 본 실시형태의 제조 방법은, 구리 및 은을 포함하는 구리 합금선을 준비하는 공정(이하 간단히 「준비 공정」이라고도 한다.)과, 당해 구리 합금선을 일방향으로 반송하면서, 구리 합금선을 소정의 방향으로 압입하고, 구리 합금선의 둘레 방향으로 회전시키는 공정(이하 간단히 「비틀림 가공 공정」이라고도 한다.)과, 비틀림 가공 후의 구리 합금선의 비틀림을 복원하는 공정(이하 간단히 「비틀림 복원 공정」이라고도 한다.)을 갖는다.
준비 공정에서는, 구리 및 은을 포함하는 구리 합금선을 준비한다. 구리 합금선의 조성은, 상술한 도선이 포함하는 구리 합금과 동일한 조성으로 한다. 당해 구리 합금선은, 임의의 방법으로 제조된 것이어도 되고, 예를 들면 임의의 주조 직경으로 제작한 선재를 신선 가공한 것 등이어도 된다. 준비하는 구리 합금선의 직경은, 0.2mm 이하가 바람직하고, 0.01mm~0.1mm가 보다 바람직하다.
본 실시형태의 비틀림 가공 공정의 개략도를 도 2에 나타낸다.
당해 비틀림 가공 공정에서는, 상기 준비 공정에서 준비한 구리 합금선(130)을 가공 장치(200) 내에서 상술과 같이 비틀림 가공한다.
가공 장치(200)는, 구리 합금선(130)을 사이에 두고 대향하도록 배치되는, 한 쌍의 회전판(제1 회전판(211a), 제2 회전판(211b))을 갖는다. 한 쌍의 회전판(제1 회전판(211a), 제2 회전판(211b))은, 모터(도시하지 않는다)와 접속되어 있으며, 구리 합금선(130)을 중심축으로 하여, 일체로 소정의 속도로, 구리 합금선(130)의 둘레 방향으로 회전하도록 구성되어 있다.
일방의 회전판(본 실시형태에서는 제1 회전판(211a))은, 구리 합금선(130)을 소정의 높이로 지지하기 위한 제1 지지부(212a) 및 제3 지지부(212c)를 갖는다. 타방의 회전판(본 실시형태에서는 제2 회전판(211b))은, 구리 합금선(130)을 소정의 위치까지 압입하기 위한 제2 지지부(212b)를 갖는다. 각 지지부(212a, 212b, 212c)의 단부는, 각각 구리 합금선(130)을 지지하기 위한 홈(도시하지 않는다)을 갖는다.
비틀림 가공 공정에서는, 먼저, 구리 합금선(130)을, 가공 장치(200)의 제1 지지부(212a), 제2 지지부(212b), 제3 지지부(212c)에 각각 지지시킨다. 이때, 제2 지지부(212b)에 의하여 압입된 구리 합금선(130)과 반송 방향이 이루는 각도(도 2에 있어서의 α 및 β)가 10~70°가 되도록, 제1 지지부(212a), 제2 지지부(212b), 및 제3 지지부(212c)의 높이나 위치를 조정한다. 구리 합금선(130)과 반송 방향이 이루는 각도 α 및 β는, 바람직하게는 20~50°이며, 보다 바람직하게는 20~40°이다. 상기 각도 α 및 β는, 상이한 값이어도 되지만, 동일한 값인 것이 바람직하다.
계속해서, 구리 합금선(130)을 일방의 보빈(100) 측으로부터 타방의 보빈(160) 측에 일정한 속도로 반송하면서, 가공 장치(200)의 회전판(제1 회전판(211a), 제2 회전판(211b))을 구리 합금선(130)의 둘레 방향으로, 일정한 속도로 회전시킨다. 이 때의 반송 속도에 대한 회전판의 회전 속도, 즉, 이하의 식에서 정의되는 비틀림 가공량은, 1~60회전/mm이며, 1~30회전/mm인 것이 바람직하고, 1~20회전/mm인 것이 보다 바람직하며, 1~15회전/mm인 것이 더 바람직하다.
비틀림 가공량=회전 속도[rpm]/구리 합금선(130)의 반송 속도[mm/min]
비틀림 가공량을 상기 범위로 함으로써, 구리 합금선(130)에 적당한 힘이 가해져, 구리 합금선(130)의 외주부에 섬유상 조직이 관찰되게 된다.
본 실시형태의 비틀림 복원 공정의 개략도를 도 3에 나타낸다.
당해 비틀림 복원 공정에서는, 비틀림 가공 공정 후의 구리 합금선(130)을 비틀림 복원한다.
비틀림 복원 공정에서는, 비틀림 가공 공정 후의 구리 합금선(130)을 권회한 원(元)권취 보빈(160)(공급용 보빈)을 회전시키면서, 구리 합금선(130)을 회수용 보빈(170)으로 권취하여, 구리 합금선 선재(130)의 비틀림을 복원한다. 공급용 보빈(160)을, 가공 장치(200)의 회전판(제1 회전판(211a), 제2 회전판(211b))의 회전 방향과는 반대 방향으로 회전시킬 필요가 있다. 구리 합금선(130)의 비틀림 복원량은 하기 식으로 정의된다.
비틀림 복원량
=공급용 보빈의 회전수[rpm]/구리 합금선(130)의 반송 속도[mm/min]
자세하게는 비틀림 복원 공정에서는, 비틀림 복원량을 비틀림 가공량보다 적게 하고, 비틀림 가공량의 0.02~3.0% 정도로 설정한다. 구리 합금선(130)의 비틀림 복원 공정은 주로, 구리 합금선의 핸들링성의 향상에 기여한다.
또한, 상기 비틀림 가공 공정 및 비틀림 복원 공정은 모두, 통상 상온에서 행한다.
[실시예]
이하, 본 발명을 실시예에 의하여 더 상세하게 설명한다. 단, 본 발명의 범위는 이들 실시예에 의하여 전혀 제한을 받는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 실시형태의 변경이 가능하다.
(1) 샘플의 제작
은을 10질량% 함유하고, 잔부가 구리 및 불가피 불순물이며, 직경이 0.074mm인 복수 개의 구리 합금선을 준비했다(준비 공정). 그 후, 도 2에 나타내는 가공 장치를 이용하여, 구리 합금선을 일정 속도로 이동시키면서, 당해 구리 합금선을 길이 방향에 수직으로 4.0mm 압입함과 함께, 구리 합금선의 둘레 방향으로 속도 6000rpm으로 회전시켰다(비틀림 가공 공정). 즉, 제2 지지부(212b)에 의하여 압입된 구리 합금선(130)과 구리 합금선의 반송 방향이 이루는 각도 α, 를 30°로 하고, 비틀림 가공량이 1~15회전/mm가 되도록 조정했다.
그 후, 구리 합금선에 대하여 비틀림 복원하거나, 또는 비틀림 복원을 행하지 않고 그대로 권취했다(표 1 참조). 비틀림 복원량은 비틀림 가공량의 0.7% 정도(0.01~0.11회전/mm)가 되도록 조정했다.
(2) 샘플의 평가
(2.1) 섬유상 조직의 각도
전기 특성 검사용 도선의 각 샘플을 표면으로부터 15μm 연마하고, 연마한 면을, 비디오 마이크로스코프로 확인하며, 당해 전기 특성 검사용 도선의 길이 방향과, 섬유상 조직의 연장 방향의 각도를 확인했다. 당해 결과를 표 1 및 도 3에 나타낸다.
(2.2) 비커스 경도 및 도전율의 측정
전기 특성 검사용 도선의 각 샘플의 경도(비커스 경도)를 JIS Z 2244에 준거하여 비커스 경도계로 측정함과 함께, 도전율을 멀티미터로 측정했다. 당해 결과를 표 1 및 도 4에 나타낸다.
(2.3) 핸들링성의 평가
전기 특성 검사용 구리선의 각 샘플에 대하여 핸들링성의 평가를 행했다.
구체적으로는 도 5에 나타내는 바와 같이, 권취한 보빈으로부터 샘플을 100cm 꺼내고, 그 상태에서 구리선의 단부를 보빈에 가깝게 하여 킹크가 발생했을 때의 길이 L을 측정하여, 당해 길이 L에 의하여 평가했다. 당해 결과를 표 1에 나타낸다. 여기에서는 대표적으로 샘플 12, 22, 42에 대해서만 비틀림 복원을 행했다.
샘샘플 비틀림 가공량
(회전/mm)		 섬유상 조직
의 각도(°)		 경도
(HV)		 도전율
(IACS)		 비틀림 복원
가공량
(회전/mm)		 핸들링성
1 가공 없음 0 283 71.7 - -
11 1.0 0.5 320 73.9 - 80cm
12 1.0 0.5 320 73.9 0.01 20-30cm
21 15 11.2 326 74.2 - 90cm
22 15 11.2 326 74.2 0.11 20-30cm
31 10 8.3 340 73.4 - -
41 7.5 5.7 323 74.0 - 85cm
42 7.5 5.7 323 74.0 0.05 20-30cm
51 6.0 6.3 331 74.3 - -
61 4.0 3.3 332 73.8 - -
71 3.0 3.4 324 73.6 - -
전기 특성 검사용 도선의 길이 방향과, 섬유상 조직의 연장 방향의 각도(3) 정리
상기 표 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 샘플 1과 그 이외의 샘플의 비교로부터, 구리 합금선을 일정량 압입하면서, 비틀림 가공량 1~60회전/mm로 비틀림 가공 공정을 행하면, 섬유상 조직의 각도가 0.5°~20.0°에 들어가, 도선의 경도가 높아졌다. 이때, 당해 비틀림 가공 공정에 의한 도전율도 높아졌다.
상기 비틀림 가공 공정을 행하면, 경도가 상승했다. 이것은 섬유상 조직에 있어서 비틀림 가공에 의하여 길이 방향에 대하여 일정한 각도가 부여되어, 변형 저항이 증가한 것에 의한다. 아울러 도전율도 상승했다. 이것은 구리 합금선의 길이 방향의 변형이 해방되어 전자 산란이 억제된 것에 의하거나, 또는 비틀림 가공에 의하여 모상(母相) 중에 포함되는 용질 원소가 석출된 것에 의한다고 추측했다.
또한 샘플 11, 21, 41과 샘플 12, 22, 42의 비교로부터, 상기 비틀림 복원을 행하면, 보빈으로부터 꺼냈을 때의 구리 합금선의 킹크의 발생을 억제할 수 있었다.
본 출원은, 2022년 6월 8일 출원한 일본 특허출원 2022-093060호에 근거하여 우선권을 주장한다. 당해 출원 명세서 및 도면에 기재된 내용은, 모두 본원 명세서에 원용된다.
본 발명의 전기 특성 검사용 도선은, 높은 경도 및 높은 도전율을 겸비한다. 따라서, 전기 특성 검사용 도선은, 콘택트 프로브나, 전기 특성 검사 장치의 리드선 등, 각종 용도에 사용 가능하다.
10 회로 기판
11 기판
12 전극
20 콘택트 프로브
21 지지부
22 프로브 핀
30 검사 장치
31 유지부
32 리드선
100 보빈
130 구리 합금선
160 보빈
170 보빈
200 가공 장치
211a 제1 회전판
211b 제2 회전판
212a 제1 지지부
212b 제2 지지부
212c 제3 지지부

Claims (4)

  1. 0.1~30질량%의 은을 함유하고, 잔부가 구리 및 불가피 불순물인 구리 합금선을 준비하는 공정과,
    상기 구리 합금선을 일방향으로 반송하고 또한 소정의 방향으로 압입하면서 상기 구리 합금선의 둘레 방향으로 회전시켜, 상기 구리 합금선을 비틀림 가공하는 공정을 가지며,
    상기 구리 합금선을 비틀림 가공하는 공정에서는, 압입 후의 상기 구리 합금선과, 상기 구리 합금선의 반송 방향이 이루는 각도를 10~70°로 하고, 상기 구리 합금선의 반송 속도에 대한, 상기 둘레 방향으로의 회전 속도가 1~60회전/mm로 설정하는 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구리 합금선을 비틀림 가공하는 공정에서는, 압입 후의 상기 구리 합금선과, 상기 구리 합금선의 반송 방향이 이루는 각도를 20~40°로 하고, 상기 구리 합금선의 반송 속도에 대한, 상기 둘레 방향으로의 회전 속도가 1~15회전/mm로 설정하는 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    비틀림 가공 후의 상기 구리 합금선을 일방향으로 반송하면서, 비틀림 가공 시의 회전 방향과 반대 방향으로 회전시켜, 상기 구리 합금선의 비틀림을 복원하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구리 합금선을 비틀림 복원하는 공정에서는, 비틀림 복원량을 상기 비틀림 가공량의 0.02~3.0%로 설정하는 것을 특징으로 하는 전기 특성 검사용 도선의 제조 방법.
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