KR20240004100A - 세정 장치 - Google Patents

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KR20240004100A
KR20240004100A KR1020230072217A KR20230072217A KR20240004100A KR 20240004100 A KR20240004100 A KR 20240004100A KR 1020230072217 A KR1020230072217 A KR 1020230072217A KR 20230072217 A KR20230072217 A KR 20230072217A KR 20240004100 A KR20240004100 A KR 20240004100A
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air supply
cleaning
air
liquid
cleaning liquid
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요시아키 이토
신지 후지이
토모코 나이토
칸타 마츠토모
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미우라고교 가부시키카이샤
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Abstract

[과제] 세정 대상을 효과적으로 세정하는 것.
[해결 수단] 세정 장치(1)는, 세정액(Ca)이 저류되는 내부 공간을 갖고, 세정액(Ca)에 세정 대상(S)이 침지되는 세정조(2)와, 세정 대상(S)보다 하방에 배치되고, 내부 공간의 수평 방향에 있어서 적어도 제 1 위치 및 제 2 위치의 상이한 위치로부터 급기를 행하는 액상 급기 장치(9)와, 액상 급기 장치(9)에 의해 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후 제 2 위치로부터 급기를 행하는 제어 장치(13)를 구비한다.

Description

세정 장치{WASHING APPARATUS}
본 개시는 세정 장치에 관한 것이다.
세정 장치에 관한 기술 분야에 있어서, 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은, 세정액을 감압 비등시키는 세정 장치가 알려져 있다.
일본 특허공개 2012-148222호 공보
세정액이 감압 비등하고 있는 상태에서 세정액에 공기가 공급됨으로써, 세정액이 폭발적으로 비등(돌비)한다. 돌비에 의해 생긴 세정액의 격렬한 흐름에 의해 세정 대상이 세정된다. 단, 세정액의 흐름의 방향에 따라서는, 세정 대상의 일부에 오염이 잔류할 가능성이 있다.
본 개시는, 세정 대상을 효과적으로 세정하는 것을 목적으로 한다.
본 개시에 따르면, 세정액이 저류되는 내부 공간을 갖고, 세정액에 세정 대상이 침지되는 세정조와, 세정 대상보다 하방에 배치되고, 내부 공간의 수평 방향에 있어서 적어도 제 1 위치 및 제 2 위치의 상이한 위치로부터 급기를 행하는 급기 장치와, 급기 장치에 의해 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후에 제 2 위치로부터 급기를 행하는 제어 장치를 구비하는, 세정 장치가 제공된다.
본 개시에 의하면, 세정 대상이 효과적으로 세정된다.
도 1은 실시형태에 의한 세정 장치를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 실시형태에 의한 액상 급기 펄스 세정에 있어서의 세정 장치의 동작의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 실시형태에 의한 세정 장치의 동작을 나타내는 플로우차트이다.
이하, 본 개시에 의한 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명하지만, 본 개시는 실시형태에 한정되지 않는다. 이하에서 설명하는 실시형태의 구성 요소는 적당히 조합할 수 있다. 또한, 일부의 구성 요소를 사용하지 않는 경우도 있다.
실시형태에 있어서는 좌, 우, 상, 하, 전, 후의 용어를 사용해서 각 부의 위치 관계에 대해서 설명한다. 이들 용어는, 세정 장치(1)의 중심을 기준으로 한 상대위치 또는 방향을 나타낸다.
도 1은 실시형태에 의한 세정 장치(1)를 모식적으로 나타내는 도면이다. 세정 장치(1)는 세정액(Ca)을 사용해서 세정 대상(S)을 세정한다. 실시형태에 있어서, 세정 장치(1)는 감압 비등식 세정 장치이다. 세정 장치(1)의 세정 대상(S)으로서, 의료 기구가 예시된다. 의료 기구로서, 메스 또는 겸자가 예시된다.
세정 장치(1)는 세정조(2)와, 바스켓(3)과, 지지 부재(4)와, 필터 장치(5)와, 배액 장치(6)와, 가열 장치(7)와, 감압 장치(8)와, 액상 급기 장치(9)와, 기상 급기 장치(10)와, 압력 센서(11)와, 온도 센서(12)와, 제어 장치(13)를 구비한다.
세정조(2)는 세정액(Ca)이 저류되는 내부 공간을 갖는다. 세정조(2)에 저류된 세정액(Ca)에 세정 대상(S)이 침지된다. 세정조(2)의 상단부(上端部)에 개구부가 형성된다. 세정 대상(S)은 세정조(2)의 내부 공간에 배치된다. 세정 대상(S)은 세정조(2)의 개구부를 통해서 세정조(2)의 내부 공간으로 반입된다. 세정 대상(S)은 세정조(2)의 개구부를 통해서 세정조(2)의 내부 공간으로부터 반출된다. 세정조(2)의 개구부는 덮개(14)로 폐쇄된다. 세정조(2)의 개구부가 덮개(14)로 폐쇄됨으로써, 세정조(2)의 내부 공간이 밀폐된다.
바스켓(3)은 세정 대상(S)을 수용한다. 바스켓(3)은 망상의 수용 부재이다. 세정액(Ca)은 바스켓(3)을 통과할 수 있다.
지지 부재(4)는 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 바스켓(3)을 지지한다. 지지 부재(4)는 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 바스켓(3)을 통해서 세정 대상(S)을 지지한다. 세정 대상(S)은 바스켓(3)에 수용된 상태에서, 지지 부재(4)에 지지된다. 바스켓(3) 및 바스켓(3)에 수용된 세정 대상(S)은, 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 지지 부재(4)보다 상방에 배치된다. 지지 부재(4)는 망상의 부재이다. 지지 부재(4)는 부망이다. 세정액(Ca)은 지지 부재(4)를 통과할 수 있다.
실시형태에 있어서, 세정 대상(S)은 세정조(2)의 내부 공간에 간격을 두고 복수 배치된다. 세정 대상(S)은 좌우 방향, 상하 방향, 및 전후 방향의 각각에 간격을 두고 복수 배치된다.
필터 장치(5)는 세정액(Ca)으로부터 이물을 회수한다. 필터 장치(5)는 세정 대상(S)보다 상방에 배치된다. 필터 장치(5)는 세정액(Ca)에 침지된다. 세정 대상(S)이 세정됨으로써, 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물이 세정액(Ca)을 부유할 가능성이 있다. 필터 장치(5)는 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물을 포집한다. 실시형태에 있어서, 필터 장치(5)는 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부(左端部)측 및 우단부(右端部)측의 각각에 배치된다. 즉, 실시형태에 있어서, 필터 장치(5)는 좌우 방향에 있어서 급기구(27A)보다 세정조(2)의 내부 공간의 우단부측에 배치되는 제 1 필터 장치(5A)와, 급기구(27B)보다 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부측에 배치되는 제 2 필터 장치(5B)를 포함한다.
배액 장치(6)는 세정조(2)의 내부 공간으로부터 세정액(Ca)을 배출한다. 배액 장치(6)는 세정조(2)에 접속되는 배액 라인(18)과, 배액 라인(18)에 배치되는 배액 펌프(19)를 갖는다. 배액 펌프(19)의 작동에 의해, 세정액(Ca)이 배액 라인(18)을 통해서 세정조(2)의 내부 공간으로부터 배출된다.
가열 장치(7)는 세정조(2)에 저류되어 있는 세정액(Ca)을 가열한다. 가열 장치(7)는 세정조(2)의 내부 공간에 배치되는 히터(20)를 포함한다. 히터(20)는 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 세정액(Ca)에 침지된다. 히터(20)는 지지 부재(4)보다 하방에 배치된다.
감압 장치(8)는 세정조(2)의 내부 공간을 감압한다. 감압 장치(8)는 세정조(2)의 내부 공간으로부터 기체를 배출함으로써, 세정조(2)의 내부 공간을 감압한다. 감압 장치(8)는 세정조(2)에 접속되는 배기 라인(21)과, 배기 라인(21)에 배치되는 진공 펌프(22)를 갖는다. 진공 펌프(22)의 작동에 의해, 세정조(2)의 내부 공간으로부터 기체가 배출되어, 세정조(2)의 내부 공간이 감압된다.
액상 급기 장치(9)는 세정조(2)에 저류되어 있는 세정액(Ca)에 공기를 공급한다. 액상 급기 장치(9)는 세정조(2)의 내부 공간에 배치되는 급기 노즐(23A)과, 급기 노즐(23A)에 접속되는 액상 급기 라인(24A)과, 액상 급기 라인(24A)에 배치되는 필터(25A)와, 필터(25A)와 세정조(2) 사이의 액상 급기 라인(24A)에 배치되는 액상 급기 밸브(26A)를 갖는다. 또한, 액상 급기 장치(9)는 세정조(2)의 내부 공간에 배치되는 급기 노즐(23B)과, 급기 노즐(23B)에 접속되는 액상 급기 라인(24B)과, 액상 급기 라인(24B)에 배치되는 필터(25B)와, 필터(25B)와 세정조(2) 사이의 액상 급기 라인(24B)에 배치되는 액상 급기 밸브(26B)를 갖는다.
급기 노즐(23A)과 급기 노즐(23B)은 수평 방향에 있어서 상이한 위치에 배치된다. 실시형태에 있어서, 급기 노즐(23A)은 급기 노즐(23B)보다 좌방에 배치된다. 급기 노즐(23A)은 복수의 급기구(27A)를 갖는다. 급기 노즐(23B)은 복수의 급기구(27B)를 갖는다. 급기 노즐(23A) 및 급기 노즐(23B)의 각각은, 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 세정액(Ca)에 침지된다. 급기 노즐(23A) 및 급기 노즐(23B)의 각각은, 세정 대상(S)보다 하방에 있어서 세정액(Ca)에 침지된다. 급기 노즐(23A) 및 급기 노즐(23B)의 각각은, 지지 부재(4)보다 하방에 배치된다.
급기구(27A)와 급기구(27B)는, 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 수평 방향의 상이한 위치에 배치된다. 급기구(27A)는, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측에 배치된다. 예를 들면, 급기구(27A)는, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부와 좌단부 사이에 배치되어도 좋다. 또한, 급기구(27A)의 적어도 하나가, 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부에 배치되어도 좋다. 급기구(27B)는 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 우단부측에 배치된다. 예를 들면, 급기구(27B)는 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부와 우단부 사이에 배치되어도 좋다. 또한, 급기구(27B)의 적어도 하나가, 세정조(2)의 내부 공간의 우단부에 배치되어도 좋다.
액상 급기 장치(9)는, 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 세정 대상(S)보다 하방에 배치되고, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 적어도 제 1 위치 및 제 2 위치의 상이한 위치로부터 급기를 행한다. 액상 급기 장치(9)는 지지 부재(4)보다 하방에 배치된다. 액상 급기 장치(9)의 급기구(27A)는, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 제 1 위치에 배치된다. 액상 급기 장치(9)의 급기구(27B)는, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 제 1 위치와는 상이한 제 2 위치에 배치된다. 급기구(27A)로부터 급기를 행하는 것은, 제 1 위치로부터 급기를 행하는 것을 의미한다. 급기구(27B)로부터 급기를 행하는 것은, 제 2 위치로부터 급기를 행하는 것을 의미한다.
액상 급기 장치(9)는 세정조(2)의 내부 공간에 배치되는 급기구(27A) 및 급기구(27B)의 적어도 일방으로부터 세정액(Ca)으로의 급기를 실시할 수 있다. 세정조(2)의 내부 공간은, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측의 제 1 부분 공간과, 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측과는 반대측인 우단부측의 제 2 부분 공간을 포함한다. 액상 급기 장치(9)는, 급기구(27B)로부터의 급기를 정지한 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기할 수 있다. 액상 급기 장치(9)는, 급기구(27A)로부터의 급기를 정지한 상태에서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기할 수 있다.
세정조(2)의 내부 공간이 감압되고, 또한 액상 급기 밸브(26B)가 폐쇄된 상태에서 액상 급기 밸브(26A)가 개방되면, 세정조(2)의 내부 공간과 외부 공간의 차압에 의해, 세정조(2)의 외부 공간의 공기가 필터(25A) 및 액상 급기 라인(24A)을 통해서 급기 노즐(23A)에 공급된다. 필터(25A)는 공기로부터 이물을 회수한다. 액상 급기 라인(24A)을 통해서 급기 노즐(23A)에 공급된 공기는, 급기 노즐(23A)에 형성되어 있는 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공급된다. 액상 급기 밸브(26B)가 폐쇄된 상태에서 액상 급기 밸브(26A)가 개방됨으로써, 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되지 않고, 급기구(27A)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 좌측의 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 공기가 공급된다.
세정조(2)의 내부 공간이 감압되고, 또한 액상 급기 밸브(26A)가 폐쇄된 상태에서 액상 급기 밸브(26B)가 개방되면, 세정조(2)의 내부 공간과 외부 공간의 차압에 의해, 세정조(2)의 외부 공간의 공기가 필터(25B) 및 액상 급기 라인(24B)을 통해서 급기 노즐(23B)에 공급된다. 필터(25B)는 공기로부터 이물을 회수한다. 액상 급기 라인(24B)을 통해서 급기 노즐(23B)에 공급된 공기는, 급기 노즐(23B)에 형성되어 있는 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로 공급된다. 액상 급기 밸브(26A)가 폐쇄된 상태에서 액상 급기 밸브(26B)가 개방됨으로써, 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되지 않고, 급기구(27B)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 우측의 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 공기가 공급된다.
기상 급기 장치(10)는 세정조(2)의 내부 공간의 기체 공간에 공기를 공급한다. 기상 급기 장치(10)는 세정조(2)에 접속되는 기상 급기 라인(28)과, 기상 급기 라인(28)에 배치되는 필터(29)와, 필터(29)와 세정조(2) 사이의 기상 급기 라인(28)에 배치되는 기상 급기 밸브(30)를 갖는다. 세정조(2)의 내부 공간이 감압된 상태에서 기상 급기 밸브(30)가 개방되면, 세정조(2)의 내부 공간과 외부 공간의 차압에 의해, 세정조(2)의 외부 공간의 공기가 필터(29) 및 기상 급기 라인(28)을 통해서 세정조(2)의 내부 공간에 공급된다.
압력 센서(11)는 세정조(2)의 내부 공간의 압력을 검출한다. 온도 센서(12)는 세정조(2)에 저류되어 있는 세정액(Ca)의 온도를 검출한다.
제어 장치(13)는 컴퓨터 시스템을 포함한다. 제어 장치(13)는 세정 장치(1)를 제어한다. 제어 장치(13)는 세정 대상(S)의 세정 처리로서, 액상 급기 펄스 세정과, 기상 급기 펄스 세정을 실시할 수 있다. 액상 급기 펄스 세정이란, 세정 대상(S)이 배치되고 또한 세정액(Ca)이 저류된 세정조(2)의 내부 공간을 감압한 상태에서, 세정액(Ca)에 공기를 공급해서 세정액(Ca)을 폭발적으로 비등(돌비)시키고, 돌비에 의해 생긴 세정액(Ca)의 격렬한 흐름에 의해 세정 대상(S)을 세정하는 세정 방법을 말한다. 기상 급기 펄스 세정이란, 세정 대상(S)이 배치되고 또한 세정액(Ca)이 저류된 세정조(2)의 내부 공간을 감압한 후에, 세정조(2)의 내부 공간에 공기를 공급해서 세정조(2)의 내부 공간의 압력을 변화시키고, 세정조(2)의 내부 공간의 압력 변화에 의해 생긴 세정액(Ca)의 격렬한 흐름에 의해 세정 대상(S)을 세정하는 세정 방법을 말한다.
액상 급기 펄스 세정을 실시하는 경우, 세정조(2)의 개구부를 통해서 세정조(2)의 내부 공간으로 세정 대상(S)이 반입된 후, 세정조(2)의 개구부가 덮개(14)에 의해 폐쇄된다. 세정 대상(S)은 바스켓(3)에 수용된 상태에서, 세정조(2)의 내부 공간에 있어서 지지 부재(4)보다 상방에 배치된다. 바스켓(3)에 수용된 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지되도록 세정조(2)의 내부 공간에 배치된 후, 제어 장치(13)는 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되도록 가열 장치(7)를 제어하고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압되도록 감압 장치(8)를 제어한다. 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압됨으로써, 세정액(Ca)이 감압 비등한다. 예를 들면 세정액(Ca)이 50℃로 가열된 경우, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 약 89㎪까지 감압됨으로써, 세정액(Ca)이 감압 비등한다. 세정액(Ca)의 비등에 의한 교반 작용에 의해 세정 대상(S)이 세정된다. 제어 장치(13)는 세정액(Ca)이 비등하고 있는 상태에서, 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 소량의 공기를 공급시킨다. 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서 급기구(27A) 및 급기구(27B)의 적어도 일방으로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급됨으로써, 공급된 공기가 비등의 핵이 되어, 세정액(Ca)이 폭발적으로 비등(돌비)한다. 돌비에 의해 생긴 세정액(Ca)의 격렬한 흐름에 의해 세정 대상(S)의 표면이 효과적으로 세정된다.
기상 급기 펄스 세정을 실시하는 경우, 액상 급기 펄스 세정과 마찬가지로, 바스켓(3)에 수용된 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지되도록 세정조(2)의 내부 공간에 배치된 후, 제어 장치(13)는 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되도록 가열 장치(7)를 제어하고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압되도록 감압 장치(8)를 제어한다. 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압됨으로써, 세정액(Ca)이 감압 비등한다. 제어 장치(13)는, 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 기상 급기 장치(10)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 기체 공간으로 공기를 공급한다. 세정조(2)에 공기가 공급됨으로써, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 상승한다. 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 상승하면, 세정 대상(S)의 내부의 증기가 응축하고, 그 결과 세정액(Ca)이 세정 대상(S)의 내부로 세차게 유입된다. 세정조(2)의 내부 공간의 압력의 변화에 의해 생긴 세정액(Ca)의 격렬한 흐름에 의해, 세정 대상(S)의 내부가 효과적으로 세정된다.
도 2는 실시형태에 의한 액상 급기 펄스 세정에 있어서의 세정 장치(1)의 동작의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 제어 장치(13)는, 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되도록 가열 장치(7)를 제어하고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압되도록 감압 장치(8)를 제어한다. 세정액(Ca)이 설정 온도까지 가열되고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력까지 감압됨으로써, 세정액(Ca)이 감압 비등한다. 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 액상 급기 장치(9)는 제 1 급기 동작을 종료한 후, 제 2 급기 동작을 개시한다. 제 1 급기 동작은, 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지된 상태에서, 적어도 급기구(27A)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 좌측의 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기하는 것을 포함한다. 제 2 급기 동작은, 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지된 상태에서, 적어도 급기구(27B)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 우측의 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기하는 것을 포함한다. 제 1 급기 동작에 있어서, 급기구(27A)로부터의 급기량은, 급기구(27B)로부터의 급기량보다 많다. 제 2 급기 동작에 있어서, 급기구(27B)로부터의 급기량은, 급기구(27A)로부터의 급기량보다 많다. 실시형태에 있어서는, 제 1 급기 동작에 있어서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기되지 않고, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 공기가 공급된다. 제 2 급기 동작에 있어서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기되지 않고, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 공기가 공급된다.
제 1 급기 동작에 있어서, 제어 장치(13)는 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 액상 급기 장치(9)의 급기구(27A)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 좌측의 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 소량의 공기를 공급시킨다. 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되고 있는 상태에서, 급기구(27B)로부터 공기는 공급되지 않지만 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로의 급기보다 적은 공기를 공급해도 좋다. 액상 급기 장치(9)는, 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지된 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 개시한다. 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 공기가 공급됨으로써, 세정액(Ca)이 돌비한다. 돌비에 의해, 급기구(27A)로부터 상방을 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된다. 급기구(27A)는, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌방에 배치된다. 또한, 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급될 때, 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로 공기는 공급되지 않는다. 그 때문에, 도 2의 화살표로 나타내는 바와 같이, 세정액(Ca)에 있어서 수평 방향의 흐름이 생성된다. 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되고, 급기구(27B)로부터 공기가 공급되지 않을 때, 세정조(2)의 좌단부로부터 우단부를 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된다. 세정액(Ca)이 수평 방향으로 흐름으로써, 세정 대상(S)의 하면뿐만 아니라, 세정 대상(S)의 상면도 세정액(Ca)으로 효과적으로 세정된다.
필터 장치(5)는, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측 및 우단부측의 각각에 배치된다. 필터 장치(5)는, 좌우 방향에 있어서 급기구(27A)보다 세정조(2)의 내부 공간의 우단부측에 배치되는 제 1 필터 장치(5A)와, 급기구(27B)보다 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부측에 배치되는 제 2 필터 장치(5B)를 포함한다. 수평 방향으로 흐르는 세정액(Ca)은 필터 장치(5A)를 통과한다. 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물은, 세정액(Ca)과 함께 필터 장치(5A)를 통과한다. 필터 장치(5A)는 세정 대상(S)으로부로 박리된 이물을 효과적으로 회수할 수 있다.
액상 급기 장치(9)는 제 1 급기 동작을 소정의 계속 시간만큼 계속한 후, 제 1 급기 동작을 종료한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 소정의 계속 시간만큼 계속한 후, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 종료한다. 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로의 급기가 종료함으로써, 세정액(Ca)의 돌비가 서서히 가라앉는다. 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 종료하고, 세정액(Ca)의 돌비가 가라앉은 후, 액상 급기 장치(9)는 제 2 급기 동작을 개시한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 개시한다. 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 다시 개시됨으로써, 세정액(Ca)이 다시 돌비한다. 돌비에 의해, 급기구(27B)로부터 상방을 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된다. 급기구(27B)는, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 우방에 배치된다. 또한, 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급될 때, 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로 공기는 공급되지 않지만 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로의 급기보다 적은 공기를 공급해도 좋다. 그 때문에, 도 2의 화살표로 나타내는 바와 같이, 세정액(Ca)에 있어서 수평 방향의 흐름이 생성되어, 세정조(2)의 우단부로부터 좌단부를 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된다. 세정액(Ca)이 수평 방향으로 흐름으로써, 세정 대상(S)의 하면뿐만 아니라, 세정 대상(S)의 상면도 세정액으로 효과적으로 세정된다.
필터 장치(5)는, 좌우 방향에 있어서 급기구(27A)보다 세정조(2)의 내부 공간의 우단부측에 배치되는 제 1 필터 장치(5A)와, 급기구(27B)보다 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부측에 배치되는 제 2 필터 장치(5B)를 포함한다. 수평 방향으로 흐르는 세정액(Ca)은 필터 장치(5B)를 통과한다. 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물은 세정액(Ca)과 함께 필터 장치(5B)를 통과한다. 필터 장치(5B)는 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물을 효과적으로 회수할 수 있다.
액상 급기 장치(9)는 제 2 급기 동작을 소정의 계속 시간만큼 계속한 후, 제 2 급기 동작을 종료한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 소정의 계속 시간만큼 계속한 후, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 종료한다. 급기구(27B)로부터의 급기가 종료함으로써, 세정액(Ca)의 돌비가 서서히 가라앉는다. 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 종료하고, 세정액(Ca)의 돌비가 가라앉은 후, 액상 급기 장치(9)는 제 1 급기 동작을 개시한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 다시 개시한다. 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 다시 개시됨으로써, 세정액(Ca)이 다시 돌비한다.
액상 급기 장치(9)는 제 1 급기 동작과 제 2 급기 동작을 교대로 행한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기와 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 교대로 행한다. 액상 급기 장치(9)는 제 1 급기 동작과 제 2 급기 동작을 일정 시간 간격으로 행한다. 즉, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기와 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 일정 시간 간격으로 행한다. 제 1 급기 동작의 계속 시간과 제 2 급기 동작의 계속 시간은 동일하다. 즉, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기의 계속 시간과 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기의 계속 시간은 동일하다. 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기와 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기는, 예를 들면 10초 이상 5분 이하의 간격으로 행하여진다. 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기의 계속 시간 및 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기의 계속 시간의 각각은, 예를 들면 1초이다.
세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 급기구(27A) 및 급기구(27B)의 적어도 일방으로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되면, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 상승할 가능성이 있다. 제어 장치(13)는 제 1 급기 동작이 개시되기 전, 및 제 2 급기 동작이 개시되기 전의 각각에 있어서, 세정조(2)의 내부 공간이 감압되도록 감압 장치(8)를 제어한다. 즉, 제어 장치(13)는, 급기구(27A)로부터의 급기가 개시되기 전, 및 급기구(27B)로부터의 급기가 개시되기 전의 각각에 있어서, 세정조(2)의 내부 공간이 감압되도록 감압 장치(8)를 제어한다.
이상 설명한 바와 같이, 세정 장치(1)는, 세정액(Ca)이 저류되는 내부 공간을 갖는 세정조(2)와, 세정액(Ca)을 가열하는 가열 장치(7)와, 세정조(2)의 내부 공간을 감압하는 감압 장치(8)와, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측에 배치되는 급기구(27A)와, 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 우단부측에 배치되는 급기구(27B)를 갖고, 급기구(27A) 및 급기구(27B)의 일방으로부터 세정액(Ca)으로의 급기를 실시 가능한 액상 급기 장치(9)를 구비한다. 세정조(2)의 내부 공간은, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측의 제 1 부분 공간과, 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측과는 반대측인 우단부측의 제 2 부분 공간을 포함한다. 액상 급기 장치(9)는, 세정 대상(S)이 세정액(Ca)에 침지된 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 종료한 후, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기를 개시한다.
실시형태에 의하면, 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 종료한 후, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 개시됨으로써, 세정조(2)에 있어서 세정액(Ca)은 여러 방향으로 흐른다. 세정액(Ca)이 여러 방향으로 흐르므로, 세정액(Ca)은 세정 대상(S)의 여러 위치에 부딪친다. 그 때문에, 세정 대상(S)의 표면의 일부에 오염이 잔류하는 것이 억제되어, 세정 대상(S)의 표면은 효과적으로 세정된다.
액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터의 급기와 급기구(27B)로부터의 급기를 교대로 행한다. 이것에 의해, 세정액(Ca)이 충분히 교반되고, 세정 대상(S)의 표면이 세정액(Ca)으로 효과적으로 세정된다.
감압 장치(8)는, 급기구(27A)로부터의 급기가 개시되기 전, 및 급기구(27B)로부터의 급기가 개시되기 전의 각각에 있어서, 세정조(2)의 내부 공간을 감압한다. 이것에 의해, 세정액(Ca)이 감압 비등하고 있는 상태에서, 급기구(27A) 및 급기구(27B)의 일방으로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급된다.
급기구(27A)로부터의 급기와 급기구(27B)로부터의 급기를 교대로 행하는 경우에 있어서, 액상 급기 장치(9)는 급기구(27A)로부터의 급기와 급기구(27B)로부터의 급기를 일정 시간 간격으로 행한다. 이것에 의해, 세정 대상(S)의 표면이 세정액(Ca)으로 효과적으로 세정된다.
급기구(27A)로부터의 급기와 급기구(27B)로부터의 급기가 교대로 행하여지는 경우에 있어서, 급기구(27A)로부터의 급기의 계속 시간과 급기구(27B)로부터의 급기의 계속 시간은 동일하다. 이것에 의해, 세정 대상(S)의 표면이 세정액(Ca)으로 효과적으로 세정된다.
세정 장치(1)는, 세정 대상(S)보다 상방에 배치되고, 세정액(Ca)으로부터 이물을 회수하는 필터 장치(5)를 구비한다. 수평 방향에 있어서 급기구(27A)가 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 좌단부측에 배치되는 경우, 필터 장치(5)는 수평 방향에 있어서 급기구(27A)보다 세정조(2)의 내부 공간의 우단부측에 배치된다. 이것에 의해, 급기구(27A)로부터 세정액(Ca)으로의 급기에 의해 돌비가 발생하고, 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부로부터 우단부를 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된 경우, 필터 장치(5)는 세정액(Ca)에 포함되어 있는 이물을 세정액(Ca)으로부터 효과적으로 회수할 수 있다. 수평 방향에 있어서 급기구(27B)가 세정조(2)의 내부 공간의 중앙부보다 우단부측에 배치되는 경우, 필터 장치(5)는 수평 방향에 있어서 급기구(27B)보다 세정조(2)의 내부 공간의 좌단부측에 배치된다. 이것에 의해, 급기구(27B)로부터 세정액(Ca)으로의 급기에 의해 돌비가 발생하고, 세정조(2)의 내부 공간의 우단부로부터 좌단부를 향하는 세정액(Ca)의 흐름이 생성된 경우, 필터 장치(5)는 세정액(Ca)에 포함되어 있는 이물을 세정액(Ca)으로부터 효과적으로 회수할 수 있다. 이물이 필터 장치(5)에 회수되므로, 세정 대상(S)으로부터 박리된 이물이 세정 대상(S)에 재부착되는 것이 억제된다.
급기구(27A)로부터의 급기와 급기구(27B)로부터의 급기가 교대로 행하여지는 경우에 있어서, 필터 장치(5)가 세정 대상(S)보다 상방에 배치되고, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간보다 우단부측에 배치되는 제 1 필터 장치(5A)와, 수평 방향에 있어서 세정조(2)의 내부 공간보다 좌단부측에 배치되는 제 2 필터 장치(5B)를 포함함으로써, 필터 장치(5)(5A,5B)는 세정액(Ca)에 포함되어 있는 이물을 세정액(Ca)으로부터 효과적으로 회수할 수 있다.
또한, 제 1 급기 동작에 있어서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 실시되고, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기는 실시되지 않는 것으로 했다. 또한, 제 2 급기 동작에 있어서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기가 실시되고, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로의 급기는 실시되지 않는 것으로 했다. 제 1 급기 동작에 있어서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기되고 있는 상태에서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기구(27A)로부터의 급기량보다 적은 급기량으로 급기되어도 좋다. 마찬가지로, 제 2 급기 동작에 있어서, 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기되고 있는 상태에서, 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로 급기구(27B)로부터의 급기량보다 적은 급기량으로 급기되어도 좋다.
상술한 실시형태에 있어서는, 액상 급기 펄스 세정에 있어서, 세정조(2)의 내부 공간이 감압되고, 세정액(Ca)이 감압 비등한 후에, 급기구(27A, 27B)로부터 세정액(Ca)으로 공기가 공급되는 것으로 했다. 세정조(2)의 압력에 대해서 설정 압력값이 미리 정해지고, 급기구(27A, 27B)로부터 세정액(Ca)으로의 급기가 개시되고, 세정조(2)의 내부 공간이 설정 압력값이 된 후에, 세정조(2)의 내부 공간의 감압이 개시되어도 좋다.
상술한 실시형태에 있어서, 급기구(27A)가 급기 노즐(23A)에 형성되고, 급기구(27B)가 급기 노즐(23B)에 형성되는 것으로 했다. 급기 노즐(23A)과 급기 노즐(23B)은 단일 부재여도 좋다. 예를 들면, 복수의 굴곡부를 갖는 1개의 파이프(급기 노즐)가 제 1 부분 공간 및 제 2 부분 공간의 양방에 걸치도록 배치되고, 그 1개의 파이프에 급기구(27A, 27B)가 형성되어도 좋다. 즉, 제 1 부분 공간에 배치되는 제 1 부분과 제 2 부분 공간에 배치되는 제 2 부분을 포함하는 1개의 파이프에 있어서, 제 1 부분에 급기구(27A)가 형성되고, 제 2 부분에 급기구(27B)가 형성되어도 좋다. 1개의 파이프의 좌우 방향의 중앙부에 액상 급기 라인이 접속되고, 그 액상 급기 라인에 액상 급기 밸브가 설치됨으로써, 1개의 파이프의 제 1 부분에 형성된 급기구(27A)로부터 제 1 부분 공간의 세정액(Ca)으로만 급기하고, 제 2 부분에 형성된 급기구(27B)로부터 제 2 부분 공간의 세정액(Ca)으로만 급기해도 좋다.
도 3은, 실시형태에 의한 세정 장치(1)의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 세정 장치(1)에 있어서, 주수 공정 S1, 비등 가능 상태 생성 공정 S2, 급기 공정 S3, 및 배수 공정 S4가 순차 실행된다.
(주수 공정)
주수 공정 S1은, 도시하지 않은 급수 수단에 의해 세정조(2)의 내부 공간에 세정액(Ca)을 넣는 공정이다. 주수 공정 S1에서는, 세정조(2)의 내부 공간 전부를 세정액(Ca)으로 채우는 것이 아니고, 세정조(2)의 내부 공간의 중도까지 세정액(Ca)이 넣어진다. 이것에 의해, 세정조(2)의 내부 공간은 하방의 액상부와, 상방의 기상부로 나누어진다. 주수 공정 S1에 있어서, 세정조(2)의 덮개(14)가 덮여 있는 경우, 세정조(2)의 내부 공간에의 주수에 따라, 세정조(2)의 내부 공간의 공기가 기상 급기 라인(28)으로부터 배출된다. 단, 세정조(2)의 내부 공간에의 주수에 따라, 감압 장치(8)를 작동시켜도 좋다. 그 경우, 세정조(2)의 내부 공간에의 세정액(Ca)의 공급 중, 세정조(2)의 내부 공간으로부터의 공기 배제를 확실하게 도모할 수 있다.
세정 대상(S)은 세정조(2)의 내부 공간에 세정액(Ca)을 넣기 전에 미리 세정조(2)의 내부 공간에 넣어 두어도 좋고, 세정조(2)의 내부 공간에 세정액(Ca)을 넣은 후에 세정조(2)의 내부 공간에 넣어도 좋다. 어떻게 해도, 세정 대상(S)은 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)에 침지된다. 이때, 세정 대상(S)은 부망인 지지 부재(4)보다 상방에 배치된다. 이렇게 하여, 세정조(2)의 내부 공간에는 세정액(Ca)이 저류됨과 아울러, 그 세정액(Ca)에는 세정 대상(S)이 침지된다. 또한, 세정조(2)의 덮개(14)는 덮인 상태가 된다.
(비등 가능 상태 생성 공정)
비등 가능 상태 생성 공정 S2는, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)을 비등 가능 상태로 하는 공정이다. 구체적으로는, 비등 가능 상태 생성 공정 S2는, 급기 공정 S3에 있어서 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 기체가 공급되었을 때에 세정액(Ca)이 격렬한 비등 상태 또는 비등에 가까운 상태가 되도록, 세정조(2)의 내부 공간을 미리 감압하는 것을 포함한다.
세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)을 비등 가능 상태로 하는 것은, 세정조(2)의 내부 공간의 기상부의 압력을 감압하는 것을 포함한다. 세정조(2)의 내부 공간의 기상부는, 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 대기압을 하회하는 압력으로 감압되어도 좋다. 예를 들면, 세정조(2)의 내부 공간의 기상부의 압력이 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 있어도, 세정액(Ca)의 일부에 과열한 부분이 존재함으로써, 급기 공정 S3에 있어서 세정액(Ca)에 기체가 도입되는 것에 의해 비등이 생길 가능성이 있다. 또한, 세정조(2)의 내부 공간의 기상부의 압력이 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 있어도, 급기 공정 S3에 있어서 제 1 위치 또는 제 2 위치로부터 급기가 행하여짐으로써 비등에 가까운 상태가 발생하여, 세정 대상(S)이 효과적으로 세정될 가능성이 있다. 또한, 급기 공정 S3에 있어서 세정액(Ca)을 비등 상태로 하기 위해서, 세정조(2)의 내부 공간의 기상부는, 세정액(Ca)의 증기압 이하의 압력으로 감압되어도 좋다. 실시형태에 있어서는, 비등 가능 상태 생성 공정 S2에 있어서, 제어 장치(13)는 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한다.
감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간이 감압되면, 세정조(2)의 내부 공간의 온도가 저하한다. 비등 가능 상태 생성 공정 S2에 있어서, 제어 장치(13)는, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)이 소정 온도가 되도록, 가열 장치(7)를 제어한다. 비등 가능 상태 생성 공정 S2에 있어서, 제어 장치(13)는 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)이 소정 온도가 되도록, 가열 장치(7)를 상시 작동시킨다.
또한, 가열 장치(7)에 의한 세정액(Ca)의 가열 중에, 감압 장치(8)에 의한 감압과 액상 급기 장치(9)에 의한 복압이 실시되어도 좋다. 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간의 감압이 실시되고 있는 상태에 있어서는, 액상 급기 장치(9)에 의한 복압은 정지된다. 액상 급기 장치(9)에 의해 세정조(2)의 내부 공간의 복압이 실시되고 있는 상태에 있어서는, 감압 장치(8)에 의한 감압은 정지된다. 실시형태에 있어서는, 감압 장치(8)에 의해, 세정조(2)의 내부 공간이 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압된다. 또한, 상술한 바와 같이, 세정조(2)의 내부 공간은, 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 대기압을 하회하는 압력으로 감압되어도 좋다. 액상 급기 장치(9)에 의해, 세정조(2)의 내부 공간이 대기압 근방까지 복압된다. 액상 급기 장치(9)에 의한 복압이 실시됨으로써, 세정조(2)의 내부 공간의 온도가 균일화된다. 온도 균일화를 위한 급기는, 격렬한 비등을 발생시켜도 좋고 발생시키지 않아도 좋다. 또한, 감압 장치(8)에 의한 감압과 액상 급기 장치(9)에 의한 복압이 교대로 복수회 반복되어도 좋다. 감압 장치(8)에 의한 감압과 액상 급기 장치(9)에 의한 복압이 교대로 복수회 반복됨으로써, 세정조(2)의 내부 공간의 온도가 보다 균일화된다. 감압 장치(8)에 의한 감압과 액상 급기 장치(9)에 의한 복압이 반복되는 횟수는 임의로 설정 가능하고, 1회여도 좋고, 복수회여도 좋다.
제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에 있어서, 세정액(Ca)이 소정 온도가 되고 나서, 급기 공정 S3으로 이행한다. 또한, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 대기압을 하회할 때까지 감압한 상태에 있어서, 세정액(Ca)이 소정 온도가 되고 나서, 급기 공정 S3으로 이행해도 좋다. 제어 장치(13)는 온도 센서(12)의 검출 데이터에 의거하여, 세정조(2)의 내부 공간이 소정 온도인지 여부를 판정할 수 있다. 소정 온도는, 예를 들면 30℃ 이상 100℃ 이하이다.
(급기 공정)
급기 공정 S3은, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)이 비등 가능 상태이고, 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 급기를 행하는 공정이다. 실시형태에 있어서, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에서, 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 급기를 행한다. 또한, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압을 상회하고 대기압을 하회하는 압력까지 감압한 상태에서, 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 급기를 행해도 좋다. 세정액(Ca)이 비등 가능 상태이고, 액상 급기 장치(9)로부터 세정액(Ca)으로 급기가 행하여짐으로써, 세정액(Ca)이 격렬하게 비등한다.
도 2를 참조해서 설명한 바와 같이, 세정조(2)의 제 1 위치에 배치되어 있는 급기구(27A)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)으로 급기가 행하여진 후, 세정조(2)의 제 2 위치에 배치되어 있는 급기구(27B)로부터 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)으로 급기가 행하여진다. 실시형태에 있어서는, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에서 액상 급기 장치(9)에 의해 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후 다시 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태로 하고 액상 급기 장치(9)에 의해 제 2 위치로부터 급기를 행한다.
실시형태에 있어서, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간이 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압된 상태에 있어서, 가열 장치(7)에 의해 세정액(Ca)이 상술한 소정 온도가 되고 나서, 액상 급기 장치(9)로부터 급기를 행한다. 또한, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태로 하는 제어와, 액상 급기 장치(9)에 의해 급기를 행하는 제어를 교대로 행한다.
즉, 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에 있어서, 가열 장치(7)에 의해 세정액(Ca)이 상술한 소정 온도가 되고 나서, 액상 급기 장치(9)에 의해 제 1 위치로부터 급기를 행한다. 제 1 위치로부터 급기가 행하여짐으로써, 세정액(Ca)에 있어서 격렬한 비등이 발생하고, 도 2의 제 1 급기 동작의 화살표로 나타낸 바와 같은 흐름이 세정액(Ca)에 생성된다. 제 1 위치로부터 급기가 행하여짐으로써, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 상승한다. 제어 장치(13)는, 액상 급기 장치(9)에 의한 제 1 위치로부터의 급기를, 세정조(2)의 내부 공간이 소정 압력이 될 때까지 행한다. 실시형태에 있어서, 소정 압력은 세정액(Ca)의 증기압을 초과하는 압력과 대기압 사이로 설정된다. 제어 장치(13)는, 액상 급기 장치(9)에 의한 제 1 위치로부터의 급기를, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 세정액(Ca)의 증기압을 초과하는 압력으로부터 대기압이 되는 동안에 행한다. 제어 장치(13)는, 압력 센서(11)의 검출 데이터에 의거하여, 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 소정 압력인지 여부를 판정할 수 있다. 세정조(2)의 내부 공간의 압력이 세정액(Ca)의 증기압을 초과하는 압력으로부터 대기압이 되는 동안에 제 1 위치로부터의 급기를 행한 후, 제어 장치(13)는 제 1 위치로부터의 급기를 정지한다. 제 1 위치로부터의 급기를 정지한 후, 제어 장치(13)는 다시 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한다. 제어 장치(13)는, 감압 장치(8)에 의해 세정조(2)의 내부 공간을 세정액(Ca)의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에 있어서, 가열 장치(7)에 의해 세정액(Ca)이 상술한 소정 온도가 되고 나서, 액상 급기 장치(9)에 의해 제 2 위치로부터 급기를 행한다. 제 2 위치로부터 급기가 행하여짐으로써, 세정액(Ca)에 있어서 격렬한 비등이 발생하고, 도 2의 제 2 급기 동작의 화살표로 나타낸 바와 같은 흐름이 세정액(Ca)에 생성된다.
이렇게, 급기 공정 S3에 있어서, 제어 장치(13)는 액상 급기 장치(9)에 의해 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후 제 2 위치로부터 급기를 행한다. 또한, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기가 교대로 복수회 반복되어도 좋다. 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기가 교대로 복수회 반복됨으로써, 세정 대상(S)의 세정 효과가 보다 높아진다. 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기가 반복되는 횟수는 임의로 설정 가능하고, 1회여도 좋고, 복수회여도 좋다. 또한, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기는, 교대로 행하여져도 좋고, 교대로 행하여지지 않아도 좋다. 예를 들면, 제 1 위치로부터의 급기가 행하여지고, 세정조(2)의 내부 공간이 비등 가능 상태가 된 후, 다시 제 1 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 후, 세정조(2)의 내부 공간이 비등 가능 상태가 되고 나서, 제 2 위치로부터의 급기가 행하여져도 좋다. 또한, 제 1 위치로부터의 급기가 행하여지고, 세정조(2)의 내부 공간이 비등 가능 상태가 된 후, 제 2 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 후, 세정조(2)의 내부 공간이 비등 가능 상태가 되고 나서, 제 2 위치로부터의 급기가 행하여져도 좋다. 제어 장치(13)는, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기를 설정된 횟수만큼 반복한 후, 배출 공정 S4로 이행한다.
또한, 비등 가능 상태 생성 공정 S2와 급기 공정 S3을 합친 공정을 행하는 시간이 미리 설정되고, 제어 장치(13)는, 설정된 시간이 경과한 시점에 있어서 급기 공정 S3을 중단하고 배출 공정 S4로 이행해도 좋다.
(배출 공정)
배수 공정 S4는, 세정조(2)의 내부 공간을 대기압까지 복압하고, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)을 배출하는 공정이다. 세정조(2)의 내부 공간을 대기압까지 복압하기 위해서, 기상 급기 장치(10)에 의해 세정조(2)의 내부 공간으로 외기가 도입된다. 세정조(2)의 내부 공간이 대기압까지 복압된 후, 배액 장치(6)로부터 세정액(Ca)이 배출된다. 그 후에는, 소망에 따라 세정 대상(S)의 헹굼을 하거나, 그 후 추가로 세정 대상(S)의 건조를 도모하거나 해도 좋다. 또한, 헹굼이란, 세정 대상(S)에 잔류한 세정액(Ca) 등을 다른 세정액(Ca)을 사용해서 세정하는 것을 말한다. 이 헹굼 공정에서도, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)을 비등 가능 상태로 할 때까지 감압한 상태에서, 세정조(2)의 내부 공간의 세정액(Ca)에 기체를 도입하여, 세정액(Ca)을 격렬하게 비등시켜서 세정 대상(S)의 세정을 도모해도 좋다.
또한, 상술한 실시형태에 있어서는, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기가 교대로 실시되는 것으로 했다. 즉, 상술한 실시형태에 있어서는, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 급기되는 위치가 2개인 것으로 했다. 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 급기되는 위치가 3개 이상의 임의의 복수여도 좋다. 예를 들면, 제 1 위치에 제 1 급기구가 배치되고, 제 1 위치와는 상이한 제 2 위치에 제 2 급기구가 배치되고, 제 1 위치 및 제 2 위치와는 상이한 제 3 위치에 제 3 급기구가 배치되어 있을 경우, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기와 제 3 위치로부터의 급기가 순차 실시되어도 좋다. 또한, 제 1 위치로부터의 급기와 제 2 위치로부터의 급기와 제 3 위치로부터의 급기가 1회씩 순차 실시되어도 좋고, 어느 하나의 위치로부터의 급기가 2회 연속해서 실시되어도 좋다. 예를 들면, 제 1 위치로부터의 급기가 행하여진 후, 다시 제 1 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 후에 제 2 위치로부터의 급기가 행하여져도 좋다. 제 1 위치로부터의 급기가 행하여진 후, 제 2 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 후에 다시 제 2 위치로부터의 급기가 행하여져도 좋다. 제 1 위치로부터의 급기가 행하여진 후, 다시 제 1 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 다음에 제 2 위치로부터의 급기가 행하여지고, 그 다음에 제 3 위치로부터의 급기가 행하여져도 좋다. 또한, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향에 있어서 제 1 위치에 제 1 급기구가 배치되고, 제 1 위치와는 상이한 제 2 위치에 제 2 급기구가 배치되고, 제 1 위치 및 제 2 위치와는 상이한 제 3 위치에 제 3 급기구가 배치되고, 제 1 위치, 제 2 위치, 및 제 3 위치와는 상이한 제 4 위치에 제 4 급기구가 배치되어 있을 경우, 제 1 위치에 배치된 제 1 급기구로부터의 급기와 제 2 위치에 배치된 제 2 급기구로부터의 급기와 제 3 위치에 배치된 제 3 급기구로부터의 급기와 제 4 위치에 배치된 제 4 급기구로부터의 급기가 순차 실시되어도 좋다. 각 위치로부터의 급기가 1회씩 순차 실시되어도 좋고, 어느 하나의 위치로부터의 급기가 2회 이상 연속해서 실시되어도 좋다.
상술한 실시형태에 있어서, 세정조(2)의 내부 공간의 수평 방향의 복수의 위치의 각각으로부터 급기가 행하여지는 경우, 도 3에 나타낸 스텝 S1부터 스텝 S4까지의 처리에 있어서, 제어 장치(13)는 모든 위치로부터 급기가 행하여지도록 제어해도 좋다. 또한, 제어 장치(13)는 일부의 위치로부터의 급기가 행하여지고, 일부의 위치로부터의 급기가 행하여지지 않도록 제어해도 좋다.
1: 세정 장치 2: 세정조
3: 바스켓 4: 지지 부재
5: 필터 장치 6: 배액 장치
7: 가열 장치 8: 감압 장치
9: 액상 급기 장치(급기 장치) 10: 기상 급기 장치
11: 압력 센서 12: 온도 센서
13: 제어 장치 14: 덮개
18: 배액 라인 19: 배액 펌프
20: 히터 21: 배기 라인
22: 진공 펌프 23A: 급기 노즐
23B: 급기 노즐 24A: 액상 급기 라인
24B: 액상 급기 라인 25A: 필터
25B: 필터 26A: 액상 급기 밸브
26B: 액상 급기 밸브 27A: 급기구(제 1 급기구)
27B: 급기구(제 2 급기구) 28: 기상 급기 라인
29: 필터 30: 기상 급기 밸브
Ca: 세정액 S: 세정 대상

Claims (7)

  1. 세정액이 저류되는 내부 공간을 갖고, 상기 세정액에 세정 대상이 침지되는 세정조와,
    상기 세정 대상보다 하방에 배치되고, 상기 내부 공간의 수평 방향에 있어서 적어도 제 1 위치 및 제 2 위치의 상이한 위치로부터 급기를 행하는 급기 장치와,
    상기 급기 장치에 의해 상기 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후 상기 제 2 위치로부터 급기를 행하는 제어 장치를 구비하는, 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부 공간을 감압하는 감압 장치를 구비하고,
    상기 제어 장치는 상기 감압 장치에 의해 상기 세정조의 내부 공간을 상기 세정액의 증기압 이하 또는 그 직전의 압력까지 감압한 상태에서 상기 급기 장치에 의해 상기 제 1 위치로부터 급기를 행하고, 그 후 다시 상기 상태로 해서 상기 제 2 위치로부터 급기를 행하는, 세정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 세정액을 가열하는 가열 장치를 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 상태에 있어서 상기 세정액이 소정 온도가 되고 나서 상기 급기 장치로부터 급기를 행하는, 세정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어 장치는 상기 급기 장치로부터의 급기를, 상기 세정조의 내부 공간의 압력이 상기 세정액의 증기압을 초과하는 압력으로부터 대기압이 되는 동안에 행하는, 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제어 장치는 상기 감압 장치에 의해 상기 상태로 하는 제어와, 상기 급기 장치에 의해 급기를 행하는 제어를 교대로 행하는, 세정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 내부 공간에 있어서 상기 세정 대상을 지지하는 부망을 구비하고,
    상기 급기 장치는 상기 부망보다 하방에 배치되는, 세정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 세정 대상보다 상방에 배치되고, 상기 세정액으로부터 이물을 회수하는 필터 장치를 구비하는, 세정 장치.
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