JP2024006863A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄対象を効果的に洗浄すること。【解決手段】洗浄装置１は、洗浄液Ｃａが貯留される内部空間を有し、洗浄液Ｃａに洗浄対象Ｓが浸漬される洗浄槽２と、洗浄対象Ｓよりも下方に配置され、内部空間の水平方向において少なくとも第１位置及び第２位置の異なる位置から給気を行う液相給気装置９と、液相給気装置９により第１位置から給気を行い、その後、第２位置から給気を行う制御装置１３と、を備える。【選択図】図１

Description

本開示は、洗浄装置に関する。

洗浄装置に係る技術分野において、特許文献１に開示されているような、洗浄液を減圧沸騰させる洗浄装置が知られている。

特開２０１２－１４８２２２号公報

洗浄液が減圧沸騰している状態で洗浄液に空気が供給されることにより、洗浄液が爆発的に沸騰（突沸）する。突沸により生じた洗浄液の激しい流れで洗浄対象が洗浄される。但し、洗浄液の流れの向きによっては、洗浄対象の一部に汚れが残留する可能性がある。

本開示は、洗浄対象を効果的に洗浄することを目的とする。

本開示に従えば、洗浄液が貯留される内部空間を有し、洗浄液に洗浄対象が浸漬される洗浄槽と、洗浄対象よりも下方に配置され、内部空間の水平方向において少なくとも第１位置及び第２位置の異なる位置から給気を行う給気装置と、給気装置により第１位置から給気を行い、その後、第２位置から給気を行う制御装置と、を備える、洗浄装置が提供される。

本開示によれば、洗浄対象が効果的に洗浄される。

図１は、実施形態に係る洗浄装置を模式的に示す図である。 図２は、実施形態に係る液相給気パルス洗浄における洗浄装置の動作の一例を模式的に示す図である。 図３は、実施形態に係る洗浄装置の動作を示すフローチャートである。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本開示は実施形態に限定されない。以下で説明する実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

実施形態においては、左、右、上、下、前、後の用語を用いて各部の位置関係について説明する。これらの用語は、洗浄装置１の中心を基準とした相対位置又は方向を示す。

図１は、実施形態に係る洗浄装置１を模式的に示す図である。洗浄装置１は、洗浄液Ｃａを用いて洗浄対象Ｓを洗浄する。実施形態において、洗浄装置１は、減圧沸騰式洗浄装置である。洗浄装置１の洗浄対象Ｓとして、医療器具が例示される。医療器具として、メス又は鉗子が例示される。

洗浄装置１は、洗浄槽２と、バスケット３と、支持部材４と、フィルタ装置５と、排液装置６と、加熱装置７と、減圧装置８と、液相給気装置９と、気相給気装置１０と、圧力センサ１１と、温度センサ１２と、制御装置１３とを備える。

洗浄槽２は、洗浄液Ｃａが貯留される内部空間を有する。洗浄槽２に貯留された洗浄液Ｃａに洗浄対象Ｓが浸漬される。洗浄槽２の上端部に開口部が設けられる。洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の内部空間に配置される。洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の開口部を介して洗浄槽２の内部空間に搬入される。洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の開口部を介して洗浄槽２の内部空間から搬出される。洗浄槽２の開口部は、蓋１４で閉鎖される。洗浄槽２の開口部が蓋１４で閉鎖されることにより、洗浄槽２の内部空間が密閉される。

バスケット３は、洗浄対象Ｓを収容する。バスケット３は、網状の収容部材である。洗浄液Ｃａは、バスケット３を通過することができる。

支持部材４は、洗浄槽２の内部空間においてバスケット３を支持する。支持部材４は、洗浄槽２の内部空間においてバスケット３を介して洗浄対象Ｓを支持する。洗浄対象Ｓは、バスケット３に収容された状態で、支持部材４に支持される。バスケット３及びバスケット３に収容された洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の内部空間において支持部材４よりも上方に配置される。支持部材４は、網状の部材である。支持部材４は、敷網である。洗浄液Ｃａは、支持部材４を通過することができる。

実施形態において、洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の内部空間に間隔をあけて複数配置される。洗浄対象Ｓは、左右方向、上下方向、及び前後方向のそれぞれに間隔をあけて複数配置される。

フィルタ装置５は、洗浄液Ｃａから異物を回収する。フィルタ装置５は、洗浄対象Ｓよりも上方に配置される。フィルタ装置５は、洗浄液Ｃａに浸漬される。洗浄対象Ｓが洗浄されることにより、洗浄対象Ｓから剥離した異物が洗浄液Ｃａを浮遊する可能性がある。フィルタ装置５は、洗浄対象Ｓから剥離した異物を捕集する。実施形態において、フィルタ装置５は、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側及び右端部側のそれぞれに配置される。すなわち、実施形態において、フィルタ装置５は、左右方向において給気口２７Ａよりも洗浄槽２の内部空間の右端部側に配置される第１のフィルタ装置５Ａと、給気口２７Ｂよりも洗浄槽２の内部空間の左端部側に配置される第２のフィルタ装置５Ｂとを含む。

排液装置６は、洗浄槽２の内部空間から洗浄液Ｃａを排出する。排液装置６は、洗浄槽２に接続される排液ライン１８と、排液ライン１８に配置される排液ポンプ１９とを有する。排液ポンプ１９の作動により、洗浄液Ｃａが排液ライン１８を介して洗浄槽２の内部空間から排出される。

加熱装置７は、洗浄槽２に貯留されている洗浄液Ｃａを加熱する。加熱装置７は、洗浄槽２の内部空間に配置されるヒータ２０を含む。ヒータ２０は、洗浄槽２の内部空間において洗浄液Ｃａに浸漬される。ヒータ２０は、支持部材４よりも下方に配置される。

減圧装置８は、洗浄槽２の内部空間を減圧する。減圧装置８は、洗浄槽２の内部空間から気体を排出することにより、洗浄槽２の内部空間を減圧する。減圧装置８は、洗浄槽２に接続される排気ライン２１と、排気ライン２１に配置される真空ポンプ２２とを有する。真空ポンプ２２の作動により、洗浄槽２の内部空間から気体が排出され、洗浄槽２の内部空間が減圧される。

液相給気装置９は、洗浄槽２に貯留されている洗浄液Ｃａに空気を供給する。液相給気装置９は、洗浄槽２の内部空間に配置される給気ノズル２３Ａと、給気ノズル２３Ａに接続される液相給気ライン２４Ａと、液相給気ライン２４Ａに配置されるフィルタ２５Ａと、フィルタ２５Ａと洗浄槽２と間の液相給気ライン２４Ａに配置される液相給気弁２６Ａとを有する。また、液相給気装置９は、洗浄槽２の内部空間に配置される給気ノズル２３Ｂと、給気ノズル２３Ｂに接続される液相給気ライン２４Ｂと、液相給気ライン２４Ｂに配置されるフィルタ２５Ｂと、フィルタ２５Ｂと洗浄槽２と間の液相給気ライン２４Ｂに配置される液相給気弁２６Ｂとを有する。

給気ノズル２３Ａと給気ノズル２３Ｂとは、水平方向において異なる位置に配置される。実施形態において、給気ノズル２３Ａは、給気ノズル２３Ｂよりも左方に配置される。給気ノズル２３Ａは、複数の給気口２７Ａを有する。給気ノズル２３Ｂは、複数の給気口２７Ｂを有する。給気ノズル２３Ａ及び給気ノズル２３Ｂのそれぞれは、洗浄槽２の内部空間において洗浄液Ｃａに浸漬される。給気ノズル２３Ａ及び給気ノズル２３Ｂのそれぞれは、洗浄対象Ｓよりも下方において洗浄液Ｃａに浸漬される。給気ノズル２３Ａ及び給気ノズル２３Ｂのそれぞれは、支持部材４よりも下方に配置される。

給気口２７Ａと給気口２７Ｂとは、洗浄槽２の内部空間において水平方向の異なる位置に配置される。給気口２７Ａは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側に配置される。例えば、給気口２７Ａは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部と左端部との間に配置されてもよい。なお、給気口２７Ａの少なくとも一つが、洗浄槽２の内部空間の左端部に配置されてもよい。給気口２７Ｂは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも右端部側に配置される。例えば、給気口２７Ｂは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部と右端部との間に配置されてもよい。なお、給気口２７Ｂの少なくとも一つが、洗浄槽２の内部空間の右端部に配置されてもよい。

液相給気装置９は、洗浄槽２の内部空間において洗浄対象Ｓよりも下方に配置され、洗浄槽２の内部空間の水平方向において少なくとも第１位置及び第２位置の異なる位置から給気を行う。液相給気装置９は、支持部材４よりも下方に配置される。液相給気装置９の給気口２７Ａは、洗浄槽２の内部空間の水平方向において第１位置に配置される。液相給気装置９の給気口２７Ｂは、洗浄槽２の内部空間の水平方向において第１位置とは異なる第２位置に配置される。給気口２７Ａから給気を行うことは、第１位置から給気を行うことを意味する。給気口２７Ｂから給気を行うことは、第２位置から給気を行うことを意味する。

液相給気装置９は、洗浄槽２の内部空間に配置される給気口２７Ａ及び給気口２７Ｂの少なくとも一方から洗浄液Ｃａへの給気を実施可能である。洗浄槽２の内部空間は、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側の第１部分空間と、洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側とは反対側の右端部側の第２部分空間と、を含む。液相給気装置９は、給気口２７Ｂからの給気を停止した状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへ給気することができる。液相給気装置９は、給気口２７Ａからの給気を停止した状態で、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへ給気することができる。

洗浄槽２の内部空間が減圧され、且つ、液相給気弁２６Ｂが閉じた状態で、液相給気弁２６Ａが開くと、洗浄槽２の内部空間と外部空間との差圧により、洗浄槽２の外部空間の空気がフィルタ２５Ａ及び液相給気ライン２４Ａを介して給気ノズル２３Ａに供給される。フィルタ２５Ａは、空気から異物を回収する。液相給気ライン２４Ａを介して給気ノズル２３Ａに供給された空気は、給気ノズル２３Ａに設けられている給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに供給される。液相給気弁２６Ｂが閉じた状態で液相給気弁２６Ａが開くことにより、給気口２７Ｂから洗浄液Ｃａに空気が供給されず、給気口２７Ａから洗浄槽２の内部空間の左側の第１部分空間の洗浄液Ｃａに空気が供給される。

洗浄槽２の内部空間が減圧され、且つ、液相給気弁２６Ａが閉じた状態で、液相給気弁２６Ｂが開くと、洗浄槽２の内部空間と外部空間との差圧により、洗浄槽２の外部空間の空気がフィルタ２５Ｂ及び液相給気ライン２４Ｂを介して給気ノズル２３Ｂに供給される。フィルタ２５Ｂは、空気から異物を回収する。液相給気ライン２４Ｂを介して給気ノズル２３Ｂに供給された空気は、給気ノズル２３Ｂに設けられている給気口２７Ｂから洗浄液Ｃａに供給される。液相給気弁２６Ａが閉じた状態で液相給気弁２６Ｂが開くことにより、給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに空気が供給されず、給気口２７Ｂから洗浄槽２の内部空間の右側の第２部分空間の洗浄液Ｃａに空気が供給される。

気相給気装置１０は、洗浄槽２の内部空間の気体空間に空気を供給する。気相給気装置１０は、洗浄槽２に接続される気相給気ライン２８と、気相給気ライン２８に配置されるフィルタ２９と、フィルタ２９と洗浄槽２との間の気相給気ライン２８に配置される気相給気弁３０とを有する。洗浄槽２の内部空間が減圧された状態で気相給気弁３０が開くと、洗浄槽２の内部空間と外部空間との差圧により、洗浄槽２の外部空間の空気がフィルタ２９及び気相給気ライン２８を介して洗浄槽２の内部空間に供給される。

圧力センサ１１は、洗浄槽２の内部空間の圧力を検出する。温度センサ１２は、洗浄槽２に貯留されている洗浄液Ｃａの温度を検出する。

制御装置１３は、コンピュータシステムを含む。制御装置１３は、洗浄装置１を制御する。制御装置１３は、洗浄対象Ｓの洗浄処理として、液相給気パルス洗浄と、気相給気パルス洗浄とを実施することができる。液相給気パルス洗浄とは、洗浄対象Ｓが配置され且つ洗浄液Ｃａが貯留された洗浄槽２の内部空間を減圧した状態で、洗浄液Ｃａに空気を供給して洗浄液Ｃａを爆発的に沸騰（突沸）させ、突沸により生じた洗浄液Ｃａの激しい流れで洗浄対象Ｓを洗浄する洗浄方法をいう。気相給気パルス洗浄とは、洗浄対象Ｓが配置され且つ洗浄液Ｃａが貯留された洗浄槽２の内部空間を減圧した後に、洗浄槽２の内部空間に空気を供給して洗浄槽２の内部空間の圧力を変化させ、洗浄槽２の内部空間の圧力の変化により生じた洗浄液Ｃａの激しい流れで洗浄対象Ｓを洗浄する洗浄方法をいう。

液相給気パルス洗浄を実施する場合、洗浄槽２の開口部を介して洗浄槽２の内部空間に洗浄対象Ｓが搬入された後、洗浄槽２の開口部が蓋１４により閉鎖される。洗浄対象Ｓは、バスケット３に収容された状態で、洗浄槽２の内部空間において支持部材４よりも上方に配置される。バスケット３に収容された洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬されるように洗浄槽２の内部空間に配置された後、制御装置１３は、洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱されるように加熱装置７を制御し、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されるように減圧装置８を制御する。洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱され、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されることにより、洗浄液Ｃａが減圧沸騰する。例えば洗浄液Ｃａが５０℃に加熱された場合、洗浄槽２の内部空間の圧力が約８９ｋＰａまで減圧されることにより、洗浄液Ｃａが減圧沸騰する。洗浄液Ｃａの沸騰による攪拌作用により洗浄対象Ｓが洗浄される。制御装置１３は、洗浄液Ｃａが沸騰している状態で、液相給気装置９から洗浄液Ｃａに少量の空気を供給させる。洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で給気口２７Ａ及び給気口２７Ｂの少なくとも一方から洗浄液Ｃａに空気が供給されることにより、供給された空気が沸騰の核となって、洗浄液Ｃａが爆発的に沸騰（突沸）する。突沸により生じた洗浄液Ｃａの激しい流れで、洗浄対象Ｓの表面が効果的に洗浄される。

気相給気パルス洗浄を実施する場合、液相給気パルス洗浄と同様、バスケット３に収容された洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬されるように洗浄槽２の内部空間に配置された後、制御装置１３は、洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱されるように加熱装置７を制御し、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されるように減圧装置８を制御する。洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱され、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されることにより、洗浄液Ｃａが減圧沸騰する。制御装置１３は、洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、気相給気装置１０から洗浄槽２の内部空間の気体空間に空気を供給する。洗浄槽２に空気が供給されることにより、洗浄槽２の内部空間の圧力が上昇する。洗浄槽２の内部空間の圧力が上昇すると、洗浄対象Ｓの内部の蒸気が凝縮し、その結果、洗浄液Ｃａが洗浄対象Ｓの内部に勢い良く流入する。洗浄槽２の内部空間の圧力の変化により生じた洗浄液Ｃａの激しい流れで、洗浄対象Ｓの内部が効果的に洗浄される。

図２は、実施形態に係る液相給気パルス洗浄における洗浄装置１の動作の一例を模式的に示す図である。制御装置１３は、洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱されるように加熱装置７を制御し、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されるように減圧装置８を制御する。洗浄液Ｃａが設定温度まで加熱され、洗浄槽２の内部空間が設定圧力まで減圧されることにより、洗浄液Ｃａが減圧沸騰する。洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、液相給気装置９は、第１給気動作を終了した後、第２給気動作を開始する。第１給気動作は、洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬された状態で、少なくとも給気口２７Ａから洗浄槽２の内部空間の左側の第１部分空間の洗浄液Ｃａへ給気することを含む。第２給気動作は、洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬された状態で、少なくとも給気口２７Ｂから洗浄槽２の内部空間の右側の第２部分空間の洗浄液Ｃａへ給気することを含む。第１給気動作において、給気口２７Ａからの給気量は、給気口２７Ｂからの給気量よりも多い。第２給気動作において、給気口２７Ｂからの給気量は、給気口２７Ａからの給気量よりも多い。実施形態においては、第１給気動作において、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへ給気されず、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａに空気が供給される。第２給気動作において、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへ給気されず、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａに空気が供給される。

第１給気動作において、制御装置１３は、洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、液相給気装置９の給気口２７Ａから洗浄槽２の内部空間の左側の第１部分空間の洗浄液Ｃａに少量の空気を供給させる。給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに空気が供給されている状態で、給気口２７Ｂから空気は供給されないが給気口Ａから洗浄液Ｃａへの給気より少ない空気を供給してもよい。液相給気装置９は、洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬された状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を開始する。洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａに空気が供給されることにより、洗浄液Ｃａが突沸する。突沸により、給気口２７Ａから上方に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成される。給気口２７Ａは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左方に配置される。また、給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに空気が供給されるとき、給気口２７Ｂから洗浄液Ｃａに空気は供給されない。そのため、図２の矢印で示すように、洗浄液Ｃａにおいて水平方向の流れが生成される。給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに空気が供給され、給気口２７Ｂから空気が供給されないとき、洗浄槽２の左端部から右端部に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成される。洗浄液Ｃａが水平方向に流れることにより、洗浄対象Ｓの下面のみならず、洗浄対象Ｓの上面も洗浄液Ｃａで効果的に洗浄される。

フィルタ装置５は、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側及び右端部側のそれぞれに配置される。フィルタ装置５は、左右方向において給気口２７Ａよりも洗浄槽２の内部空間の右端部側に配置される第１のフィルタ装置５Ａと、給気口２７Ｂよりも洗浄槽２の内部空間の左端部側に配置される第２のフィルタ装置５Ｂとを含む。水平方向に流れる洗浄液Ｃａは、フィルタ装置５Ａを通過する。洗浄対象Ｓから剥離した異物は、洗浄液Ｃａとともにフィルタ装置５Ａを通過する。フィルタ装置５Ａは、洗浄対象Ｓから剥離した異物を効果的に回収することができる。

液相給気装置９は、第１給気動作を所定の継続時間だけ継続した後、第１給気動作を終了する。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を所定の継続時間だけ継続した後、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を終了する。給気口２７Ａから洗浄液Ｃａへの給気が終了することにより、洗浄液Ｃａの突沸が徐々に収まる。給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を終了し、洗浄液Ｃａの突沸が収まった後、液相給気装置９は、第２給気動作を開始する。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を開始する。洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が再び開始されることにより、洗浄液Ｃａが再び突沸する。突沸により、給気口２７Ｂから上方に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成される。給気口２７Ｂは、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも右方に配置される。また、給気口２７Ｂから洗浄液Ｃａに空気が供給されるとき、給気口２７Ａから洗浄液Ｃａに空気は供給されないが給気口Ｂから洗浄液Ｃａへの給気より少ない空気を供給してもよい。そのため、図２の矢印で示すように、洗浄液Ｃａにおいて水平方向の流れが生成され、洗浄槽２の右端部から左端部に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成される。洗浄液Ｃａが水平方向に流れることにより、洗浄対象Ｓの下面のみならず、洗浄対象Ｓの上面も洗浄液で効果的に洗浄される。

フィルタ装置５は、左右方向において給気口２７Ａよりも洗浄槽２の内部空間の右端部側に配置される第１のフィルタ装置５Ａと、給気口２７Ｂよりも洗浄槽２の内部空間の左端部側に配置される第２のフィルタ装置５Ｂとを含む。水平方向に流れる洗浄液Ｃａは、フィルタ装置５Ｂを通過する。洗浄対象Ｓから剥離した異物は、洗浄液Ｃａとともにフィルタ装置５Ｂを通過する。フィルタ装置５Ｂは、洗浄対象Ｓから剥離した異物を効果的に回収することができる。

液相給気装置９は、第２給気動作を所定の継続時間だけ継続した後、第２給気動作を終了する。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を所定の継続時間だけ継続した後、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を終了する。給気口２７Ｂからの給気が終了することにより、洗浄液Ｃａの突沸が徐々に収まる。給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を終了し、洗浄液Ｃａの突沸が収まった後、液相給気装置９は、第１給気動作を開始する。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を再び開始する。洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が再び開始されることにより、洗浄液Ｃａが再び突沸する。

液相給気装置９は、第１給気動作と第２給気動作とを交互に行う。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気と給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気とを交互に行う。液相給気装置９は、第１給気動作と第２給気動作とを一定時間間隔で行う。すなわち、液相給気装置９は、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気と給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気とを一定時間間隔で行う。第１給気動作の継続時間と第２給気動作の継続時間とは、等しい。すなわち、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気の継続時間と給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気の継続時間とは、等しい。給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気と給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気とは、例えば１０秒以上５分以下の間隔で行われる。給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気の継続時間及び給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気の継続時間のそれぞれは、例えば１秒である。

洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、給気口２７Ａ及び給気口２７Ｂの少なくとも一方から洗浄液Ｃａに空気が供給されると、洗浄槽２の内部空間の圧力が上昇する可能性がある。制御装置１３は、第１給気動作が開始される前、及び第２給気動作が開始される前のそれぞれにおいて、洗浄槽２の内部空間が減圧されるように減圧装置８を制御する。すなわち、制御装置１３は、給気口２７Ａからの給気が開始される前、及び給気口２７Ｂからの給気が開始される前のそれぞれにおいて、洗浄槽２の内部空間が減圧されるように減圧装置８を制御する。

以上説明したように、洗浄装置１は、洗浄液Ｃａが貯留される内部空間を有する洗浄槽２と、洗浄液Ｃａを加熱する加熱装置７と、洗浄槽２の内部空間を減圧する減圧装置８と、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側に配置される給気口２７Ａと、洗浄槽２の内部空間の中央部よりも右端部側に配置される給気口２７Ｂとを有し、給気口２７Ａ及び給気口２７Ｂの一方から洗浄液Ｃａへの給気を実施可能な液相給気装置９と、を備える。洗浄槽２の内部空間は、水平方向において洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側の第１部分空間と、洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側とは反対側の右端部側の第２部分空間と、を含む。液相給気装置９は、洗浄対象Ｓが洗浄液Ｃａに浸漬された状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を終了した後、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気を開始する。

実施形態によれば、洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が終了した後、給気口２７Ｂからから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が開始されることにより、洗浄槽２において洗浄液Ｃａは様々な方向へ流れる。洗浄液Ｃａが様々な方向に流れるので、洗浄液Ｃａは、洗浄対象Ｓの様々な位置に当たる。そのため、洗浄対象Ｓの表面の一部に汚れが残留することが抑制され、洗浄対象Ｓの表面は、効果的に洗浄される。

液相給気装置９は、給気口２７Ａからの給気と給気口２７Ｂからの給気とを交互に行う。これにより、洗浄液Ｃａが十分に撹拌され、洗浄対象Ｓの表面が洗浄液Ｃａで効果的に洗浄される。

減圧装置８は、給気口２７Ａからの給気が開始される前、及び給気口２７Ｂからの給気が開始される前のそれぞれにおいて、洗浄槽２の内部空間を減圧する。これにより、洗浄液Ｃａが減圧沸騰している状態で、給気口２７Ａ及び給気口２７Ｂの一方から洗浄液Ｃａに空気が供給される。

給気口２７Ａからの給気と給気口２７Ｂからの給気とを交互に行う場合において、液相給気装置９は、給気口２７Ａからの給気と給気口２７Ｂからの給気とを一定時間間隔で行う。これにより、洗浄対象Ｓの表面が洗浄液Ｃａで効果的に洗浄される。

給気口２７Ａからの給気と給気口２７Ｂからの給気とが交互に行われる場合において、給気口２７Ａからの給気の継続時間と給気口２７Ｂからの給気の継続時間とは、等しい。これにより、洗浄対象Ｓの表面が洗浄液Ｃａで効果的に洗浄される。

洗浄装置１は、洗浄対象Ｓよりも上方に配置され、洗浄液Ｃａから異物を回収するフィルタ装置５を備える。水平方向において給気口２７Ａが洗浄槽２の内部空間の中央部よりも左端部側に配置される場合、フィルタ装置５は、水平方向において給気口２７Ａよりも洗浄槽２の内部空間の右端部側に配置される。これにより、給気口２７Ａから洗浄液Ｃａへの給気により突沸が発生して、洗浄槽２の内部空間の左端部から右端部に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成された場合、フィルタ装置５は、洗浄液Ｃａに含まれている異物を洗浄液Ｃａから効果的に回収することができる。水平方向において給気口２７Ｂが洗浄槽２の内部空間の中央部よりも右端部側に配置される場合、フィルタ装置５は、水平方向において給気口２７Ｂよりも洗浄槽２の内部空間の左端部側に配置される。これにより、給気口２７Ｂから洗浄液Ｃａへの給気により突沸が発生して、洗浄槽２の内部空間の右端部から左端部に向かう洗浄液Ｃａの流れが生成された場合、フィルタ装置５は、洗浄液Ｃａに含まれている異物を洗浄液Ｃａから効果的に回収することができる。異物がフィルタ装置５に回収されるので、洗浄対象Ｓから剥離した異物が洗浄対象Ｓに再付着することが抑制される。

給気口２７Ａからの給気と給気口２７Ｂからの給気とが交互に行われる場合において、フィルタ装置５が、洗浄対象Ｓよりも上方に配置され、水平方向において洗浄槽２の内部空間よりも右端部側に配置される第１のフィルタ装置５Ａと、水平方向において洗浄槽２の内部空間よりも左端部側に配置される第２のフィルタ装置５Ｂとを含むことにより、フィルタ装置５（５Ａ，５Ｂ）は、洗浄液Ｃａに含まれている異物を洗浄液Ｃａから効果的に回収することができる。

なお、第１給気動作において、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が実施され、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気は実施されないこととした。また、第２給気動作において、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａへの給気が実施され、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａへの給気は実施されないこととした。第１給気動作において、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａに給気されている状態で、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａに給気口２７Ａからの給気量よりも少ない給気量で給気されてもよい。同様に、第２給気動作において、給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａに給気されている状態で、給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａに給気口２７Ｂからの給気量よりも少ない給気量で給気されてもよい。

上述の実施形態においては、液相給気パルス洗浄において、洗浄槽２の内部空間が減圧され、洗浄液Ｃａが減圧沸騰した後に、給気口（２７Ａ，２７Ｂ）から洗浄液Ｃａに空気が供給されることとした。洗浄槽２の圧力について設定圧力値が予め定められ、給気口（２７Ａ，２７Ｂ）から洗浄液Ｃａへの給気が開始され、洗浄槽２の内部空間が設定圧力値になった後に、洗浄槽２の内部空間の減圧が開始されてもよい。

上述の実施形態において、給気口２７Ａが給気ノズル２３Ａに設けられ、給気口２７Ｂが給気ノズル２３Ｂに設けられることとした。給気ノズル２３Ａと給気ノズル２３Ｂとは、単一部材でもよい。例えば、複数の屈曲部を有する１本のパイプ（給気ノズル）が第１部分空間及び第２部分空間の両方に亘るように配置され、その１本のパイプに給気口（２７Ａ，２７Ｂ）が設けられてもよい。すなわち、第１部分空間に配置される第１部分と第２部分空間に配置される第２部分とを含む１本のパイプにおいて、第１部分に給気口２７Ａが設けられ、第２部分に給気口２７Ｂが設けられてもよい。１本のパイプの左右方向の中央部に液相給気ラインが接続され、その液相給気ラインに液相給気弁が設けられることにより、１本のパイプの第１部分に設けられた給気口２７Ａから第１部分空間の洗浄液Ｃａのみに給気し、第２部分に設けられた給気口２７Ｂから第２部分空間の洗浄液Ｃａのみに給気してもよい。

図３は、実施形態に係る洗浄装置１の動作を示すフローチャートである。図３に示すように、洗浄装置１において、注水工程Ｓ１、沸騰可能状態生成工程Ｓ２、給気工程Ｓ３、及び排水工程Ｓ４が順次に実行される。

（注水工程）
注水工程Ｓ１は、不図示の給水手段により洗浄槽２の内部空間に洗浄液Ｃａを入れる工程である。注水工程Ｓ１では、洗浄槽２の内部空間の全部を洗浄液Ｃａで満たすのではなく、洗浄槽２の内部空間の中途まで洗浄液Ｃａが入れられる。これにより、洗浄槽２の内部空間は、下方の液相部と、上方の気相部とに分けられる。注水工程Ｓ１において、洗浄槽２の蓋１４が閉じられている場合、洗浄槽２の内部空間への注水に伴い、洗浄槽２の内部空間の空気が気相給気ライン２８から排出される。但し、洗浄槽２の内部空間への注水に伴い、減圧装置８を作動させてもよい。その場合、洗浄槽２の内部空間への洗浄液Ｃａの供給中、洗浄槽２の内部空間からの空気排除を確実に図ることができる。

洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の内部空間に洗浄液Ｃａを入れる前に予め洗浄槽２の内部空間に入れておいてもよいし、洗浄槽２の内部空間に洗浄液Ｃａを入れた後に洗浄槽２の内部空間に入れてもよい。いずれにしても、洗浄対象Ｓは、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａに浸漬される。この際、洗浄対象Ｓは、敷網である支持部材４よりも上方に配置される。このようにして、洗浄槽２の内部空間には洗浄液Ｃａが貯留されるとともに、その洗浄液Ｃａには洗浄対象Ｓが浸漬される。また、洗浄槽２の蓋１４は閉じられた状態とされる。

（沸騰可能状態生成工程）
沸騰可能状態生成工程Ｓ２は、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａを沸騰可能状態にする工程である。具体的には、沸騰可能状態生成工程Ｓ２は、給気工程Ｓ３において液相給気装置９から洗浄液Ｃａに気体が供給されたときに洗浄液Ｃａが激しい沸騰状態又は沸騰に近い状態になるように、洗浄槽２の内部空間を予め減圧することを含む。

洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａを沸騰可能状態とすることは、洗浄槽２の内部空間の気相部の圧力を減圧することを含む。洗浄槽２の内部空間の気相部は、洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回り大気圧を下回る圧力に減圧されてもよい。例えば、洗浄槽２の内部空間の気相部の圧力が洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回っていても、洗浄液Ｃａの一部に過熱した部分が存在することで、給気工程Ｓ３において洗浄液Ｃａに気体が導入されることにより沸騰が生じる可能性がある。また、洗浄槽２の内部空間の気相部の圧力が洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回っていても、給気工程Ｓ３において第１位置又は第２位置から給気が行われることにより沸騰に近い状態が生じて、洗浄対象Ｓが効果的に洗浄される可能性がある。なお、給気工程Ｓ３において洗浄液Ｃａを沸騰状態にするために、洗浄槽２の内部空間の気相部は、洗浄液Ｃａの蒸気圧以下の圧力に減圧されてもよい。実施形態においては、沸騰可能状態生成工程Ｓ２において、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧する。

減圧装置８により洗浄槽２の内部空間が減圧されると、洗浄槽２の内部空間の温度が低下する。沸騰可能状態生成工程Ｓ２において、制御装置１３は、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａが所定温度になるように、加熱装置７を制御する。沸騰可能状態生成工程Ｓ２において、制御装置１３は、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａが所定温度になるように、加熱装置７を常時作動させる。

なお、加熱装置７による洗浄液Ｃａの加熱中に、減圧装置８による減圧と液相給気装置９による復圧とが実施されてもよい。減圧装置８により洗浄槽２の内部空間の減圧が実施されている状態においては、液相給気装置９による復圧は停止される。液相給気装置９により洗浄槽２の内部空間の復圧が実施されている状態においては、減圧装置８による減圧は停止される。実施形態においては、減圧装置８により、洗浄槽２の内部空間が洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧される。なお、上述のように、洗浄槽２の内部空間は、洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回り大気圧を下回る圧力に減圧されてもよい。液相給気装置９により、洗浄槽２の内部空間が大気圧近くまで復圧される。液相給気装置９による復圧が実施されることにより、洗浄槽２の内部空間の温度が均一化される。温度均一化のための給気は、激しい沸騰を発生させてもさせなくてもよい。なお、減圧装置８による減圧と液相給気装置９による復圧とが交互に複数回繰り返されてもよい。減圧装置８による減圧と液相給気装置９による復圧とが交互に複数回繰り返されることにより、洗浄槽２の内部空間の温度がより均一化される。減圧装置８による減圧と液相給気装置９による復圧とが繰り返される回数は、任意に設定可能であり、一回でもよいし、複数回でもよい。

制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態において、洗浄液Ｃａが所定温度となってから、給気工程Ｓ３に移行する。なお、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回り大気圧を下回るまで減圧した状態において、洗浄液Ｃａが所定温度となってから、給気工程Ｓ３に移行してもよい。制御装置１３は、温度センサ１２の検出データに基づいて、洗浄槽２の内部空間が所定温度であるか否かを判定することができる。所定温度は、例えば３０℃以上１００℃以下である。

（給気工程）
給気工程Ｓ３は、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａが沸騰可能状態で、液相給気装置９から洗浄液Ｃａに給気を行う工程である。実施形態において、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態で、液相給気装置９から洗浄液Ｃａに給気を行う。なお、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧を上回り大気圧を下回る圧力まで減圧した状態で、液相給気装置９から洗浄液Ｃａに給気を行ってもよい。洗浄液Ｃａが沸騰可能状態で、液相給気装置９から洗浄液Ｃａに給気が行われることにより、洗浄液Ｃａが激しく沸騰する。

図２を参照して説明したように、洗浄槽２の第１位置に配置されている給気口２７Ａから洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａへ給気が行われた後、洗浄槽２の第２位置に配置されている給気口２７Ｂから洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａへ給気が行われる。実施形態においては、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態で液相給気装置９により第１位置から給気を行い、その後、再び減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態として液相給気装置９により第２位置から給気を行う。

実施形態において、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間が洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態において、加熱装置７により洗浄液Ｃａが上述の所定温度となってから、液相給気装置９から給気を行う。また、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態にする制御と、液相給気装置９により給気を行う制御とを交互に行う。

すなわち、制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態において、加熱装置７により洗浄液Ｃａが上述の所定温度となってから、液相給気装置９により第１位置から給気を行う。第１位置から給気が行われることにより、洗浄液Ｃａにおいて激しい沸騰が生じ、図２の第１給気動作の矢印で示したような流れが洗浄液Ｃａに生成される。第１位置から給気が行われることにより、洗浄槽２の内部空間の圧力が上昇する。制御装置１３は、液相給気装置９による第１位置からの給気を、洗浄槽２の内部空間が所定圧力になるまで行う。実施形態において、所定圧力は、洗浄液Ｃａの蒸気圧を超える圧力と大気圧との間に設定される。制御装置１３は、液相給気装置９による第１位置からの給気を、洗浄槽２の内部空間の圧力が洗浄液Ｃａの蒸気圧を超える圧力から大気圧となる間、行う。制御装置１３は、圧力センサ１１の検出データに基づいて、洗浄槽２の内部空間の圧力が所定圧力か否かを判定することができる。洗浄槽２の内部空間の圧力が洗浄液Ｃａの蒸気圧を超える圧力から大気圧となる間、第１位置からの給気を行った後、制御装置１３は、第１位置からの給気を停止する。第１位置からの給気を停止した後、制御装置１３は、再び、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧する。制御装置１３は、減圧装置８により洗浄槽２の内部空間を洗浄液Ｃａの蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態において、加熱装置７により洗浄液Ｃａが上述の所定温度となってから、液相給気装置９により第２位置から給気を行う。第２位置から給気が行われることにより、洗浄液Ｃａにおいて激しい沸騰が生じ、図２の第２給気動作の矢印で示したような流れが洗浄液Ｃａに生成される。

このように、給気工程Ｓ３において、制御装置１３は、液相給気装置９により第１位置から給気を行い、その後、第２位置から給気を行う。なお、第１位置からの給気と第２位置からの給気とが交互に複数回繰り返されてもよい。第１位置からの給気と第２位置からの給気とが交互に複数回繰り返されることにより、洗浄対象Ｓの洗浄効果がより高められる。第１位置からの給気と第２位置からの給気とが繰り返される回数は、任意に設定可能であり、一回でもよいし、複数回でもよい。また、第１位置からの給気と第２位置からの給気とは、交互に行われてもよいし、交互に行われなくてもよい。例えば、第１位置からの給気が行われ、洗浄槽２の内部空間が沸騰可能状態になった後、再び第１位置からの給気が行われ、その後、洗浄槽２の内部空間が沸騰可能状態になってから、第２位置からの給気が行われてもよい。また、第１位置からの給気が行われ、洗浄槽２の内部空間が沸騰可能状態になった後、第２位置からの給気が行われ、その後、洗浄槽２の内部空間が沸騰可能状態になってから、第２位置からの給気が行われてもよい。制御装置１３は、第１位置からの給気と第２位置からの給気とを設定された回数だけ繰り返した後、排出工程Ｓ４に移行する。

なお、沸騰可能状態生成工程Ｓ２と給気工程Ｓ３とを合わせた工程を行う時間が予め設定され、制御装置１３は、設定された時間が経過した時点において給気工程Ｓ３を中断して排出工程Ｓ４に移行してもよい。

（排出工程）
排水工程Ｓ４は、洗浄槽２の内部空間を大気圧まで復圧して、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａを排出する工程である。洗浄槽２の内部空間を大気圧まで復圧するために、気相給気装置１０により洗浄槽２の内部空間へ外気が導入される。洗浄槽２の内部空間が大気圧まで復圧された後、排液装置６から洗浄液Ｃａが排出される。その後は、所望により、洗浄対象Ｓのすすぎをしたり、その後さらに洗浄対象Ｓの乾燥を図ったりしてもよい。なお、すすぎとは、洗浄対象Ｓに残留した洗浄液Ｃａ等を、別の洗浄液Ｃａを用いて洗浄することをいう。このすすぎ工程でも、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａを沸騰可能状態とするまで減圧した状態で、洗浄槽２の内部空間の洗浄液Ｃａに気体を導入して、洗浄液Ｃａを激しく沸騰させて洗浄対象Ｓの洗浄を図ってもよい。

なお、上述の実施形態においては、第１位置からの給気と第２位置からの給気とが交互に実施されることとした。すなわち、上述の実施形態においては、洗浄槽２の内部空間の水平方向において給気される位置が２つであることとした。洗浄槽２の内部空間の水平方向において給気される位置が３つ以上の任意の複数でもよい。例えば、第１位置に第１給気口が配置され、第１位置とは異なる第２位置に第２給気口が配置され、第１位置及び第２位置とは異なる第３位置に第３給気口が配置されている場合、第１位置からの給気と第２位置からの給気と第３位置からの給気とが順次実施されてもよい。また、第１位置からの給気と第２位置からの給気と第３位置からの給気とが１回ずつ順次実施されてもよいし、いずれかの位置からの給気が２回連続して実施されてもよい。例えば、第１位置からの給気が行われた後、再び第１位置からの給気が行われ、その後に第２位置からの給気が行われてもよい。第１位置からの給気が行われた後、第２位置からの給気が行われ、その後に再び第２位置からの給気が行われてもよい。第１位置からの給気が行われた後、再び第１位置からの給気が行われ、その次に第２位置からの給気が行われ、その次に第３位置からの給気が行われてもよい。また、洗浄槽２の内部空間の水平方向において第１位置に第１給気口が配置され、第１位置とは異なる第２位置に第２給気口が配置され、第１位置及び第２位置とは異なる第３位置に第３給気口が配置され、第１位置、第２位置、及び第３位置とは異なる第４位置に第４給気口が配置されている場合、第１位置に配置された第１給気口からの給気と第２位置に配置された第２給気口からの給気と第３位置に配置された第３給気口からの給気と第４位置に配置された第４給気口からの給気とが順次実施されてもよい。各位置からの給気が１回ずつ順次実施されてもよいし、いずれかの位置からの給気が２回以上連続して実施されてもよい。

上述の実施形態において、洗浄槽２の内部空間の水平方向の複数の位置のそれぞれから給気が行われる場合、図３に示したステップＳ１からステップＳ４までの処理において、制御装置１３は、全ての位置から給気が行われるように制御してもよい。なお、制御装置１３は、一部の位置からの給気が行われ、一部の位置からの給気が行われないように制御してもよい。

１…洗浄装置、２…洗浄槽、３…バスケット、４…支持部材、５…フィルタ装置、６…排液装置、７…加熱装置、８…減圧装置、９…液相給気装置（給気装置）、１０…気相給気装置、１１…圧力センサ、１２…温度センサ、１３…制御装置、１４…蓋、１８…排液ライン、１９…排液ポンプ、２０…ヒータ、２１…排気ライン、２２…真空ポンプ、２３Ａ…給気ノズル、２３Ｂ…給気ノズル、２４Ａ…液相給気ライン、２４Ｂ…液相給気ライン、２５Ａ…フィルタ、２５Ｂ…フィルタ、２６Ａ…液相給気弁、２６Ｂ…液相給気弁、２７Ａ…給気口（第１給気口）、２７Ｂ…給気口（第２給気口）、２８…気相給気ライン、２９…フィルタ、３０…気相給気弁、Ｃａ…洗浄液、Ｓ…洗浄対象。

Claims (7)

1. 洗浄液が貯留される内部空間を有し、前記洗浄液に洗浄対象が浸漬される洗浄槽と、
   前記洗浄対象よりも下方に配置され、前記内部空間の水平方向において少なくとも第１位置及び第２位置の異なる位置から給気を行う給気装置と、
   前記給気装置により前記第１位置から給気を行い、その後、前記第２位置から給気を行う制御装置と、を備える、
   洗浄装置。
2. 前記内部空間を減圧する減圧装置を備え、
   前記制御装置は、前記減圧装置により前記洗浄槽の内部空間を前記洗浄液の蒸気圧以下又はその直前の圧力まで減圧した状態で前記給気装置により前記第１位置から給気を行い、その後、再び前記状態として前記第２位置から給気を行う、
   請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記洗浄液を加熱する加熱装置を備え、
   前記制御装置は、前記状態において前記洗浄液が所定温度となってから前記給気装置から給気を行う、
   請求項２に記載の洗浄装置。
4. 前記制御装置は、前記給気装置からの給気を、前記洗浄槽の内部空間の圧力が前記洗浄液の蒸気圧を超える圧力から大気圧となる間、行う、
   請求項３に記載の洗浄装置。
5. 前記制御装置は、前記減圧装置により前記状態にする制御と、前記給気装置により給気を行う制御とを交互に行う、
   請求項４に記載の洗浄装置。
6. 前記内部空間において前記洗浄対象を支持する敷網を備え、
   前記給気装置は、前記敷網よりも下方に配置される、
   請求項１に記載の洗浄装置。
7. 前記洗浄対象よりも上方に配置され、前記洗浄液から異物を回収するフィルタ装置を備える、
   請求項６に記載の洗浄装置。

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