KR20230147678A - 시스 히터 및 이를 갖는 기판 지지 장치 - Google Patents
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Abstract
신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 제공한다. 또는, 신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 갖는 기판 지지 장치를 제공한다. 본 발명의 시스 히터는, 제1 금속선과, 제1 금속선의 제1 단부에 접속하는 제1 단자와, 제1 단자에 접속하고 제2 금속선에 접속하는 제1 도전성 가요성 부재와, 제1 금속선의 제2 단부에 접속하는 제2 단자와, 제2 단자에 접속하고 제3 금속선에 접속하는 제2 도전성 가요성 부재를 구비하되, 제1 도전성 가요성 부재와 제2 도전성 가요성 부재는 인접 배치된다.
Description
본 발명은 시스 히터(Sheath Heater)에 관한 것이다. 또는, 본 발명은 시스 히터를 갖는 기판 지지 장치에 관한 것이다.
시스 히터는 금속 튜브 형상의 시스 내에 발열선을 보유하고, 금속 시스와 발열선의 간극에 열전도성이 높은 절연재를 충전한 히터이다. 시스 히터는 발열체의 표면이 전기적으로 절연되어 있기 때문에, 기체, 액체, 금속 등을 직접 가열할 수 있다. 또한, 시스 히터는 임의의 형상으로 레이아웃될 수 있고, 그 편리성으로 인해 다양한 용도로 사용된다. 이 때문에, 다양한 요구에 대응한 더욱 복잡한 형상으로 레이아웃할 수 있도록, 더욱 작은 직경의 시스 히터에 대한 수요가 증가하고 있다. 한편으로, 시스 히터는 발열선에 전기를 흘려 가열하기 때문에, 발열선의 단락이나 파손을 방지하기 위한 궁리도 필요하게 된다.
예를 들면, 특허문헌 1에는, 발열선의 단선을 억제할 목적으로, 금속 시스와, 금속 시스 내에 간극을 두고 배치되고 띠 형상이며 금속 시스의 축 방향에 대하여 회전하여 배치되는 발열선과, 간극에 배치되는 절연재와, 금속 시스의 일단에 배치되고, 발열선의 양단 각각에 전기적으로 접속되는 접속 단자를 구비하는 시스 히터가 기재되어 있다.
또한, 특허문헌 2에는, 시스와 리드선의 접속부에 발생하는 열 응력에 따른 열 변형을 완화할 목적으로, 시스 히터의 발열선의 단부와 리드선의 단부를, 탄성을 갖는 접속용 도체를 통해, 접속하는 시스 히터의 리드선 접속 단자가 기재되어 있다.
본 발명의 일 실시형태는 신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 제공하는 것을 목적의 하나로 한다. 또는, 본 발명의 일 실시형태는 신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 갖는 기판 지지 장치를 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 제1 금속선과, 제1 금속선의 제1 단부에 접속하는 제1 단자와, 제1 단자에 접속하고 제2 금속선에 접속하는 제1 도전성 가요성 부재와, 제1 금속선의 제2 단부에 접속하는 제2 단자와, 제2 단자에 접속하고 제3 금속선에 접속하는 제2 도전성 가요성 부재를 구비하되, 제1 도전성 가요성 부재와 제2 도전성 가요성 부재는 인접 배치되는 시스 히터가 제공된다.
제1 도전성 가요성 부재 및 제2 도전성 가요성 부재는 금속 코일, 연선(strand wire) 및 평편선 중에서 선택되어도 좋다.
시스 히터는 굴곡부를 갖는 형상을 갖고, 제1 도전성 가요성 부재 및 제2 도전성 가요성 부재는 굴곡부에 배치된다.
도전성 가요성 부재는 금속 코일이고, 굴곡부에서, 제2 금속 코일의 피치는 제1 금속 코일의 피치보다 커도 좋다.
시스 히터는 2개 이상의 굴곡부를 가져도 좋다.
시스 히터는 상기 제1 금속선, 상기 제1 단자, 상기 제2 금속선, 상기 제1 도전성 가요성 부재, 상기 제2 단자, 상기 제 3 금속선 및 상기 제2 도전성 가요성 부재를 덮는 금속 시스를 더 구비하되, 굴곡부의 곡률 반경은 금속 시스의 직경의 2배 이상이어도 좋다.
금속 시스에 충전된 절연재 입자를 더 구비하되, 절연재 입자는 제1 도전성 가요성 부재와 제2 도전성 가요성 부재 사이에 배치되며, 제1 도전성 가요성 부재와 제2 도전성 가요성 부재 사이의 거리는 0.14mm 이상이어도 좋다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 상기의 어느 하나의 시스 히터를 구비하는 기판 지지 장치가 제공된다.
본 발명의 일 실시형태에 따르면, 신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 신뢰성을 향상시킨 시스 히터를 갖는 기판 지지 장치를 제공할 수 있다.
[도 1] 본 발명의 일 실시형태에 관한 시스 히터(100)의 모식도이다.
[도 2] 본 발명의 일 실시형태에 관한 시스 히터(100)의 단면 구조를 나타내는 모식도이다.
[도 3] 본 발명의 일 실시형태에 관한 굴곡부(191)의 단면도를 나타낸다.
[도 4] 본 발명의 일 실시형태에 관한 기판 지지 장치(1000)의 사시도이다.
[도 2] 본 발명의 일 실시형태에 관한 시스 히터(100)의 단면 구조를 나타내는 모식도이다.
[도 3] 본 발명의 일 실시형태에 관한 굴곡부(191)의 단면도를 나타낸다.
[도 4] 본 발명의 일 실시형태에 관한 기판 지지 장치(1000)의 사시도이다.
이하, 일 실시형태에 관한 본 발명의 시스 히터 및 기판 지지 장치에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또, 이하의 실시형태는 본 발명의 시스 히터 및 기판 지지 장치의 일례이며, 본 발명의 시스 히터 및 기판 지지 장치는 이하의 실시형태로 한정되는 것은 아니다.
또한, 도면은, 설명을 보다 명확하게 하기 위해, 실제의 양태에 비해, 각 부분의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 나타내는 경우가 있지만, 어디까지나 일례이며, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본 명세서와 각 도면에서, 기출의 도면에 관해서 설명한 것과 마찬가지의 기능을 구비한 요소에는, 동일한 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략하는 경우가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 시스 히터(100)의 모식도이다. 금속 시스(101)의 일단으로부터 2개의 비발열선(111)이 인출된 구조를 갖는다. 일례로서, 시스 히터(100)는 비발열선(111) 쪽에서 본 평면도로 볼 때, 나선형 배열을 갖지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 또한, 시스 히터(100)는 적어도 하나의 굴곡부를 갖는다. 또는, 시스 히터(100)는 2개 이상의 굴곡부를 가져도 좋다. 도 1에서는, 시스 히터(100)가 굴곡부(191)와 굴곡부(193)를 갖는 예를 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 3개 이상의 굴곡부를 가져도 좋다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 시스 히터(100)의 단면 구조를 나타내는 모식도이다. 또, 도 2에서는, 시스 히터(100)가 직선 형상으로 배치된 구조를 나타낸다. 시스 히터(100)는, 발열선(제1 금속선이라고도 함)(121)과, 발열선(121)의 일단에 접속되는 제1 단자(115a)와, 제1 단자(115a)에 접속되고 제1 비발열선(제2의 금속선이라고도 함)(111a)에 접속되는 제1 도전성 가요성 부재(113a)를 구비한다. 또한, 시스 히터(100)는, 발열선(121)의 타단에 접속되는 제2 단자(115b)와, 제2 단자(115b)에 접속되고 제2 비발열선(제3 금속선이라고도 함)(111b)에 접속되는 제2 도전성 가요성 부재(113b)를 구비한다. 시스 히터(100)에서, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)는 인접 배치된다. 또한, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b)는 인접 배치된다. 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b)은 인접 배치된다.
도 2에서, 일점 쇄선은 발열선(121), 제1 단자(115a), 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제1 비발열선(111a)의 중심을 통과하는 선, 및 발열선(121), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)의 중심을 통과하는 선을 나타낸다. 발열선(121)은 시스 히터(100)의 선단부에서 접힌 배치를 갖는다. 제1 단자(115a)는 발열선(121)과 제1 비발열선(111a)을 접속하기 위한 단자이지만, 본 실시형태에서는 제1 단자(115a)와 제1 비발열선(111a)이 제1 도전성 가요성 부재(113a)를 통해 접속된다. 또한, 제2 단자(115b)는 발열선(121)과 제2 비발열선(111b)을 접속하기 위한 단자이지만, 본 실시형태에서는 제2 단자(115b)와 제2 비발열선(111b)이 제2 도전성 가요성 부재(113b)를 통해 접속된다. 제1 비발열선(111a), 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제1 단자(115a), 발열선(121), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)은 전기적으로 접속되어 있다.
시스 히터(100)에서, 금속 시스(101)는 발열선(121), 제1 단자(115a), 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제1 비발열선(111a), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)을 덮는다. 또한, 금속 시스(101)에는 절연재 입자(131)가 충전되어 있다. 시스 히터(100)의 선단부에서, 접힌 발열선(121) 사이, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b) 사이, 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b) 사이, 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b) 사이에는 절연재 입자(131)가 배치되어 있다. 더욱이, 금속 시스(101)는 발열선(121), 제1 단자(115a), 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제1 비발열선(111a), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)과 금속 시스(101) 사이에도 절연재 입자(131)가 배치되어 있다.
일 실시형태에서, 절연재 입자(131)로서, 산화마그네슘 입자, 산화알루미늄 입자, 질화붕소 입자, 질화규소 입자, 질화알루미늄 입자 및 질화알루미늄계 세라믹스 입자로부터 선택되는 일종의 입자를 사용할 수 있다. 일 실시형태에서, 절연 재료 입자(131)로서, 산화 마그네슘 입자를 사용하는 것이 바람직하다.
일 실시형태에서, 히터선(121)은, 통전하는 것에 의해 줄 열을 발생시키는 도전체를 사용할 수 있다. 구체적으로는, 텅스텐, 탄탈, 몰리브덴, 백금, 니켈, 크롬, 코발트 및 지르코늄 중에서 선택되는 금속을 포함할 수 있다. 금속은 이들 금속을 포함하는 합금이어도 좋고, 예를 들어, 니켈과 크롬의 합금, 니켈, 크롬 및 코발트를 포함하는 합금 또는 지르코늄 합금이어도 좋다. 도 2에서, 발열선(121)을, 선 형상의 도전체를 코일 형상 구조로 예를 들어 나타내었지만, 이것으로 한정되지 않고, 띠 형상의 도전체를 코일 형상의 구조로 하여도 좋다.
일 실시형태에서, 제1 단자(115a), 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제1 비발열선(111a), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)은 비발열 영역을 구성한다. 비발열 영역에 배치되는 이들 부재에는, 통전함으로써 줄 열을 발생시키지 않거나, 줄 열을 발생시키기 어려운 도전체를 사용할 수 있다. 일 실시형태에서, 비발열 영역에 배치되는 이들 부재에는, 순철, 주철, 철 합금, 순니켈, 니켈 합금, 순동 및 구리 합금 중에서 선택되는 금속을 사용할 수 있다. 도 2에서, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)를, 선 형상의 도전체를 코일 형상의 구조로 한 금속 코일의 예를 나타내었지만, 도전성 가요성 부재는 이것으로 한정되는 것은 아니다. 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)로는 신축성이 있는 도전성 선재를 사용할 수 있다. 예를 들어, 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)로서, 띠 형상의 도전체를 코일 형상의 구조로 한 금속 코일을 사용하여도 좋고, 연선 또는 평편선을 사용하여도 좋다.
금속 시스(101)는 발열선(121)을 보호하기 위한 커버이며, 또한 발열선(121)이 발생시키는 열에너지를 효율적으로 피가열물에 전달하기 위한 부재이다. 발열선(121)의 열전도율은 200W/mK 이상인 것이 바람직하다. 일 실시형태에서, 금속 시스(101)에는, 순알루미늄, 알루미늄 합금, 스테인리스강, 순니켈, 니켈 합금, 순구리, 구리 합금, 순티탄, 티탄 합금 및 세라믹을 사용할 수 있다.
도 3은 굴곡부(191)의 단면 단면도를 나타낸다. 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)는 굴곡부(191)에 배치된다. 도시되지는 않았지만, 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)는 굴곡부(193)에도 배치된다. 도 3에서, 일점 쇄선은 시스 히터(100)의 중심선을 나타낸다. 굴곡부(191)에서, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)는 인접 배치되지만, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)의 거리는 굴곡부(191)와 비굴절부를 비교하여 크게 변화하지 않고, 바람직하게는 거의 변화하지 않는다.
본 실시형태와 같이, 금속 시스 내에서 발열선을 구부리고, 발열선에 접속된 2개의 비발열선을 인출하는, 소위, 2심 구조를 갖는 종래의 시스 히터에서는, 시스 히터에 굽힘이 가해졌을 때, 비발열선에 사용되는 니켈봉은 축 방향으로 신축되지 않기 때문에, 굽힘의 내측과 외측의 경로차에 의해, 외측의 비발열선이 당겨져 굽힘의 내측으로 이동하려고 하는 힘이 작용된다. 이것에 의해, 발열선끼리, 또는 비발열선끼리가 접근하여, 단락이나 파손의 원인이 되고 있었다.
본 실시형태의 시스 히터(100)에서는, 비발열 영역에 배치된 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)가 굴곡부(191)나 굴곡부(193)에서 굴곡될 때, 시스 히터(100)의 중심선 방향 또는 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)가 배치된 축 방향으로 신축된다. 이 때문에, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)가 금속 코일인 경우에는, 굴곡부(191)에서는, 제2 금속 코일(113b)의 피치(P2)가 제1 금속 코일(113a)의 피치(P1)보다 커지게 된다.
본 실시형태의 시스 히터(100)에서는, 굴곡부(191)의 외측에 위치하는 제2 도전성 가요성 부재(113b)가 당겨져도, 제2 도전성 가요성 부재(113b)가 신장됨으로써, 굴곡부의 내측으로 이동하려고 하는 힘을 억제하기 때문에, 시스 히터(100)를 굴곡시켰을 때, 접힌 발열선(121)끼리의 접근, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b)의 접근, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)의 접근 및/또는 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b)의 접근을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 접힌 발열선(121)끼리, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b), 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및/또는 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b)의 안정한 절연 거리를 확보할 수 있으므로, 시스 히터(100)에서의 단락을 방지할 수 있다.
이 때문에, 일 실시형태에서, 시스 히터(100)는 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b) 사이의 거리를 0.14mm 이상으로 할 수 있다. 절연재 입자(131)로서 산화마그네슘 입자, 산화알루미늄 입자, 질화붕소 입자, 질화규소 입자, 질화알루미늄 입자 및 질화알루미늄계 세라믹 입자 중에서 선택되는 일종의 입자를 사용하는 본 실시형태의 시스 히터(100)에서는, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b) 사이의 거리를 0.14mm 이상으로 하여, 접힌 발열선(121)끼리, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b), 및 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b)의 거리를 0.14mm 이상으로 유지함으로써, 208V의 교류 정격 전압에서 단락에 의한 단선을 방지할 수 있다.
일 실시형태에서, 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 발열선(121)의 외경은 4.2mm 이하로 하는 것이 바람직하다.
또한, 일 실시형태에서, 발열선(121), 제1 단자(115a), 제1 도전성 가요성 부재(113a), 제1 비발열선(111a), 제2 단자(115b), 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및 제2 비발열선(111b)과, 금속 시스(101)의 내경과의 최단 절연 거리는, 500VAC 내지 1,500VAC를 인가했을 때의 누설 전류를 1mA 이하로 할 때, 0.33mm~0.99mm로 할 수 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는 금속 시스(101)의 외경 φ를 3mm~10mm로 할 수 있다.
또한, 일 실시형태에서, 시스 히터(100)는 굴곡부(191)나 굴곡부(193)의 곡률 반경 R을 금속 시스(101)의 직경의 2배 이상으로 할 수 있다. 즉, 굴곡부(191)나 굴곡부(193)는, 금속 시스(101)의 직경의 2배의 곡률 반경 R로 되도록 굴곡시켜도, 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)의 신축성에 의해, 안정한 절연 거리를 확보할 수 있으므로, 시스 히터(100)에서의 단락을 방지할 수 있다.
제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)는, 특히 후술하는 기판 지지 장치의 히터 플레이트면에서 수직으로 상승하거나, 또는 면내에서 급격하게 접히는 범위에 적용함으로써, 본원의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 시스 히터(100)를 굴곡시켰을 때, 접힌 발열선(121)끼리, 제1 단자(115a)와 제2 단자(115b), 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b) 및/또는 제1 비발열선(111a)과 제2 비발열선(111b)의 변위를 억제할 수 있기 때문에, 시스 히터(100)의 레이아웃의 자유도를 향상시킬 수 있다.
[기판 지지 장치]
상술한 시스 히터(100)를 기판 지지 장치(1000)에 적용한 예에 대하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시형태에 관한 기판 지지 장치(1000)의 사시도이다. 기판 지지 장치(1000)는 히터 플레이트부(1100) 및 샤프트부(1200)를 구비하고, 히터 플레이트부(1100)의 내부에 시스 히터(100)가 설치된다. 히터 플레이트부(1100)의 상면과는 반대쪽의 히터 플레이트부(1100)의 중앙부에는 샤프트부(1200)가 접속된다. 샤프트부(1200)는 중공 구조(1210)를 갖는다. 샤프트부(1200)의 중공 구조(1210)에는, 시스 히터(100)에 접속되고 외부 제어 장치(도시하지 않음)에 접속되는 배선(1230)이 배치된다. 기판 지지 장치(1000)에서, 히터 플레이트부(1100)에는 절연막(1110)이 형성된다.
전술한 바와 같이, 시스 히터(100)에서, 제1 도전성 가요성 부재(113a) 및 제2 도전성 가요성 부재(113b)를 기판 지지 장치(1000)의 히터 플레이트부(1100)로부터 수직으로 상승시키거나 또는 히터 플레이트부(1100)의 면내에서 급격하게 접는 범위에 적용함으로써, 본원의 효과를 얻을 수 있다.
기판 지지 장치(1000)는, 반도체 장치의 제조에서의 화학 기상 성장(CVD), 표면 개질 등의 처리에 사용하는 반도체 제조 장치 내에 배치된다. 이 때문에, 기판 지지 장치(1000)는 약 500℃ 정도의 고온 환경하에서 사용된다. 기판 지지 장치(1000)는 시스 히터(100)에 제1 도전성 가요성 부재(113a)와 제2 도전성 가요성 부재(113b)를 배치함으로써, 안정한 절연 거리가 확보되기 때문에, 상온에서 고온 환경까지의 단락을 방지할 수 있다.
100: 시스 히터, 101: 금속 시스, 111: 비발열선, 111a: 비발열선, 111b: 비발열선, 113a: 도전성 가요성 부재, 113b: 도전성 가요성 부재, 115a: 제1 단자, 115b: 제2 단자, 121: 발열선, 131: 절연재 입자, 191: 굴곡부, 193: 굴곡부, 1000: 기판 지지 장치, 1100: 히터 플레이트부, 1110: 절연막, 1200: 샤프트부, 1210: 중공 구조, 1230: 배선
Claims (8)
- 제1 금속선과,
상기 제1 금속선의 제1 단부에 접속하는 제1 단자와, 상기 제1 단자에 접속하고 제2 금속선에 접속하는 제1 도전성 가요성 부재와,
상기 제1 금속선의 제2 단부에 접속하는 제2 단자와, 상기 제2 단자에 접속하고 제3 금속선에 접속하는 제2 도전성 가요성 부재를 구비하되,
상기 제1 도전성 가요성 부재와 상기 제2 도전성 가요성 부재는, 인접 배치되는,
시스 히터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 도전성 가요성 부재 및 상기 제2 도전성 가요성 부재는, 금속 코일, 연선(strand wire) 및 평편선 중에서 선택되는, 시스 히터. - 제1항에 있어서,
상기 시스 히터는, 굴곡부를 갖는 형상을 갖고,
상기 제1 도전성 가요성 부재와 상기 제2 도전성 가요성 부재는, 상기 굴곡부에 배치되는,
시스 히터. - 제3항에 있어서,
도전성 가요성 부재는, 금속 코일이며,
상기 굴곡부에서, 제2 금속 코일의 피치는, 제1 금속 코일의 피치보다 큰,
시스 히터. - 제3항에 있어서,
상기 시스 히터는, 상기 굴곡부를 2개소 이상 갖는, 시스 히터. - 제3항에 있어서,
상기 시스 히터는, 상기 제1 금속선, 상기 제1 단자, 상기 제2 금속선, 상기 제1 도전성 가요성 부재, 상기 제2 단자, 상기 제 3 금속선 및 상기 제2 도전성 가요성 부재를 덮는 금속 시스를 더 구비하되,
상기 굴곡부의 곡률 반경은, 상기 금속 시스의 직경의 2배 이상인,
시스 히터. - 제6항에 있어서,
상기 금속 시스에 충전된 절연재 입자를 더 구비하되,
상기 절연재 입자는, 상기 제1 도전성 가요성 부재와 상기 제2 도전성 가요성 부재 사이에 배치되고,
상기 제1 도전성 가요성 부재와 상기 제2 도전성 가요성 부재 사이의 거리는, 0.14mm 이상인,
시스 히터. - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 시스 히터를 구비하는, 기판 지지 장치.
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