JP2018181586A - シースヒータ - Google Patents
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Abstract
Description
[シースヒータの構成]
図1および図2を用いて、本発明の第1実施形態に係るシースヒータの構成について説明する。本発明の第1実施形態に係るシースヒータは、加熱機構を有する。また、第1実施形態に係るシースヒータは、気体、液体、金属などを直接、加熱するのに使用することができる。ただし、第1実施形態に係るシースヒータは上記被加熱物に使用するものに限定されない。
[シースヒータの構成]
図3および図4を用いて、本発明の第2実施形態に係るシースヒータの構成について説明する。図3は、本発明の一実施形態に係るシースヒータを示す断面構成図である。図3に示すように、第2実施形態に係るシースヒータは、第1実施形態と同様に、帯状の発熱線20、絶縁材30、金属シース40、および接続端子50を有する。第2実施形態に係るシースヒータ130は、金属シース40内での発熱線20の配置以外は、第1実施形態と同様であるので、重複する構造および構成に関しては説明を省略し、主に相違点について説明する。
図7は、本発明の実施例1におけるシースヒータを示す断面構成図である。実施例1は、上述した第1実施形態と略同様の構成であり、各パラメータは以下の通りである。
発熱線20の材質:ニッケル−クロム合金(ニッケル80%、クロム20%)
発熱線20の帯線の幅d1:1mm
発熱線20の帯線の厚みd2:0.1mm
2軸の発熱線20同士の最短距離:0.5mm
発熱線20の回転軸間の距離:1.5mm
発熱線20の回転径:1mm
発熱線20の回転ピッチL1:2mm
金属シース40と発熱線20との最短距離:0.5mm
金属シース40の材質:アルミニウム
金属シース40の内径d3:3.5mm
金属シース40の厚みd4:0.5mm
金属シース40の外径d5:4.5mm
比較例1では、丸線の発熱線20を用いたこと以外、実施例1と同様の構成であることから、同じ構成の説明は省略する。
発熱線20の材質:ニッケル−クロム合金(ニッケル80%、クロム20%)
発熱線の丸線の直径:Φ0.4mm
上述した実施例1および比較例1のシースヒータにおける抵抗値を測定した。実施例1のシースヒータにおける抵抗値は5〜40Ω/mであった。一方で、比較例1のシースヒータにおける抵抗値は170Ω/m以上であった。実施例1の帯線をコイリングしたシースヒータにおいては、単位長さ当たりの出力を高くすることができた。
上述した実施例1および比較例1のシースヒータをCTスキャンによって観察した。図8に実施例1に係るシースヒータの(A)CTスキャン画像および(B)3D画像を示す。図8に示すように、実施例1のシースヒータにおいて、コイリングされた帯線の発熱線と金属シースとの絶縁距離、および発熱線同士の絶縁距離は0.41mm以上を確保することができた。一方で、比較例1のシースヒータにおいて、コイリングされた丸線の発熱線は金属シースとの絶縁距離、および発熱線同士の絶縁距離が0.2mm以下となる箇所が観察された。実施例1の帯線をコイリングしたシースヒータにおいては、細径の金属シース内で絶縁性を確保しつつ、コイリングすることができた。
Claims (4)
- 金属シースと、
前記金属シース内に間隙をもって配置され、帯状であり、前記金属シースの軸方向に対して回転して配置される発熱線と、
前記間隙に配置される絶縁材と、
前記金属シースの一端に配置され、前記発熱線の両端それぞれと電気的に接続する接続端子と、
を備えるシースヒータ。 - 前記発熱線は、前記金属シース内で2軸となる領域において、2重らせん構造に配置される請求項1に記載のシースヒータ。
- 前記絶縁材は、無機絶縁粉末である請求項1または2に記載のシースヒータ。
- 前記金属シースはアルミニウムであり、前記発熱線はニッケル−クロム合金であり、前記絶縁材は酸化マグネシウムである請求項1乃至3の何れか1項に記載のシースヒータ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022209332A1 (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本発條株式会社 | シースヒータ及びそれを有する基板支持装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP6902382B2 (ja) * | 2017-04-12 | 2021-07-14 | 日本発條株式会社 | ヒータユニット |
JP2020064841A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-23 | 日本発條株式会社 | ステージ、成膜装置、および膜加工装置 |
JP7272777B2 (ja) * | 2018-10-17 | 2023-05-12 | 日本発條株式会社 | ヒータ |
JP6788079B1 (ja) * | 2019-08-02 | 2020-11-18 | 日本発條株式会社 | ヒータ、およびステージ |
DE102019127691A1 (de) * | 2019-10-15 | 2021-04-15 | Türk & Hillinger GmbH | Elektrisches Heizelement, elektrische Heizvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Heizvorrichtung mit einem solchen Heizelement |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5486756U (ja) * | 1977-12-01 | 1979-06-19 | ||
JPS54126146U (ja) * | 1978-02-22 | 1979-09-03 | ||
JPS5854577A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-31 | 株式会社東芝 | シ−ズヒ−タ |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR363975A (fr) * | 1905-03-09 | 1906-08-10 | William Arthur Stinson | Perfectionnements apportés aux systèmes de fermeture pour sacs à dépeches |
JPS5146028Y2 (ja) | 1971-08-20 | 1976-11-08 | ||
JPS5188853U (ja) * | 1975-01-13 | 1976-07-16 | ||
JPS52161342U (ja) * | 1976-05-31 | 1977-12-07 | ||
JPS5854517A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-03-31 | 東芝ライテック株式会社 | 端子付電線 |
JP2857966B2 (ja) | 1993-05-19 | 1999-02-17 | 助川電気工業株式会社 | シーズヒータ |
JP2710043B2 (ja) * | 1995-11-15 | 1998-02-10 | 助川電気工業株式会社 | シーズヒーターコア及びシーズヒーター |
US5844205A (en) | 1996-04-19 | 1998-12-01 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Heated substrate support structure |
US6035101A (en) * | 1997-02-12 | 2000-03-07 | Applied Materials, Inc. | High temperature multi-layered alloy heater assembly and related methods |
JPH11343571A (ja) | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Ngk Insulators Ltd | サセプター |
JP2000243542A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-08 | Nhk Spring Co Ltd | ヒータユニット及びその製造方法 |
JP4065639B2 (ja) | 2000-02-01 | 2008-03-26 | 株式会社アルバック | パネルヒータ |
KR100702756B1 (ko) | 2000-08-21 | 2007-04-03 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 히터 유닛 및 그 제조 방법 |
JP2002151239A (ja) | 2000-11-13 | 2002-05-24 | Sukegawa Electric Co Ltd | シースヒータユニット |
US8263908B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-09-11 | Furukawa-Sky Aluminum Corp. | Heater plate and a method for manufacturing the heater plate |
US7259391B2 (en) | 2004-12-22 | 2007-08-21 | General Electric Company | Vertical interconnect for organic electronic devices |
US20080197125A1 (en) * | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Applied Materials, Inc. | Substrate heating method and apparatus |
US8193472B2 (en) | 2007-03-23 | 2012-06-05 | Nihon Dennetsu Co., Ltd. | Susceptor |
JP5374715B2 (ja) | 2007-09-07 | 2013-12-25 | 日本電熱株式会社 | ラミネート装置、ラミネート装置用の熱板及びラミネート装置用の熱板の製造方法 |
JP5465373B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2014-04-09 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置 |
JP5095349B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2012-12-12 | 株式会社岡崎製作所 | 高温用シースヒータ |
KR100900001B1 (ko) * | 2008-08-13 | 2009-05-28 | 최기철 | 금속관 히터를 이용하는 전열 장치 |
CN201319673Y (zh) * | 2008-12-19 | 2009-09-30 | 镇江裕太防爆电加热器有限公司 | 高频电阻快速加热带 |
JP5592706B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2014-09-17 | 助川電気工業株式会社 | シースヒータのリード線接続端子 |
CN201766729U (zh) * | 2010-08-26 | 2011-03-16 | 王孝来 | 一种新型的碳纤维石英电热管 |
JP5854517B2 (ja) | 2010-11-17 | 2016-02-09 | 岡山県 | 新菌株、該新菌株を用いた根頭がんしゅ病防除剤及び/又は植物種子発芽率向上剤 |
JP2013098138A (ja) | 2011-11-04 | 2013-05-20 | Hongkong Tachibana Electronics Co Ltd | コード状発熱線装置 |
JP2013134851A (ja) | 2011-12-26 | 2013-07-08 | Hongkong Tachibana Electronics Co Ltd | コード状発熱線装置 |
US9113501B2 (en) * | 2012-05-25 | 2015-08-18 | Watlow Electric Manufacturing Company | Variable pitch resistance coil heater |
JP5951543B2 (ja) | 2013-03-28 | 2016-07-13 | ニチアス株式会社 | 金属発熱体および発熱構造体 |
JP2015069931A (ja) | 2013-09-30 | 2015-04-13 | ニチアス株式会社 | ジャケットヒータ |
US20150114949A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-04-30 | Sang Won Lee | Sheath Heater Capable of Reducing Electro-magnetic Wave |
GB2525182B (en) * | 2014-04-14 | 2018-10-03 | Norcros Group Holdings Ltd | An instantaneous electric water heater, a heat exchanger and an electric shower |
DE102015114886B4 (de) * | 2015-09-04 | 2022-05-12 | Türk & Hillinger GmbH | Verfahren zur Herstellung einer Heizvorrichtung für Fluide |
JP2018181586A (ja) | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 日本発條株式会社 | シースヒータ |
JP6902382B2 (ja) * | 2017-04-12 | 2021-07-14 | 日本発條株式会社 | ヒータユニット |
WO2019185291A1 (de) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | Leister Technologies Ag | Keramischer heizwiderstand, elektrisches heizelement sowie vorrichtung zur erwärmung eines fluides |
JP7096587B2 (ja) * | 2018-09-18 | 2022-07-06 | 新熱工業株式会社 | シーズヒータ |
JP2020064841A (ja) * | 2018-10-11 | 2020-04-23 | 日本発條株式会社 | ステージ、成膜装置、および膜加工装置 |
JP7272777B2 (ja) * | 2018-10-17 | 2023-05-12 | 日本発條株式会社 | ヒータ |
DE102019127691A1 (de) * | 2019-10-15 | 2021-04-15 | Türk & Hillinger GmbH | Elektrisches Heizelement, elektrische Heizvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Heizvorrichtung mit einem solchen Heizelement |
-
2017
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-
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2019
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5486756U (ja) * | 1977-12-01 | 1979-06-19 | ||
JPS54126146U (ja) * | 1978-02-22 | 1979-09-03 | ||
JPS5854577A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-31 | 株式会社東芝 | シ−ズヒ−タ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022209332A1 (ja) | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 日本発條株式会社 | シースヒータ及びそれを有する基板支持装置 |
KR20230147678A (ko) | 2021-03-31 | 2023-10-23 | 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 | 시스 히터 및 이를 갖는 기판 지지 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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