KR20220127936A - 가공 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 가공 테이블을 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 해서, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 하는 것이고, 가공 대상물(W)을 보유 지지하는 가공 테이블(2A, 2B)과, 가공액을 사용하면서 회전 공구(30)에 의해 가공 대상물(W)을 가공하는 가공 기구(3)와, 가공 기구(3)를 적어도 수평면에 있어서의 XY 방향 각각으로 직선 이동시키는 이동 기구(5)를 구비하고, 적어도 XY 방향으로 고정된 가공 테이블(2A, 2B)에 대해서, 이동 기구(5)에 의해 이동된 가공 기구(3)가 가공 대상물(W)을 가공한다.

Description

가공 장치

본 발명은, 가공 장치에 관한 것이다.

종래, 수지 봉지된 봉지 완료 기판 등의 전자 부품을 절단해서 개편화(個片化)할 때에 절단 장치가 사용되는데, 예를 들면 특허문헌 1에 개시하는 바와 같은 절삭 장치가 알려져 있다. 이 절삭 장치는, 가공 대상물을 보유 지지하는 척 테이블과, 그 척 테이블을 직선적으로 이동시키는 예를 들면 볼 나사 등의 이동 기구를 가지고 있다. 또, 절삭 장치는, 절삭에 의해 생기는 가공 부스러기(屑) 또는 절삭 시에 공급되는 가공액으로부터, 상기 이동 기구를 보호하기 위한 보호 플레이트를 가지고 있다.

이 보호 플레이트는, 척 테이블의 이동에 수반하여 신축 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로 보호 플레이트는, 상기 이동 기구의 상방 및 측방을 둘러싸도록 마련된 벨로우즈(蛇腹) 커버와, 그 벨로우즈 커버의 상면에 마련된 복수의 플레이트를 가지고 있다. 이 각 플레이트는, 복수 순차적으로 겹쳐져서 구성되어 있고, 척 테이블의 이동에 수반하여 서로 슬라이드한다.

이 절삭 장치에 의해서 가공 대상물을 개편화하면, 제품부와 부스러기(端材) 등의 절삭 부스러기가 발생한다. 제품부는, 척 테이블에 마련된 척 기구에 의해서 보유 지지되어 있다.

그러나, 절삭 부스러기는 상기 척 기구에 의해 보유 지지되어 있지 않으므로, 제품부로부터 절삭된 후에 척 테이블로부터 낙하한다. 이 낙하한 절삭 부스러기는, 보호 플레이트에 있어서의 각 플레이트의 상면에 쌓여버린다. 이 상태에서 척 테이블이 이동하면, 그 척 테이블의 이동에 수반하여 보호 플레이트가 한창 수축하고 있는 중에, 절삭 부스러기가 서로 겹쳐진 각 플레이트 사이로 침입할 가능성이 있다. 플레이트 사이로 가공 부스러기가 침입해 버리면, 보호 플레이트의 신축을 방해할 뿐만 아니라, 벨로우즈 커버와 접촉해서 벨로우즈 커버를 파손시켜 버릴 우려가 있다. 벨로우즈 커버가 파손되어 버리면 가공액이 이동 기구로 누설되어, 이동 기구에 녹을 발생시켜 버려, 동작 불량이나 고장을 일으켜 버린다. 그 결과, 그것들의 보수 작업이나 교환 작업을 빈번하게 행할 필요가 생겨 버려, 절삭 장치의 가동률이 저하되어 버린다.

일본특허 제6043648호 공보

그래서 본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이고, 가공 테이블을 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 해서, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.

즉 본 발명에 관계된 가공 장치는, 가공 대상물을 보유 지지하는 가공 테이블과, 가공액을 사용하면서 회전 공구에 의해 상기 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 상기 가공 기구를 적어도 수평면에 있어서의 XY 방향 각각으로 직선 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 적어도 XY 방향으로 고정된 상기 가공 테이블에 대해서, 상기 이동 기구에 의해 이동된 상기 가공 기구가 상기 가공 대상물을 가공하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 가공 테이블을 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 해서, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 할 수가 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관계된 절단 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 2는, 같은(同) 실시 형태의 기판 절단 모듈의 구성을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 3은, 같은 실시 형태의 기판 절단 모듈의 구성을 모식적으로 도시하는 Z방향으로 본 도면(평면도)이다.
도 4는, 같은 실시 형태의 기판 절단 모듈의 구성을 모식적으로 도시하는 X방향으로 본 도면(측면도)이다.
도 5는, 같은 실시 형태의 기판 절단 모듈의 구성을 모식적으로 도시하는 Y방향으로 본 도면(정면도)이다.
도 6은, 종래의 구성과 비교한 본 실시 형태의 효과를 도시하는 모식도이다.
도 7은, 종래의 구성과 비교한 본 실시 형태의 효과를 도시하는 모식도이다.

다음에, 본 발명에 대하여, 예를 들어서 더욱 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명은, 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.

본 발명의 가공 장치는, 전술한 대로, 가공 대상물을 보유 지지하는 가공 테이블과, 가공액을 사용하면서 회전 공구에 의해 상기 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와, 상기 가공 기구를 적어도 수평면에 있어서의 XY 방향 각각으로 직선 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 적어도 XY 방향으로 고정된 상기 가공 테이블에 대해서, 상기 이동 기구에 의해 이동된 상기 가공 기구가 상기 가공 대상물을 가공하는 것을 특징으로 한다.

이 가공 장치라면, 적어도 XY 방향으로 고정된 가공 테이블에 대해서, 이동 기구에 의해 이동된 가공 기구가 가공 대상물을 가공하므로, 가공 테이블을 X방향 또는 Y방향으로 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 하여, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 할 수가 있다. 그 결과, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버의 파손에 수반하는 장치의 가동률 저하를 억제해서, 장치의 생산성을 향상시킬 수가 있다.

가공 기구를 적어도 XY 방향으로 이동시키는 이동 기구의 구체적인 실시 양태로서는, 상기 이동 기구는, 상기 가공 기구를 X방향으로 직선 이동시키는 X방향 이동부와, 상기 가공 기구를 Y방향으로 직선 이동시키는 Y방향 이동부를 구비하고, 상기 Y방향 이동부는, 상기 가공 테이블을 사이에 두고 Y방향을 따라 마련된 한 쌍의 Y방향 가이드 레일과, 그 한 쌍의 Y방향 가이드 레일을 따라 이동함과 함께, 상기 X방향 이동부를 거쳐 상기 가공 기구를 지지하는 지지체를 가지고 있는 것이 생각된다.

이와 같이 Y방향으로 마련되는 한 쌍의 Y방향 가이드 레일이 가공 테이블을 사이에 두고 마련되므로, 한 쌍의 Y방향 가이드 레일의 피치를 크게 할 수가 있다. 그 결과, Y방향 가이드 레일끼리의 Z방향의 위치 어긋남이 가공에 미치는 영향을 작게 할 수가 있다. 다시 말해, 회전 공구(예를 들면 회전 날(回轉刃))와 가공 테이블의 직교도(直交度)의 어긋남을 작게 할 수 있어, 가공 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 또, Y방향 가이드 레일에 종래보다도 낮은 사양의 것을 사용할 수가 있다.

하나의 가공 장치에 있어서 가공 대상물의 처리 능력을 향상시키기 위해서는, 상기 가공 테이블을 둘 이상 구비하고 있는 것이 생각된다.

이 구성에 있어서, 상기 둘 이상의 가공 테이블은, 수평면 상에 있어서 Y방향을 따라 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성이라면, 둘 이상의 가공 테이블이 Y방향을 따라 마련되어 있으므로, 둘 이상의 가공 테이블에 대한 이동 기구의 Y방향의 평행도를 일거에 조정할 수가 있다. 또, 한쪽 가공 테이블에서 가공 대상물을 처리하고 있을 때에, 다른 쪽 가공 테이블에 있어서 반송 등의 별도의 처리를 행할 수가 있다.

상기 가공 기구가, 회전 날에 의해 상기 가공 대상물을 절단해서 개편화하는 것인 경우, 회전 날에 의한 절단 방향과 이동 기구에 의한 Y방향이 일치하는(다시 말해, 회전 날의 회전축 방향과 이동 기구에 의한 Y방향이 직교하는) 것이 특히 중요해진다. 본 발명에서는, Y방향 이동부의 지지체에 대해서 회전 날을 위치결정하기만 하면 되어, 종래와 같이 회전 날과는 별도로 이동하는 가공 테이블에 대해서, 회전 날의 회전축 방향을 위치결정하는 경우에 비해, 그것들의 위치결정이 용이해진다.

본 발명의 가공 장치의 구체적인 실시 양태로서는, 상기 가공 대상물은, 수지 봉지된 봉지 완료 기판이고, 상기 가공 기구는, 회전 날에 의해 상기 봉지 완료 기판을 절단함으로써 복수의 제품으로 개편화하는 것인 것이 바람직하다.

＜본 발명의 일 실시 형태＞

이하에, 본 발명에 관계된 가공 장치의 일 실시 형태에 대하여, 도면을 참조해서 설명한다. 한편, 이하에 나타내는 어느 도면에 대하여도, 알기 쉽게 하기 위해서, 적당히 생략하거나 또는 과장해서 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성 요소에 대하여는, 동일한 부호를 붙여서 설명을 적당히 생략한다.

＜가공 장치의 전체 구성＞

본 실시 형태의 가공 장치(100)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 가공 대상물인 봉지 완료 기판(W)을 절단함으로써 복수의 제품(P)으로 개편화하는 절단 장치이다. 이 절단 장치(100)는, 기판 공급 모듈(A)과 기판 절단 모듈(B)과 검사 모듈(C)을, 각각 구성 요소로서 구비한다. 각 구성 요소(각 모듈 A∼C)는, 각각 다른 구성 요소에 대해서 착탈(着脫) 가능한 동시에 교환 가능하다.

기판 공급 모듈(A)은, 기판 절단 모듈(B)에 봉지 완료 기판(W)을 공급하는 것이다. 구체적으로 기판 공급 모듈(A)은, 봉지 완료 기판(W)을 기판 절단 모듈(B)에 공급하기 위한 기판 공급 기구(1)를 가지고 있다. 그리고, 봉지 완료 기판(W)이, 기판 공급 기구(1)로부터 반출되고, 이송 기구(도시하지 않음)에 의해서 기판 절단 모듈(B)로 이송된다.

기판 절단 모듈(B)은, 회전 날 및 스핀들로 이루어지는 회전 공구(30)를 가지는 절단 기구(가공 기구)(3)를 사용하여, 봉지 완료 기판(W)을 절단하는 것이고, 예를 들면 트윈 컷 테이블 방식의 트윈 스핀들 구성의 것이다. 구체적으로 기판 절단 모듈(B)은, 두 절단용 테이블(가공 테이블)(2A, 2B)과, 회전 날(31A, 31B)이 장착(부착)되는 두 스핀들(32A, 32B)을 가지고 있다. 절단용 테이블(2A)에는 절단용 지그(4A)가 장착되고, 절단용 테이블(2B)에는 절단용 지그(4B)가 장착된다. 기판 절단 모듈(B)의 구체적인 구성에 대하여는 후술한다.

검사 모듈(C)에는 검사용 테이블(10)이 마련된다. 검사용 테이블(10)에는, 봉지 완료 기판(W)을 절단해서 개편화된 복수의 제품(P)으로 이루어지는 집합체가 얹힌다. 복수의 제품(P)은, 검사용 카메라(도시하지 않음)에 의해서 검사되어, 양품과 불량품으로 선별된다. 양품은 트레이(11)에 수용된다.

한편, 본 실시 형태에 있어서는, 절단 장치(100)의 동작, 봉지 완료 기판(W)의 반송, 봉지 완료 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사 등, 모든 동작이나 제어를 행하는 제어부(CTL)를 기판 공급 모듈(A) 내에 마련하고 있다. 이것에 한하지 않고, 제어부(CTL)를 다른 모듈 내에 마련해도 된다.

＜기판 절단 모듈(B)의 구체적인 구성＞

다음에, 본 실시 형태의 절단 장치(100)에 있어서, 기판 절단 모듈(B)의 구체적인 구성에 대하여 이하에 설명한다. 한편, 편의상, 절단용 테이블(2A, 2B)의 상면인 기판 재치면(21)(보유 지지면)을 따른 평면(수평면) 내에서 서로 직교하는 방향을 각각 X방향 및 Y방향, X방향 및 Y방향과 직교하는 연직 방향을 Z방향이라 한다. 구체적으로는, 도 3의 좌우 방향을 X방향이라 하고, 상하 방향을 Y방향이라 한다. 또, 도 2에 있어서, 앞쪽(手前) Y방향 가이드 레일(511)의 일부를 생략하고 있다.

기판 절단 모듈(B)은, 도 2 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 봉지 완료 기판(W)을 보유 지지하는 두 절단용 테이블(2A, 2B)과, 회전 날(31A, 31B) 및 두 스핀들(32A, 32B)로 이루어지는 두 회전 공구(30)를 가지는 절단 기구(3)와, 그 절단 기구(3)의 두 스핀들(32A, 32B)을 XYZ 방향 각각으로 직선 이동시키는 이동 기구(5)를 구비하고 있다.

두 절단용 테이블(2A, 2B)은, X방향, Y방향 및 Z방향으로 고정시켜 마련되어 있다. 한편, 절단용 테이블(2A)은, 절단용 테이블(2A) 아래에 마련된 회전 기구(6A)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다. 또, 절단용 테이블(2B)은, 절단용 테이블(2B) 아래에 마련된 회전 기구(6B)에 의해서 θ방향으로 회전 가능하다.

이 두 절단용 테이블(2A, 2B)은, 수평면 상에 있어서 Y방향을 따라 마련되어 있다. 구체적으로는, 두 절단용 테이블(2A, 2B)은, 그것들의 상면인 기판 재치면(21)(보유 지지면)이 동일 수평면 상에 위치하도록(Z방향에 있어서 동일 높이로 위치하도록) 배치됨과 함께(도 4 참조), 그것들의 기판 재치면(21)의 중심(구체적으로는 회전 기구(6A, 6B)에 의한 회전 중심)이 Y방향으로 연장되는 동일 직선 상에 위치하도록 배치되어 있다(도 3 참조).

또, 두 절단용 테이블(2A, 2B)은, 봉지 완료 기판(W)을 흡착 보유 지지하는 것이고, 도 2에 도시하는 바와 같이, 두 절단용 테이블(2A, 2B)에 대응해서, 흡착 보유 지지하기 위한 두 진공 펌프(7A, 7B)가 배치되어 있다. 각 진공 펌프(7A, 7B)는, 예를 들면 수봉식(水封式) 진공 펌프이고, 대응하는 절단용 테이블(2A, 2B)의 X방향을 따라 비스듬히 하방에 마련되어 있고, 두 진공 펌프(7A, 7B)는, Y방향을 따라 나란히 마련되어 있다.

여기서, 절단용 테이블(2A, 2B)이 XYZ 방향으로 고정되어 있기 때문에, 진공 펌프(7A, 7B)로부터 절단용 테이블(2A, 2B)에 접속되는 배관(71A, 71B)을 짧게 할 수 있어, 배관(71A, 71B)의 압력 손실을 저감해서, 흡착력의 저하를 방지할 수가 있다. 그 결과, 예를 들면 한 변이 1 ㎜ 이하인 사각형의 극소 패키지라도 확실하게 절단용 테이블(2A, 2B)에 흡착시킬 수가 있다. 또, 배관(71A, 71B)의 압력 손실에 의한 흡착력의 저하를 방지할 수 있으므로, 진공 펌프(7A, 7B)의 용량을 작게 할 수 있어, 코스트 다운으로도 이어진다.

절단 기구(3)의 두 스핀들(32A, 32B)은, 그것들의 회전축이 X방향을 따르도록 마련되어 있고, 그것들에 장착되는 회전 날(31A, 31B)이 서로 대향하도록 배치된다(도 3, 도 5 참조). 스핀들(32A)의 회전 날(31A) 및 스핀들(32B)의 회전 날(31B)은, Y방향과 Z방향을 포함하는 면 내에 있어서 회전함으로써 각 절단용 테이블(2A, 2B)에 보유 지지된 봉지 완료 기판(W)을 절단한다. 한편, 기판 절단 모듈(B)에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 회전 날(31A, 31B)에 의해서 발생하는 마찰열을 억제하기 위해서 절삭수(가공액)를 분사하는 분사 노즐(81)을 가지는 액체 공급 기구(8)가 마련되어 있다. 이 분사 노즐(81)은, 예를 들면 후술하는 Z방향 이동부(53)에 지지되어 있다.

이동 기구(5)는, 도 2 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 두 스핀들(32A, 32B) 각각을, X방향, Y방향 및 Z방향 각각으로 독립적으로 직선 이동시키는 것이다.

구체적으로 이동 기구(5)는, 스핀들(32A, 32B)을 Y방향으로 직선 이동시키는 Y방향 이동부(51)와, 스핀들(32A, 32B)을 X방향으로 직선 이동시키는 X방향 이동부(52)와, 스핀들(32A, 32B)을 Z방향으로 직선 이동시키는 Z방향 이동부(53)를 구비하고 있다.

Y방향 이동부(51)는, 두 절단용 테이블(2A, 2B)에서 공통된 것이고, 두 절단용 테이블(2A, 2B)을 사이에 두고 Y방향을 따라 마련된 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511)과, 그 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511)을 따라 이동함과 함께, X방향 이동부(52) 및 Z방향 이동부(53)를 거쳐 스핀들(32A, 32B)을 지지하는 지지체(512)를 가지고 있다. 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511)은, Y방향을 따라 마련된 두 절단용 테이블(2A, 2B)의 측방에 마련되어 있다. 또, 지지체(512)는, 예를 들면 문형(門型)의 것이고, X방향으로 연장되는 형상을 가지고 있다.

그리고, 지지체(512)는, 예를 들면 Y방향으로 연장되는 볼 나사 기구(513)에 의해, 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511) 상에서 직선적으로 왕복 이동한다. 이 볼 나사 기구(513)는 서보 모터 등의 구동원(도시 않음)에 의해 구동된다. 그 밖에, 지지체(512)는, 리니어 모터 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.

X방향 이동부(52)는, 지지체(512)에 있어서 X방향을 따라 마련된 X방향 가이드 레일(521)과, 그 X방향 가이드 레일(521)을 따라 이동하는 X방향 슬라이더(522)를 가지고 있다. X방향 슬라이더(522)는, 예를 들면 리니어 모터(도시 않음)에 의해 구동되는 것이고, X방향 가이드 레일(521) 상에서 직선적으로 왕복 이동한다. 본 실시 형태에서는, 두 스핀들(32A, 32B)에 대응해서 두 X방향 슬라이더(522)가 마련되어 있다. 이것에 의해, 두 스핀들(32A, 32B)은 서로 독립적으로 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 그 밖에, X방향 슬라이더(522)는, 볼 나사 기구를 사용한 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.

Z방향 이동부(53)는, 각 X방향 슬라이더(522)에 있어서 Z방향을 따라 마련된 Z방향 가이드 레일(531)과, 그 Z방향 가이드 레일(531)을 따라 이동함과 함께 스핀들(32A, 32B)을 지지하는 Z방향 슬라이더(532)를 가지고 있다. 다시 말해, Z방향 이동부(53)는, 각 스핀들(32A, 32B)에 대응해서 마련되어 있다. Z방향 슬라이더(532)는, 예를 들면 편심 캠 기구(도시 않음)에 의해 구동되는 것이고, Z방향 가이드 레일(531) 상에서 직선적으로 왕복 이동한다. 그 밖에, Z방향 슬라이더(532)는, 볼 나사 기구 등의 다른 직동 기구에 의해 왕복 이동하도록 구성해도 된다.

그리고, 본 실시 형태의 기판 절단 모듈(B)은, 도 2 내지 도 5에 도시하는 바와 같이, 봉지 완료 기판(W)의 절단에 의해 생긴 부스러기(端材) 등의 가공 부스러기(S)를 수용하는 가공 부스러기 수용부(9)를 더 구비하고 있다.

이 가공 부스러기 수용부(9)는, 절단용 테이블(2A, 2B)의 하방에 마련되어 있고, 평면으로 보아 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸는 상부 개구(91X)를 가지는 가이드부(91)와, 그 가이드부(91)에 의해 가이드된 가공 부스러기(S)를 회수하는 회수 용기(92)를 가지고 있다. 가공 부스러기 수용부(9)를 절단용 테이블(2A, 2B)의 하방에 마련함으로써, 가공 부스러기(S)의 회수율을 향상시킬 수가 있다.

가이드부(91)는, 절단용 테이블(2A, 2B)로부터 비산 또는 낙하한 가공 부스러기(S)를 회수 용기(92)로 유도하는 것이다. 본 실시 형태는, 가이드부(91)의 상부 개구(91X)가 절단용 테이블(2A, 2B)을 둘러싸도록 구성되어 있으므로(도 3 참조), 가공 부스러기(S)를 흘리기 어려워져, 가공 부스러기(S)의 회수율을 한층 향상시킬 수가 있다. 또, 가이드부(91)는, 절단용 테이블(2A, 2B) 아래에 마련된 회전 기구(6A, 6B)를 둘러싸도록 마련되어 있고(도 4 참조), 가공 부스러기(S) 및 절삭수로부터 회전 기구(6A, 6B)를 보호하도록 구성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 가공 부스러기 수용부(9)는 두 절단용 테이블(2A, 2B)에 공통인 것으로 되어 있지만, 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어도 된다. 또, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 가이드부(91)의 상부 개구(91X)를 구성하는 측부 둘레 벽(911)을, 절단용 테이블(2A, 2B)의 기판 재치면(21)보다도 높은 위치(예를 들면 5 ㎜ 정도)로 함으로써, 가공 부스러기(S)가 가이드부(91) 내로 들어가기 쉽게 하고 있다. 한편, 가이드부(91)의 상부 개구(91X)를 구성하는 측부 둘레 벽(911)의 높이 위치는, 스핀들(32A, 32B) 등의 절단 기구(3)의 이동을 방해하지 않을 정도의 높이 위치로 한다.

회수 용기(92)는, 가이드부(91)를 자중(自重)에 의해 통과한 가공 부스러기(S)를 회수하는 것이고, 본 실시 형태에서는, 도 4 등에 도시하는 바와 같이, 두 절단용 테이블(2A, 2B) 각각에 대응해서 마련되어 있다. 그리고, 두 회수 용기(92)는, 각각 독립해서, 절단 장치(100)로부터 분리할 수 있도록 구성되어 있다. 이 구성에 의해, 가공 부스러기(S)의 폐기 등의 유지 보수성을 향상시킬 수가 있다. 한편, 회수 용기(92)는, 봉지 완료 기판(W)의 사이즈나, 가공 부스러기(S)의 사이즈 및 양, 작업성 등을 고려해서, 모든 절단용 테이블 아래 전체에 하나 마련해도 되고, 셋 이상 마련해도 된다.

또, 가공 부스러기 수용부(9)는, 도 4 등에 도시하는 바와 같이, 절단수와 가공 부스러기를 분리하는 분리부(93)를 가지고 있다. 이 분리부(93)의 구성으로서는, 예를 들면 회수 용기(92)의 저면에 절단수를 통과시키는 다공판 등의 필터를 마련하는 것이 생각된다. 이 분리부(93)에 의해, 회수 용기(92)에 절단수를 모아 두는 일 없이, 가공 부스러기(S)를 회수할 수가 있다. 또, 필터를 통과한 절단수는, 액체 공급 기구(8)로 복귀되어, 절단수로서 재이용할 수가 있다.

다음에, 기판 절단 모듈(B)의 동작의 일례를 설명한다.

절단용 테이블(2A)에서의 절단은, XYZ 방향으로 고정된 절단용 테이블(2A)에 대해서, 두 스핀들(32A, 32B)을 이동 기구(5)에 의해 XYZ 방향으로 이동시킴으로써 행해진다. 예를 들면, X방향 이동부(52) 및 Z방향 이동부(53)가 스핀들(32A)을 X방향 및 Z방향의 원하는 위치에 고정시킨 후에, Y방향 이동부(51)가 스핀들(32A, 32B)을 Y방향으로 이동시킴으로써, 봉지 완료 기판(W)이 Y방향을 따라 절단된다. 이 동작을 X방향으로 소정 거리 비켜나게 하면서 순차적으로 행함으로써, 봉지 완료 기판(W)은 X방향에 있어서 복수 조각(片)으로 절단된다. 그리고, 절단용 테이블(2A)을 회전 기구(6A)에 의해서 θ방향으로 예를 들면 90도 회전시키고, 그 후, 상술한 바와 같이 스핀들(32A, 32B)을 X방향으로 소정 거리 비켜나게 하면서 순차적으로 Y방향으로 이동시킴으로써, 봉지 완료 기판(W)의 상기 복수 조각이 Y방향을 따라 절단된다. 이 동작들에 의해서, 절단용 테이블(2A)에 보유 지지된 봉지 완료 기판(W)은, 격자형으로 절단되어 개편화된다.

또, 절단용 테이블(2B)에서의 절단은, 절단용 테이블(2A)에서의 절단과 마찬가지로, XYZ 방향으로 고정된 절단용 테이블(2B)에 대해서, 두 스핀들(32A, 32B)을 이동 기구(5)에 의해 XYZ 방향으로 이동시킴으로써 행해진다. 예를 들면, X방향 이동부(52) 및 Z방향 이동부(53)가 스핀들(32A, 32B)을 X방향 및 Z방향의 원하는 위치에 고정시킨 후에, Y방향 이동부(51)가 스핀들(32A, 32B)을 Y방향으로 이동시킴으로써, 절단용 테이블(2B)의 봉지 완료 기판(W)이 Y방향을 따라 절단된다. 이 동작을 X방향으로 소정 거리 비켜나게 하면서 순차적으로 행함으로써, 봉지 완료 기판(W)은 X방향으로 복수 조각으로 절단된다. 그리고, 절단용 테이블(2B)을 회전 기구(6B)에 의해서 θ방향으로 예를 들면 90도 회전시키고, 그 후, 상술한 바와 같이 스핀들(32A, 32B)을 X방향으로 소정 거리 비켜나게 하면서 순차적으로 Y방향으로 이동시킴으로써, 봉지 완료 기판(W)이 Y방향을 따라 절단된다. 이 동작들에 의해서, 절단용 테이블(2B)에 보유 지지된 봉지 완료 기판(W)은, 격자형으로 절단되어 개편화된다.

상기 동작에서는, 절단용 테이블(2A)에서의 절단 처리와, 절단용 테이블(2B)에서의 절단 처치(處置)는, 따로따로 교대로 행하고 있지만, Y방향 이동부(51)가 스핀들(32A, 32B)을, 절단용 테이블(2A) 및 절단용 테이블(2B)에 걸쳐서 이동시킴으로써, 절단용 테이블(2A)에서의 절단 처리와 절단용 테이블(2B)에서의 절단 처치를 동시에 행하도록 해도 된다.

＜본 실시 형태의 효과＞

본 실시 형태의 절단 장치(100)에 의하면, XYZ 방향으로 고정된 절단용 테이블(2A, 2B)에 대해서, 이동 기구(5)에 의해 이동된 절단 기구(3)(회전 공구(30))가 봉지 완료 기판(W)을 절단하므로, 절단용 테이블(2A, 2B)을 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 해서, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 할 수가 있다. 그 결과, 보호 커버의 고장에 수반하는 절단 장치(100)의 가동률 저하를 억제해서, 절단 장치(100)의 생산성을 향상시킬 수가 있다.

본 실시 형태에서는, Y방향으로 마련되는 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511)이 절단용 테이블(2A, 2B)을 사이에 두고 마련되므로, 한 쌍의 Y방향 가이드 레일(511)의 피치를 크게 할 수가 있다. 그 결과, Y방향 가이드 레일(511)끼리의 Z방향의 위치 어긋남이 가공에 미치는 영향을 작게 할 수가 있다. 다시 말해, 도 6에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 가이드 레일(511)의 피치 L＇가 종래의 구성의 피치 L보다 커지기 때문에, 회전 날과 가공 테이블의 직교도 θ의 어긋남을 작게 할 수가 있다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(511)의 피치가 커짐으로써 Y방향 이동부(51)의 직진성이 향상되고, 그 결과, 회전 날(31A, 31B)의 날 끝(刃先)의 흔들림이 작아지고, 절단 시의 절삭 저항 등이 작아져, 가공 정밀도를 향상시킬 수가 있다. 또, Y방향 가이드 레일(511)은 종래보다도 낮은 사양의 것을 사용할 수가 있다.

본 실시 형태에서는, 이동 기구(5) 중 가장 하측에 위치하는 Y방향 이동부(51)(구체적으로는 Y방향 가이드 레일(511) 및 볼 나사 기구(513))가, 절단용 테이블(2A, 2B)의 측방에 위치하고 있으므로, 도 7에 도시하는 바와 같이, Y방향 이동부(51)가 물 주변으로부터 떨어져 있는 구성이고, Y방향 이동부(51)에 있어서의 물이 원인인 고장의 리스크를 작게 할 수 있어, 장치 수명을 길게 할 수가 있다.

본 실시 형태에서는, 둘 이상의 절단용 테이블(2A, 2B)이 절단 시에 Y방향으로 이동하지 않기 때문에, 둘 이상의 절단용 테이블(2A, 2B)에 대한 이동 기구(5)(Y방향 이동부(51))의 Y방향의 평행도를 일거에 조정할 수가 있다. 즉, 절단 시에 절단용 테이블이 이동하는 종래의 장치에 절단용 테이블을 둘 마련하는 경우, 두 절단용 테이블의 Y방향의 평행도를 조정하고, 또한 이 조정한 Y방향의 평행도와 회전 날의 Y방향의 평행도를 조정할 필요가 있었지만(구체적으로는, 2회의 조정이 필요했음), 본 실시 형태에서는, 두 절단용 테이블(2A, 2B)은 절단 시에 Y방향으로 이동하지 않기 때문에, 회전 날(31A, 31B)의 Y방향의 평행도를 조정하기만 하면 된다(구체적으로는, 1회의 조정으로 충분하다).

또, 둘 이상의 절단용 테이블(2A, 2B)이 Y방향을 따라 마련됨과 함께, 스핀들(32A, 32B)을 지지하는 지지체(512)를 Y방향을 따라 이동시키는 구성 때문에, 한쪽 절단용 테이블(2A)에서 봉지 완료 기판(W)을 처리하고 있을 때에, 다른 쪽 절단용 테이블(2B)에 있어서 반송 등의 별도의 처리를 행할 수가 있다.

＜그 밖의 변형 실시 형태＞

한편, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 트윈 컷 테이블 방식으로서, 트윈 스핀들 구성의 절단 장치를 설명했지만, 이것에 한하지 않고, 싱글 컷 테이블 방식으로서, 싱글 스핀들 구성의 절단 장치나, 싱글 컷 테이블 방식으로서, 트윈 스핀들 구성의 절단 장치 등이어도 된다.

상기 실시 형태에서는, 트윈 컷 테이블 방식의 두 절단용 테이블을 Y방향을 따라 마련했지만, 복수의 절단용 테이블을 X방향을 따라 마련해도 된다. 이 경우, 각 절단용 테이블의 Y방향의 위치는, 동일하게 해도 되고, 비켜나게 해도 된다. Y방향의 위치를 비켜나게 해서 복수의 절단용 테이블을 마련한 경우, 각 절단용 테이블에 액세스 가능한 반송 기구를 마련함으로써, 절단이 이루어지지 않은 절단용 테이블로 기판을 반송 또는 그 절단용 테이블로부터 기판을 반출할 수가 있다.

게다가, 본 발명의 가공 장치는, 절단 이외의 가공을 행하는 것이어도 되고, 예를 들면 절삭이나 연삭 등의 그 밖의 기계 가공을 행하는 것이어도 된다.

그 밖에, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈(逸脫)하지 않는 범위에서 갖가지 변형이 가능함은 물론이다.

본 발명에 의하면, 가공 테이블을 이동시키는 이동 기구를 요하지 않게 해서, 벨로우즈 커버 등의 보호 커버를 요하지 않게 할 수가 있다.

100: 절단 장치(가공 장치)
W: 봉지 완료 기판(가공 대상물)
2A, 2B: 절단용 테이블(가공 테이블)
3: 절단 기구(가공 기구)
30: 회전 공구
31A, 31B: 회전 날
32A, 32B: 스핀들
5: 이동 기구
51: Y방향 이동부
511: Y방향 가이드 레일
512: 지지체
52: X방향 이동부

Claims (6)

1. 가공 대상물을 보유 지지하는 가공 테이블과,
   가공액을 사용하면서 회전 공구에 의해 상기 가공 대상물을 가공하는 가공 기구와,
   상기 가공 기구를 적어도 수평면에 있어서의 XY 방향 각각으로 직선 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
   적어도 XY 방향으로 고정된 상기 가공 테이블에 대해서, 상기 이동 기구에 의해 이동된 상기 가공 기구가 상기 가공 대상물을 가공하는, 가공 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 이동 기구는, 상기 가공 기구를 X방향으로 직선 이동시키는 X방향 이동부와, 상기 가공 기구를 Y방향으로 직선 이동시키는 Y방향 이동부를 구비하고,
   상기 Y방향 이동부는, 상기 가공 테이블을 사이에 두고 Y방향을 따라 마련된 한 쌍의 Y방향 가이드 레일과, 그 한 쌍의 Y방향 가이드 레일을 따라 이동함과 함께, 상기 X방향 이동부를 거쳐 상기 가공 기구를 지지하는 지지체를 가지고 있는, 가공 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 가공 테이블을 둘 이상 구비하고 있는, 가공 장치.
4. 제2항을 인용하는 제3항에 있어서,
   상기 둘 이상의 가공 테이블은, 수평면 상에 있어서 Y방향을 따라 마련되어 있는, 가공 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가공 기구는, 회전 날에 의해 상기 가공 대상물을 절단해서 개편화(個片化)하는 것인, 가공 장치.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 가공 대상물은, 수지 봉지된 봉지 완료 기판이고,
   상기 가공 기구는, 회전 날에 의해 상기 봉지 완료 기판을 절단함으로써 복수의 제품으로 개편화하는 것인, 가공 장치.

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