KR20230010698A - 부품 조립용 씰 리테이너 및 흐름 제어 장치에 부품을 설치하는 방법 - Google Patents
부품 조립용 씰 리테이너 및 흐름 제어 장치에 부품을 설치하는 방법 Download PDFInfo
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Abstract
유체 흐름을 제어하는 장치는 반도체 제조용 공정 유체를 전달하기 위한 중요한 부품이다. 유체 흐름을 제어하기 위한 이러한 장치는 흐름 제어 장치 내에 단단히 포장된 다양한 유체 흐름 부품을 필요로 한다. 장치를 수리하려면 현장에 설치되는 장치의 근접 구역에 씰을 설치할 수 있는 특수 장비 및 방법이 필요한다. 씰 리테이너는 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 조립하는 동안 씰을 유지하는 데 사용할 수 있다.
Description
본 기술은 흐름 제어 장치의 부품 설치 위치에 씰 및 부품을 조립하는데 사용하기 위한 씰 리테이너에 관한 것이다.
<관련 출원에 대한 상호 참조>
본 출원은 2020년 5월 12일에 출원된 미국 가출원 63/023,742의 이익을 주장하며, 이 가출원은 그 전체 내용이 참조로 여기에 포함된다.
흐름 제어는 반도체 칩 제조의 핵심 기술 중 하나였다. 유체 흐름을 제어하는 장치는 반도체 제조 및 기타 산업 공정을 위한 공정 유체의 알려진 유속을 전달하는 데 중요하다. 이러한 장치는 다양한 응용 분야에서 유체의 흐름을 측정하고 정확하게 제어하는 데 사용된다. 이 제어는 최소한의 씰 누출을 가진 빠르고 안정적으로 조립되는 부품이 있는 장치에 의존한다.
칩 제조 기술이 향상됨에 따라 부품 크기가 감소하고 흐름 제어 장치에 대한 패키징 요구 사항이 엄격해졌다. 흐름 제어 장치의 유지 보수 및 수리에는 좁은 공간에 씰 및 부품을 설치하는 작업이 점점 더 많이 포함된다. 유지 보수의 속도와 용이성을 향상시키기 위해서는 개선된 방법과 장비가 요구된다.
본 기술은 흐름 제어 장치의 부품 설치 위치에 씰 및 부품을 조립하는데 사용하기 위한 씰 리테이너에 관한 것이다. 씰 리테이너 중 하나 이상이 단일 부품에 사용될 수 있고 흐름을 제어하기 위한 최종 장치는 반도체 칩 제조, 태양광 패널 제조 등과 같은 광범위한 공정에서 사용될 수 있다.
일 실시형태에서, 본 발명은 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법이다. 첫 번째 단계에서, 씰 조립체를 형성하기 위해 씰이 제1 씰 리테이너에 배치된다. 둘째, 씰 조립체는 유체 흐름 부품 상에 설치되어 제1 씰이 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동과 정렬되어 부품 조립체를 형성한다. 셋째, 부품 조립체는 흐름 제어 장치의 제1 기판 블록 위에 위치해서, 제1 씰이 제1 기판 블록의 제1 씰 공동과 정렬되고 제1 씰 리테이너의 일부가 제1 기판 블록과 유체 흐름 부품 사이에 위치된다. 넷째, 부품 조립체는 흐름 제어 장치에 부분적으로 고정되어 제1 씰이 제1 기판 블록의 제1 씰 공동 및 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동 각각의 내부에 적어도 부분적으로 배치된다. 다섯째, 제1 씰 리테이너가 후퇴되어 제1 씰 리테이너가 유체 흐름 부품으로부터 해제되고 제1 씰 리테이너의 일부가 제1 기판 블록과 유체 흐름 부품 사이로부터 제거된다. 여섯째, 흐름 제어 장치에 부품 조립체를 완전히 고정한다.
또 다른 구현에서, 본 발명은 반도체 또는 집적 회로를 제조하는 방법이다. 먼저, 상술한 방법에 따라 흐름 제어 장치의 유체 흐름 부품을 설치하여 유체 공급원에서 공정 챔버로 이어지는 유체 공급 라인을 완성한다. 둘째, 공정 챔버에서 하나 이상의 반도체 또는 집적 회로 웨이퍼와 접촉하기 위해 유체가 유체원으로부터 공정 챔버로 흐른다.
다른 구현에서, 본 발명은 씰을 유지하기 위한 씰 리테이너로서, 시트 본체를 갖는다. 시트 본체는 제1 축, 제1 축에 수직인 제2 축, 제1 부분 및 제2 부분을 갖는다. 제1 축은 제1 부분과 동일 평면상에 있고, 제1 부분은 제1 축의 방향으로 신장되고 제1 축을 따라 제2 축으로부터 연장된다. 제2 부분은 제2 축에서 연장되며 씰 유지 특징부를 가진다.
또 다른 구현예에서, 본 발명은 유체 흐름 부품 조립체로서, 유체 흐름 부품 조립체는 유체 흐름 부품, 정렬 특징부, 제1 씰 및 제1 씰 리테이너를 갖는다. 유체 흐름 부품은 제1 씰 공동을 가지고 있다. 정렬 특징부는 유체 흐름 부품과 접촉한다. 제1 씰은 제1 씰 공동과 맞물리도록 구성된다. 제1 씰 리테이너는 제1 씰 및 유체 흐름 부품의 정렬 특징부와 맞물리도록 구성된다. 제1 씰은 제1 씰 공동과 접촉하도록 제1 씰 리테이너에 조립된다.
다른 실시형태에서, 본 발명은 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법이다. 먼저 부품 조립체가 제1 기판 블록 위에 위치되고, 부품 조립체는 유체 흐름 부품, 제1 씰 리테이너, 및 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동과 정렬된 제1 씰 리테이너에 의해 유지되는 제1 씰을 포함한다. 부품 조립체는 제1 씰이 제1 기판 블록의 제1 씰 공동과 정렬되도록 제1 기판 블록 위에 위치된다. 둘째, 제1 씰 리테이너가 후퇴되어 제1 씰 리테이너가 유체 흐름 부품으로부터 해제되지만 제1 씰 및 유체 흐름 부품은 제자리에 유지된다. 셋째, 유체 흐름 부품은 제1 씰이 제1 기판 블록의 유로를 유체 흐름 부품의 유로에 기밀하게 밀봉하도록 흐름 제어 장치에 고정된다.
본 기술의 적용 가능성의 추가 영역은 이하 제공된 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 상세한 설명 및 특정 예는 바람직한 구현을 나타내지만 단지 예시를 위한 것이며 기술의 범위를 제한하려는 것이 아님을 이해해야 한다.
본 개시내용의 발명은 상세한 설명 및 첨부된 도면으로부터 더욱 완전히 이해될 것이다:
도 1은 흐름을 제어하기 위한 하나 이상의 장치를 사용하여 반도체 장치를 제조하기 위한 시스템의 개략도이다.
도 2는 도 1의 프로세스에서 사용될 수 있는 흐름을 제어하기 위한 복수의 장치를 포함하는 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 3은 하나의 유체 흐름 부품이 제거된 것을 보여주는, 도 2의 모듈의 사시도이다.
도 4a는 한 쌍의 기판 블록에 장착된 부품의 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 기판 블록들 중 하나 및 컴포넌트의 4B-4B선을 따른 단면도이다.
도 4c는 도 4a의 부품의 저면도이다.
도 4d는 도 4a의 기판 블록의 평면도이다.
도 5는 흐름을 제어하는 장치의 기판 블록과 유체 흐름 부품 사이에 씰을 설치하기 위한 씰 리테이너의 사시도이다.
도 6은 도 5의 씰 리테이너와 이 씰 리테이너에 설치된 씰을 포함하는 씰 조립체의 사시도이다.
도 7은 도 5의 씰 리테이너의 평면도이다.
도 8a는 2개의 씰 리테이너, 2개의 씰 및 흐름 제어 부품을 포함하는 부품 조립체의 일부의 하부 사시도이다.
도 8b는 도 8a의 부품 조립체의 사시도이다.
도 9a는 도 9a의 씰 리테이너의 일부의 평면도이다. 5.
도 9b는 취약 영역을 보여주는, 도 9a의 씰 리테이너 부분의 상세도이다.
도 9c는 유체 흐름 부품으로부터 씰 리테이너를 제거한 후 도 5의 씰 리테이너 부분의 사시도이다.
도 10은 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 11a는 누락된 유체 흐름 부품을 갖는 흐름 제어 장치를 도시하는 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 11b는 조립 준비중의 부품 조립체를 보여주는, 도 11a의 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 11c는 흐름 제어 장치에 부분적으로 고정된 부품 조립체를 보여주는, 도 11a의 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 11d는 씰 리테이너가 제거된 부품 조립체의 유체 흐름 부품을 보여주는, 도 11a의 흐름 제어 장치의 일부 상세도이다.
도 11e는 흐름 제어 장치에 완전히 고정된 유체 흐름 부품을 도시하는, 도 11a의 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 12는 씰 리테이너의 다른 실시형태를 도시하는 사시도이다.
모든 도면은 개략적이며 축척이 반드시 일치할 필요는 없다. 다른 도면에서 번호가 매겨지지 않은 것으로 나타날 수 있는 특정 도면에 번호가 매겨진 기능은 여기에서 달리 언급하지 않는 한 동일한 기능이다.
도 1은 흐름을 제어하기 위한 하나 이상의 장치를 사용하여 반도체 장치를 제조하기 위한 시스템의 개략도이다.
도 2는 도 1의 프로세스에서 사용될 수 있는 흐름을 제어하기 위한 복수의 장치를 포함하는 유체 전달 모듈의 사시도이다.
도 3은 하나의 유체 흐름 부품이 제거된 것을 보여주는, 도 2의 모듈의 사시도이다.
도 4a는 한 쌍의 기판 블록에 장착된 부품의 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 기판 블록들 중 하나 및 컴포넌트의 4B-4B선을 따른 단면도이다.
도 4c는 도 4a의 부품의 저면도이다.
도 4d는 도 4a의 기판 블록의 평면도이다.
도 5는 흐름을 제어하는 장치의 기판 블록과 유체 흐름 부품 사이에 씰을 설치하기 위한 씰 리테이너의 사시도이다.
도 6은 도 5의 씰 리테이너와 이 씰 리테이너에 설치된 씰을 포함하는 씰 조립체의 사시도이다.
도 7은 도 5의 씰 리테이너의 평면도이다.
도 8a는 2개의 씰 리테이너, 2개의 씰 및 흐름 제어 부품을 포함하는 부품 조립체의 일부의 하부 사시도이다.
도 8b는 도 8a의 부품 조립체의 사시도이다.
도 9a는 도 9a의 씰 리테이너의 일부의 평면도이다. 5.
도 9b는 취약 영역을 보여주는, 도 9a의 씰 리테이너 부분의 상세도이다.
도 9c는 유체 흐름 부품으로부터 씰 리테이너를 제거한 후 도 5의 씰 리테이너 부분의 사시도이다.
도 10은 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
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도 12는 씰 리테이너의 다른 실시형태를 도시하는 사시도이다.
모든 도면은 개략적이며 축척이 반드시 일치할 필요는 없다. 다른 도면에서 번호가 매겨지지 않은 것으로 나타날 수 있는 특정 도면에 번호가 매겨진 기능은 여기에서 달리 언급하지 않는 한 동일한 기능이다.
본 발명의 원리에 따른 예시적인 실시형태의 설명은 첨부된 도면과 관련하여 읽히도록 의도되며, 이는 전체 기재된 설명의 일부로 간주되어야 한다. 본 명세서에 개시된 본 발명의 실시형태의 설명에서, 방향 또는 배향에 대한 언급은 단지 설명의 편의를 위한 것이며 본 발명의 범위를 제한하려는 의도가 아니다. "하부", "상부", "수평의", "수직의", "상의", "하의", "위로", "아래로", "왼쪽", "오른쪽", "상부", "저부(바닥)"과 같은 상대적 용어 "뿐만 아니라 그의 파생어(예를 들어, "수평으로", "아래로", "위로" 등)는 논의 중인 도면에 도시된 바와 같이 설명된 방향을 지칭하는 것으로 해석되어야 한다. 이들 관련 용어는 단지 설명의 편의를 위한 것이며 명시적으로 표시되지 않는 한 장치가 특정 방향으로 구성되거나 작동될 것을 요구하지 않다. "부착된", "부착된", "연결된", "결합된", "상호 연결된" 및 이와 유사한 용어는 달리 명시되지 않는 한 구조가 개입 구조를 통해 직접적으로 또는 간접적으로 서로 고정되거나 부착되는 관계 및 움직일 수 있거나 단단한 부착물 또는 관계를 의미한다. 또한, 본 발명의 특징 및 이점은 바람직한 실시형태를 참조하여 예시된다. 따라서, 본 발명은 단독으로 또는 다른 특징 조합으로 존재할 수 있는 특징의 일부 가능한 비제한적 조합을 예시하는 이러한 바람직한 실시형태에 명시적으로 제한되어서는 안 된다. 본 발명의 범위는 여기에 첨부된 청구범위에 의해 정의된다.
본 발명은 흐름 제어 장치를 형성하기 위해 유체 흐름 부품을 설치하는데 사용하기 위한 씰 리테이너에 관한 것이다. 반도체 제조는 유체 흐름 제어에서 고성능을 요구하는 산업 중 하나이다. 반도체 제조 기술이 발전함에 따라 고객은 공간 요구 사항이 감소된 흐름 제어 장치의 필요성을 인식했다. 따라서 흐름 제어 장치의 패키징이 그 어느 때보다 밀도가 높아짐에 따라 흐름 제어 장비의 서비스 및 유지 관리가 점점 더 어려워졌다. 본 발명은 흐름 제어 장치 내에서 흐름 제어 부품의 효율적인 조립을 용이하게 한다.
도 1은 예시적인 처리 시스템(1000)의 개략도를 도시한다. 처리 시스템(1000)은 처리 챔버(1300)에 유체적으로 결합된 복수의 흐름 제어 장치(100)를 이용할 수 있다. 하나 이상의 상이한 공정 유체를 처리 챔버(1300)에 공급하기 위해 복수의 흐름 제어 장치(100)을 사용한다. 유체는 복수의 유체 공급원 또는 유체 공급원에 의해 제공된다. 집합적으로, 복수의 흐름 제어 장치(100)는 유체 전달 모듈(1400)에 속한다. 선택적으로, 하나 이상의 유체 전달 모듈(1400)이 처리 시스템(100)에서 이용될 수 있다. 복수의 흐름 제어 장치(100)는 배출 매니폴드(400)에 의해 처리 챔버(1300)에 연결된다. 반도체 및 집적 회로와 같은 물품은 처리 챔버(1300) 내에서 처리될 수 있다.
밸브(1100)는 흐름 제어 장치(100) 각각을 처리 챔버(1300)로부터 격리시켜, 흐름 제어 장치(100) 각각이 처리 챔버(1300)로부터 선택적으로 연결되거나 격리되는 것을 가능하게 하여 매우 다양한 상이한 처리 단계를 용이하게 한다. 처리 챔버(1300)는 복수의 흐름 제어 장치(100)에 의해 전달되는 처리 유체를 도포하기 위한 어플리케이터를 포함할 수 있고, 복수의 흐름 제어 장치(100)에 의해 공급되는 유체의 선택적 또는 확산 분배를 가능하게 한다. 선택적으로, 처리 챔버(1300)는 진공 챔버이거나 복수의 흐름 제어 장치(100)에 의해 공급되는 유체에 물품을 담그기 위한 탱크 또는 배스일 수 있다. 유체 공급 라인은 각각의 유체 공급 장치로부터 처리 챔버(1300)로의 흐름 경로에 의해 형성된다.
또한, 처리 시스템(1000)은 밸브(1100)에 의해 처리 챔버(1300)로부터 격리되어 공정 유체의 배출을 가능하게 하거나 스위칭을 가능하게 하기 위해 하나 이상의 흐름 제어 장치(100)의 퍼징을 용이하게 하는 배출구(1200)를 더 포함할 수 있다. 선택적으로, 배출구(1200)는 진공 소스일 수 있거나 처리 챔버(1300)로부터 액체를 제거하도록 구성된 액체 배출구일 수 있다. 선택적으로, 흐름 제어 장치(100)는 흐름 컨트롤러, 흐름 분할기 또는 처리 시스템에서 공정 유체의 흐름을 제어하는 기타 장치일 수 있다. 또한, 밸브(1100)는 원하는 경우 흐름 제어 장치(100)에 통합될 수 있다.
처리 시스템(1000)에서 수행될 수 있는 프로세스는 습식 세정, 포토리소그래피, 이온 주입, 건식 에칭, 원자층 에칭, 습식 에칭, 플라즈마 애싱, 급속 열 어닐링, 퍼니스 어닐링, 열 산화, 화학 기상 증착, 원자층 증착, 물리적 기상 증착, 분자 빔 에피택시, 레이저 리프트 오프, 전기화학 증착, 화학적 기계적 연마, 웨이퍼 테스트, 전기 도금 또는 유체를 이용하는 기타 프로세스를 포함할 수 있다.
도 2 및 도 3은 예시적인 유체 전달 모듈(1400)의 개략도를 도시한다. 이 실시형태에서, 유체 전달 모듈(1400)은 복수의 유입구(101) 및 복수의 유출구(102)를 갖는 복수의 흐름 제어 장치(100)를 갖는다. 일부 실시형태에서, 복수의 유입구(101)와 복수의 유출구(102)는 일대일로 대응되지 않는다. 대신에, 복수의 유입구(101)가 단일 유출구(102)로 결합될 수 있고 단일 유입구(101)가 복수의 유출구(102)로 분할될 수 있다. 이것은 상이한 유체를 처리 챔버(1300)에 제공하기 전에 이들의 혼합 또는 조합을 달성하기 위해 행해질 수 있다.
알 수 있는 바와 같이, 각각의 흐름 제어 장치(100)는 일반적으로 일렬로 배열되며, 복수의 장치(100)는 평행한 열로 배열된다. 반드시 그럴 필요는 없으며 임의의 패키징 구성을 사용할 수 있다. 유체 전달 모듈(1400)은 기판 패널(1402)을 갖는다. 기판 패널(1402)은 유체 전달 모듈(1400)을 위한 구조적 지지 역할을 하지만, 단순히 조립을 용이하게 하기 위해 사용될 수 있다. 다른 구조적 지원 구성이 고려된다. 복수의 기판 블록(104)은 기판 패널(1402) 상에 놓이고, 아래에서 더 상세히 논의되는 바와 같이 대응하는 유체 포트를 갖는 하나 이상의 유체 흐름 부품(200)으로 흐름을 전도하기 위해 내부에 유체 포트를 포함한다. 유체 흐름 부품(200)은 능동(active) 부품으로 간주될 수 있는 반면, 기판 블록(104)은 수동(passive) 부품으로 간주될 수 있다. 유체 흐름 부품(200)은 하나 이상의 밸브, 흐름 제어기, 압력 변환기, 흐름 측정 센서, 압력 조절기, 흐름 제한기 또는 작동기, 또는 임의의 다른 알려진 흐름 제어 부품일 수 있다.
도 2를 도 3과 비교함으로써 알 수 있는 바와 같이, 유체 흐름 부품(200)은 도 3의 유체 전달 모듈(1400)로부터 제거된다. 유체 흐름 부품(200)의 제거는 2개의 기판 블록(104)의 일부를 노출시킨다. 부품 설치 위치(106)는 2개의 기판 블록(104)의 일부에 의해 형성된다. 부품 설치 위치(106)는 부품 설치 위치(106)에 장착되는 부품(200)의 치수에 따라서 다른 치수를 가질 수 있다. 따라서, 상이한 부품 설치 위치(106)은 동일한 기판 블록(104)의 상이한 부분을 포함할 수 있다. 각각의 및 모든 부품(200)은 유체 전달 모듈(1400)에 부품 설치 위치(106)를 갖는다.
도 4a-d에는 유체 전달 모듈(1400)의 일부가 도시되어 있다. 구체적으로, 유체 흐름 부품(200)은 부품 설치 위치(106)를 형성하는 한 쌍의 기판 블록(104)에 장착된 것으로 도시되어 있다. 부품(200)는 정렬 특징부(250)를 통해 기판 블록(104)에 장착된다. 정렬 특징부(250)는 또한 패스너로서 지칭될 수 있으며, 정렬 특징부와 패스너로서 모두 활용될 수 있다. 정렬 특징부(250)는 볼트, 나사, 핀 또는 다른 공지된 체결 장치와 같은 체결구일 수 있다. 그러나, 다른 실시형태에서, 정렬 특징부(250)는 패스너와 분리될 수 있다. 예를 들어, 다웰 핀(dowel pin) 또는 다른 핀이 유체 흐름 부품(200)을 기판 블록(104)에 정렬하는 데 사용될 수 있다. 그런 다음, 유체 흐름 부품(200)를 기판 블록(104)에 고정하기 위해 별도의 패스너가 사용될 수 있다. 도 4a-d에서, 정렬 특징부(250)는 기판 블록(104)을 통해 연장된다.
도 4a-d에는 도시되어 있지 않지만. 기판 패널(1402)은 정렬 특징부(250)를 수용하는 나사산이 있거나 나사산 삽입물(threaded insert)을 갖는다. 따라서, 정렬 특징부(250)는 유체 흐름 부품(200)에서의 패스너 통로(208), 기판 블록(104)에서의 패스너 통로를 통해 연장되고, 기판 패널(1402)의 나사형 개구 또는 다른 특징부로 설치된다. 정렬 특징부(250)는 대략적인 정렬을 위한 것이지만 정밀한 정렬은 다른 기하학적 구조에 의해 제공된다. 따라서, 패스너 통로(108, 208)는 정렬 특징부(250)에 정확하게 맞춰질 필요가 없다. 대안적인 실시형태에서, 정렬 특징부(250)는 패스너 통로(108) 내의 나사형 개구 또는 삽입물을 통해 기판 블록(104)에 직접 설치할 수 있다. 이들 실시형태에서, 기판 블록(104)은 추가 패스너를 통해 기판 패널(1402)에 별도로 부착될 수 있다. 다른 실시형태에서, 정렬 특징부(250)는 기판 패널(1402) 아래에 있는 지지체 또는 다른 부품에 설치될 수 있다.
도 4b에 가장 잘 도시된 바와 같이, 씰(300)은 유체 흐름 부품(200)과 기판 블록(104) 사이에 위치된다. 씰(300)은 원통형 외부 표면(304)을 갖는 환형 씰이다. 씰(300)은 또한 유체의 통과를 허용하는 중심을 통과하는 유로(300)를 가진다. 씰(300)은 유체 흐름 부품(200)의 유체 포트(210)와 기판 블록(104)의 유체 포트(110) 사이에 기밀 씰을 제공한다. 기판 블록(104)의 유체 포트(110) 각각은 씰 공동(116)을 포함한다. 유체 흐름 부품(200)의 각각의 유체 포트(210)는 씰 공동(216)을 포함한다. 기판 블록(104)의 각각의 유체 포트(110)는 씰 공동(116)을 포함한다.
도 4c에 가장 잘 도시된 바와 같이, 유체 흐름 부품(200)는 하나의 유체 포트(210)가 유입구이고 다른 하나가 유출구인 2개의 유체 포트(210)를 포함하는 장착 표면(214)을 포함한다. 유체 유로(212)는 하나의 유체 포트(210)에서 다른 유체 포트(210)로 연장된다. 유사하게, 도 4d에서, 기판 블록(104)은 각각 2개의 유체 포트(110)를 포함하는 장착 표면(114)을 포함하는 것을 볼 수 있다. 유체 유로(112)는 하나의 유체 포트(110)에서 다른 유체 포트(110)로 연장된다. 도 4b로 돌아가서, 씰(300)이 유체 흐름 부품(200)와 기판 블록(104) 사이에 설치될 때, 장착 표면(214, 114) 사이에 거리(d)가 있음을 알 수 있다. 따라서, 씰(300)은 유체 흐름 부품(200)와 기판 블록(104) 사이에서 압축된다. 씰(300)은 유체 흐름 부품(200)의 씰 공동(216)과 기판 블록의 씰 공동(116)에 끼워진다. 조립하는 동안, 장착 표면(114, 214)은 정렬 특징부(250)에 의해 서로 더 가까워져 장착 표면(114, 214) 사이의 거리(d)를 감소시킨다.
도 5-7을 참조하면, 씰 리테이너(500)가 도시되어 있다. 씰 리테이너는 시트 본체(510)로 형성된다. 시트 본체(510)는 시트 금속, 금속 호일, 플라스틱 필름 등과 같은 임의의 시트 재료로 형성될 수 있다. 특히, 시트 본체(510)는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 마일라(Mylar), 퍼플루오로알콕시 알칸, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리비닐리덴 플루오라이드, 폴리이미드, 폴리프로필렌 또는 불소화 에틸렌 프로필렌 중 하나 이상으로 형성될 수 있다. 시트 본체(510)는 0.013mm, 0.010mm, 0.016mm 또는 임의의 다른 두께의 두께를 가질 수 있다. 아래에서 더 자세히 논의되는 바와 같이, 시트 본체(510)의 재료 특성 및 다른 양태는 최적의 두께를 지시할 것이다. 모든 구현예에서, 시트 본체(510)는 가요성이어서 씰 리테이너(500)가 사용 중에 휘어질 수 있다. 시트 본체(510)는 씰(300)을 수용하기 위해 구부러질 것이고 부품(200) 주위에서 구부러지기 위해 구부러질 것이다.
씰 리테이너(500)는 길이방향축 A-A 및 횡축 B-B를 포함한다. 일부 실시형태에서, 길이방향축 A-A 및 횡축 B-B는 수직이지만, 다른 실시형태에서 그들은 90도 이외의 각도로 기울어질 수 있다. 씰 리테이너(500)가 편평한 상태에 있을 때, 씰 리테이너(500)는 길이방향축 A-A를 따라 연장되고, 씰 리테이너(500)는 길이방향축 방향으로 세장형이다. 씰 리테이너(500)는 길이방향축 A-A를 따른 길이와 횡축 B-B를 따른 폭을 가지며, 폭은 길이보다 작다. 씰 리테이너(500)는 주연부 에지(512)를 더 포함하고, 주연부 에지(512)는 시트 본체(510)의 외부 에지 주위로 연장된다.
씰 리테이너(500)는 또한 제1 부분(520) 및 제2 부분(530)을 포함한다. 제1 부분(520)은 제1 에지(525), 제1 에지(525) 반대편의 제2 에지(526), 제3 에지(527) 및 제3 에지(527) 반대편의 제4 에지(528)에 의해 형성되고, 제4 에지(528)는 횡축 B-B와 동일선상에 있다. 시트 본체(510)는 또한 횡축 B-B와 동일 선상에 있는 접힘선(514)을 포함한다. 따라서, 접힘선(514)은 제4 에지(528)와 동일선상에 있다. 제2 부분(530)은 접힘선(514) 및 시트 본체(10)의 주변 에지(512)의 나머지 부분에 의해 정의된다. 따라서, 제2 부분(530)은 제1 부분(520)으로부터 횡축B-B의 반대측에 있는 부분이다. 시트 본체(510)가 횡축 B-B에 대해 깨끗하게 접히도록 접힘선(514)은 천공되거나, 새겨지거나, 홈이 파여지거나, 그렇지 않으면 변경될 수 있다. 그러나, 다른 실시형태에서 접힘선(514)은 시트 본체(510)에 형성되는 추가적인 굽힘 보조물 없이 형성될 수 있다.
제1 부분(520)은 또한 파지(gripping) 특징부를 형성하는 복수의 원형 개구(522)을 포함한다. 원형 개구(522)는 도구가 원형 개구(522)에 삽입되고 씰 리테이너(500)의 제1 부분(520)을 당기기 위한 핸들로서 사용될 수 있도록 일렬로 배열된다. 임의로, 원형 개구(522)는 축 A-A에 대해 대칭이다. 원형 개구는 3개보다 적거나 많을 수 있다.
제2 파지 특징부는 한 쌍의 세장형 개구(524)에 의해 형성되며, 세장형 개구(524)는 길이방향축 A-A를 따르고 길이방향축 A-A에 대해 대칭이다. 제2 파지 특징부는 원위 에지(521)를 갖는 탭 부분(529)을 포함한다. 시트 본체(510)는 취약 영역(523)에 의해 탭 부분(529)의 원위 에지(521)에 결합되는 내부 에지(516)를 포함한다. 취약 영역(523)은 일부 방식으로 탭 부분(529)에 연결된 상태로 유지되는 원위 에지(521)의 영역일 수 있다. 예를 들어, 이는 홈이 파여 있거나, 잘리거나, 개구가 뚫려 있을 수 있다. 다시 말하면, 원위 에지(521)는 내부 에지(516)에 연결되지만 취약 영역(523)의 파손을 허용하기 위해 연결이 의도적으로 약해진다. 취약 영역(523)은 예비 약화(pre-weakened) 구역 또는 예비 약화 영역으로도 알려질 수 있다. 탭 부분(529)은 사용자가 세장형 개구(524) 사이의 제1 부분(520)에 손가락을 삽입할 수 있도록 제1 부분(520)으로부터 위쪽으로 접힐 수 있다. 이것은 제1 부분(520)을 당기는 데 사용될 수 있다. 파지 특징부에 대해서는 아래에서 자세히 설명한다.
제2 부분(530)은 위에서 논의된 편평한 상태에서 접힌 상태로 전이될 수 있다. 평평한 상태에서 제1 부분(520)은 제1 평면을 형성하고, 제2 부분(530)은 제2 평면을 형성한다. 첫 번째 및 두 번째 평면 표면은 각각 동일 평면에 있다. 즉, 이들은 둘 다 동일한 평면을 점유하고 단일 평면 표면을 형성한다. 편평한 상태에서, 제1 부분(520)은 길이방향축 A-A와 일치한다. 편평한 상태에서, 제2 부분(530)도 길이방향축과 일치한다. 접힌 상태에서, 제2 부분(530)은 접힘선(514)을 따라 횡축 B-B에 대해 구부러진다. 따라서, 제2 부분(530) 및 (그 대응하는 제2 평면 표면)은 더 이상 제1 부분(520)의 제1 평면과 동일 평면이 아니다. 제2 부분(530)은 임의의 각도로 기울어질 수 있지만, 가장 바람직 하게는 제1 부분(520)에 대해 대략 90도로 기울어진다. 제2 부분(530)은 접힘선(514)에서 횡축 B-B를 중심으로 회전한다.
제2 부분(530)은 씰(300)를 수용하도록 구성된 씰 개구(532)를 포함한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 씰(300)는 씰 개구(532) 내에 끼워 맞춰져 씰(300)이 씰 개구(532)에 의해 유지된다. 조립체(540)는 씰 리테이너(500)를 갖는 씰(300)의 조립에 의해 형성되며, 씰(300)은 씰 개구(532)로 조립된다. 도시된 바와 같이, 씰 개구(532)는 원형이고 씰(300)의 원통형 외부 표면(304)과 맞물린다. 씰 개구(532)는 씰 개구(532)에서 씰(300)의 이동을 방지하기 위해 원통형 외부 표면(304)과 끼워맞춰지도록(interference fit) 크기가 조정되는 것이 바람직하다. 그러나, 씰 개구(532)에 대해 다른 기하학적 구조가 고려된다.
씰 개구(532)에 인접하여, 취약 영역(534)이 씰 개구(532)와 시트 본체(510)의 주변 에지(512) 사이에 위치된다. 취약 영역(523)에 대해 전술한 바와 같이, 취약 영역(534)에서 시트 본체(510)의 파손을 촉진하기 위해 취약 영역(534)는 천공, 홈 형성, 스코어링 또는 그렇지 않으면 약화된다. 취약 영역(534)은 예비 약화 구역 또는 예비 약화 영역으로도 알려질 수 있다. 취약 영역(534)은 아래에서 더 자세히 논의될 것이다.
제2 부분(530)은 한 쌍의 패스너 결합 특징부(536)를 더 포함한다. 패스너 결합 특징부(536)는 반원형 패스너 결합 특징부(536)의 직경보다 작은 폭을 갖는 진입 슬롯(538)을 갖는 구성에서 반원형이다. 대안적인 구성에서, 진입 슬롯(538)은 취약 영역 또는 다른 특징으로 대체될 수 있다. 패스너 결합 특징부(536)는 반원형일 필요는 없으며 필요에 따라 다른 형상을 가질 수 있다. 패스너 결합 특징부(536)는 정렬 특징부(250)와 맞물리도록 구성되며 정렬 특징부(250)와 동일한 직경 또는 일반적인 치수일 수 있다. 대안적으로, 이들은 끼워맞춰지거나, 또는 패스너 결합 특징부(536) 및 정렬 특징부(250) 간에 약간의 간극을 가질 수 있다.
도 8a 및 8b를 참조하면, 부품 조립체(550)가 도시되어 있다. 부품 조립체(550)는 유체 흐름 부품(200), 복수의 정렬 특징부(250) 및 2개의 씰 조립체(540)를 포함한다. 도 8a에서, 씰 조립체(540)는 유체 흐름 부품(200)에 아직 완전히 조립되지 않았다. 부품(200)의 씰 공동(216)은 여전히 노출되어 있고, 씰(300)는 씰 공동(216)으로부터 이격되어 있다. 패스너 결합 특징부(536)는 씰 리테이너의 제1 부분(520)이 유체 흐름 부품(200)의 반대편에 위치하도록, 정렬 특징부(250)와 맞물린다. 도 8b에서, 씰 조립체(540)는 씰(300)이 씰 공동(216) 내로 적어도 부분적으로 삽입되도록 유체 흐름 부품(200)에 완전히 조립된다. 패스너 결합 특징부(536)는, 씰 공동(216)과 접촉하는 씰(300)의 보유(retention)를 용이하게 하기 위해, 정렬 특징부(250)와 맞물린 상태로 유지된다.
도 9a 및 도 9b는 씰 리테이너(500)의 일부의 상세도를 도시한다. 특히, 제2 부분(530)은 도 9a에 상세하게 도시된다. 알 수 있는 바와 같이, 취약 영역(534)은 씰 개구(532)에 인접해 있다. 취약 영역(534)은 도 9b에 더 상세히 도시되어 있다. 명백한 바와 같이, 씰 개구(532)는 취약 영역(534)의 일측에 위치한다. 시트 본체(510)의 주변 에지(512)는 취약 영역(534)의 반대측에 위치한다. 취약 영역(534)은 한 쌍의 슬롯(535) 및 파단되지 않은 섹션(537)을 포함한다. 슬롯(535) 중 제1 슬롯은 씰 개구(532)의 가장자리로부터 연장되는 반면, 슬롯(535) 중 제2 슬롯은 시트 본체(510)의 둘레 가장자리(512)로부터 연장된다. 파단되지 않은 섹션(537)은 슬롯들(535) 사이에 위치한다.
따라서, 취약 영역(534)은, 사용자가 씰 리테이너(500)의 제1 부분(520)을 당길 때 슬롯(535)에 인접한 응력 집중을 증가시키고 깨끗하고 용이한 파손을 보장함으로써 파손되지 않은 부분(537)을 찢도록 구성된다. 파손된 씰 리테이너를 도 9c에 나타낸다. 위에서 언급한 바와 같이, 홈, 슬롯, 천공, 개구 또는 임의의 다른 알려진 수단을 사용하여 취약 영역(534)을 선택적으로 약화시킬 수 있다. 다중 기술의 조합을 사용하여 취약 영역의 원하는 영역 내에서 파괴를 촉진할 수도 있다. 취약 영역(534)의 특징부의 디자인은 파괴력을 제어하는 데에도 사용될 수 있다. 이는 시트 본체(510)의 재료 및 두께와 같은 매개변수와 조합하여 필요한 힘을 면밀히 제어할 수 있게 한다.
도 10은 흐름 제어 장치(100)에 유체 흐름 부품(200)를 설치하는 단계를 예시하는 흐름도를 도시한다. 먼저, 사용자는 씰 리테이너(500)에 씰(300)을 위치시킨다. 특히, 씰(300)은 씰 개구(532)내로 삽입되어서 씰 개구(532)가 원통형 외부 표면(304)의 대략 중간에 위치하도록 한다. 이 조립 단계는 씰 조립체(540)를 형성한다. 씰 리테이너(500)는 씰 개구(532)로의 씰의 삽입 전 또는 후에 접힘선(514)을 따라 접힐 수 있지만, 씰(300)을 삽입하기 전에 접히는 것이 바람직하다.
둘째, 씰 조립체(540)는 유체 흐름 부품(200) 상에 위치된다. 씰 조립체(540)는 씰(300)이 유체 흐름 부품(200)의 씰 공동(216)와 맞물리도록 위치된다. 씰 리테이너(500)는, 유체 흐름 부품(200)의 특징부(250)가 씰 리테이너(500)의 제2 부분(530)의 패스너 결합 특징부(536)와 맞물리도록 배치된다. 정렬 특징부(250)는 씰 조립체를 유체 흐름 부품(200)에 조립하기 전에 유체 흐름 부품(200)의 패스너 통로(208)에 삽입된다. 씰 리테이너(500)의 제1 부분(520)은 유체 흐름 부품(200)의 측면을 따라 연장되는 반면, 제2 부분(530)은 유체 흐름 부품(200)의 장착 표면(216)에 대략 평행하게 위치된다. 부품 조립체(550)는, 씰 조립체(540), 유체 흐름 부품(200) 및 정렬 특징부(250)의 조합에 의해, 형성된다. 선택적으로, 정렬 특징부(250)는 유체 흐름 부품(200)의 일부로서 고려되거나, 부품 조립체(550)의 일부를 형성하는 별도의 부품으로 고려될 수 있다. 그럼에도 불구하고 완성된 부품 조립체(550)는 적어도 하나의 정렬 특징부(250)를 포함한다.
셋째, 유체 흐름 부품(200)은 부품 설치 위치(106) 위에 위치된다. 따라서, 유체 흐름 부품(200)는 적어도 하나의 기판 블록(104) 위에 놓인다. 씰(300)은 기판 블록(104)의 씰 공동(116)과 접촉하도록 배치된다. 따라서, 씰(300)은 기판 블록(104)의 씰 공동(116) 및 유체 흐름 부품(200)의 씰 공동(216)과 정렬된다. 부품 설치 위치(106) 위에 유체 흐름 부품(200)를 배치하는 데 있어서, 정렬 특징부(250)는 패스너 통로(108)에 삽입된다. 이 실시형태에서, 정렬 특징부(250)는 볼트이고, 볼트는 씰 리테이너(500)를 유지하면서 유체 흐름 부품(200)와 기판 블록(104)의 정렬을 용이하게 한다. 이로써, 씰(300)은 유체 흐름 부품(200)을 배치하는 중에, 씰 공동(216)와 접촉 상태를 유지한다. 그러나, 씰(300)은 반드시 이 단계 또는 이전 단계에서 씰 공동(216) 또는 씰 공동(116) 내로 완전히 삽입될 필요는 없다. 씰(300)을 적절하게 안착시키고 유체 유로(112, 212, 302)의 기밀 씰을 보장하기 위해 추가적인 고정(fastening)이 필요하다.
넷째, 본 실시형태에서는 볼트인 정렬 특징부(250)가 부분적으로 설치된다. 따라서, 정렬 특징부는 또한 씰(300)을 압축하는 패스너 역할을 한다. 정렬 특징부(250)는 손가락으로 조이거나 지정된 최대 토크보다 작은 토크로 설치될 수 있다. 유체 흐름 부품(200)와 기판 블록(104) 사이에서 씰 리테이너(500)가 끼이는 것을 방지하기 위해 부분적인 고정이 필수적이다.
다섯째, 씰 리테이너(500)를 후퇴시킨다(retract). 사용자는 원형 개구(522), 세장형 개구(524) 및 탭 부분(529) 또는 심지어 제1 부분(520) 자체와 같은 파지 특징부를 이용한다. 사용자는 씰 개구(532)에 인접한 취약 영역(534)을 파괴하기 위해 제1 부분(520)에 철회력(retraction force)을 가한다. 씰 리테이너(500)는, 이것이 후퇴된 후, 유체 흐름 부품(200)과 기판 블록(100) 사이에 씰 리테이너(500)의 어떤 부분도 남지 않도록 제거될 수 있다.
여섯째, 정렬 특징부(250)(이 경우 볼트)는 토크 사양으로 토크된다. 대체의(나사가 없는) 체결 수단이 사용되면, 이 대체 체결 수단의 패스너는 기판 블록(104)과 유체 흐름 부품(200) 사이에 의도된 클램핑력을 제공하도록 설치될 것이다. 따라서, 씰(300)이 각각의 씰 공동(116, 216)에 완전히 안착되고 유체 유로(112, 212, 302) 사이에 밀폐 씰이 형성된다. 선택적으로, 이 프로세스는 둘 이상의 씰 조립체(540)가 형성되어 유체 흐름 부품(200) 상에 설치되도록 병렬적으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 유체 흐름 부품(200)이 2개의 유체 포트(210)를 갖는 경우, 프로세스는 병렬적으로 2회 수행될 것이다. 유체 흐름 부품(200)이 3개의 유체 포트(210)를 갖는 경우, 프로세스는 병렬적으로 3회 이상 수행될 것이다. 유체 공급부로부터 처리 챔버(1300)로의 유로를 완성하기 위해, 각각의 및 모든 유체 포트(210)는 기판 블록(104)의 유체 포트(110) 또는 부품 또는 외부 장치에 연결되는 도관에 기밀 밀봉되어야 한다.
도 11a-e에는, 조립 방법이 보다 상세하게 도시되어 있다. 전달 모듈(1400)의 다른 실시형태는 2개의 흐름 제어 장치(100)가 병렬로 배열된 것으로 도시되어 있다. 도 11a에서, 흐름 제어 장치(100) 중 하나는, 부품 설치 위치(106)에 유체 흐름 부품이 누락되어, 불완전하다. 알 수 있는 바와 같이, 부품 설치 위치(106)의 2개의 기판 블록(104)은 노출된 유체 포트(110)를 갖고 씰 공동(116)에는 씰(300)이 없다. 따라서, 부품 설치 위치(106)는 유체 흐름 부품(200)의 설치를 위해 준비된다.
도 11b에서, 부품 설치 위치(106) 위에 위치된 부품 조립체(550)가 도시되어 있다. 전술한 바와 같이, 부품 조립체(550)는 2개의 씰 조립체(540), 복수의 정렬 특징부(250) 및 유체 흐름 부품(200)를 포함한다. 도 11c에서, 부품 조립체(550)는 씰 공동(116, 216)이 씰(300)과 정렬되도록 부품 설치 위치(106) 위에 위치된다. 정렬 특징부(250)는 부분적으로 고정된다. 도 11d를 참조하면, 씰 리테이너(500)가 후퇴된 부품 조립체(550)의 상세도가 도시되어 있다. 알 수 있는 바와 같이, 유체 흐름 부품(200)은 유체 흐름 부품(200)가 아직 완전히 고정되지 않았기 때문에, 어느 한 쪽에서 유체 흐름 부품(200)보다 약간 더 높다. 마지막으로, 도 11e에서, 유체 흐름 부품(200)은 정렬 특징부(250)를 통해 완전히 고정된다. 씰(300)은 완전히 압축되고 기밀 씰이 제공되어 흐름 제어 장치(100)의 누출 없는 작동을 보장한다.
도 12를 참조하면, 대안적인 씰 리테이너(600)가 도시되어 있다. 씰 리테이너(600)는 주변 에지(612)를 갖는 시트 본체(610)를 갖는다. 길이방향축 A-A는 씰 리테이너(600)의 길이를 따라 연장되는 반면, 횡축 B-B는 접힘선(614)을 따라 연장된다. 제1 부분(620)은 충분히 길어서, 사용자는 부품 조립체(550)의 조립 후에 씰 리테이너(600)를 후퇴시킬 수 있도록 제1 부분을 잡을 수 있다. 제2 부분(630)은 씰 개구(632)를 갖는다. 그러나, 주변 에지(612)와 씰 개구(632) 사이에는 취약 영역이 없다. 대신에, 패스너 결합 특징부(636)는 그 사이에 형성된 취약 영역(634)을 갖는다. 취약 영역(634)은 예리한 에지를 갖는 진입 슬롯(638)을 제공함으로써 선택적으로 약화된다. 그러나, 패스너 결합 특징부(636)로부터 연장되는 약화 특징부는 없다. 씰 리테이너(600)의 기능은 패스너 결합 특징부(636)의 상이한 구성에 의해 제공되는 정렬 특징부(250)의 보유 증가를 제외하고는, 씰 리테이너(500)와 실질적으로 동일하다.
본 발명은 본 발명을 수행하는 현재 바람직한 모드를 포함하는 특정 예에 대해 기술되었지만, 당업자는 상기 기술된 시스템 및 기술의 다양한 변형 및 순열이 있음을 인식할 것이다. 다른 실시형태가 이용될 수 있고, 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 구조적 및 기능적 수정이 이루어질 수 있음을 이해해야 한다. 따라서, 본 발명의 사상 및 범위는 첨부된 바와 같이 광범위하게 해석되어야 한다.
Claims (70)
- 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법으로서,
a) 씰 조립체를 형성하기 위해 제1 씰을 제1 씰 리테이너에 배치하는 단계;
b) 상기 제1 씰이 상기 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동과 정렬되도록 씰 조립체를 유체 흐름 부품 상에 설치하여 부품 조립체를 형성하는 단계;
c) 상기 제1 씰이 상기 흐름 제어 장치의 제1 기판 블록의 제1 씰 공동과 정렬되고 상기 제1 씰 리테이너의 일부가 상기 제1 기판 블록과 상기 유체 흐름 부품 사이에 배치되도록, 상기 흐름 제어 장치의 상기 제1 기판 블록 상에 상기 유체 흐름 부품을 배치하는 단계;
d) 상기 제1 씰이 상기 제1 기판 블록의 제1 씰 공동 및 상기 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동 각각의 내부에 적어도 부분적으로 배치되도록 상기 흐름 제어 장치에 상기 부품 조립체를 부분적으로 고정하는 단계;
e) 상기 제1 씰 리테이너가 상기 유체 흐름 부품으로부터 해제되고 상기 제1 씰 리테이너의 일부가 상기 제1 기판 블록과 상기 유체 흐름 부품 사이로부터 제거되도록, 상기 제1 씰 리테이너를 후퇴시키는 단계; 및
f) 상기 흐름 제어 장치에 상기 부품 조립체를 완전히 고정하는 단계
를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항에 있어서,
상기 흐름 제어 장치는 베이스 기판을 더 포함하고 상기 유체 흐름 부품 조립체는 제1 패스너를 더 포함하며, 단계 c)에서 상기 제1 기판 블록은 상기 베이스 기판과 접촉하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제2항에 있어서,
단계 d)에서, 상기 제1 패스너가 상기 베이스 기판과 맞물리는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제3항에 있어서,
단계 d)에서, 상기 제1 패스너는 상기 제1 기판 블록을 통해 연장되는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흐름 제어 장치는 상기 제1 부품 설치 위치를 포함하고, 상기 제1 부품 설치 위치는 상기 제1 기판 블록 및 제2 기판 블록을 포함하고, 상기 제2 기판 블록은 제1 씰 공동을 포함하고, 상기 유체 흐름 부품은 제2 씰 공동과 제2 패스너를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제5항에 있어서,
단계 a-1)을 더 포함하고, 단계 a-1)은 제2 씰 조립체를 형성하기 위해 제2 씰 리테이너에 제2 씰을 설치하는 단계를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제6항에 있어서,
단계 b-1)을 더 포함하고, 단계 b-1)은 제2 씰이 상기 제1 부품의 상기 제2 씰 공동과 정렬되도록 상기 제2 씰 조립체를 상기 유체 흐름 부품 상에 설치하는 것을 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제7항에 있어서,
단계 c)는 상기 제2 씰이 상기 제2 기판 블록의 상기 제1 씰 공동과 정렬되도록 상기 제1 설치 위치에 상기 부품 조립체를 위치시키는 것을 더 포함하고, 단계 e)는 상기 제2 씰 리테이너가 상기 유체 흐름 부품으로부터 해제되도록 상기 제2 씰 리테이너를 후퇴시키는 것을 추가로 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 부품 조립체가 볼트에 의해 고정되는 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 부품 조립체가 복수의 볼트에 의해 고정되는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 상기 제1 씰을 수용하는 씰 개구를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제11항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너의 상기 씰 개구는 원형 개구인, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제11항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰은 상기 씰 개구에 끼워맞춰지는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 씰 개구는 상기 제1 씰의 외경과 맞물리는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 취약 영역을 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제15항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너의 취약 영역은 상기 제1 씰 리테이너의 파열을 용이하게 하는, 방법. - 제15항 또는 제16항에 있어서,
상기 취약 영역은 상기 씰 개구로부터 연장되는 슬롯을 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
단계 e)는 상기 제1 씰 리테이너를 해제하기 위해 상기 제1 씰 리테이너를 파열시키는 것을 추가로 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 상기 부품 조립체의 정렬 특징부와 맞물리는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 파지 특징부를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제20항에 있어서,
상기 파지 특징부가 복수의 원형 개구인, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제20항에 있어서,
상기 파지 특징부가 서로 이격된 한 쌍의 세장형 개구로서 형성되는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 시트 재료로 제조되는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 마일라(Mylar), 퍼플루오로알콕시 알칸, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리비닐리덴 플루오라이드, 폴리이미드, 폴리프로필렌 또는 불화 에틸렌 프로필렌 중 하나로 형성되는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 씰 리테이너는 0.013mm의 두께를 갖는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,
단계 a) 동안, 상기 씰 리테이너가 축을 따라 접히는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흐름 제어 장치는 복수의 부품 설치 위치를 포함하는 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유체 흐름 부품은 밸브, 흐름 제어기, 압력 변환기, 흐름 측정 센서, 압력 조절기, 흐름 제한기 또는 액추에이터 중 하나인, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 제1항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
단계 d)에서, 상기 제1 기판 블록의 장착 표면과 상기 유체 흐름 부품의 장착 표면이 제1 거리만큼 이격되고, 단계 f)에서 상기 제1 기판 블록의 장착 표면과 상기 유체 흐름 부품의 장착 표면은 제2 거리만큼 이격되며, 상기 제1 거리는 상기 제2 거리보다 큰, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법. - 반도체 또는 집적 회로 제조 방법으로서,
제1항 내지 제29항 중 어느 한 항의 방법에 따라 흐름 제어 장치의 유체 흐름 부품을 설치하여 유체 공급원에서 처리 챔버로 연장되는 유체 공급 라인을 완성하는 단계; 및
상기 처리 챔버에서 하나 이상의 반도체 또는 집적 회로 웨이퍼와 접촉하도록 상기 유체 공급원으로부터 상기 처리 챔버로 유체를 유동시키는 단계
를 포함하는, 반도체 또는 집적 회로 제조 방법. - 씰을 유지하기 위한 씰 리테이너로서,
제1축;
상기 제1축에 수직인 제2축;
제1 부분; 및
제2 부분
을 포함하는 시트 본체를 포함하고,
상기 제1 축은 상기 제1 부분과 동일 평면상에 있고, 상기 제1 부분은 상기 제1 축의 방향으로 연장되고 상기 제1 축을 따라 제2 축으로부터 연장되며;
상기 제2 부분은 상기 제2 축으로부터 연장되고 씰 유지 특징부를 가지는, 씰을 유지하기 위한 씰 리테이너. - 제31항에 있어서,
상기 제1 부분은 제1 주변 에지, 상기 제1 주변 에지 반대편의 제2 주변 에지, 제3 주변 에지, 및 상기 제3 주변 에지 반대편의 제4 에지를 포함하고, 상기 제4 에지는 상기 제2 축과 동일선상에 있는, 씰 리테이너. - 제31항 또는 제32항에 있어서,
상기 제1 부분은 파지 특징부를 형성하는 복수의 원형 개구를 포함하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제33항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 부분은 탭 부분에 의해 분리된 복수의 세장형 개구를 포함하고, 상기 탭 부분은 상기 제1 부분의 내부 에지에 연결된 원위 에지를 갖는, 씰 리테이너. - 제34항에 있어서,
상기 탭 부분의 원위 에지는 취약 영역에 의해 상기 제1 부분의 내부 에지에 연결되는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 부분은 상기 제2 축을 따라 연장되는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제34항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 부분의 씰 유지 특징부는 씰 유지 개구인, 씰 리테이너. - 제37항에 있어서,
상기 씰 보유 개구는 원형인, 씰 리테이너. - 제37항 또는 제38항에 있어서,
상기 제2 부분은 상기 씰 유지 개구에 인접한 취약 영역을 포함하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제39항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 씰 유지 특징부와 상기 시트 본체의 주변 에지 사이에 취약 영역이 위치하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제40항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 부분은 취약 영역을 포함하고, 상기 취약 영역은 슬롯을 포함하는, 씰 리테이너. - 제41항에 있어서,
상기 슬롯은 상기 씰 유지 특징부로부터 연장되는, 씰 리테이너. - 제41항 또는 제42항에 있어서,
상기 취약 영역은 복수의 슬롯을 포함하는, 씰 리테이너. - 제41항 내지 제43항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 씰 유지 특징부는 중심점을 포함하고, 상기 슬롯은 상기 중심점으로부터 상기 시트 본체의 주변 에지까지 반경방향으로 연장되는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제44항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 부분은 취약 영역을 포함하고, 상기 시트 본체는 주변 에지를 포함하고, 상기 취약 영역은 상기 씰 유지 특징부와 상기 주변 에지 사이의 거리가 최소인 위치에 위치하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제45항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 부분은 패스너 결합 특징부를 포함하는, 씰 리테이너. - 제46항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 반원형인, 씰 리테이너. - 제46항 또는 제47항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 상기 시트 본체의 주변 에지의 일부를 형성하는, 씰 리테이너. - 제46항 내지 제48항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 취약 영역을 포함하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제49항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 시트 본체가 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 마일라(Mylar), 퍼플루오로알콕시 알칸, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리에테르 에테르 케톤, 폴리비닐리덴 플루오라이드, 폴리이미드, 폴리프로필렌 또는 플루오르화 에틸렌 프로필렌 중 하나로 형성되는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제50항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 시트 본체는 0.013mm의 두께를 갖는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제51항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 부분은 제1 평면 표면을 형성하고, 상기 제2 부분은 제2 평면 표면을 형성하는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제52항 중 어느 한 항에 있어서,
접힌 상태에서 상기 제2 부분은 상기 제1 축에 대해 각을 이루는, 씰 리테이너. - 제31항 내지 제53항 중 어느 한 항에 있어서,
평평한 상태에서 상기 제2 부분은 상기 제1 축과 동일 평면에 있는, 씰 리테이너. - 유체 흐름 부품 조립체로서,
제1 씰 공동을 포함하는 유체 흐름 부품;
상기 유체 흐름 부품과 접촉하는 정렬 특징부;
상기 제1 씰 공동과 맞물리도록 구성된 제1 씰; 및
상기 제1 씰 및 상기 유체 흐름 부품의 정렬 특징부와 맞물리도록 구성된 제1 씰 리테이너
를 포함하고, 상기 제1 씰은 상기 제1 씰 리테이너에 조립되고, 상기 제1 씰은 상기 제1 씰 공동과 접촉하는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항에 있어서,
상기 유체 흐름 부품은 밸브, 흐름 제어기, 압력 변환기, 흐름 측정 센서, 압력 조절기 또는 작동기 중 하나인, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 또는 제56항에 있어서,
상기 제1 씰은 원통형 외부 표면을 갖는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 내지 제57항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 상기 제1 씰의 원통형 외부 표면과 맞물리도록 구성된 원형 씰 유지 개구를 갖는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제58항에 있어서,
제1 씰 리테이너는 상기 씰 유지 개구에 인접하게 위치된 취약 영역을 갖는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 내지 제59항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 패스너 결합 특징부를 갖는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제60항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 반원형인, 유체 흐름 부품 조립체. - 제60항 또는 제61항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 상기 제1 씰 리테이너의 주변 에지의 일부를 형성하는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제60항 내지 제62항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 패스너 결합 특징부는 취약 영역을 포함하는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 내지 제63항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 시트 재료로 형성되는, 유체 흐름부품 조립체. - 제55항 내지 제64항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 비평면인, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 내지 제65항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 씰 리테이너는 상기 정렬 특징부와 맞물리는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제55항 내지 제66항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유체 흐름 부품은 제2 씰 공동을 더 포함하는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제67항에 있어서,
제2 씰, 제2 정렬 특징부 및 제2 씰 리테이너를 더 포함하고, 상기 제2 씰은 제2 씰 공동과 맞물리도록 구성되고, 상기 제2 씰 리테이너는 상기 제2 씰과 상기 제2 정렬부와 맞물리도록 구성되고, 상기 제2 씰은 상기 제2 씰 리테이너에 조립되고 상기 제2 씰 공동과 접촉하고, 상기 제2 정렬 특징부는 상기 제1 부품과 접촉하는, 유체 흐름 부품 조립체. - 제68항에 있어서,
상기 제2 씰 리테이너는 상기 제2 정렬 특징부와 맞물리는, 부품 조립체. - 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법으로서,
a) 유체 흐름 부품, 제1 씰 리테이너, 및 유체 흐름 부품의 제1 씰 공동과 정렬된 상기 제1 씰 리테이너에 의해 유지되는 제1 씰을 포함하는 부품 조립체를 제1 기판 블록 상에 위치시키는 단계로서, 상기 부품 조립체는 상기 제1 씰이 상기 제1 기판 블록의 제1 씰 공동과 정렬되도록 상기 제1 기판 블록 상에 위치되는, 단계;
b) 상기 제1 씰 리테이너가 상기 유체 흐름 부품으로부터 해제되지만 상기 제1 씰 및 상기 유체 흐름 부품은 제자리에 유지되도록, 상기 제1 씰 리테이너를 후퇴시키는 단계; 및
c) 상기 제1 씰이 상기 유체 흐름 부품의 유로에 대해 상기 제1 기판 블록의 유로를 기밀하게 밀봉하도록, 상기 흐름 제어 장치에 상기 유체 흐름 부품을 고정하는 단계
를 포함하는, 흐름 제어 장치에 유체 흐름 부품을 설치하는 방법.
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