TW202141587A - 高頻電源裝置及其之輸出控制方法 - Google Patents

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片渕竜平
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日商京三製作所股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種就算是身為將同步脈衝與時脈脈衝相互獨立地產生之構造，亦成為能夠使所輸出的高頻脈衝之相位恆常相互一致的高頻電源裝置及其輸出控制方法。 [解決手段]基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝之高頻電源裝置及其輸出控制方法，係根據同步脈衝之輸出準位資訊而產生周期基準訊號，並根據輸出準位資訊而產生輸出準位訊號，基於上述周期基準訊號而對於輸出停止時間作計時並產生輸出停止訊號，在收訊前述周期基準訊號、前述準位設定訊號以及前述時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成高頻脈衝時，於收訊有上述輸出停止訊號之期間中，停止輸出準位訊號之發訊。

Description

高頻電源裝置及其之輸出控制方法
本發明，係有關於被對於電漿產生裝置等作適用之高頻電源裝置，特別是有關於基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝之高頻電源裝置及其之輸出控制方法。
高頻電源裝置，係作為震盪超音波或產生感應電力或者是產生電漿等之電源而被作適用，並為能夠藉由將決定高頻脈衝之輸出周期之同步脈衝與決定所震盪的高頻成分之脈衝周期之時脈脈衝作組合，來以特定之周期以及振幅值而輸出包含高頻成分之高頻脈衝的電源裝置。特別是，作為被適用於電漿產生裝置中之高頻電源，係周知有在1個的震盪周期之中而包含高準位(第1準位)與低準位(第2準位)之振幅值的切換方式高頻電源裝置。
作為被適用有此種切換方式高頻電源裝置之電漿處理裝置，例如，在專利文獻1中，係揭示有一種電漿蝕刻裝置，其係在被填充有蝕刻氣體並且被收容有身為被處理體之半導體晶圓的處理室內，使上部電極和下部電極包夾著被處理體地而相對向，並對於此些之上部電極以及下部電極而施加從高頻電源而來之高頻電壓，而藉由上部電極以及下部電極間之放電來將蝕刻氣體電漿化並對於被處理體進行蝕刻處理。在此種裝置中，為了在被處理體之全面而進行均一之處理，係要求使從高頻電源而來之施加電壓成為安定。
在電漿蝕刻裝置中，為了安定地產生電漿，例如在專利文獻2中，係揭示有一種技術，其係在高頻產生器與電漿處理腔之間，被連接有將從傳輸路徑終端所觀察到的電漿之複變阻抗(Complex impedance)轉換為高頻產生器之額定阻抗(Nominal impedance)的匹配網路，而對於對電漿處理腔供給高頻電力之感應線圈作反饋控制。若依據此控制技術，則藉由匹配網路，由於係成為能夠將被施加於感應線圈處之電力波形的相位藉由反饋控制來相互對齊，因此係能夠使基板處理安定化。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平11-214363號公報 [專利文獻2]日本特開2007-514300號公報
[發明所欲解決之問題]
如同上述一般，在先前技術所周知之高頻電源裝置中，產生同步脈衝之同步脈衝用產生器和產生時脈脈衝之時脈脈衝用產生器，通常係作為相互獨立之構件而被構成，兩者係相互獨立地動作，因此，基於在以根據同步脈衝所得到的時序處而被輸出之高頻脈衝中的時脈脈衝而產生之輸出波形之相位，係無可避免地會在該高頻脈衝之輸出準位的切換時成為不一致。其結果，在連續地被震盪之複數之高頻脈衝間，由第1準位之振幅所致之脈衝數與由第2準位之振幅所致之脈衝數係會相互不一致，並成為產生顫震(jitter)的原因。
為了解決此種起因於基於高頻電源裝置之震盪構造而造成的不安定之輸出波形所導致之問題，例如係適用有如同上述之專利文獻2一般之技術，但是，此係需要在電漿處理裝置與高頻電源裝置之間附加追加性之構成(匹配網路等)，並且電源控制也不得不變得更為複雜。又，若是在高頻脈衝之輸出波形中，相較於匹配網路之回應速度而更高速地產生有變動，則會有無法對應的情形，因此，係並未對於在適用切換方式之高頻電源裝置時所產生的問題作根本性的解決。
本發明，係為為了對於上述之先前技術之問題點作解決所進行者，其目的，係在於提供一種就算是身為將同步脈衝與時脈脈衝相互獨立地產生之構造，亦成為能夠使所輸出的高頻脈衝之相位恆常相互一致的高頻電源裝置及其輸出控制方法。 [用以解決課題之手段]
為了解決上述課題，本發明之代表性的其中一個態樣，係為基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝之高頻電源裝置，並具備有：同步脈衝產生機構，係產生包含有前述高頻脈衝之輸出準位資訊以及輸出時序資訊的同步脈衝；和輸出準位設定機構，係產生基於前述輸出準位資訊而設定前述高頻脈衝之輸出準位的輸出準位訊號；和震盪機構，係收訊前述同步脈衝之周期基準訊號以及前述輸出準位訊號並震盪前述高頻脈衝，前述同步脈衝產生機構，係包含有：同步脈衝形成電路，係形成前述同步脈衝；和周期基準訊號產生器，係在前述同步脈衝中之周期基準時刻處而產生周期基準訊號；和計時機構，係基於前述周期基準訊號而對於輸出停止時間作計時並且對於前述輸出準位設定機構發出輸出停止訊號，前述輸出準位設定機構，係包含有：準位判別部，係對於因應於前述輸出準位訊號而在前述高頻脈衝處所設定的輸出準位作判別；和準位設定訊號產生部，係接收前述準位判別部之判別結果並產生準位設定訊號，前述震盪機構，係包含有：時脈脈衝產生器，係產生前述時脈脈衝；和震盪放大器，係收訊前述周期基準訊號、前述準位設定訊號以及前述時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成前述高頻脈衝，前述輸出準位設定機構，於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，係停止前述準位設定訊號之發訊。
又，本發明之另一其他態樣，係為一種高頻電源裝置之輸出控制方法，該高頻電源裝置，係基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝，該高頻電源裝置之輸出控制方法，係根據在前述同步脈衝中所包含之輸出準位資訊而產生對於前述高頻脈衝之輸出準位作設定之輸出準位訊號，並且根據輸出時序資訊而產生周期基準訊號，基於前述輸出準位資訊而產生準位設定訊號，並且基於前述周期基準訊號而對於輸出停止時間作計時並產生輸出停止訊號，在收訊前述周期基準訊號、前述準位設定訊號以及前述時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成前述高頻脈衝時，於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，停止前述準位設定訊號之發訊。
若依據具備有此種構成之本發明，則由於係構成為：在收訊基於同步脈衝所得到之周期基準訊號、準位設定訊號以及時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成高頻脈衝時，基於周期基準訊號來對於輸出停止時間作計時並產生輸出停止訊號，於收訊有該輸出停止訊號之期間中，停止輸出準位訊號之發訊，因此，就算是身為將同步脈衝與時脈脈衝相互獨立地產生之構造，亦成為能夠使所輸出的高頻脈衝之相位恆常相互一致。
以下，使用圖1～圖10，針對由本發明所致之高頻電源裝置及其之輸出控制方法之代表性的具體例作說明。
＜實施例1＞ 圖1，係為對於由身為本發明之代表性之其中一例的實施例1所致之高頻電源裝置之概要作展示之區塊圖。如同圖1中所示一般，由實施例1所致之高頻電源裝置100，作為其之一例，係具備有：同步脈衝產生機構110，係產生包含有所輸出的高頻脈衝PO之輸出準位資訊以及輸出時序資訊的同步脈衝P1；和輸出準位設定機構120，係產生基於同步脈衝P1之輸出準位資訊而設定高頻脈衝PO之輸出準位的輸出準位訊號SL1 、SL2 ；和震盪機構130，係收訊基於同步脈衝P1之輸出時序資訊所得到的周期基準訊號SS 以及上述之輸出準位訊號SL1 、SL2 ，並震盪高頻脈衝PO。從高頻電源裝置100所輸出的高頻脈衝PO，係被供給至電漿或雷射產生裝置、感應加熱裝置或者是超音波震盪裝置等的對象裝置10處。
圖2，係為對於由實施例1所致之同步脈衝產生機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。如同圖2中所示一般，由實施例1所致之同步脈衝產生機構110，係包含有：同步脈衝形成電路112，係形成上述之同步脈衝P1；和周期基準訊號產生器114，係在同步脈衝P1中之周期基準時刻處而產生周期基準訊號SS ；和計時機構116，係基於周期基準訊號SS 而對於輸出停止時間作計時並且對於輸出準位設定機構120發出輸出停止訊號ST 。又，從同步脈衝形成電路112所發出的同步脈衝P1，係亦被供給至後述之輸出準位設定機構120處。
同步脈衝形成電路112，作為其之一例，係輸出包含有輸出準位資訊(振幅值)和輸出時序資訊(振幅之切換時序)並且相對於橫軸之時間經過而規定縱軸之2個的輸出準位L1、L2之略矩形之周期性的脈衝波形。另外，在圖2中，雖係針對將輸出準位設為高準位L1與低準位L2的情況來作了例示，但是，只要是身為周期性之略矩形波，則係亦可為由3個以上的輸出準位所致之脈衝波形。
又，同步脈衝P1，係並不被限定於矩形波，只要是身為包含有輸出準位資訊與輸出時序資訊者，則係亦可包含正弦波或極短脈衝等之任意之波形。進而，同步脈衝P1係亦可由複數之訊號波形來構成。作為此種例子，係可例示有藉由針對複數之訊號波形而進行AND處理來得到輸出準位和輸出時序的手法等。
周期基準訊號產生器114，係基於從同步脈衝形成電路112所收訊的同步脈衝P1，來特定出作為該同步脈衝P1之其中一個特徵的身為周期之時刻基準之輸出時序資訊，並在該所特定出的時序處而輸出周期基準訊號SS 。此時，作為周期之時刻基準之其中一例，例如係可列舉出從低準位L2而切換為高準位L1(上揚)之時刻等。又，周期基準訊號SS ，在1個周期中係並不僅被限定為1個，例如，係亦可除了上述之從低準位L2而至高準位L1之上揚時刻以外，進而亦採用從高準位L1而至低準位L2之切換(下挫)時刻。
計時機構116，作為其之一例，係具備有像是「接收從周期基準訊號產生器114而來之周期基準訊號Ss ，並在從該收訊時直到經過特定之輸出停止時間為止的期間中，持續對於後述之輸出準位設定機構120發訊輸出停止訊號ST 」一般之構成。此時，計時機構116，係使特定之輸出停止時間構成為能夠相對於後述之時脈脈衝產生器132(參照圖4)之時脈周期而選擇任意之時序。藉由此，係成為能夠任意地選擇使輸出停止訊號ST 之發訊停止的時序。
圖3，係為對於由實施例1所致之輸出準位設定機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。如同圖3中所示一般，由實施例1所致之輸出準位設定機構120，係包含有：準位判別部122，係因應於同步脈衝P1之振幅值(輸出準位資訊)而發出第1準位設定指令S1 或第2準位設定指令S2 ；和準位設定訊號產生部124，係接收輸出停止訊號ST 和第1準位設定指令S1 以及第2準位設定指令S2 並產生準位設定訊號(第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 )。又，準位設定訊號產生部124，係更進而包含有：當正在收訊第1準位設定指令S1 時，產生第1準位設定訊號SL1 之第1準位設定訊號產生器126；和當正在收訊第2準位設定指令S2 時，產生第2準位設定訊號SL2 之第2準位設定訊號產生器128。
準位判別部122，係構成為收訊從同步脈衝形成電路112而來之同步脈衝P1，並因應於該同步脈衝P1之輸出準位是位於何者之準位一事來即時性地發訊特定之設定指令。作為其之一例，在實施例1中，準位判別部122，在同步脈衝P1係為高準位L1的期間中，係發訊第1準位特定指令S1 ，若是同步脈衝P1切換至低準位L2，則發訊第2準位設定指令S2 。
第1準位設定訊號產生器126，係若是收訊從準位判別部122而來之第1準位設定指令S1 ，則產生第1準位設定訊號SL1 。同樣的，第2準位設定訊號產生器128，係若是收訊從準位判別部122而來之第2準位設定指令S2 ，則產生第2準位設定訊號SL2 。此時，準位設定訊號產生部124，係構成為當正從同步脈衝產生機構110而收訊有輸出停止訊號ST 的期間中，並不將藉由第1準位設定訊號產生器126所產生的第1準位設定訊號SL1 或藉由第2準位設定訊號產生器128所產生的第2準位設定訊號SL2 對於震盪機構130作輸出。
圖4，係為對於由實施例1所致之震盪機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。如同圖4中所示一般，由實施例1所致之震盪機構130，係包含有：時脈脈衝產生器132，係產生特定之高頻範圍之時脈脈衝P2；和震盪放大器134，係收訊從同步脈衝產生機構110而來之周期基準訊號SS 、從輸出準位設定機構120而來之第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 、以及上述時脈脈衝P2，並基於此些之訊號而形成高頻脈衝PO。
時脈脈衝產生器132，係身為產生與高頻脈衝PO之輸出相對應的高頻(數百kHz～數十MHz)之時脈脈衝P2的手段，並例如產生13.56MHz之時脈脈衝P2。又，時脈脈衝產生器132，係具備有「產生上述之特定之高頻下的等間隔之時脈脈衝P2，並且在任意之時刻trst (參照圖5或圖6)處而將時脈脈衝P2之產生時序作重置(設定為任意之相位)」之功能。而，震盪放大器134，係基於周期基準訊號SS 而決定高頻脈衝PO之震盪時序，並且基於第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 來將時脈脈衝P2之振幅值作放大，藉由此，而產生高頻脈衝PO。
圖5，係為對於藉由由實施例1所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之其中一例作展示之圖表。在由實施例1所致之高頻電源裝置之輸出控制方法中，作為其之一例，首先，如同圖5(a)中所示一般，藉由同步脈衝產生機構110之同步脈衝形成電路112所形成的同步脈衝P1，係被形成為「在時間TL1 之區間中係成為高準位L1，在時間TL2 之區間中係成為低準位L2」的周期性之脈衝訊號。而，從該同步脈衝P1，係如同上述一般地，例如身為脈衝1個周期的時刻基準之朝向高準位L1之上揚時刻係被抽出，周期基準訊號產生器114係在每個該上揚時刻處而發訊周期基準訊號SS 。
另一方面，同步脈衝P1係亦被供給至輸出準位設定機構120處，在該輸出準位設定機構120之準位判別部122處，各時刻之個別的輸出準位係被作設定，並從第1準位設定訊號產生器126或第2準位設定訊號產生器128而將第1準位設定訊號SL1 或第2準位設定訊號SL2 對於震盪機構130作發訊。亦即是，若是參照圖5(a)，則在時間TL1 之區間處，第1準位設定訊號SL1 係成為被發訊，在時間TL2 之區間處，第2準位設定訊號SL2 係成為被發訊。
接著，在震盪機構130之震盪放大器134處，因應於所收訊了的第1準位設定訊號SL1 或者是第2準位設定訊號SL2 ，時脈脈衝P2之振幅值係被作放大。另外，在連續性地收訊了第1準位設定訊號SL1 的情況時，如同圖5(b)中所示一般，係被輸出有會使時脈脈衝P2之平均高度成為高準位L1的連續脈衝。另一方面，在連續性地收訊了第2準位設定訊號SL2 的情況時，如同圖5(c)中所示一般，係被輸出有會使時脈脈衝P2之平均高度成為低準位L2的連續脈衝。
於此，如同圖5(d)中所示一般，當從計時機構116而發訊了成為輸出停止時間Tst 之輸出停止訊號ST 的情況時，於該輸出停止時間Tst 之期間中的任意之時刻trst (將此時刻定義為「重置時刻trst 」)處，從時脈脈衝產生器132所產生的時脈脈衝P2係被作重置。而，若是將此些之動作，從同步脈衝P1之產生起伴隨著時間變化而連續性地實行，則如同圖5(e)中所示一般，從震盪機構130收訊了周期基準訊號SS 的時刻起，高頻脈衝PO之輸出係被開始，在時間TL1 之區間中，高準位L1之連續脈衝係被作輸出。同樣的，在時間TL2 之區間中，低準位L2之連續脈衝係被作輸出。
此時，如同上述一般，在輸出準位設定機構120處，於正收訊有輸出停止訊號ST 的期間中，由於係構成為並不發訊第1準位設定訊號SL1 ，因此，從時間TL1 之區間之開始起直到經過輸出時間Tst 為止，由高準位L1所致之連續脈衝係成為不會被輸出。於此，此時，重置時刻trst 之時序，係因應於在輸出停止時間Tst 之結束後而最初所被輸出的高頻脈衝PO之相位θst ，而被作決定。亦即是，藉由將時脈脈衝P2之相位在重置時刻trst 處而作重置，經過輸出停止時間Tst 之後的高頻脈衝PO之相位係恆常成為相同相位。
圖6，係為對於藉由由實施例1所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之變形例作展示之圖表。在由圖6中所示之變形例所致的高頻電源裝置之輸出控制方法中，首先，如同圖6(a)中所示一般，從藉由同步脈衝產生機構110之同步脈衝形成電路112所產生的同步脈衝P1，係與在圖5中所示之情況相同的，例如身為脈衝1個周期的時刻基準之朝向高準位L1之上揚時刻係被抽出，周期基準訊號產生器114係在每個該上揚時刻處而發訊周期基準訊號SS 。而，在輸出準位設定機構120處，在時間TL1 之區間處，第1準位設定訊號SL1 係被發訊至震盪機構130處，在時間TL2 之區間處，第2準位設定訊號SL2 係被發訊至震盪機構130處。
接著，與圖5中所示之情況相同的，在震盪機構130之震盪放大器134處，因應於所收訊了的第1準位設定訊號SL1 或者是第2準位設定訊號SL2 ，時脈脈衝P2之振幅值係被作放大。之後，如同圖6(b)中所示一般之會使時脈脈衝P2之平均高度成為高準位L1的連續脈衝和如同圖6(c)中所示一般之會使時脈脈衝P2之平均高度成為低準位L2的連續脈衝係被作輸出。
於此，如同圖6(d)中所示一般，若是從計時機構116而發訊了成為輸出停止時間Tst 之輸出停止訊號ST ，則與圖5中所示之情況相同的，於輸出停止時間Tst 之期間中的任意之時刻trst (將此時刻定義為「重置時刻trst 」)處，從時脈脈衝產生器132所產生的時脈脈衝P2係被作重置。而，在輸出準位設定機構120處，由於係構成為「在正收訊有輸出停止訊號ST 之期間中，係並不發訊第1準位設定訊號SL1 」，因此，若是從同步脈衝P1之產生起伴隨著時間變化而連續性地實行，則如同圖6(e)中所示一般，從震盪機構130收訊了周期基準訊號SS 的時刻起，高頻脈衝PO之輸出係被開始，在時間TL1 之區間中，高準位L1之連續脈衝係被作輸出。同樣的，在時間TL2 之區間中，低準位L2之連續脈衝係被作輸出。
此時，在圖6所示之變形例中，重置時刻trst 之時序，係以會使在輸出停止時間Tst 之結束後而最初所被輸出的高頻脈衝PO之相位θst 恆常成為相位0的方式而被作設定。藉由此，藉由將時脈脈衝P2之相位在重置時刻trst 處而作重置，係成為能夠以會使經過輸出停止時間Tst 之後的高頻脈衝PO之相位恆常成為相位0的方式來安定地作輸出，但是，另一方面，如同圖6(e)中所示一般，輸出係成為會發生有與「為了使輸出相位一致地成為相位0所需要的待機時間α」相應之延遲。
藉由具備有上述一般之構成，由實施例1所致之高頻電源裝置及其之輸出控制方法，由於係構成為：在收訊基於同步脈衝P1所得到之周期基準訊號SS 、第1準位設定訊號SL1 、第2準位設定訊號SL2 以及時脈脈衝P2，並基於此些之訊號而形成高頻脈衝PO時，將基於周期基準訊號SS 而被作計時的輸出停止時間設定為會成為時脈脈衝P2之時脈周期的整數倍，於收訊有輸出停止訊號ST 之期間中，輸出準位設定機構係停止第1準位設定訊號SL1 或第2準位設定訊號SL2 之發訊，因此，就算是身為將同步脈衝與時脈脈衝相互獨立地產生之構造，亦成為能夠使所輸出的高頻脈衝之相位恆常相互一致。
＜實施例2＞ 圖7，係為對於由實施例2所致之高頻電源裝置之概要作展示之區塊圖。於此，在由實施例2所致之高頻電源裝置200中，針對具備有與實施例1同一或同樣的構成者，係附加與實施例1相同之元件符號，並省略再度進行之說明。
如同圖7中所示一般，由實施例2所致之高頻電源裝置200，係具備有同步脈衝產生機構110、和輸出準位設定機構120、以及震盪機構130。 在由實施例2所致之高頻電源裝置200中，係從輸出準位設定機構120而對於震盪機構130發訊準位0訊號SL0 ，在此點上，係與由實施例1所致之高頻電源裝置100相異。
圖8，係為對於由實施例2所致之輸出準位設定機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。如同圖8中所示一般，由實施例2所致之輸出準位設定機構120，係包含有：準位判別部122，係收訊輸出停止訊號ST 以及同步脈衝P1，並因應於同步脈衝P1之振幅值(輸出準位)而發出第1準位設定指令S1 或第2準位設定指令S2 ；和準位設定訊號產生部124，係接收輸出停止訊號ST 和第1準位設定指令S1 以及第2準位設定指令S2 並產生準位設定訊號(準位0訊號SL0 、第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 )。又，準位設定訊號產生部124，係更進而包含有：基於輸出停止訊號ST 而產生準位0訊號SL0 之準位0訊號產生器223、和與實施例1相同之第1準位設定訊號產生器126以及第2準位設定訊號產生器128。
準位判別部122，係與實施例1之情況相同地，收訊從同步脈衝形成電路112而來之同步脈衝P1，並因應於該同步脈衝P1之輸出準位係位於何者之準位一事，來在同步脈衝P1係身為高準位L1的期間中，發訊第1準位特定指令S1 ，若是同步脈衝P1切換至低準位L2，則發訊第2準位設定指令S2 。
準位0訊號產生器223，係構成為當準位設定訊號產生部124正收訊有輸出停止訊號ST 之期間中而啟動，並在正收訊有該輸出停止訊號ST 的期間中，發訊將高頻脈衝PO之振幅值設為0之準位0訊號SL0 。另一方面，第1準位設定訊號產生器126以及第2準位設定訊號產生器128，係與實施例1之情況相同地，構成為若是收訊從準位判別部122而來之第1準位設定指令S1 或者是第2準位設定指令S2 ，則對於震盪機構130發訊第1準位設定訊號SL1 或第2準位設定訊號SL2 。藉由此，準位設定訊號產生部124，當正從同步脈衝產生機構110而收訊有輸出停止訊號ST 的期間中，係僅將準位0訊號SL0 對於震盪機構130作輸出，而並不輸出第1準位設定訊號SL1 或者是第2準位設定訊號SL2 。
圖9，係為對於由實施例2所致之震盪機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。如同圖9中所示一般，由實施例2所致之震盪機構130，係包含有：時脈脈衝產生器132；和震盪放大器234，係收訊從同步脈衝產生機構110而來之周期基準訊號SS 、從輸出準位設定機構120而來之準位0訊號SL0 與第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 、以及上述時脈脈衝P2，並基於此些之訊號而形成高頻脈衝PO。
在實施例2中之震盪放大器234，係基於周期基準訊號SS 而決定高頻脈衝PO之震盪時序，並且在正收訊有準位0訊號SL0 之期間中，係將高頻脈衝PO之振幅值設為0。另一方面，在正收訊有第1準位設定訊號SL1 和第2準位設定訊號SL2 之期間中，係基於此些之訊號來將時脈脈衝P2之振幅值放大為高準位L1或低準位L2，藉由此，而產生高頻脈衝PO。
圖10，係為對於藉由由實施例2所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之其中一例作展示之圖表。在由實施例2所致之高頻電源裝置之輸出控制方法中，關於在圖10(a)～圖10(d)中所示之同步脈衝P1以及輸出停止訊號ST 與高頻脈衝PO之關連於高準位L1以及低準位L2之振幅值之放大之間的關係，由於係與實施例1之情況相同，因此係省略再度之說明。
另一方面，在由實施例2所致之高頻電源裝置之輸出控制方法中，於正被輸出有輸出停止訊號ST的期間中，由於輸出準位設定機構係以對於震盪機構而輸出將輸出準位設為0之準位0訊號SL0 的方式而進行控制，因此，如同圖9(e)中所示一般，在緊接於前之高頻脈衝PO之輸出區間(時間TL2 )的末端處，就算是發生有起因於輸出準位之切換(switching)所導致的看起來像是反彈脈衝(消減脈衝(damping pulse)PD )，在實際的輸出中，也能夠進行作為振幅值0而對於錯誤的脈衝輸出作了抑制之控制。
另外，在上述之實施形態以及此些之變形例中的記述內容，係僅為本發明之高頻電源裝置及其之輸出控制方法的其中一例，本發明，係並不被限定於各實施形態。又，只要是同業者，則均可在不脫離本發明之要旨的範圍內來進行各種的變形，並且也不應將此些從本發明之範圍中而排除。
例如，在上述之實施例1以及2中，雖係針對在高準位L1之輸出初始時設置有輸出停止時間Tst 的情況來作了例示，但是，係亦可構成為將該輸出停止時間Tst 設置於低準位L2之輸出初始處，或者是分別設置於高準位L1以及低準位L2之雙方的輸出初始處。藉由此，係成為能夠進行將在高頻脈衝PO之輸出時的各1個周期之各者的波數維持為一定值的控制。
又，在實施例1以及2中所例示之構成，係並非為相互獨立之發明的構成，而亦可將彼此之特徵作組合並作為1個的高頻電源裝置來作適用。
10:對象裝置 100,200,300:高頻電源裝置 110:同步脈衝產生機構 112:同步脈衝形成電路 114:周期基準訊號產生器 116:計時機構 120:輸出準位設定機構 122:準位判別部 124:準位設定訊號產生部 126:第1準位設定訊號產生器 128:第2準位設定訊號產生器 130:震盪機構 132:時脈脈衝產生器 134,234:震盪放大器 223:準位0訊號產生器 PO:高頻脈衝 P1:同步脈衝 P2:時脈脈衝 SS :周期基準訊號 ST :輸出停止訊號 SL0 :準位0訊號 SL1 :第1準位設定訊號 SL2 :第2準位設定訊號 Tst :輸出停止時間
[圖1]係為對於由身為本發明之代表性之其中一例的實施例1所致之高頻電源裝置之概要作展示之區塊圖。 [圖2]係為對於由實施例1所致之同步脈衝產生機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。 [圖3]係為對於由實施例1所致之輸出準位設定機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。 [圖4]係為對於由實施例1所致之震盪機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。 [圖5]係為對於藉由由實施例1所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之其中一例作展示之圖表。 [圖6]係為對於藉由由實施例1所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之變形例作展示之圖表。 [圖7]係為對於由實施例2所致之高頻電源裝置之概要作展示之區塊圖。 [圖8]係為對於由實施例2所致之輸出準位設定機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。 [圖9]係為對於由實施例2所致之震盪機構之具體性的構成之其中一例作展示之區塊圖。 [圖10]係為對於藉由由實施例2所致之高頻電源裝置之輸出控制方法所得到的輸出波形之其中一例作展示之圖表。
L1:輸出準位
L2:輸出準位
PO:高頻脈衝
P1:同步脈衝
P2:時脈脈衝
SS:周期基準訊號
ST:輸出停止訊號
SL1:第1準位設定訊號
SL2:第2準位設定訊號
TL1:時間
TL2:時間
trst:時刻
Tst:輸出停止時間
θst:相位

Claims (6)

  1. 一種高頻電源裝置，係基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝，並具備有： 同步脈衝產生機構，係產生包含有前述高頻脈衝之輸出準位資訊以及輸出時序資訊的同步脈衝；和 輸出準位設定機構，係產生基於前述輸出準位資訊而設定前述高頻脈衝之輸出準位的輸出準位訊號；和 震盪機構，係收訊前述同步脈衝之周期基準訊號以及前述輸出準位訊號並震盪前述高頻脈衝， 前述同步脈衝產生機構，係包含有： 同步脈衝形成電路，係形成前述同步脈衝；和 周期基準訊號產生器，係在前述同步脈衝中之周期基準時刻處而產生周期基準訊號；和 計時機構，係基於前述周期基準訊號而對於輸出停止時間作計時並且對於前述輸出準位設定機構發出輸出停止訊號， 前述輸出準位設定機構，係包含有： 準位判別部，係對於因應於前述輸出準位訊號而在前述高頻脈衝處所設定的輸出準位作判別；和 準位設定訊號產生部，係接收前述準位判別部之判別結果並產生準位設定訊號， 前述震盪機構，係包含有： 時脈脈衝產生器，係產生前述時脈脈衝；和 震盪放大器，係收訊前述周期基準訊號、前述準位設定訊號以及前述時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成前述高頻脈衝， 前述輸出準位設定機構，於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，係停止前述準位設定訊號之發訊。
  2. 如請求項1所記載之高頻電源裝置，其中， 前述準位設定訊號，係包含有對於前述高頻脈衝之第1輸出準位作規定之第1準位設定訊號、和對於第2輸出準位作規定之第2準位設定訊號， 前述準位設定訊號產生部，係包含有產生前述第1準位設定訊號之第1準位設定訊號產生器、和產生前述第2準位設定訊號之第2準位設定訊號產生器。
  3. 如請求項1所記載之高頻電源裝置，其中， 前述輸出準位設定機構，係更進而包含有：準位0訊號產生器，係產生將前述高頻脈衝之振幅值設為0之準位0訊號， 前述準位0訊號產生器，係於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，發訊前述準位0訊號， 前述震盪機構，於收訊有前述準位0訊號之期間中，係將前述高頻脈衝之輸出設為0。
  4. 一種高頻電源裝置之輸出控制方法，該高頻電源裝置，係基於同步脈衝以及時脈脈衝而對於對象裝置輸出高頻脈衝，該高頻電源裝置之輸出控制方法，係 根據在前述同步脈衝中所包含之輸出準位資訊而產生對於前述高頻脈衝之輸出準位作設定之輸出準位訊號，並且根據輸出時序資訊而產生周期基準訊號， 基於前述輸出準位訊號而產生準位設定訊號，並且基於前述周期基準訊號而對於輸出停止時間作計時並產生輸出停止訊號， 在收訊前述周期基準訊號、前述準位設定訊號以及前述時脈脈衝，並基於此些之訊號而形成前述高頻脈衝時， 於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，停止前述準位設定訊號之發訊。
  5. 如請求項4所記載之高頻電源裝置之輸出控制方法，其中， 前述準位設定訊號，係包含有對於前述高頻脈衝之第1輸出準位作規定之第1準位設定訊號、和對於第2輸出準位作規定之第2準位設定訊號。
  6. 如請求項4或5所記載之高頻電源裝置之輸出控制方法，其中， 於收訊有前述輸出停止訊號之期間中，產生使前述高頻脈衝之振幅值成為0之準位0訊號， 於收訊有前述準位0訊號之期間中，將前述高頻脈衝之輸出設為0。
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