KR20230052635A - 진공 테이블 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 흡착면적이 가변되게 적어도 3개의 구역으로 분할된 테이블이 구비되고, 상기 테이블 하부에 승강축이 구비되어서 승강축의 위치에 따라 각 분할구역으로 진공압력이 공급되게 함으로써, 흡착면적을 쉽게 변경할 수 있으며 설치공간을 많이 차지하지 않는 진공 테이블에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 본체 내부 중앙에 하부실린더가 고정되고, 상기 하부실린더의 하부로드와 상부로드를 통하여 수직으로 대칭되게 연결되는 상부실린더가 구비되며; 상기 본체 상부에서 승강되는 승강축은 상기 상부실린더와 연결되고, 중앙에는 진공발생기와 연결되는 메인통로가 형성되며; 상기 본체 상부에 놓인 테이블은 적어도 3개의 구역으로 분할되어서 상기 승강축의 위치에 따라 상기 메인통로와 연결되어 개방되는 통로를 가지며, 각 구역마다 소재를 흡착하는 다수의 흡착홀이 구비되고; 상기 하부실린더와 상부실린더가 각 상기 상부로드 및 하부로드를 밀어내는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 상승되어 하나의 통로만 개방되고, 상기 하부실린더는 하부로드를 밀어내고 상기 상부로드는 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 상기 상부실린더 높이만큼 하강되어 두개의 통로가 개방되며, 상기 하부실린더 및 상부실린더가 하부로드 및 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 하강 하강되어 세개의 통로가 전부 개방되면서 상기 테이블의 각 구역에 진공압력이 선택적으로 제공되게 한 특징이 있다.

Description

진공 테이블{vacuum table}
본 발명은 진공 테이블에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 흡착면적이 가변되게 적어도 3개의 구역으로 분할된 테이블이 구비되고, 상기 테이블 하부에 승강축이 구비되어서 승강축의 위치에 따라 각 분할구역으로 진공압력이 공급되게 함으로써, 흡착면적을 쉽게 변경할 수 있는 진공 테이블에 관한 것이다.
일반적으로 얇은 필름이나 글래스 또는 반도체의 웨이퍼나 LCD패널 및 PDP 패널은 제조과정에서 이들 소재를 고정하여 절단하거나 또는 세정하는 공정들이 포함되며, 이러한 공정들에는 소재를 파손시키지 않고 단단히 고정시키기 위한 진공흡착 테이블이 사용된다. 이러한 진공테이블은 흡착구멍을 갖는 흡착면에 소재를 올려놓고 진공압력으로 소재를 고정시키는데, 소재 크기가 다양하기 때문에 테이블은 소재보다 크게 제작된다. 따라서 작은 소재를 흡착면에 올려놓으면 소재가 닿지 않는 노출된 흡착구멍으로 외기가 유입되어 진공펌프의 효율을 떨어지게 되는 문제점이 있었다.
이를 감안하여 종래 특허 제1117256호는 테이블몸체의 흡착면적이 피흡착물의 크기에 따라 가변되도록 한 것으로서, 테이블 흡착면의 제1면과 평행한 방향으로 직선왕복되는 제1차단부재, 흡착면의 제2면과 평행한 방향으로 직선왕복되는 제2차단부재 및 이들 차단부재들을 구동시키는 구동수단으로 구성된다.
그러나 종래 특허는 제1차단부재 및 제2차단부재가 테이블몸체의 제1면 또는 제2면을 돌출되기 때문에 설치공간을 많이 차지하는 단점이 있으며, 또한 이들 차단부재를 개별 구동시키는 구동수단이 각각 필요하므로 부품이 증가되는 등의 문제점이 있었다. 또한 흡착면의 제1면 및 제2면과 상기 차단부재들이 면접촉 방식으로 밀착되기 때문에 밀폐면적이 커져서 패킹 사용량이 증가되는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 종래의 문제점을 감안하여 개발한 것으로서, 본 발명의 목적은 흡착면적이 가변되게 적어도 3개의 구역으로 분할된 테이블이 구비되고, 상기 테이블 하부에 승강축이 구비되어서 승강축의 위치에 따라 각 분할구역으로 진공압력이 공급되게 함으로써, 흡착면적을 쉽게 변경할 수 있으며 설치공간을 많이 차지하지 않는 진공 테이블을 제공함에 있다.
이를 위하여 본 발명은 본체 내부 중앙에 하부실린더가 고정되고, 상기 하부실린더의 하부로드와 상부로드를 통하여 수직으로 대칭되게 연결되는 상부실린더가 구비되며; 상기 본체 상부에서 승강되는 승강축은 상기 상부실린더와 연결되고, 중앙에는 진공발생기와 연결되는 메인통로가 형성되며; 상기 본체 상부에 놓인 테이블은 적어도 3개의 구역으로 분할되어서 상기 승강축의 위치에 따라 상기 메인통로와 연결되어 개방되는 통로를 가지며, 각 구역마다 소재를 흡착하는 다수의 흡착홀이 구비되고; 상기 하부실린더와 상부실린더가 각 상기 상부로드 및 하부로드를 밀어내는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 상승되어 하나의 통로만 개방되고, 상기 하부실린더는 하부로드를 밀어내고 상기 상부로드는 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 상기 상부실린더 높이만큼 하강되어 두개의 통로가 개방되며, 상기 하부실린더 및 상부실린더가 하부로드 및 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 하강 하강되어 세개의 통로가 전부 개방되면서 상기 테이블의 각 구역에 진공압력이 선택적으로 제공되게 한 특징이 있다.
본 발명에 따르면 고정된 하부실린더와 자유단으로 구성되는 상부실린더가 서로 대칭되게 각 로드를 통하여 수직으로 연결된 상태에서 이들 실린더의 작동에 따라 상기 상부실린더의 높낮이가 변하게 되므로 상기 상부실린더에 결합된 승강축이 승강된다. 그리고 테이블에는 다수의 구역이 분리되어서 각 구역별로 흡착홀이 천공되므로 상기 승강축의 상승, 중립 및 하강위치에 따라 각 구역이 개방된다. 따라서 승강축의 승강에 따라 각 구역이 개방되므로 공간을 많이 차지하지 않으며, 또한 승강축과 이를 지지하는 축받이부 사이에 원형 패킹을 다단으로 설치하면 압력손실을 막을 수 있으므로 밀폐면적이 최소화되는 등의 이점이 있다.
도 1은 본 발명 한 실시예의 테이블의 사시도
도 2는 본 발명 한 실시예의 테이블의 분리 사시도
도 3 내지 도 5는 본 발명 한 실시예의 테이블의 작동상태도
도 6은 본 발명 한 실시예의 테이블의 평면도
도 1내지 도 6에서 본 발명 한 실시예의 진공테이블은 본체(10) 내부 중앙에 상부실린더(12)와 하부실린더(11)가 일직선상에 구비되고, 상기 하부실린더(11)의 로드(13)와 상부실린더(12)의 로드(14)는 연결구(15)를 통하여 연결된다. 그리고 상기 본체(10)의 상부로 돌출되는 승강축(20) 하단은 상부실린더(12)와 결합되며, 상기 본체(10) 상부에는 상기 돌출된 승강축(20)을 지지하는 축받이부(22)가 구비된다. 또한 상기 축받이부(22) 상단에는 받침대(30)를 통하여 테이블(40)이 놓인다. 상기 받침대(30)에는 제1구역(31), 제2구역(32) 및 제3구역(33)으로 분리된 다수의 공간이 형성되며 이들 구역(31)(32)(33)은 상기 테이블(40) 밑면과 통하게 받침대(30) 상부로 개방된다. 각 구역(31)(32)(33)은 “ㄷ”형으로 점차 확대되게 제2구역(32)은 제1구역(31)을 감싸며, 제3구역(33)은 제2구역(32)을 감싸는 형태이다.
그리고 상기 테이블(40)은 각 구역(31)(32)(33)으로 통하는 제1흡착홀(41), 제2흡착홀(42) 및 제3흡착홀(43)이 다수개 천공된다. 또한 상기 승강축(20)은 중앙에 메인통로(21)가 형성되어서 하단의 입구가 진공발생기와 연결되며, 상기 승강축(20)을 감싸는 축받이부(22)에는 상기 제1구역(31)과 통하는 제1통로(23), 제2구역(32)과 통하는 제2통로(24) 및 제3구역(33)과 통하는 제3통로(25)가 각각 형성된다. 상기 제1통로(23), 제2통로(24) 및 제3통로(25) 하단의 각 입구는 상기 축받이부(22)의 상측, 중간 및 하측에 서로 떨어져 구비되며, 상기 메인통로(21) 상단의 출구는 상기 승강축(20)의 승강 높이에 따라 각 상기 통로(23)(24)(25)의 입구와 연결된다. 또한 상기 축받이부(22) 내주연에는 상기 승강축(20) 외주연과 밀착되는 다수의 패킹(20a)이 다단으로 형성되어서 진공압력의 유출을 차단한다.
도 3은 상기 제1구역(31)에 진공압력이 작용하는 것으로서, 하부실린더(11) 및 상부실린더(12)가 각 하부로드(13) 및 상부로드(14)를 밀어내는 쪽으로 작동하면 하부로드(13)는 본체(10)에 고정된 상태이므로 자유단인 상부실린더(12)가 최대한 수직 상승되며, 이때 상부실린더(12)와 연결된 승강축(20)이 상승되어 제2통로(24) 및 제3통로(25) 하단의 입구는 막힌 상태로 되고, 메인통로(21) 상단의 출구는 제1통로(23) 하단의 입구와 연결되기 때문에 진공압력이 제1구역(31) 한 곳만 제공된다.
도 4는 상기 각 구역(31)(32)(33)에 진공압력이 작용하는 것으로서, 하부실린더(11) 및 상부실린더(12)는 각 하부로드(13) 및 상부로드(14)를 당기는 쪽으로 작동한다. 이때 하부실린더(11)는 본체(10)에 고정되기 때문에 자유단인 상부실린더(12)가 최대한 하강되고, 승강축(20)이 함께 하강되어 각 통로(23)(24)(25)가 개방된다. 따라서 메인통로(21) 상단의 출구는 제3통로(25) 하단의 입구와 통하게 되므로 각 통로(23)(24)(25)를 따라 해당 구역(31)(32)(33)에 진공압력이 제공된다.
도 5는 상기 제1구역(31) 및 제2구역(32)에 진공압력이 작용하는 것으로서, 상기 하부실린더(11)는 하부로드(13)를 밀어내는 쪽으로 작동하고, 상기 상부실린더(12)는 상부로드(14)를 당기는 쪽으로 작동한다. 이때 상기 상부로드(14)는 상기 하부로드(13)와 연결되어 움직이지 않으므로 자유단인 상기 상부실린더(12)가 하강되기 때문에 승강축(20)이 함께 하강되어 제1통로(23) 및 제2통로(24)가 개방된다. 따라서 메인통로(21)의 상단 출구는 제1통로(23) 및 제2통로(24)의 입구와 연결되어서 제1구역(31) 및 제2구역(32)으로 진공압력을 제공한다.
이처럼 구성된 본 발명 한 실시예의 진공테이블은 얇은 시트 형태 소재를 크기별로 테이블(40)에 밀착시킬 수 있으므로 압력손실이 적고 또한 승강축(20)의 수직이동에 따라 각 구역이 개방되기 때문에 구성이 간단한 이점이 있다. 이러한 본 발명 한 실시예의 작동과정은 다음과 같다. 먼저 도 3에 도시된 바와같이 하부실린더(11)는 본체(10)에 고정되고 자유단인 상부실린더(12)는 상부로드(14) 및 하부로드(13)를 통하여 상기 하부실린더(11)에 수직으로 연결된다. 따라서 상부실린더(12) 및 하부실린더(11)가 상부로드(14) 및 하부로드(13)를 밀어내면 상부로드(14) 및 하부로드(13)가 최대한 돌출되며, 결과적으로 상부실린더(12)는 하부실린더(11)에서 최대한 벌어진 상태가 된다. 이때 상부실린더(12)와 연결된 승강축(20)이 축받이부(22)를 따라 최대한 상승되며 이 과정에서 제2통로(24) 및 제3통로(25)는 그 입구가 막힌 상태가 되고, 제1통로(23)는 입구가 메인통로(21)의 출구와 통하게 된다. 따라서 진공압력이 제1구역(31)에 제공되므로 제1구역(31) 직상부의 제1흡착홀(41)로 공기가 빨려든다. 이때 제1흡착홀(41)을 덮는 작은 소재가 테이블(40)에 밀착되어 절단작업 또는 세척작업 등의 공정을 수행할 수 있다.
또한 도 4에서와 같이 하부실린더(11)는 하부로드(13)를 밀어내는 쪽으로 작용하고, 상부실린더(12)는 상부로드(14)를 당기는 쪽으로 작용하면 자유단인 상부실린더(12)는 상부로드(14)를 따라 하부실린더(11) 쪽으로 하강되며, 이때 제1통로(23) 및 제2통로(24)가 함께 개방된다. 따라서 진공압력이 제1통로(23) 및 제2통로(24)에 제공되므로 제1흡착홀(41) 및 제2흡착홀(42)을 덮는 중간크기 소재가 테이블(40)에 밀착된다.
그리고 도 5와 같이 하부실린더(11) 및 상부실린더(12)가 하부로드(13) 및 상부로드(14)를 당기는 쪽으로 작동하면 상부실린더(12)는 하부실린더(11)에 최대한 접근하게 되고, 이때 승강축(20)이 최대한 하강되면서 제1통로(23), 제2통로(24) 및 제3통로(25)가 모두 개방된다. 따라서 각 구역(31)(32)(33)으로 진공압력이 제공되므로 각 흡착홀(41)(42)(43)을 덮는 큰 소재가 테이블(40)에 밀착된다.
10 : 본체 11 : 하부실린더
12 : 상부실린더 13 : 하부로드
14 : 상부로드 20 : 승강축
21 : 메인통로 22 : 축받이부
23,24,25 : 통로 30 : 받침대
31,32,33 : 구역 40 : 테이블
41,42,43 : 흡착홀

Claims (3)

  1. 본체 내부 중앙에 하부실린더가 고정되고, 상기 하부실린더의 하부로드와 상부로드를 통하여 수직으로 대칭되게 연결되는 상부실린더가 구비되며;
    상기 본체 상부에서 승강되는 승강축은 상기 상부실린더와 연결되고, 중앙에는 진공발생기와 연결되는 메인통로가 형성되며;
    상기 본체 상부에 놓인 테이블은 적어도 3개의 구역으로 분할되어서 상기 승강축의 위치에 따라 상기 메인통로와 연결되어 개방되는 통로를 가지며, 각 구역마다 소재를 흡착하는 다수의 흡착홀이 구비되고;
    상기 하부실린더와 상부실린더가 각 상기 상부로드 및 하부로드를 밀어내는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 상승되어 하나의 통로만 개방되고, 상기 하부실린더는 하부로드를 밀어내고 상기 상부로드는 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 상기 상부실린더 높이만큼 하강되어 두개의 통로가 개방되며, 상기 하부실린더 및 상부실린더가 하부로드 및 상부로드를 당기는 쪽으로 작동되면 상기 승강축이 최대한 하강 하강되어 세개의 통로가 전부 개방되면서 상기 테이블의 각 구역에 진공압력이 선택적으로 제공되게 한 것을 특징으로 하는 진공테이블.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강축은 축받이부를 통하여 상기 본체에 구비되고;
    상기 축받이부는 각 상기 구역과 통하는 3개의 통로가 서로 떨어져 구비되어서 상기 승강축의 승강위치에 따라 각 상기 통로가 메인통로와 연결되어 개방되도록 한 것을 특징으로 하는 진공테이블.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 테이블을 받쳐주는 받침대가 구비되고;
    상기 받침대에는 각 상기 구역이 “ㄷ”형으로 감싸지게 방사상으로 형성되며;
    상기 테이블은 각 구역과 통하는 상기 흡착홀이 천공됨을 특징으로 하는 진공테이블.
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