KR20220154147A - 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법 - Google Patents

고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20220154147A
KR20220154147A KR1020227034825A KR20227034825A KR20220154147A KR 20220154147 A KR20220154147 A KR 20220154147A KR 1020227034825 A KR1020227034825 A KR 1020227034825A KR 20227034825 A KR20227034825 A KR 20227034825A KR 20220154147 A KR20220154147 A KR 20220154147A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
output
level
signal
pulse
level setting
Prior art date
Application number
KR1020227034825A
Other languages
English (en)
Inventor
타케시 후지와라
유야 야스다
류헤이 카타후치
히로유키 코지마
Original Assignee
가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼 filed Critical 가부시끼가이샤교산세이사꾸쇼
Publication of KR20220154147A publication Critical patent/KR20220154147A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
    • H01J37/32146—Amplitude modulation, includes pulsing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
    • H01J37/32155—Frequency modulation
    • H01J37/32165—Plural frequencies
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/327—Arrangements for generating the plasma
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/334—Etching
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2242/00—Auxiliary systems
    • H05H2242/20—Power circuits
    • H05H2242/22—DC, AC or pulsed generators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

동기 펄스와 클럭 펄스를 따로따로 생성하는 구조라도, 출력되는 고주파 펄스의 위상을 항상 정합시키는 것이 가능해지는 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법을 제공한다. 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법으로서, 동기 펄스의 출력 타이밍 정보로부터 주기 기준 신호를, 출력 레벨 정보로부터 출력 레벨 신호를 각각 생성하고, 상기 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시함과 함께 출력 정지 신호를 생성하고, 주기 기준 신호, 출력 레벨 신호 및 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 고주파 펄스를 형성할 때에, 상기 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은, 출력 레벨 신호의 발신을 정지한다.

Description

고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법
본 발명은, 플라즈마 발생 장치 등에 적용되는 고주파 전원 장치에 관한 것으로서, 특히 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법에 관한 것이다.
고주파 전원 장치는, 초음파 발진이나 유도 전력의 발생 혹은 플라즈마의 발생 등의 전원으로서 적용되고 있으며, 고주파 펄스의 출력 주기를 결정하는 동기 펄스와, 발진되는 고주파 성분의 펄스 주기를 결정하는 클럭 펄스를 조합함으로써, 소정의 주기 및 진폭값으로 고주파 성분을 포함하는 고주파 펄스를 출력 가능하게 된 전원 장치이다. 특히, 플라즈마 발생 장치에 적용되는 고주파 전원으로서는, 하나의 발진 주기 중에 하이 레벨(제1 레벨)과 로우 레벨(제2 레벨)의 진폭값을 포함하는 스위치 방식 고주파 전원 장치가 알려져 있다.
이와 같은 스위치 방식 고주파 전원 장치가 적용되는 플라즈마 처리 장치로서, 예를 들면 특허문헌 1에는, 에칭 가스가 충전되어 피처리체인 반도체 웨이퍼가 수용되는 처리실 내에, 피처리체를 사이에 두고 상부 전극과 하부 전극을 대향시키고, 이것들 상부 전극 및 하부 전극에 고주파 전원으로부터의 고주파 전압을 인가해서, 상부 전극 및 하부 전극 간의 방전에 의해 에칭 가스를 플라즈마화해서 피처리체를 에칭 처리하는 플라즈마 에칭 장치가 개시되어 있다. 이러한 장치에서는, 피처리체의 전체면에서 균일한 처리를 행하기 위해서, 고주파 전원으로부터의 인가 전압이 안정되어 있을 것이 요구된다.
플라즈마 에칭 장치에 있어서, 플라즈마가 안정적으로 발생되는 것을 의도해서, 예를 들면 특허문헌 2에는, 고주파 발생기와 플라즈마 처리 챔버 사이에, 전송로 종단에서 본 플라즈마의 복소 임피던스를 고주파 발생기의 공칭 임피던스로 변환하는 매칭 네트워크가 접속되고, 플라즈마 처리 챔버에 고주파 전력을 공급하는 유도 코일의 전압을 피드백 제어하는 기술이 개시되어 있다. 이 제어 기술에 의하면, 매칭 네트워크에 의해, 유도 코일에 인가되는 전력 파형의 위상을 피드백 제어에 의해 정합시키는 것이 가능하게 되기 때문에, 기판 처리를 안정화할 수 있다고 되어 있다.
일본특허공개 평11－214363호 공보 일본특허공개 제2007－514300호 공보
상기한 바와 같이, 종래부터 알려져 있던 고주파 전원 장치에서는, 동기 펄스를 생성하는 동기 펄스용 생성기와 클럭 펄스를 생성하는 클럭 펄스용 생성기가 통상적으로 별체로서 구성되어 있고, 양자는 각각 독립해서 동작하기 때문에, 동기 펄스에 기초하는 타이밍에 출력되는 고주파 펄스에 있어서의 클럭 펄스에 기초하여 생성되는 출력 파형의 위상은, 그 고주파 펄스의 출력 레벨의 전환 시에 있어서 고르지 않게 되는 것을 피할 수 없다. 그 결과로서, 연속해서 발진되는 복수의 고주파 펄스 사이에 있어서, 제1 레벨의 진폭에 의한 펄스 수와 제2 레벨의 진폭에 의한 펄스 수가 제각기 다르게 되어 버려, 지터 발생의 원인으로 되고 있었다.
이와 같은 고주파 전원 장치의 발진 구조에 기인하는 불안정한 출력 파형에 의한 문제를 해결하기 위하여, 예를 들면 상기한 특허문헌 2와 같은 기술이 적용되고 있지만, 플라즈마 처리 장치와 고주파 전원 장치 사이에 추가적인 구성(매칭 네트워크 등)을 부가하는 것이 필수여서, 전원 제어도 복잡하게 되지 않을 수 없다. 또, 매칭 네트워크의 응답 속도보다도 고속으로 고주파 펄스의 출력 파형에 변동이 생겨 버리면 대응할 수 없다고 하는 사상(事象)이 발생하기 때문에, 스위치 방식의 고주파 전원 장치를 적용할 때에 발생하는 문제의 근본적인 해결은 되지 못하고 있다.
본 발명은, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로서, 동기 펄스와 클럭 펄스를 따로따로 생성하는 구조라도, 출력되는 고주파 펄스의 위상을 항상 정합시키는 것이 가능해지는 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 대표적인 양태의 하나는, 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치로서, 상기 고주파 펄스의 출력 레벨 정보 및 출력 타이밍 정보를 포함하는 동기 펄스를 생성하는 동기 펄스 생성 기구와, 상기 출력 레벨 정보에 기초하여 상기 고주파 펄스의 출력 레벨을 설정하는 출력 레벨 신호를 생성하는 출력 레벨 설정 기구와, 상기 동기 펄스의 주기 기준 신호 및 상기 출력 레벨 신호를 수신해서 상기 고주파 펄스를 발진하는 발진 기구를 구비하고, 상기 동기 펄스 생성 기구는, 상기 동기 펄스를 형성하는 동기 펄스 형성 회로와, 상기 동기 펄스에 있어서의 주기 기준 시각에 있어서 주기 기준 신호를 생성하는 주기 기준 신호 생성기와, 상기 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시(計時)하면서 출력 정지 신호를 상기 출력 레벨 설정 기구로 보내는 계시 기구를 포함하고, 상기 출력 레벨 설정 기구는, 상기 출력 레벨 신호에 따라 상기 고주파 펄스에서 설정되는 출력 레벨을 판별하는 레벨 판별부와, 상기 레벨 판별부의 판별 결과를 받아서 레벨 설정 신호를 생성하는 레벨 설정 신호 생성부를 포함하고, 상기 발진 기구는, 상기 클럭 펄스를 생성하는 클럭 펄스 생성기와, 상기 주기 기준 신호, 상기 레벨 설정 신호 및 상기 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 상기 고주파 펄스를 형성하는 발진 증폭기를 포함하고, 상기 출력 레벨 설정 기구는, 상기 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은, 상기 레벨 설정 신호의 발신을 정지하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 다른 양태의 하나는, 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법으로서, 상기 동기 펄스의 파형에 포함되는 출력 레벨 정보로부터 상기 고주파 펄스의 출력 레벨을 설정하는 출력 레벨 신호를 생성함과 함께, 출력 타이밍 정보로부터 주기 기준 신호를 생성하고, 상기 출력 레벨 신호에 기초하여 레벨 설정 신호를 생성함과 함께, 상기 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시함과 함께 출력 정지 신호를 생성하고, 상기 주기 기준 신호, 상기 레벨 설정 신호 및 상기 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 상기 고주파 펄스를 형성할 때에, 상기 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은, 상기 레벨 설정 신호의 발신을 정지하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성을 구비한 본 발명에 의하면, 동기 펄스에 기초하는 주기 기준 신호, 레벨 설정 신호 및 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 고주파 펄스를 형성할 때에, 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시함과 함께 출력 정지 신호를 생성하고, 그 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은 레벨 설정 신호의 발신을 정지하도록 구성했기 때문에, 동기 펄스와 클럭 펄스를 따로따로 생성하는 구조라도, 출력되는 고주파 펄스의 위상을 항상 정합시키는 것이 가능해진다.
도 1은, 본 발명의 대표적인 일례인 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 개요를 나타내는 블록도이다.
도 2는, 실시예 1에 의한 동기 펄스 생성 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 3은, 실시예 1에 의한 출력 레벨 설정 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 4는, 실시예 1에 의한 발진 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 5는, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 6은, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 변형예를 나타내는 그래프이다.
도 7은, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 개요를 나타내는 블록도이다.
도 8은, 실시예 2에 의한 출력 레벨 설정 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 9는, 실시예 2에 의한 발진 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다.
도 10은, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 일례를 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명에 의한 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법의 대표적인 구체예를 도 1 내지 도 10을 사용하여 설명한다.
＜실시예 1＞
도 1은, 본 발명의 대표적인 일례인 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 개요를 나타내는 블록도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치(100)는, 그 일례로서, 출력하는 고주파 펄스(PO)의 출력 레벨 정보 및 출력 타이밍 정보를 포함하는 동기 펄스(P1)를 생성하는 동기 펄스 생성 기구(110)와. 동기 펄스(P1)의 출력 레벨 정보에 기초하여 고주파 펄스(PO)의 출력 레벨을 설정하는 출력 레벨 신호(SL1, SL2)를 생성하는 출력 레벨 설정 기구(120)와, 동기 펄스(P1)의 출력 타이밍 정보에 기초하는 주기 기준 신호(SS) 및 상기한 출력 레벨 신호(SL1, SL2)를 수신해서 고주파 펄스(PO)를 발진하는 발진 기구(130)를 구비한다. 고주파 전원 장치(100)로부터 출력된 고주파 펄스(PO)는, 플라즈마나 레이저 발생 장치, 유도 가열 장치, 혹은 초음파 발진 장치 등의 대상 장치(10)에 공급된다.
도 2는, 실시예 1에 의한 동기 펄스 생성 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에 의한 동기 펄스 생성 기구(110)는, 상기한 동기 펄스(P1)를 형성하는 동기 펄스 형성 회로(112)와, 동기 펄스(P1)에 있어서의 주기 기준 시각에 있어서 주기 기준 신호(SS)를 생성하는 주기 기준 신호 생성기(114)와, 주기 기준 신호(SS)에 기초하여 출력 정지 시간을 계시하면서 출력 정지 신호(ST)를 출력 레벨 설정 기구(120)에 발하는 계시 기구(116)를 포함한다. 또, 동기 펄스 형성 회로(112)로부터 보내진 동기 펄스(P1)는, 후술하는 출력 레벨 설정 기구(120)에도 공급된다.
동기 펄스 형성 회로(112)는, 그 일례로서, 출력 레벨 정보(진폭값)와 출력 타이밍 정보(진폭의 전환 타이밍)를 포함하고, 횡축의 시간 경과에 대해서 종축의 두 출력 레벨(L1, L2)을 규정하는 대략 구형(矩形)의 주기적인 펄스 파형을 출력한다. 한편, 도 2에 있어서는, 출력 레벨을 하이 레벨(L1)과 로우 레벨(L2)로 한 경우를 예시했지만, 주기적인 대략 구형파라면 셋 이상의 출력 레벨에 의한 펄스 파형으로 해도 된다.
또, 동기 펄스(P1)는, 구형파에 한정되는 것은 아니고, 출력 레벨 정보와 출력 타이밍 정보를 포함하는 것이라면 정현파나 극단(極短) 펄스 등의 임의의 파형을 포함해도 된다. 또한, 동기 펄스(P1)는 복수의 신호 파형으로 구성되어도 된다. 이와 같은 예로서, 복수의 신호 파형에 대하여 AND 처리를 행함으로써, 출력 레벨과 출력 타이밍을 얻는 수법 등을 예시할 수 있다.
주기 기준 신호 생성기(114)는, 동기 펄스 형성 회로(112)로부터 수신한 동기 펄스(P1)에 기초하여, 그 동기 펄스(P1)의 특징의 하나로서의 주기의 시각 기준인 출력 타이밍 정보를 특정하고, 그 특정한 타이밍에 주기 기준 신호(SS)를 출력한다. 이 때, 주기의 시각 기준의 일례로서는, 예를 들면 로우 레벨(L2)로부터 하이 레벨(L1)로 전환되는(라이징(立上)하는) 시각 등을 들 수 있다. 또, 주기 기준 신호(SS)는 1주기 중에 하나만으로 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 상기한 로우 레벨(L2)로부터 하이 레벨(L1)로의 라이징 시각에 더하여, 하이 레벨(L1)로부터 로우 레벨(L2)로의 전환(폴링(立下)) 시각을 채용해도 된다.
계시 기구(116)는, 그 일례로서, 주기 기준 신호 생성기(114)로부터의 주기 기준 신호(SS)를 받아서, 그 수신 시부터 소정의 출력 정지 시간이 경과할 때까지의 동안, 후술하는 출력 레벨 설정 기구(120)에 출력 정지 신호(ST)를 계속 발신하는 구성을 구비하고 있다. 이 때, 계시 기구(116)는, 소정의 출력 정지 시간이 후술하는 클럭 펄스 생성기(132)(도 4 참조)의 클럭 주기에 대해서 임의의 타이밍을 선택할 수 있도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 출력 정지 신호(ST)의 발신이 정지하는 타이밍을 임의로 선택하는 것이 가능해진다.
도 3은, 실시예 1에 의한 출력 레벨 설정 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에 의한 출력 레벨 설정 기구(120)는, 동기 펄스(P1)의 진폭값(출력 레벨 정보)에 따라 제1 레벨 설정 지령(S1) 또는 제2 레벨 설정 지령(S2)을 보내는 레벨 판별부(122)와, 출력 정지 신호(ST)와 제1 레벨 설정 지령(S1) 및 제2 레벨 설정 지령(S2)을 받아서 레벨 설정 신호(제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2))를 생성하는 레벨 설정 신호 생성부(124)를 포함한다. 그리고, 레벨 설정 신호 생성부(124)는, 제1 레벨 설정 지령(S1)을 수신 중에 제1 레벨 설정 신호(SL1)를 생성하는 제1 레벨 설정 신호 생성기(126)와, 제2 레벨 설정 지령(S2)을 수신 중에 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 생성하는 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)를 더 포함한다.
레벨 판별부(122)는, 동기 펄스 형성 회로(112)로부터의 동기 펄스(P1)를 수신하고, 그 동기 펄스(P1)의 출력 레벨이 어느 레벨에 있는지에 따라 소정의 설정 지령을 리얼타임으로 발신하도록 구성되어 있다. 그 일례로서, 실시예 1에서는, 레벨 판별부(122)는, 동기 펄스(P1)가 하이 레벨(L1)인 동안은 제1 레벨 설정 지령(S1)을 발신하고, 동기 펄스(P1)가 로우 레벨(L2)로 전환되면 제2 레벨 설정 지령(S2)을 발신한다.
제1 레벨 설정 신호 생성기(126)는, 레벨 판별부(122)로부터 제1 레벨 설정 지령(S1)을 수신하면 제1 레벨 설정 신호(SL1)를 생성한다. 마찬가지로, 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)는, 레벨 판별부(122)로부터 제2 레벨 설정 지령(S2)을 수신하면 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 생성한다. 이 때, 레벨 설정 신호 생성부(124)는, 동기 펄스 생성 기구(110)로부터 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안은, 제1 레벨 설정 신호 생성기(126)에서 생성된 제1 레벨 설정 신호(SL1) 혹은 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)에서 생성된 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 발진 기구(130)로 출력하지 않도록 구성된다.
도 4는, 실시예 1에 의한 발진 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 실시예 1에 의한 발진 기구(130)는, 소정의 고주파 범위의 클럭 펄스(P2)를 생성하는 클럭 펄스 생성기(132)와, 동기 펄스 생성 기구(110)로부터의 주기 기준 신호(SS), 출력 레벨 설정 기구(120)로부터의 제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2), 그리고 상기 클럭 펄스(P2)를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 고주파 펄스(PO)를 형성하는 발진 증폭기(134)를 포함한다.
클럭 펄스 생성기(132)는, 고주파 펄스(PO)의 출력에 따른 고주파(수백 ㎑∼수십 ㎒)의 클럭 펄스(P2)를 발생하는 수단으로서, 예를 들면 13.56 ㎒의 클럭 펄스(P2)를 발생한다. 또, 클럭 펄스 생성기(132)는, 상기한 소정의 고주파에서의 등간격의 클럭 펄스(P2)를 발생함과 함께, 임의의 시각 trst(도 5 또는 도 6 참조)에서 클럭 펄스(P2)의 발생 타이밍을 리세트(임의의 위상으로 설정)하는 기능을 가진다. 그리고, 발진 증폭기(134)는, 주기 기준 신호(SS)에 기초하여 고주파 펄스(PO)의 발진 타이밍을 결정함과 함께, 제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2)에 기초하여 클럭 펄스(P2)의 진폭값을 증폭함으로써, 고주파 펄스(PO)를 생성한다.
도 5는, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 일례를 나타내는 그래프이다. 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에서는, 그 일례로서, 우선 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 동기 펄스 생성 기구(110)의 동기 펄스 형성 회로(112)에 의해 형성된 동기 펄스(P1)는, 시간 TL1의 구간 중에는 하이 레벨(L1)로 되고, 시간 TL2의 구간 중에는 로우 레벨(L2)로 되는 주기적인 펄스 신호로서 형성된다. 그리고, 그 동기 펄스(P1)로부터, 상술한 대로, 예를 들면 펄스 1주기의 시각 기준인 하이 레벨(L1)로의 라이징 시각이 추출되고, 주기 기준 신호 생성기(114)가 그 라이징 시각마다 주기 기준 신호(SS)를 발신한다.
한편, 동기 펄스(P1)는 출력 레벨 설정 기구(120)에도 공급되어, 그 출력 레벨 설정 기구(120)의 레벨 판별부(122)에서 시각마다의 출력 레벨이 설정되고, 제1 레벨 설정 신호 생성기(126) 혹은 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)로부터 제1 레벨 설정 신호(SL1) 또는 제2 레벨 설정 신호(SL2)가 발진 기구(130)로 발신된다. 즉, 도 5의 (a)를 참조하면, 시간 TL1의 구간에서는 제1 레벨 설정 신호(SL1)가 발신되고, 시간 TL2의 구간에서는 제2 레벨 설정 신호(SL2)가 발신되게 된다.
계속해서, 발진 기구(130)의 발진 증폭기(134)에 있어서, 수신한 제1 레벨 설정 신호(SL1) 혹은 제2 레벨 설정 신호(SL2)에 따라, 클럭 펄스(P2)의 진폭값이 증폭된다. 즉, 제1 레벨 설정 신호(SL1)를 연속적으로 수신한 경우, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 클럭 펄스(P2)의 평균 높이가 하이 레벨(L1)로 되는 연속 펄스가 출력된다. 한편, 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 연속적으로 수신한 경우, 도 5의 (c)에 나타내는 바와 같이, 클럭 펄스(P2)의 평균 높이가 로우 레벨(L2)로 되는 연속 펄스가 출력된다.
여기서, 도 5의 (d)에 나타내는 바와 같이, 계시 기구(116)로부터 출력 정지 시간(Tst)으로 되는 출력 정지 신호(ST)가 발신된 경우, 그 출력 정지 시간(Tst)의 기간 중의 임의의 시각 trst(이 시각을 「리세트 시각(trst)」이라고 정의한다)에 있어서, 클럭 펄스 생성기(132)로부터 생성되는 클럭 펄스(P2)가 리세트된다. 그리고, 이 동작들을, 동기 펄스(P1)의 생성부터 시간 변화에 수반하여 연속적으로 실행하면, 도 5의 (e)에 나타내는 바와 같이, 발진 기구(130)가 주기 기준 신호(SS)를 수신한 시각부터 고주파 펄스(PO)의 출력이 개시되고, 시간 TL1의 구간에서는 하이 레벨(L1)의 연속 펄스가 출력된다. 마찬가지로, 시간 TL2의 구간에서는 로우 레벨(L2)의 연속 펄스가 출력된다.
이 때, 상술한 바와 같이, 출력 레벨 설정 기구(120)에 있어서, 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안은 제1 레벨 설정 신호(SL1)를 발신하지 않도록 구성되어 있기 때문에, 시간 TL1의 구간의 개시부터 출력 정지 시간(Tst)이 경과할 때까지는, 하이 레벨(L1)에 의한 연속 펄스가 출력되지 않게 된다. 여기서, 이 때, 리세트 시각(trst)의 타이밍은, 출력 정지 시간(Tst)의 종료 후에 최초로 출력되는 고주파 펄스(PO)의 위상(θst)에 따라 결정된다. 즉, 클럭 펄스(P2)의 위상을 리세트 시각(trst)에 있어서 리세트함으로써, 출력 정지 시간(Tst) 경과 후의 고주파 펄스(PO)의 위상이 항상 동위상으로 된다.
도 6은, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 변형예를 나타내는 그래프이다. 도 6에 나타내는 변형예에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에서는, 우선 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 동기 펄스 생성 기구(110)의 동기 펄스 형성 회로(112)에 의해 형성된 동기 펄스(P1)로부터, 도 5에 나타낸 경우와 마찬가지로, 예를 들면 펄스 1주기의 시각 기준인 하이 레벨(L1)로의 라이징 시각이 추출되고, 주기 기준 신호 생성기(114)가 그 라이징 시각마다 주기 기준 신호(SS)를 발신한다. 그리고, 출력 레벨 설정 기구(120)에서는, 시간 TL1의 구간에서는 제1 레벨 설정 신호(SL1)가 발신되고, 시간 TL2의 구간에서는 제2 레벨 설정 신호(SL2)가 발진 기구(130)로 발신된다.
계속해서, 도 5에 나타낸 경우와 마찬가지로, 발진 기구(130)의 발진 증폭기(134)에 있어서, 수신한 제1 레벨 설정 신호(SL1) 혹은 제2 레벨 설정 신호(SL2)에 따라, 클럭 펄스(P2)의 진폭값이 증폭된다. 그리고, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같은 클럭 펄스(P2)의 평균 높이가 하이 레벨(L1)로 되는 연속 펄스와, 도 6의 (c)에 나타내는 바와 같은 클럭 펄스(P2)의 평균 높이가 로우 레벨(L2)로 되는 연속 펄스가 출력된다.
여기서, 도 6의 (d)에 나타내는 바와 같이, 계시 기구(116)로부터 출력 정지 시간(Tst)으로 되는 출력 정지 신호(ST)가 발신되면, 도 5에 나타낸 경우와 마찬가지로, 출력 정지 시간(Tst)의 기간 중의 임의의 시각 trst(이 시각을 「리세트 시각(trst)」이라고 정의한다)에 있어서, 클럭 펄스 생성기(132)로부터 생성되는 클럭 펄스(P2)가 리세트된다. 그리고, 출력 레벨 설정 기구(120)에 있어서, 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안은 제1 레벨 설정 신호(SL1)를 발신하지 않도록 구성되어 있기 때문에, 동기 펄스(P1)의 생성부터 시간 변화에 수반하여 연속적으로 실행되면, 도 6의 (e)에 나타내는 바와 같이, 발진 기구(130)가 주기 기준 신호(SS)를 수신한 시각부터 고주파 펄스(PO)의 출력이 개시되고, 시간 TL1의 구간에서는 하이 레벨(L1)의 연속 펄스가 출력된다. 마찬가지로, 시간 TL2의 구간에서는 로우 레벨(L2)의 연속 펄스가 출력된다.
이 때, 도 6에 나타내는 변형예에서는, 리세트 시각(trst)의 타이밍이, 출력 정지 시간(Tst)의 종료 후에 최초로 출력되는 고주파 펄스(PO)의 위상(θst)이 항상 위상 0으로 되도록 설정된다. 이것에 의해, 클럭 펄스(P2)의 위상을 리세트 시각(trst)에 있어서 리세트함으로써, 출력 정지 시간(Tst) 경과 후의 고주파 펄스(PO)의 위상이 항상 위상 0으로 되도록 안정적으로 출력 가능해지지만, 한편, 도 6의 (e)에 나타내는 바와 같이, 출력 위상을 위상 0으로 정합시키기 위한 대기 시간 α만큼 출력이 지연되게 된다.
상기와 같은 구성을 구비함으로써, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법은, 동기 펄스(P1)에 기초하는 주기 기준 신호(SS), 제1 레벨 설정 신호(SL1), 제2 레벨 설정 신호(SL2) 및 클럭 펄스(P2)를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 고주파 펄스(PO)를 형성할 때에, 주기 기준 신호(SS)에 기초하여 계시되는 출력 정지 시간(Tst)을 클럭 펄스(P2)의 클럭 주기의 정수배로 되도록 설정하고, 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안은, 출력 레벨 설정 기구가 제1 레벨 설정 신호(SL1) 또는 제2 레벨 설정 신호(SL2)의 발신을 정지하도록 구성했기 때문에, 동기 펄스와 클럭 펄스를 따로따로 생성하는 구조라도, 출력되는 고주파 펄스의 위상을 항상 정합시키는 것이 가능해진다.
＜실시예 2＞
도 7은, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 개요를 나타내는 블록도이다. 여기서, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치(200)에 있어서, 실시예 1과 동일 혹은 마찬가지 구성을 구비하는 것에 대하여는, 실시예 1과 동일한 부호를 붙여서 거듭되는 설명을 생략한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치(200)는, 동기 펄스 생성 기구(110)와, 출력 레벨 설정 기구(120)와, 발진 기구(130)를 구비한다. 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치(200)에 있어서는, 출력 레벨 설정 기구(120)로부터 발진 기구(130)로 레벨0 신호(SL0)를 발신하는 점에서, 실시예 1에 의한 고주파 전원 장치(100)와 다르다.
도 8은, 실시예 2에 의한 출력 레벨 설정 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 실시예 2에 의한 출력 레벨 설정 기구(120)는, 출력 정지 신호(ST) 및 동기 펄스(P1)를 수신하고, 동기 펄스(P1)의 진폭값(출력 레벨)에 따라 제1 레벨 설정 지령(S1) 또는 제2 레벨 설정 지령(S2)을 보내는(발신하는) 레벨 판별부(122)와, 출력 정지 신호(ST)와 제1 레벨 설정 지령(S1) 및 제2 레벨 설정 지령(S2)을 받아서 레벨 설정 신호(레벨0 신호(SL0), 제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2))를 생성하는 레벨 설정 신호 생성부(124)를 포함한다. 그리고, 레벨 설정 신호 생성부(124)는, 출력 정지 신호(ST)에 기초하여 레벨0 신호(SL0)를 생성하는 레벨0 신호 생성기(223)와, 실시예 1과 마찬가지의 제1 레벨 설정 신호 생성기(126) 및 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)를 더 포함한다.
레벨 판별부(122)는, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 동기 펄스 형성 회로(112)로부터의 동기 펄스(P1)를 수신해서, 그 동기 펄스(P1)의 출력 레벨이 어느 레벨에 있는지에 따라, 동기 펄스(P1)가 하이 레벨(L1)인 동안은 제1 레벨 설정 지령(S1)을 발신하고, 동기 펄스(P1)가 로우 레벨(L2)로 전환되면 제2 레벨 설정 지령(S2)을 발신한다.
레벨0 신호 생성기(223)는, 레벨 설정 신호 생성부(124)가 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안에 기동하고, 그 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안에 고주파 펄스(PO)의 진폭값을 0으로 하는 레벨0 신호(SL0)를 발신하도록 구성되어 있다. 한편, 제1 레벨 설정 신호 생성기(126) 및 제2 레벨 설정 신호 생성기(128)는, 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 레벨 판별부(122)로부터의 제1 레벨 설정 지령(S1) 또는 제2 레벨 설정 지령(S2)을 수신하면, 발진 기구(130)로 제1 레벨 설정 신호(SL1) 또는 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 발신하도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 레벨 설정 신호 생성부(124)는, 동기 펄스 생성 기구(110)로부터 출력 정지 신호(ST)를 수신하고 있는 동안은, 레벨0 신호(SL0)만을 발진 기구(130)로 출력하고, 제1 레벨 설정 신호(SL1) 혹은 제2 레벨 설정 신호(SL2)는 출력하지 않는다.
도 9는, 실시예 2에 의한 발진 기구의 구체적인 구성의 일례를 나타내는 블록도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 실시예 2에 의한 발진 기구(130)는, 클럭 펄스 생성기(132)와, 동기 펄스 생성 기구(110)로부터의 주기 기준 신호(SS), 출력 레벨 설정 기구(120)로부터의 레벨0 신호(SL0), 제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2), 그리고 상기 클럭 펄스(P2)를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 고주파 펄스(PO)를 형성하는 발진 증폭기(234)를 포함한다.
실시예 2에 있어서의 발진 증폭기(234)는, 주기 기준 신호(SS)에 기초하여 고주파 펄스(PO)의 발진 타이밍을 결정함과 함께, 레벨0 신호(SL0)를 수신 중에는, 고주파 펄스(PO)의 진폭값을 0으로 한다. 한편, 제1 레벨 설정 신호(SL1) 및 제2 레벨 설정 신호(SL2)를 수신 중에는, 이 신호들에 기초하여 클럭 펄스(P2)의 진폭값을 하이 레벨(L1) 또는 로우 레벨(L2)로 증폭함으로써, 고주파 펄스(PO)를 생성한다.
도 10은, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 의해 얻어지는 출력 파형의 일례를 나타내는 그래프이다. 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에서는, 도 10의 (a) 내지 도 10의 (d)에 나타내는 동기 펄스(P1) 및 출력 정지 신호(ST)와, 고주파 펄스(PO)의 하이 레벨(L1) 및 로우 레벨(L2)에 관한 진폭값의 증폭의 관계에 대하여는, 실시예 1의 경우와 마찬가지이기 때문에, 거듭되는 설명은 생략한다.
한편, 실시예 2에 의한 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법에 있어서는, 출력 정지 신호(ST)가 출력되고 있는 동안에는, 출력 레벨 설정 기구가 출력 레벨을 0으로 하는 레벨0 신호(SL0)를 발진 기구로 출력하도록 제어하기 때문에, 도 9의 (e)에 나타내는 바와 같이, 직전의 고주파 펄스(PO)의 출력 구간(시간 TL2)의 종단에 있어서, 출력 레벨의 전환(스위칭)에 의한 외관상의 바운스(跳返) 펄스(댐핑 펄스(PD))가 발생했다고 해도, 실제의 출력에 있어서는 진폭값 0으로서 잘못된 펄스 출력을 억제한 제어를 행할 수가 있다.
한편, 상기한 실시형태 및 이것들의 변형예에 있어서의 기술은, 본 발명에 관계된 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법의 일례로서, 본 발명은 각 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 또, 당업자라면, 본 발명의 취지를 벗어나는 일 없이 갖가지 변형을 행하는 것이 가능하고, 이것들을 본 발명의 범위로부터 배제하는 것은 아니다.
예를 들면, 상기한 실시예 1 및 2에서는, 하이 레벨(L1)의 출력 당초에 출력 정지 시간(Tst)을 마련하는 경우를 예시했지만, 그 출력 정지 시간(Tst)을 로우 레벨(L2)의 출력 당초, 혹은 하이 레벨(L1) 및 로우 레벨(L2)의 양자의 출력 당초에 각각 마련하도록 해도 된다. 이것에 의해, 고주파 펄스(PO)의 출력 시에 있어서의 1주기마다의 파수를 일정 값으로 유지하는 제어가 가능해진다.
또, 실시예 1 및 2에서 예시한 구성은, 각각 독립된 발명의 구성이 아니라, 서로의 특징을 조합해서 하나의 고주파 전원 장치로서 적용해도 된다.
10: 대상 장치
100, 200, 300: 고주파 전원 장치
110: 동기 펄스 생성 기구
112: 동기 펄스 형성 회로
114: 주기 기준 신호 생성기
116: 계시 기구
120: 출력 레벨 설정 기구
122: 레벨 판별부
124: 레벨 설정 신호 생성부
126: 제1 레벨 설정 신호 생성기
128: 제2 레벨 설정 신호 생성기
130: 발진 기구
132: 클럭 펄스 생성기
134, 234: 발진 증폭기
223: 레벨0 신호 생성기
PO: 고주파 펄스
P1: 동기 펄스
P2: 클럭 펄스
SS: 주기 기준 신호
ST: 출력 정지 신호
SL0: 레벨0 신호
SL1: 제1 레벨 설정 신호
SL2: 제2 레벨 설정 신호
Tst: 출력 정지 시간

Claims (6)

  1. 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치로서,
    상기 고주파 펄스의 출력 레벨 정보 및 출력 타이밍 정보를 포함하는 동기 펄스를 생성하는 동기 펄스 생성 기구와, 상기 출력 레벨 정보에 기초하여 상기 고주파 펄스의 출력 레벨을 설정하는 출력 레벨 신호를 생성하는 출력 레벨 설정 기구와, 상기 동기 펄스의 주기 기준 신호 및 상기 출력 레벨 신호를 수신해서 상기 고주파 펄스를 발진하는 발진 기구를 구비하고,
    상기 동기 펄스 생성 기구는, 상기 동기 펄스를 형성하는 동기 펄스 형성 회로와, 상기 동기 펄스에 있어서의 주기 기준 시각에 있어서 주기 기준 신호를 생성하는 주기 기준 신호 생성기와, 상기 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시하면서 출력 정지 신호를 상기 출력 레벨 설정 기구로 보내는 계시 기구를 포함하고,
    상기 출력 레벨 설정 기구는, 상기 출력 레벨 신호에 따라 상기 고주파 펄스에서 설정되는 출력 레벨을 판별하는 레벨 판별부와, 상기 레벨 판별부의 판별 결과를 받아서 레벨 설정 신호를 생성하는 레벨 설정 신호 생성부를 포함하고,
    상기 발진 기구는, 상기 클럭 펄스를 생성하는 클럭 펄스 생성기와, 상기 주기 기준 신호, 상기 레벨 설정 신호 및 상기 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 상기 고주파 펄스를 형성하는 발진 증폭기를 포함하고,
    상기 출력 레벨 설정 기구는, 상기 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은, 상기 레벨 설정 신호의 발신을 정지하는
    것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레벨 설정 신호는, 상기 고주파 펄스의 제1 출력 레벨을 규정하는 제1 레벨 설정 신호와, 제2 출력 레벨을 규정하는 제2 레벨 설정 신호를 포함하고,
    상기 레벨 설정 신호 생성부는, 상기 제1 레벨 설정 신호를 생성하는 제1 레벨 설정 신호 생성기와, 상기 제2 레벨 설정 신호를 생성하는 제2 레벨 설정 신호 생성기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 출력 레벨 설정 기구는, 상기 고주파 펄스의 진폭값을 0으로 하는 레벨0 신호를 생성하는 레벨0 신호 생성기를 더 포함하고,
    상기 레벨0 신호 생성기는, 상기 출력 정지 신호를 수신 중에 상기 레벨0 신호를 발신하고, 상기 발진 기구는, 상기 레벨0 신호를 수신 중에 상기 고주파 펄스의 출력을 0으로 하는 것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치.
  4. 동기 펄스 및 클럭 펄스에 기초하여 대상 장치로 고주파 펄스를 출력하는 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법으로서,
    상기 동기 펄스의 파형에 포함되는 출력 레벨 정보로부터 상기 고주파 펄스의 출력 레벨을 설정하는 출력 레벨 신호를 생성함과 함께, 출력 타이밍 정보로부터 주기 기준 신호를 생성하고,
    상기 출력 레벨 신호에 기초하여 레벨 설정 신호를 생성함과 함께, 상기 주기 기준 신호에 기초하여 출력 정지 시간을 계시함과 함께 출력 정지 신호를 생성하고,
    상기 주기 기준 신호, 상기 레벨 설정 신호 및 상기 클럭 펄스를 수신해서, 이 신호들에 기초하여 상기 고주파 펄스를 형성할 때에,
    상기 출력 정지 신호를 수신하고 있는 동안은, 상기 레벨 설정 신호의 발신을 정지하는
    것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 레벨 설정 신호는, 상기 고주파 펄스의 제1 출력 레벨을 규정하는 제1 레벨 설정 신호와, 제2 출력 레벨을 규정하는 제2 레벨 설정 신호를 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 출력 정지 신호를 수신 중에 상기 고주파 펄스의 진폭값이 0으로 되는 레벨0 신호를 생성하고,
    상기 레벨0 신호를 수신 중에 상기 고주파 펄스의 출력을 0으로 하는 것을 특징으로 하는 고주파 전원 장치의 출력 제어 방법.
KR1020227034825A 2020-03-16 2021-03-04 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법 KR20220154147A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020045557A JP7383533B2 (ja) 2020-03-16 2020-03-16 高周波電源装置及びその出力制御方法
JPJP-P-2020-045557 2020-03-16
PCT/JP2021/008459 WO2021187137A1 (ja) 2020-03-16 2021-03-04 高周波電源装置及びその出力制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220154147A true KR20220154147A (ko) 2022-11-21

Family

ID=77772045

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227034825A KR20220154147A (ko) 2020-03-16 2021-03-04 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법

Country Status (7)

Country Link
US (1) US12014899B2 (ko)
EP (1) EP4124181A4 (ko)
JP (1) JP7383533B2 (ko)
KR (1) KR20220154147A (ko)
CN (1) CN115316047A (ko)
TW (1) TW202141587A (ko)
WO (1) WO2021187137A1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11214363A (ja) 1998-01-23 1999-08-06 Hitachi Ltd 半導体製造方法とその装置、並びに半導体素子
JP2007514300A (ja) 2003-11-07 2007-05-31 ラム リサーチ コーポレーション プラズマ処理システムにおいて基板を最適化する方法および装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4879548B2 (ja) 2005-09-30 2012-02-22 株式会社ダイヘン 高周波電源装置
JP5808012B2 (ja) 2011-12-27 2015-11-10 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置
US9462672B2 (en) 2012-02-22 2016-10-04 Lam Research Corporation Adjustment of power and frequency based on three or more states
JP6374647B2 (ja) * 2013-11-05 2018-08-15 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置
DE102013226511B4 (de) 2013-12-18 2016-12-15 TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG Leistungsversorgungssystem und Verfahren zur Erzeugung einer Leistung
US10115567B2 (en) * 2014-09-17 2018-10-30 Tokyo Electron Limited Plasma processing apparatus
CN116387129A (zh) * 2018-06-22 2023-07-04 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置、等离子体处理方法和存储介质
JP7175239B2 (ja) 2018-06-22 2022-11-18 東京エレクトロン株式会社 制御方法、プラズマ処理装置、プログラム及び記憶媒体
JP7262375B2 (ja) * 2019-11-26 2023-04-21 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11214363A (ja) 1998-01-23 1999-08-06 Hitachi Ltd 半導体製造方法とその装置、並びに半導体素子
JP2007514300A (ja) 2003-11-07 2007-05-31 ラム リサーチ コーポレーション プラズマ処理システムにおいて基板を最適化する方法および装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021187137A1 (ja) 2021-09-23
CN115316047A (zh) 2022-11-08
US20230124064A1 (en) 2023-04-20
JP2021150031A (ja) 2021-09-27
TW202141587A (zh) 2021-11-01
JP7383533B2 (ja) 2023-11-20
EP4124181A1 (en) 2023-01-25
US12014899B2 (en) 2024-06-18
EP4124181A4 (en) 2024-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5822795B2 (ja) プラズマ処理装置
US20160268100A1 (en) Methods and apparatus for synchronizing rf pulses in a plasma processing system
KR101769073B1 (ko) 플라즈마 처리 장치
CN105914123B (zh) 用于在等离子体处理系统中控制等离子体的方法和装置
US7554414B2 (en) Fast starting circuit for crystal oscillators
JP6043852B2 (ja) プラズマ処理装置
KR20220154147A (ko) 고주파 전원 장치 및 그 출력 제어 방법
JP2006245816A (ja) スルーレート調整回路およびスルーレート調整方法
JP2008069408A (ja) 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
JP2020017565A (ja) プラズマ処理装置
WO2021187138A1 (ja) 高周波電源装置及びその出力制御方法
JP5165210B2 (ja) Ｑスイッチレーザ装置
KR20220027803A (ko) 플라스마 처리 장치
JP2018206712A (ja) 誘導加熱用電源装置
KR100187756B1 (ko) 펄스 레이다용 송신기의 위상잡음 저감장치
KR100961907B1 (ko) 샘플링 신호 발생 장치, 및 방법
TW202418340A (zh) 脈衝電壓電漿處理設備及方法
JP2001036347A (ja) 振幅補正回路
JP2017220995A (ja) 電磁波発振装置
JP2008278005A (ja) シリアル通信制御方法及びシリアル通信制御装置
TW201939569A (zh) 等離子體射頻調節方法及等離子處理裝置
JPS599077B2 (ja) 超音波発振器
JP2003172784A (ja) 物体検出方法および物体検出装置
JPH0628244B2 (ja) レーザ増幅器装置の励起制御装置
JP2008156009A (ja) 振動制御装置及び振動制御方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination