KR20240033328A - 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 48
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 39
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 19
- 125000006835 (C6-C20) arylene group Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 claims description 13
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000006701 (C1-C7) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 9
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000006273 (C1-C3) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 8
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N xanthone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3OC2=C1 JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 5
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 claims description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 4
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 claims description 3
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 claims description 3
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 claims description 3
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 claims description 3
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 claims description 3
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 claims 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 45
- -1 ethylhexyl Chemical group 0.000 description 24
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 7
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 6
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 5
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(OC=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- YWFPGFJLYRKYJZ-UHFFFAOYSA-N 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)C2=CC=CC=C2C2=CC=CC=C21 YWFPGFJLYRKYJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 3
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XIOGJAPOAUEYJO-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class COC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 XIOGJAPOAUEYJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCNPOZMLKGDJGP-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(4-methoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical group C1=CC(OC)=CC=C1C=CC1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 MCNPOZMLKGDJGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 2
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YZGQDNOIGFBYKF-UHFFFAOYSA-N Ethoxyacetic acid Chemical compound CCOCC(O)=O YZGQDNOIGFBYKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- HNRMPXKDFBEGFZ-UHFFFAOYSA-N ethyl trimethyl methane Natural products CCC(C)(C)C HNRMPXKDFBEGFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TZMFJUDUGYTVRY-UHFFFAOYSA-N pentane-2,3-dione Chemical group CCC(=O)C(C)=O TZMFJUDUGYTVRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005493 quinolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium bromide Chemical compound [Br-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC JRMUNVKIHCOMHV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Diphenylbenzene Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 1H-indene Natural products C1=CC=C2CC=CC2=C1 YBYIRNPNPLQARY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHGGYGMFCRSWIZ-UHFFFAOYSA-N 2,2-dichloro-1-(4-phenoxyphenyl)ethanone Chemical compound C1=CC(C(=O)C(Cl)Cl)=CC=C1OC1=CC=CC=C1 JHGGYGMFCRSWIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 2,2-diethoxy-1-phenylethanone Chemical compound CCOC(OCC)C(=O)C1=CC=CC=C1 PIZHFBODNLEQBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYKPJMYWPYIXGG-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylbutane;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.CCC(C)(C)C OYKPJMYWPYIXGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 2,4-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC(CC)=C3SC2=C1 BTJPUDCSZVCXFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 2,4-dimethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC(C)=C3SC2=C1 LCHAFMWSFCONOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MDKSQNHUHMMKPP-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(4-methoxyphenyl)-4-phenyl-1h-imidazole Chemical class C1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC(OC)=CC=2)N1 MDKSQNHUHMMKPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTWRMVAKUSJNBK-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dimethoxyphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class COC1=CC(OC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 CTWRMVAKUSJNBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXAYEPUDXSKVHS-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-4,5-bis(3-methoxyphenyl)-1h-imidazole Chemical class COC1=CC=CC(C2=C(NC(=N2)C=2C(=CC=CC=2)Cl)C=2C=C(OC)C=CC=2)=C1 RXAYEPUDXSKVHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 2-(2-chlorophenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class ClC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 NSWNXQGJAPQOID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHRWPYOTGCOJP-UHFFFAOYSA-N 2-(2-fluorophenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class FC1=CC=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 UIHRWPYOTGCOJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZYZPHPDKCTFFH-UHFFFAOYSA-N 2-(4-methylsulfanylphenyl)-4,5-diphenyl-1h-imidazole Chemical class C1=CC(SC)=CC=C1C1=NC(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)N1 GZYZPHPDKCTFFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVGLEPQPVDUSOJ-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-3-hydroxypropanoate Chemical compound COC(=O)CCO RVGLEPQPVDUSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQXNYVAALXGLQT-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[9-[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]fluoren-9-yl]phenoxy]ethanol Chemical compound C1=CC(OCCO)=CC=C1C1(C=2C=CC(OCCO)=CC=2)C2=CC=CC=C2C2=CC=CC=C21 NQXNYVAALXGLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXSVWFRZICUOLU-UHFFFAOYSA-N 2-butoxypropanoic acid Chemical compound CCCCOC(C)C(O)=O LXSVWFRZICUOLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSLWEMZSKIWXQB-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CCCCCCCCCCCC)=CC=C3SC2=C1 JSLWEMZSKIWXQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LARBPNMSKNMEFW-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxypropyl propanoate Chemical compound CCOC(C)COC(=O)CC LARBPNMSKNMEFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 2-methoxypropanoate Chemical compound COC(C)C([O-])=O ICPWFHKNYYRBSZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DOHSYWCDRJLXSV-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OCC(C)OC DOHSYWCDRJLXSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBHQUIZSTNKUBX-UHFFFAOYSA-N 3-butoxybutyl propanoate Chemical compound CCCCOC(C)CCOC(=O)CC JBHQUIZSTNKUBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NXBUZZFXMZBGDW-UHFFFAOYSA-N 3-butoxypropyl propanoate Chemical compound CCCCOCCCOC(=O)CC NXBUZZFXMZBGDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBKRYXITQFMJCG-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxybutyl propanoate Chemical compound CCOC(C)CCOC(=O)CC HBKRYXITQFMJCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIGKFUCVZMLRFI-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxypropyl propanoate Chemical compound CCOCCCOC(=O)CC SIGKFUCVZMLRFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AYIRHANHVDOYDJ-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OCCCO AYIRHANHVDOYDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSIKHBWUBSFBRZ-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropanoic acid Chemical compound COCCC(O)=O YSIKHBWUBSFBRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)CCOC(=O)C=C FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHGIMAJUMPMTFZ-UHFFFAOYSA-N 3-propoxybutyl propanoate Chemical compound CCCOC(C)CCOC(=O)CC VHGIMAJUMPMTFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZLDXPLNKWTMOO-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropanoic acid Chemical compound CCCOCCC(O)=O YZLDXPLNKWTMOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-2-fluoro-6-nitrophenol Chemical compound OC1=C(F)C=C(Br)C=C1[N+]([O-])=O ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 4-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCOC(=O)C=C JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JLLMOYPIVVKFHY-UHFFFAOYSA-N Benzenethiol, 4,4'-thiobis- Chemical compound C1=CC(S)=CC=C1SC1=CC=C(S)C=C1 JLLMOYPIVVKFHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N Butyl lactate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)O MRABAEUHTLLEML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M Butyrate Chemical compound CCCC([O-])=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Natural products CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N C[CH]O Chemical group C[CH]O GAWIXWVDTYZWAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYVQFUJDGOBPQI-UHFFFAOYSA-N Methyl-2-hydoxyisobutyric acid Chemical compound COC(=O)C(C)(C)O XYVQFUJDGOBPQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPLMFODUPFXQRH-YZSQISJMSA-N N(=O)(=O)C1=CC=2C(CCCC)(CCCC)C3=CC(/C(=N/OC(=O)C)/C)=CC=C3C=2C=C1 Chemical compound N(=O)(=O)C1=CC=2C(CCCC)(CCCC)C3=CC(/C(=N/OC(=O)C)/C)=CC=C3C=2C=C1 GPLMFODUPFXQRH-YZSQISJMSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQAVYBWWWZMURF-UHFFFAOYSA-N OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO XQAVYBWWWZMURF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000004160 Phosphoric Monoester Hydrolases Human genes 0.000 description 1
- 108090000608 Phosphoric Monoester Hydrolases Proteins 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical group O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N [(e)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(\C)=N\OC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N 0.000 description 1
- CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N [2,2-bis(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxypropyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)C=C CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDLJKTNBZKSHIY-UHFFFAOYSA-N [4-(diethylamino)phenyl]-phenylmethanone Chemical compound C1=CC(N(CC)CC)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 IDLJKTNBZKSHIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004054 acenaphthylenyl group Chemical group C1(=CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPSOQTFPIWIGJT-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1-propoxypropane Chemical compound CC(O)=O.CCCOCCC IPSOQTFPIWIGJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- 239000003006 anti-agglomeration agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000499 benzofuranyl group Chemical group O1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000001164 benzothiazolyl group Chemical group S1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004196 benzothienyl group Chemical group S1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004541 benzoxazolyl group Chemical group O1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005605 branched copolymer Polymers 0.000 description 1
- PSXYIYQFQQXYNU-UHFFFAOYSA-N butan-2-yloxymethyl propanoate Chemical compound CCC(C)OCOC(=O)CC PSXYIYQFQQXYNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001191 butyl (2R)-2-hydroxypropanoate Substances 0.000 description 1
- URBZEXMYYYABCQ-UHFFFAOYSA-N butyl 2-butoxyacetate Chemical compound CCCCOCC(=O)OCCCC URBZEXMYYYABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKRARXXOLDCMCX-UHFFFAOYSA-N butyl 2-butoxypropanoate Chemical compound CCCCOC(C)C(=O)OCCCC IKRARXXOLDCMCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYRUCHOYGVFKLZ-UHFFFAOYSA-N butyl 2-ethoxypropanoate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)OCC FYRUCHOYGVFKLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFGRALUHHHDIQI-UHFFFAOYSA-N butyl 2-hydroxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)CO VFGRALUHHHDIQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDJWQETUMXXWPD-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)OC JDJWQETUMXXWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MENWVOUYOZQBDM-UHFFFAOYSA-N butyl 3-hydroxypropanoate Chemical compound CCCCOC(=O)CCO MENWVOUYOZQBDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004063 butyryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000609 carbazolyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 1
- 125000002676 chrysenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=C4C=CC=CC4=C3C=CC12)* 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005509 dibenzothiophenyl group Chemical group 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- GIXDJNPUPVJXBG-UHFFFAOYSA-N ethoxymethyl propanoate Chemical compound CCOCOC(=O)CC GIXDJNPUPVJXBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVBSJWKYFYUHTF-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-butoxyacetate Chemical compound CCCCOCC(=O)OCC SVBSJWKYFYUHTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMONIZCCNGYDDJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-butoxypropanoate Chemical compound CCCCOC(C)C(=O)OCC HMONIZCCNGYDDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OCC CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFUIDHWFLMPAGY-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)O GFUIDHWFLMPAGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCOC(=O)COC JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)OC WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXONMBCEAFIRDT-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-propoxyacetate Chemical compound CCCOCC(=O)OCC ZXONMBCEAFIRDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIRSHSVIZQASRJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-butoxypropanoate Chemical compound CCCCOCCC(=O)OCC GIRSHSVIZQASRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKDLORMZNPQILV-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)CCO UKDLORMZNPQILV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)CCOC IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLACVNYOVGHAKH-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-propoxypropanoate Chemical compound CCCOCCC(=O)OCC LLACVNYOVGHAKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 125000003914 fluoranthenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC=C4C1=C23)* 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002541 furyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000003721 gunpowder Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000592 heterocycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diol Chemical compound OCCCCCCO XXMIOPMDWAUFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003453 indazolyl group Chemical group N1N=C(C2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000003454 indenyl group Chemical group C1(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000001041 indolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 125000001977 isobenzofuranyl group Chemical group C=1(OC=C2C=CC=CC12)* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000000904 isoindolyl group Chemical group C=1(NC=C2C=CC=CC12)* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001786 isothiazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000842 isoxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M methacrylate group Chemical group C(C(=C)C)(=O)[O-] CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QBVBLLGAMALJGB-UHFFFAOYSA-N methyl 2-butoxypropanoate Chemical compound CCCCOC(C)C(=O)OC QBVBLLGAMALJGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OC PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate Chemical compound COC(=O)C(O)C(C)C YSGBMDFJWFIEDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSJFXBNYJCXDGI-UHFFFAOYSA-N methyl 2-hydroxyacetate Chemical compound COC(=O)CO GSJFXBNYJCXDGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVVSSORVCLNBOS-UHFFFAOYSA-N methyl 2-propoxyacetate Chemical compound CCCOCC(=O)OC AVVSSORVCLNBOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMHHINXESLPPMV-UHFFFAOYSA-N methyl 3-propoxypropanoate Chemical compound CCCOCCC(=O)OC DMHHINXESLPPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- DAZXVJBJRMWXJP-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylethylamine Chemical compound CCN(C)C DAZXVJBJRMWXJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N n-Propyl acetate Natural products CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-methylethanamine Chemical compound CCN(C)CC GNVRJGIVDSQCOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 125000002971 oxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 125000003933 pentacenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C12)* 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- 125000001828 phenalenyl group Chemical group C1(C=CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 description 1
- 125000001792 phenanthrenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C=CC12)* 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- LVDAGIFABMFXSJ-UHFFFAOYSA-N propyl 2-butoxyacetate Chemical compound CCCCOCC(=O)OCCC LVDAGIFABMFXSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N propyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)O ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 125000003373 pyrazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003226 pyrazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001725 pyrenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002098 pyridazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- DVUVKWLUHXXIHK-UHFFFAOYSA-N tetraazanium;tetrahydroxide Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[NH4+].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-] DVUVKWLUHXXIHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001935 tetracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C12)* 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000000335 thiazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 125000004306 triazinyl group Chemical group 0.000 description 1
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003960 triphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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Abstract
본 발명은 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다. 구체적으로, 본 발명은 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여, 정밀한 포토 패터닝이 가능하면서도 탁월한 광학 특성을 가지는 경화막을 제공한다. 또한, 본 발명의 상기 경화막을 채용하여, 광추출 효율이 향상된 유기발광소자를 제공한다.
Description
본 발명은 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
유기발광소자는 저전압 구동이 가능하여 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 색상 구현, 응답 속도, 시야각, 명암비 등이 우수하여, 차세대 디스플레이로 각광받고 있다. 그러나, 유기발광소자의 발광층에서 발생된 광은 대부분 내부에 트랩되고 광출력량에 기여하지 못하기 때문에 광추출 효율이 대략 20%정도에 불과한 한계가 있다.
이를 해결하기 위해, 광을 산란시킬 수 있는 입자를 포함하는 광산란층을 사용하는 방안이 연구되어 왔지만, 종래의 광산란층은 포토 패터닝이 불가능한 재료로 형성되어 이를 패터닝하기 위한 에칭 공정이 추가로 요구되었다. 그러나, 이와 같은 에칭 공정에 의해 광산란층 주변의 다른 소재들이 손상될 수 있어 현실적으로 광산란층 패터닝이 불가능한 문제점이 존재한다.
이에 따라, 포토 패터닝이 가능한 감광성 수지가 유기발광소자의 광추출 소재로 각광받고 있으나, 최근에는 소자의 고성능화로 인해 더욱 정밀한 패턴의 구현이 가능하면서도 경화 후에 탁월한 광학 특성 가지는 새로운 소재의 개발이 필요하다.
본 발명의 일 양태는 포토 패터닝이 가능하면서도 유기발광소자의 광추출 소재로 적용할 수 있는 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 일 양태는 상기 감광성 수지 조성물로부터 제조된 경화막 및 이를포함하는 유기발광소자를 제공한다.
상술된 목적을 위해 본 발명의 일 양태는 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는, 중합체를 제공한다.
[화학식 1]
[화학식 2]
(상기 화학식 1 및 2에서,
L1은 (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이고;
L2 및 L3는 각각 독립적으로 단일결합, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이며, 상기 알킬렌의 -CH2-는 -O-, -S-, -NH-, -C(=O)- 또는 이들의 조합으로 치환될 수 있고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C20)알킬렌이고;
X1 내지 X4는 각각 독립적으로 -O- 또는 -NH-이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 하나의 4가기이고;
L은 단일결합, -O-, -C(=O)-, -S-, -SO2-, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌, (C3-C20)헤테로아릴렌 또는 이들의 조합일 수 있고, 상기 알킬렌은 (C1-C10)알킬 및 할로(C1-C10)알킬에서 선택되는 하나 이상으로 더 치환될 수 있고;
R1 내지 R3는 각각 독립적으로 (C1-C10)알킬 또는 할로(C1-C10)알킬이고;
p는 1 내지 10의 정수이고;
a 내지 c는 각각 독립적으로 0 내지 2의 정수이다.)
상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 3으로 표시될 수 있다.
[화학식 3]
(상기 화학식 3에서,
L1은 (C1-C20)알킬렌 또는 (C6-C20)아릴렌이고;
L11 내지 L14는 각각 독립적으로 (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이고;
X1 및 X2는 각각 독립적으로 -O- 또는 -NH-이고;
p는 1 내지 5의 정수이고;
A고리는 상기 화학식 1에서의 정의와 동일하다.)
상기 A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 하기 구조에서 선택되는 4가기일 수 있다.
(상기 구조식에서,
L21 내지 L24는 각각 독립적으로 단일결합, -O-, -C(=O)-, -S-, -SO2- 또는 (C1-C7)알킬렌이고, 상기 알킬렌은 (C1-C7)알킬 및 할로(C1-C7)알킬에서 선택되는 하나 이상으로 더 치환될 수 있고;
R1 내지 R3는 각각 독립적으로 (C1-C7)알킬 또는 할로(C1-C7)알킬이고;
a 내지 c는 각각 독립적으로 0 내지 2의 정수이다.)
상기 구조식에서 L21 및 L22 는 각각 독립적으로 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -CRaRb-이고; L23 및 L24는 각각 독립적으로 -O- 또는 -S- 이고; Ra 및 Rb는 각각 독립적으로 (C1-C3)알킬 또는 할로(C1-C3)알킬일 수 있다.
상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 5로 표시되고, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 6으로 표시될 수 있다.
[화학식 5]
[화학식 6]
(상기 화학식 5 및 6에서,
L11 내지 L14는 각각 독립적으로 (C1-C7)알킬렌이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 4가기이고;
L21은 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -C(CF3)2- 이고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C7)알킬렌이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
p는 1 내지 5의 정수이다.)
상기 화학식 5로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 7으로 표시되고, 상기 화학식 6으로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 8 또는 화학식 9로 표시될 수 있다.
[화학식 7]
[화학식 8]
[화학식 9]
(상기 화학식 7 내지 9에서,
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 4가기이고;
L21은 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -C(CF3)2- 이다.)
일 양태에 따른 상기 중합체는 하기 화학식 10으로 표시될 수 있다.
[화학식 10]
(상기 화학식 10에서,
L1 내지 L5, X1 내지 X6, A, B 및 p는 상기 화학식 1 및 화학식 2에서의 정의와 동일하고; n 및 m은 몰분율로 0<n<1, 0<m<1이고, n+m=1이다.)
상기 n 및 m의 몰분율은 0.4<n<0.8, 0.2<m<0.6이고, n+m=1일 수 있다.
일 양태에 따른 상기 중합체의 중량평균 분자량은 2,000 g/mol 내지 10,000 g/mol일 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태는 상기 중합체를 포함하는, 바인더 수지를 제공한다.
본 발명의 또 다른 양태는 상기 중합체를 포함하는, 감광성 수지 조성물을 제공한다.
일 양태에 따른 상기 감광성 수지 조성물은 광중합성 단량체 및 광개시제를 더 포함하는 것일 수 있다.
상기 광중합성 단량체는 에틸렌계 불포화 결합을 가지는 다관능 모노머일 수 있다.
상기 광개시제는 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 벤조인계 화합물, 이미다졸계 화합물, 크산톤계 화합물, 포스핀계 화합물 및 옥심계 화합물에서 선택되는 하나 또는 둘 이상일 수 있다.
일 양태에 따른 상기 감광성 수지 조성물은 고형분 기준으로 상기 중합체 50 내지 80중량%, 광중합성 단량체 10 내지 40중량%, 광개시제 1 내지 10중량%로 포함되는 것일 수 있다.
본 발명의 또 다른 양태는 상기 감광성 수지 조성물을 경화하여 얻은 경화막 및 상기 경화막을 포함하는 유기 전자 소자를 제공한다.
본 발명의 일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 별도의 에칭 공정 없이 포토 패터닝이 가능하며, 우수한 감도 및 현상성으로 정밀한 패턴을 구현할 수 있다.
또한, 상기 감광성 수지 조성물은 광경화를 통해 우수한 광학적 특성을 가지는 경화막을 형성할 수 있다. 구체적으로, 일 양태에 따른 감광성 수지 조성물로부터 제조된 경화막은 투과율 및 굴절률이 높기 때문에 유기발광소자에 적용되었을 때 광추출 효율을 효과적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 일 양태에 따른 감광성 수지 조성물을 활용하면, 추가적인 에칭 공정이 필요하지 않기 때문에 공정을 간소화하여 생산 단가 및 생산력 향상이 가능하며, 에칭 공정으로 인한 주변 소재의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 일 양태에 따른 감광성 수지 조성물을 채용한 유기발광소자는 광추출 효율이 향상될 뿐만 아니라, 소비 전력이 감소되고, 우수한 수명 특성을 구현할 수 있다.
이하, 본 발명을 좀 더 구체적으로 설명한다. 이 때 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.
본 명세서의 용어, "포함한다"는 "구비한다", "함유한다", "가진다" 또는 "특징으로 한다" 등의 표현과 등가의 의미를 가지는 개방형 기재이며, 추가로 열거되어 있지 않은 요소, 재료 또는 공정을 배제하지 않는다.
본 명세서의 용어, "CA-CB"는 "탄소수가 A 이상이고 B 이하"인 것을 의미한다.
본 명세서의 용어, “중합체”는 올리고머를 포함할 수 있고, 동종중합체와 공중합체를 포함한다, 상기 공중합체는 교호 중합체, 블록 공중합체, 랜덤 공중합체, 가지 공중합체, 가교 공중합체, 또는 이들을 모두 포함하는 것일 수 있다.
본 명세서의 용어, “알킬”은 하나의 수소 제거에 의해서 지방족 탄화수소로부터 유도된 유기 라디칼로, 직쇄 또는 분쇄 형태를 모두 포함할 수 있다. 일 예로, 메틸, 에틸, 프로필, 이소프로필, 부틸, 이소부틸, t-부틸, 펜틸, 헥실, 에틸헥실 등을 포함하지만 이에 한정되지는 않는다.
본 명세서의 용어, “알킬렌”은 두 개의 수소 제거에 의해서 지방족 탄화 수소로부터 유도된 2가의 유기 라디칼로, 직쇄 또는 분쇄 형태를 모두 포함할 수 있다. 일 예로, 메틸렌, 에틸렌, 프로필렌, 이소프로필렌, 부틸렌, 이소부틸렌, t-부틸렌, 펜틸렌, 헥실렌, 옥틸렌, 노닐렌 등을 포함하지만 이에 한정되지는 않는다.
본 명세서의 용어 “아릴렌”은 아릴에서 하나의 수소 제거에 의해 유도된 2가 유기 라디칼을 의미한다. 상기 "아릴"은 하나의 수소 제거에 의해서 방향족 탄화수소로부터 유도된 유기 라디칼로, 탄소수 6 내지 60의 단환 또는 다환을 포함하며, 다른 치환기에 의하여 추가로 치환될 수 있다. 여기서, 다환이란 아릴이 다른 고리기와 직접 연결되거나 축합된 기를 의미한다. 여기서, 다른 고리기란 아릴일 수도 있으나, 다른 종류의 고리기, 예컨대 시클로알킬, 헤테로시클로알킬, 헤테로고리 등일 수도 있다. 아릴의 구체적인 예로는 페닐, 바이페닐, 트리페닐, 나프틸, 안트릴, 크라이세닐, 페난트레닐, 페릴레닐, 플루오란테닐, 트리페닐레닐, 페날레닐, 파이레닐, 테트라세닐, 펜타세닐, 플루오레닐, 인데닐, 아세나프틸레닐, 플루오레닐 등이나 이들의 축합고리가있으나, 이에 한정되지 않는다.
본 명세서의 용어 "헤테로아릴렌"은 헤테로아릴에서 하나의 수소 제거에 의해 유도된 2가 유기 라디칼을 의미한다. 상기 "헤테로아릴"은 방향족 고리 골격 원자로서 N, O, S 및 Se로부터 선택되는 적어도 하나의 헤테로원자를 포함하고, 나머지 방향족 고리 골격 원자가 탄소인 아릴 그룹을 의미하는 것으로, 5 내지 6원 단환 헤테로아릴, 및 하나 이상의 벤젠환과 축합된 다환식 헤테로아릴이며, 부분적으로 포화될 수도 있다. 또한, 본 발명에서의 헤테로아릴은 하나 이상의 헤테로아릴이 단일결합으로 연결된 형태도 포함한다. 구체적인 예로서 퓨릴, 티오펜일, 피롤릴, 이미다졸릴, 피라졸릴, 티아졸릴, 이소티아졸릴, 이속사졸릴, 옥사졸릴, 트리아진일, 피리딜, 피라진일, 피리미딘일, 피리다진일 등의 단환 헤테로아릴; 벤조퓨란일, 벤조티오펜일, 이소벤조퓨란일, 벤조이미다졸릴, 벤조티아졸릴, 벤조이소티아졸릴, 벤조이속사졸릴, 벤조옥사졸릴, 이소인돌릴, 인돌릴, 인다졸릴, 퀴놀릴, 이소퀴놀릴, 디벤조퓨란일, 디벤조티오펜일, 카바졸일, 벤조카바졸일 등의 다환식 헤테로아릴; 등을 포함하지만, 이에 한정되지 않는다.
본 명세서의 용어 “단일결합”은 해당 부위에 원자가 존재하지 않는 경우를 의미한다. 예를들어, X-Y-Z의 구조에서 Y가 단일결합인 경우에 X 및 Z는 직접 연결되어 X-Z의 구조를 형성한다.
이하, 본 발명에 대해 구체적으로 설명한다.
본 발명의 일 양태는 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는, 중합체를 제공한다.
[화학식 1]
[화학식 2]
(상기 화학식 1 및 2에서,
L1은 (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이고;
L2 및 L3는 각각 독립적으로 단일결합, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이며, 상기 알킬렌의 -CH2-는 -O-, -S-, -NH-, -C(=O)- 또는 이들의 조합으로 치환될 수 있고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C20)알킬렌이고;
X1 내지 X4는 각각 독립적으로 -O- 또는 -NH-이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 하나의 4가기이고;
L은 단일결합, -O-, -C(=O)-, -S-, -SO2-, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌, (C3-C20)헤테로아릴렌 또는 이들의 조합일 수 있고, 상기 알킬렌은 (C1-C10)알킬 및 할로(C1-C10)알킬에서 선택되는 하나 이상으로 더 치환될 수 있고;
R1 내지 R3는 각각 독립적으로 (C1-C10)알킬 또는 할로(C1-C10)알킬이고;
p는 1 내지 10의 정수이고;
a 내지 c는 각각 독립적으로 0 내지 2의 정수이다.)
일 양태에 따른 상기 중합체는 알칼리 가용성 수지로 제공될 수 있다.
구체적으로, 상기 중합체는 상술된 구조적 특징을 가짐에 따라, 감도 및 알칼리 현상성이 우수하고 정밀한 패턴의 구현이 가능할 수 있다. 또한, 경화 후에는 기판에 대한 밀착성을 높일 수 있으며 우수한 광학 특성을 구현할 수 있다. 이에 따라, 상기 중합체를 채용한 감광성 수지 조성물은 정밀한 포토 패터닝이 가능하면서도 탁월한 광학 특성을 가지는 경화막을 제공할 수 있다.
구체적으로, 상기 화학식 1에서 L2 및 L3는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C20)알킬렌일 수 있고, 상기 L2 및 L3의 알킬렌의 -CH2-는 -OC(=O)- 및 -C(=O)O-에서 선택되는 하나 또는 둘 이상으로 대체될 수 있다.
예를 들어, 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 3으로 표시될 수 있으나, 이에 반드시 한정되는 것은 아니다.
[화학식 3]
(상기 화학식 3에서,
L1은 (C1-C20)알킬렌 또는 (C6-C20)아릴렌이고;
L11 내지 L14는 각각 독립적으로 (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이고;
X1 및 X2는 각각 독립적으로 -O- 또는 -NH-이고;
p는 1 내지 5의 정수이고;
A고리는 상기 화학식 1에서의 정의와 동일하다.)
일 예로, 상기 A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 하기 구조에서 선택되는 4가기일 수 있다.
(상기 구조식에서,
L21 내지 L24는 각각 독립적으로 단일결합, -O-, -C(=O)-, -S-, -SO2- 또는 (C1-C7)알킬렌이고, 상기 알킬렌은 (C1-C7)알킬 및 할로(C1-C7)알킬에서 선택되는 하나 이상으로 더 치환될 수 있고;
R1 내지 R3는 각각 독립적으로 (C1-C7)알킬 또는 할로(C1-C7)알킬이고;
a 내지 c는 각각 독립적으로 0 내지 2의 정수이다.)
구체적으로, 상기 L21 및 L22 는 각각 독립적으로 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -CRaRb-이고; L23 및 L24는 각각 독립적으로 -O- 또는 -S- 이고; Ra 및 Rb는 각각 독립적으로 (C1-C3)알킬 또는 할로(C1-C3)알킬일 수 있으며, 더욱 구체적으로 상기 Ra 및 Rb는 각각 독립적으로 (C1-C3)알킬 또는 퍼플루오로(C1-C3)알킬일 수 있다.
더욱 구체적으로, 상기 A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 하기 구조에서 선택되는 4가기일 수 있다.
일 예로, 상기 화학식 1 및 2에서 X1 내지 X4는 광학 물성을 더욱 향상시키기 위한 측면에서 -O-일 수 있다. 구체적으로, 경화 후에 경화막의 황색도가 증가하는 현상을 효과적으로 방지할 수 있으며, 투과도를 더욱 우수하게 할 수 있다.
일 예로, 상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 5로 표시되고, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 6으로 표시되는 것일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
[화학식 5]
[화학식 6]
(상기 화학식 5 및 6에서,
L11 내지 L14는 각각 독립적으로 (C1-C7)알킬렌이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 4가기이고;
L21은 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -C(CF3)2- 이고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C7)알킬렌이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
p는 1 내지 5의 정수이다.)
일 예로, 상기 화학식 5로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 7으로 표시되고, 상기 화학식 6으로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 8 또는 화학식 9로 표시되는 것일 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
[화학식 7]
[화학식 8]
[화학식 9]
(상기 화학식 7 내지 9에서,
A고리 및 B고리를 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 4가기이고;
L21은 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -C(CF3)2- 이다.)
예를 들어, 일 양태에 따른 중합체는 하기 화학식 10으로 표시되는 것일 수 있다.
[화학식 10]
(상기 화학식 10에서,
L1 내지 L5, X1 내지 X6, A, B 및 p는 상기 화학식 1 및 화학식2에서의 정의와 동일하고; n 및 m은 몰분율로 0<n<1, 0<m<1이고, n+m=1이다.)
구체적으로, 상기 n 및 m의 몰분율은 0.4<n<0.8, 0.2<m<0.6 및 n+m=1을 만족하는 것일 수 있다.
또한, 일 양태에 따른 상기 중합체의 중량평균 분자량은 10,000 g/mol 이하, 또는 9,000 g/mol 이하, 또는 2,000 g/mol 내지 10,000 g/mol, 또는 3,000 g/mol 내지 9,000 g/mol, 또는 4,000 g/mol 내지 9,000 g/mol일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 양태는 상기 중합체를 포함하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 상기 중합체를 바인더로 포함함에 따라, 신뢰성 있는 패턴을 구현함과 동시에 우수한 광학 특성을 가지는 경화막을 제공할 수 있다.
일 양태에 따른 상기 감광성 수지 조성물은 광중합성 단량체 및 광개시제를 더 포함할 수 있다.
일 예로, 상기 광중합성 단량체는 에틸렌계 불포화 결합을 가지는 다관능 모노머일 수 있으며, 상기 다관능 모노머는 아크릴레이트기, 메타크릴레이트기 및 비닐기에서 선택되는 중합성 관능기를 1개 이상 또는, 2 내지 8개를 포함하는 것일 수 있다.
상기 광중합성 단량체의 비한정적인 일 예로는, 1,4-부탄디올디아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디아크릴레이트, 1,4-부탄디올디(메타)아크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨디아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리스리톨디아크릴레이트, 솔비톨트리아크릴레이트, 트리메틸프로판트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨디(메타)아크릴레이트, 솔비톨트리(메타)아크릴레이트 및 트리메틸프로판트리(메타)아크릴레이트에서 선택되는 하나 또는 둘 이상일 수 있다. 보다 구체적으로, 펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트 일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 상기와 같은 광중합성 단량체를 더 포함함에 따라, 경화막의 내화학성 및 경화도를 더욱 우수하게 할 수 있다.
상기 광개시제는, 해당 기술분야게서 통상적으로 사용하는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 벤조인계 화합물, 이미다졸계 화합물, 크산톤계 화합물, 포스핀계 화합물 및 옥심계 화합물에서 선택되는 하나 또는 둘 이상일 수 있다. 더욱 구체적으로, 상기 광개시제는 2,4-비스트리클로로메틸-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2-p-메톡시스티릴-4,6-비스트리클로로메틸-s-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-6-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-4-메틸나프틸-6-트리아진, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(m-메톡시페닐) 이미다졸 이량체, 2-(o-플루오르페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, 2,4-디(p-메톡시 페닐)-5-페닐 이미다졸 이량체, 2-(2,4-디메톡시페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, 2-(p-메틸머캅토페닐)-4,5-디페닐 이미다졸 이량체, [1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바조일-3-일]-1-(O-아세틸옥심), 벤조페논, p-(디에틸아미노)벤조페논, 2,2-디클로로-4-페녹시아세토 페논, 2,2-디에톡시아세토페논, 2-도데실티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,2-비스2-클로로페닐-4,5,4,5-테트라페닐-2-1,2-비이미다졸, (E)-2-(아세톡시이미노)-1-(9,9-디에틸-9H-플루오렌-2-yl)부탄온, (E)-1-(9,9-디부틸-7-니트로-9H-플루오렌-2-yl)에탄온 O-아세틸 옥심, (Z)-2-(아세톡시이미노)-1-(9,9-다이에틸-9H-플루오렌-2-yl)프로판온, Basf사의 Irgacure 369, Irgacure 651, Irgacure 907, Darocur TPO, Irgacure 819, OXE-01, OXE-02, OXE-03, OXE-04, 아데카사의 N-1919, NCI-831 및 NCI-930로 이루어진 군 에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있으나, 이에 한정되지 것은 아니다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 용매를 더 포함할 수 있다. 상기 용매는 유기 용매로서, 일 구체예로는, 메탄올 (methanol), 에탄올(ethanol) 등의 알코올류; 테트라하이드로퓨란(tetrahydrofuran), 디에틸렌 글리콜 디메틸 에테르(diethylene glycol dimethyl ether), 디에틸렌 글리콜 디에틸 에테르(diethylene glycol diethyl ether) 등의 에테르류; 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol methyl ether acetate), 프로필렌 글리콜 에틸 에테르 아세테이트(propylene glycol ethyl ether acetate), 프로펠렌 글리콜 프로필 에테르 아세테이트(propellen glycol propyl ether acetate), 프로필렌 글리콜 부틸 에테르 아세테이트(propylene glycol butyl ether acetate) 등의 알킬렌 글리콜 알킬 에테르 아세테이트류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 4-히드록시 4-메틸-2-펜타논 등의 케톤류; 및 초산메틸, 초산에틸, 초산프로필, 초산부틸, 2-히드록시프로피온산에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산메틸, 2-히드록시-2-메틸프로피 온산에틸, 히드록시초산메틸, 히드록시초산에틸, 히드록시초산부틸, 유산메틸, 유산에틸, 유산프로필, 유산부틸, 3-히드록시프로피온산메틸, 3-히드록시프로피온산에틸, 3-히드록시프로피온산프로필, 3-히드록시프로 피온산부틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 메톡시초산메틸, 메톡시초산에틸, 메톡시초산프로필, 메톡시초산부틸, 에톡시초산메틸, 에톡시초산에틸, 에톡시초산프로필, 에톡시초산부틸, 프로폭시초산메틸, 프로폭시초산에틸, 프로폭시초산프로필, 프로폭시초산부틸, 부톡시초산메틸, 부톡시초산에틸, 부톡시초산프로필, 부톡시초산부틸, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산부틸, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시플피온산에틸, 2-에톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산부틸, 2-부톡시프로피온산메틸, 2-부톡시프로피온산에틸, 2-부톡시프로피오산프로필, 2-부톡시프 로피온산부틸, 3-메톡시프로피온산메틸 3-메톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산프로필, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산프로필, 3-에톡시프로피온산부틸, 3-프로폭시프로피온산메틸, 3-프로폭시프로피온산에틸, 3-프로폭시프로피온산프로필, 3-프로폭시프로피온산부틸, 3-부톡시프로피온산메틸, 3-부톡시프로피온산에틸, 3-부톡시프로피온산프로필, 3-부톡시프로피온산부틸 등의 에스테르류; 등에서 선택되는 하나 또는 둘 이상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 용매는 목적하는 점도를 구현하기 위해 그 사용량이 제한되지는 않으나, 전체 감광성 수지 조성물에 대하여 30 내지 90 중량%로 포함될 수 있고, 보다 바람직하게는 60 내지 90중량%로 포함될 수 있다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 전체 조성물에 대하여, 고형분 함량이 10 내지 80중량%일 수 있다. 상기 고형분 함량은 용매를 제외한 것으로, 전체 감광성 수지 조성물에 대하여 10 내지 70중량%, 예를 들어, 15 내지 50중량%, 예를 들어, 15 내지 40중량%로 포함될 수 있다. 상술된 수치 범위에서, 조성물의 안정성을 해치지 않으면서도 본 발명에서 목적하는 효과, 즉 용도에서 더욱 현저함을 보일 수 있다.
일 양태에 따른 상기 감광성 수지 조성물은 고형분을 기준으로 상기 중합체 30 내지 80중량%, 광중합성 단량체 10 내지 60중량%, 광개시제 1 내지 15중량%로 포함되는 것일 수 있다. 바람직하게는, 상기 중합체 40 내지 70중량%, 광중합성 단량체 20 내지 50중량%, 광개시제 3 내지 10중량%로 포함되는 것일 수 있다. 보다 바람직하게는, 상기 중합체 40 내지 70중량%, 광중합성 단량체 20 내지 40중량%, 광개시제 5 내지 10중량%로 포함되는 것일 수 있다.
구체적으로, 상기 감광성 수지 조성물은 일 양태에 따른 중합체와 광중합성 단량체를 1:0.01 내지 1:1 중량비로 포함할 수 있고, 바람직하게는 1:0.1 내지 1:1, 보다 바람직하게는 1:0.2 내지 1:0.8 중량비로 포함하는 것일 수 있다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물은 당업계에서 통상적으로 사용되는 임의의 첨가제를 더 포함할 수 있음은 물론이다. 이때, 상기 임의의 첨가제는 실란 커플링제, 계면활성제, 충진제, 경화제, 레벨링제, 밀착 조제, 산화방지제, 자외선 흡수제, 응집방지제, 연쇄이동제, 용매 등일 수 있으며, 바람직하게 실란 커플링제, 계면활성제 및 용매로부터 선택되는 하나 이상일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 양태는 상기 감광성 수지 조성물을 경화하여 얻은 경화막 및 이를 포함하는 유기 전자 소자를 제공한다.
일 양태에 따른 경화막 및 이를 포함하는 유기 전자 소자의 제조방법은 당업자가 인식할 수 있는 범위 내 공지의 방법이라면 무엇이든 모두 가능함은 물론이다.
이하, 상기 감광성 수지 조성물을 이용한 경화막의 형성 방법에 대해서 구체적으로 설명한다.
일 양태에 따른 감광성 수지 조성물을 이용한 경화막은 기판 상에 본 발명에 따른 감광성 수지 조성물을 도포하고 프리베이크로 용매를 제거하여 도포막을 형성하는 단계; 및 상기 도포막에 광 조사하여 광경화하는 단계;를 포함하는 제조방법으로 제조될 수 있다.
일 예로, 상기 도포는 통상의 도포방법을 이용할 수 있으며, 일 구체예로 스프레이법, 롤코터법, 회전도포법, 스핀코터법 등을 들 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
일 예로, 상기 프리베이크는 통상의 온도조건에서 수행될 수 있으며, 일 구체예로 50 내지 200℃의 온도에서 1 내지 5분간 수행될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
일 예로, 상기 광은 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, 엑스선 등에서 선택될 수 있으며, 상기 도포막에 미리 준비된 패턴을 이용하여 소정의 패턴을 형성할 수 있음은 물론이다. 일 구체예로, 상기 자외선은 g선(파장: 436㎚), h선, i선(파장: 365㎚) 등을 사용할 수 있으며, 이들 자외선의 조사량은 필요에 따라 적절히 선택될 수 있음은 물론이다.
또한, 상기 기판은 실리콘, 석영, 유리, 실리콘 웨이퍼, 고분자, 금속 및 금속 산화물 등을 사용할 수 있으며, 이에 한정되지 않는다. 구체적으로, 상기 고분자 기판은 트리아세틸 셀룰로오스, 아세틸 셀룰로오스부틸레이트, 에틸렌 아세트산비닐공중합체, 프로피오닐 셀룰오로스, 부티릴 셀룰로오스, 아세틸 프로피오닐 셀룰로오스, 폴리에스테르, 폴리스티렌, 폴리아미드, 폴리에테르이미드, 폴리아크릴, 폴리이미드, 폴리에테르술폰, 폴리술폰, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸펜텐, 폴리염화비닐, 폴리염화비닐리덴, 폴리비닐알콜, 폴리비닐아세탈, 폴리에테르케톤, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트 및 폴리카보네이트 등과 같은 필름 기판을 이용할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
일 양태에 따른 경화막의 제조방법은 광경화하는 단계 이후 현상액으로 현상하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이와 같은 현상하는 단계는 목적으로 하는 패턴을 형성하기 위한 마스크를 통해 광경화한 후 비노광부를 제거하기 위한 공정으로 액첨가법, 디핑법, 스프레이법 등 통상의 방법으로 수행할 수 있다.
일 구체예로, 상기 현상하는 단계는 기판을 임의의 각도로 기울여 현상액에 디핑하여 수행될 수 있다.
이때, 상기 현상액은 알칼리 수용액이라면 제한되지 않으나, 이의 비한정적인 일예로는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨 등의 무기 알칼리류; n-프로필아민 등의 1급 아민류; 디에틸아민, n-프로필디아민 등의 2급 아민류; 트리메틸아민, 메틸디에틸아민, 디메틸에틸아민, 트리에틸아민 등의 3급 아민류; 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드 등의 4급 암모늄염; 등에서 선택되는 하나 이상의 알칼리성 화합물의 수용액 일 수 있다. 이때, 상기 현상액은 상술된 알칼리성 화합물을 0.1 내지 10중량%로 함유하는 수용액일 수 있다.
또한 상기 현상하는 단계 이후 초순수로 30 내지 300초간 세정 및 건조하는 단계를 더 수행할 수 있다.
또한 상기 세정 및 건조하는 단계 이후 오븐 등의 가열 장치를 이용하여 50 내지 300℃의 범위에서 열경화하는 단계를 더 수행할 수 있다. 바람직하게는 100 내지 300℃의 범위에서 열경화하는 단계를 더 수행할 수 있다.
일 양태에 따른 상기 경화막은 표시 소자, 반도체 소자, 혹은 광도파로재 등의 전자 소자에 효과적으로 사용될 수 있으며, 구체적으로는 액정 표시 소자나 유기 EL 표시 소자 등의 박막 트랜지스터(TFT) 기판용 평탄화막, 터치 패널 센서 소자 등의 보호구막 또는 절연막, 반도체 소자의 층간 절연막, 고체 촬상 소자용 평탄화막, 마이크로 렌즈 어레이 패턴, 또는 광 반도체 소자 등의 광 도파로의 코어나 클래드 재료로서 사용될 수 있다.
이때, 상기 경화막의 두께는 목적에 따라 적절하게 변경될 수 있음은 물론이나, 바람직하게는 100nm 내지 50㎛ 두께로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 500nm 내지 10㎛ 두께로 형성될 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 상술한 구현예를 보다 상세하게 설명한다. 다만 하기의 실시예는 단지 설명의 목적을 위한 것이며 권리범위를 제한하는 것은 아니다.
물성은 다음과 같이 측정하였다.
1) 중량평균분자량 및 분산도
Waters 社의 겔 투과 크로마토그래피(Gel Permeation Chromatography; GPC)를 이용하여 측정하였다. 컬럼은 Shodex社 GF-801, GF-802, GF-804를, 표준시료는 Shodex社 폴리스티렌을 사용하였으며, 용매를 테트라하이드라퓨란으로 온도 40 ℃, 흐름속도 (flow rate) 1.0 mL/min였다.
2) 감도
패턴이 형성된 경화막의 패턴 사이즈 및 감도를 측정하였다. 감도는 10um 홀(hole) 패턴의 사이즈를 히타치사 주사전자현미경(SEM, Scanning electron microscope, S-8010)을 사용하여 측정한 패턴 사이즈를 기준으로, 10마이크로 홀(hole)이 구현되는 에너지를 확인하였다. 단위는 mJ/cm2이다.
3) 굴절률
엘리소미터(M-2000, J.A.Woollam)를 이용하여, 패턴이 형성되지 않은 경화막의 굴절률을 측정하였다.
4) 현상속도
노광 후, 현상기(Apogee developer)를 이용하여, 상온(25℃)에서 2.38 wt%의 현상액(테트라메틸암모늄하이드록사이드)으로 30초에서부터 현상을 시작하여, 광학 현미경으로 패턴이 나오는 시점을 확인하였다.
5) 테이퍼 앵글(Taper angle)
테이퍼 앵글은 패턴 테두리의 기울기를 의미한다. 고온 경화 후, 유기막과 패턴 내부가 이루는 내측 각도를 전자주사현미경(SEM, Scanning electron microscope)으로 측정하였다.
[실시예 1]
중합체 A-1의 제조
교반기, 온도 조절 장치, 질소가스 주입 장치가 장착된 3구 플라스크에 질소를 주입하면서 메틸피롤리돈(NMP) 107 g, 트리에틸아민(TEA) 2.35 g, 2-하이드록시에틸아크릴레이트(2-HEA) 7.45 g을 투입하여 교반 후, 4,4'-싸이오비스벤젠싸이올 8.12g을 투입하여 상온(25℃)에서 2시간 교반하였다. 이후 9,9'-비스(4-하이드록시패닐)플로렌(Bisphenol FL) 4.87 g, 테트라뷰틸암모니움 브로마이드(TBAB)3.70 g, 4,4'-옥시디프탈릭언하이드라이드(ODPA) 13.64 g을 투입하여 110 ℃에서 4시간 교반하였다. 상기 반응 혼합물을 식히고 물에 투입하여 침전물을 생성하고, 침전물을 여과하여 물로 충분히 세정 후 50 ℃에서 감압하여 24시간 이상 건조하여 중합체 A-1을 제조하였다. GPC법 표준 폴리스티렌 환산에 의해 구한 중합체 A-1의 중량평균 분자량은 7,400 g/mol, 분산도는 1.78 이었다.
감광성 수지 조성물의 제조
하기 표 1의 실시예 1에 해당하는 조성으로 혼합하여 상온(25℃)서 용해시킨 후에, 0.45㎛ 필터로 여과하여 감광성 수지 조성물 1을 제조하였다.
경화막의 제조
상기 실시예 1의 감광성 수지 조성물을 유리 기판상에 스핀코터(TOP-8, 동아무역)를 이용하여 코팅한 후, 100 ℃의 핫플레이트에서 2분간 가열하여 3.5 ㎛ 두께의 도막을 형성하였다. 상기 도막이 코팅된 기판을 다양한 크기의 패턴이 새겨진 마스크를 사용하여 캐논사의 노광기(MPA-600FA)를 이용하여 노광량의 변화를 주어가며 노광하였다. 그 후, 상온(25℃)에서 2.38 wt%의 현상액(테트라암모늄하이드록사이드)으로 120초간 현상하여 비노광부를 용해시켜 제거하고, 순수로 60초간 세척하여 패턴을 형성한 후에, 230℃ 고온 오븐에서 30분간 베이킹하여 패턴이 형성된 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
또한, 상기 실시예 1의 감광성 수지 조성물을 유리 기판상에 스핀코터(TOP-8, 동아무역)를 이용하여 코팅한 후, 100℃의 핫플레이트에서 2분간 가열하여 도막을 형성하였다. 상기 도막이 코팅된 기판을 캐논사의 노광기(MPA-600FA)를 이용하여 50 mJ/cm2의 노광량으로 마스크 없이 전면에 광을 조사하였다. 이후 230℃ 고온 오븐에서 30분간 베이킹 하여 1.5㎛ 두께인, 패턴이 형성되지 않은 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
[실시예 2]
중합체A-2의제조
상기 실시예 1에서, ODPA 대신에 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실릭 디언하이드라이드(BTDA) 14.17 g을 사용한 것을 제외하고는 동일한 방법으로 중합체 A-2를 제조하였다. GPC법 표준 폴리스티렌 환산에 의해 구한 중합체 A-2의 중량평균 분자량은 6,900 g/mol, 분산도는 1.82 이었다.
감광성 수지 조성물 및 경화막의 제조
하기 표 1의 실시예 2에 해당하는 조성비로 혼합한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 실시예 2의 감광성 수지 조성물 및 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
[실시예 3]
중합체 A-3의 제조
상기 실시예 1에서, Bisphenol FL 대신에 9,9-비스[4-(2-하이드록시에톡시)페닐]플루오렌 6.10 g를 사용하고, ODPA 대신에 3,3'4,4'-바이페닐테트라카르복실릭 언하이드라이드(BPDA) 12.9 g을 사용한 것을 제외하고는 동일한 방법으로 중합체 A-3를 제조하였다. GPC법 표준 폴리스티렌 환산에 의해 구한 중합체 A-3의 중량평균 분자량은 6,700 g/mol, 분산도는 1.96 이었다.
감광성 수지 조성물 및 경화막의 제조
하기 표 1의 실시예 3에 해당하는 조성비로 혼합한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 실시예 3의 감광성 수지 조성물 및 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
[실시예 4]
중합체 A-4의 제조
상기 실시예 3에서, BPDA 대신에 피로멜리틱 디언하이드라이드(PMDA) 9.60 g을 사용한 것을 제외하고는 동일한 방법으로 중합체 A-4를 제조하였다. GPC법 표준 폴리스티렌 환산에 의해 구한 중합체 A-4의 중량평균 분자량은 8,300 g/mol, 분산도는 1.69 이었다.
감광성 수지 조성물 및 경화막의 제조
하기 표 1의 실시예 4에 해당하는 조성비로 혼합한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 실시예 4의 감광성 수지 조성물 및 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
[비교예 1]
하기 표 1의 비교예 1에 해당하는 조성비로 혼합한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하여 비교예 1의 감광성 수지 조성물 및 경화막을 제조하였다. 그 물성은 하기 표 2에 기재하였다.
단위 (wt%) | 실시예1 | 실시예2 | 실시예3 | 실시예4 | 비교예1 | |
알칼리 가용성 수지 |
A-1 | 20 | 20 | |||
A-2 | 20 | |||||
A-3 | 20 | |||||
A-4(a) | 20 | |||||
광중합성 단량체 (b) | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | |
광개시제 (c) | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 2.5 | |
용매 (d) | 잔량 | 잔량 | 잔량 | 잔량 | 잔량 | |
계 | 100 | 100 | 100 | 100 | 100 | |
(a): 카도계 바인더(KBR-101, 경인양행) (b): 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 (DPHA, 일본화약) (c): 옥심계 개시제 (Irgacure OXE-04, BASF) (d): 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트 (sigma Aldrich) |
감도 (mJ/cm2) |
현상속도 (sec) |
Taper angle (°) |
굴절률 | |
실시예 1 | 30 | 50 | 43.3 | 1.689 |
실시예 2 | 40 | 40 | 37.8 | 1.665 |
실시예 3 | 30 | 70 | 30.1 | 1.675 |
실시예 4 | 40 | 50 | 25.5 | 1.688 |
비교예 1 | 50 | 90 | 14.2 | 1.588 |
상기 표 2에 기재된 바와 같이, 실시예 1 내지 4에 따른 경화막은 비교예의 경화막에 비해 굴절률이 현저히 향상되는 것을 확인하였다. 또한, 비교예 에 비해 현상 속도가 빨라지고 Taper angle이 향상되어 더욱 정밀한 패턴이 구현되는 것을 알 수 있었다. 즉, 본 발명에 따른 감광성 수지 조성물은 정밀한 패턴의 구현이 가능함과 동시에, 우수한 광학적 특성을 가지는 경화막을 제공할 수 있으며, 광추출 효율이 향상된 유기발광소자를 제공할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
Claims (17)
- 하기 화학식 1로 표시되는 반복단위 및 하기 화학식 2로 표시되는 반복단위를 포함하는, 중합체.
[화학식 1]
[화학식 2]
상기 화학식 1 및 2에서,
L1은 (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이고;
L2 및 L3는 각각 독립적으로 단일결합, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌 또는 (C3-C20)헤테로아릴렌이며, 상기 알킬렌의 -CH2-는 -O-, -S-, -NH-, -C(=O)- 또는 이들의 조합으로 치환될 수 있고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C20)알킬렌이고;
X1 내지 X4는 각각 독립적으로 -O- 또는 -NH-이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 하나의 4가기이고;
L은 단일결합, -O-, -C(=O)-, -S-, -SO2-, (C1-C20)알킬렌, (C6-C20)아릴렌, (C3-C20)헤테로아릴렌 또는 이들의 조합일 수 있고, 상기 알킬렌은 (C1-C10)알킬 및 할로(C1-C10)알킬에서 선택되는 하나 이상으로 더 치환될 수 있고;
R1 내지 R3는 각각 독립적으로 (C1-C10)알킬 또는 할로(C1-C10)알킬이고;
p는 1 내지 10의 정수이고;
a 내지 c는 각각 독립적으로 0 내지 2의 정수이다. - 제 3항에 있어서,
L21 및 L22 는 각각 독립적으로 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -CRaRb-이고;
L23 및 L24는 각각 독립적으로 -O- 또는 -S- 이고;
Ra 및 Rb는 각각 독립적으로 (C1-C3)알킬 또는 할로(C1-C3)알킬인, 중합체. - 제 1항에 있어서,
상기 화학식 1로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 5로 표시되고, 상기 화학식 2로 표시되는 반복단위는 하기 화학식 6으로 표시되는 것인, 중합체.
[화학식 5]
[화학식 6]
상기 화학식 5 및 6에서,
L11 내지 L14는 각각 독립적으로 (C1-C7)알킬렌이고;
A고리 및 B고리는 각각 독립적으로 또는 에서 선택되는 4가기이고;
L21은 단일결합, -O-, -C(=O)- 또는 -C(CF3)2- 이고;
L4 및 L5는 각각 독립적으로 단일결합 또는 (C1-C7)알킬렌이고;
X5 및 X6는 각각 독립적으로 단일결합 또는 -O-이고;
p는 1 내지 5의 정수이다. - 제 7항에 있어서,
상기 n 및 m의 몰분율은 0.4<n<0.8, 0.2<m<0.6이고, n+m=1인, 중합체. - 제 1항에 있어서,
상기 중합체의 중량평균 분자량은 2,000 g/mol 내지 10,000 g/mol인, 중합체. - 제 1항 내지 제 9항에서 선택되는 어느 한 항의 중합체를 포함하는, 바인더 수지.
- 제 1항 내지 제 9항에서 선택되는 어느 한 항의 중합체를 포함하는, 감광성 수지 조성물.
- 제 11항에 있어서,
광중합성 단량체 및 광개시제를 더 포함하는 것인, 감광성 수지 조성물. - 제 12항에 있어서,
상기 광중합성 단량체는 에틸렌계 불포화 결합을 가지는 다관능 모노머인, 감광성 수지 조성물. - 제 12항에 있어서,
상기 광개시제는 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 벤조인계 화합물, 이미다졸계 화합물, 크산톤계 화합물, 포스핀계 화합물 및 옥심계 화합물에서 선택되는 하나 또는 둘 이상인, 감광성 수지 조성물. - 제 12항에 있어서,
고형분 기준으로 상기 중합체 50 내지 80중량%, 광중합성 단량체 10 내지 40중량%, 광개시제 1 내지 10중량%로 포함되는 것인, 감광성 수지 조성물. - 제 11항의 감광성 수지 조성물을 경화하여 얻은, 경화막.
- 제 16항의 경화막을 포함하는, 유기 전자 소자.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220111828A KR20240033328A (ko) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220111828A KR20240033328A (ko) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20240033328A true KR20240033328A (ko) | 2024-03-12 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020220111828A KR20240033328A (ko) | 2022-09-05 | 2022-09-05 | 신규한 중합체 및 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20240033328A (ko) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210014533A (ko) | 2019-07-30 | 2021-02-09 | 삼성전자주식회사 | 적층 필름, 및 적층 필름 제조용 조성물 |
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2022
- 2022-09-05 KR KR1020220111828A patent/KR20240033328A/ko unknown
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KR20210014533A (ko) | 2019-07-30 | 2021-02-09 | 삼성전자주식회사 | 적층 필름, 및 적층 필름 제조용 조성물 |
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