KR20220105124A - 드레서, 연마 패드의 드레싱 방법, 및 유리 기판의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

다이아몬드 드레서는, 연마 패드 표면을 연삭 제거하기 때문에 연마 패드의 사용 수명이 짧아진다고 하는 문제가 있었다. 또한, 브러시 드레서를 사용하여 연마 패드의 미세 구멍으로부터 클로깅 물질을 제거하는 방법은, 연마 패드의 표면은 연삭되기 어렵지만, 미세 구멍 안에 쌓인 클로깅 물질을 확실하게 제거할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 본 발명은, 연마 패드의 연마면을 파괴하거나, 또는 거칠게 하는 것을 억제하면서 연마 패드의 연마면에 있는 클로깅 물질을 제거할 수 있으며, 또한 연마 패드의 연마면을 균일하게 드레싱할 수 있는 드레서 및 드레싱 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 드레서는, 곡면을 갖는 원기둥상의 본체부와, 상기 본체부의 곡면에 형성된 드레스부를 갖고, 상기 드레스부는, 상기 본체부의 곡면으로부터의 높이가 1.0㎜ 이상 30㎜ 이하인 것을 특징으로 한다.

Description

드레서, 연마 패드의 드레싱 방법, 및 유리 기판의 제조 방법{DRESSER, DRESSING METHOD OF POLISHING PAD, AND MANUFACTURING METHOD OF GLASS SUBSTRATE}

본 발명은, 연마 패드의 드레싱에 사용되는 드레서, 상기 드레서를 사용한 드레싱 방법, 및 상기 드레서를 사용한 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

예를 들어, LCD(Liquid Crystal Display)나 OLED(Organic Light-Emitting Diode) 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)에 사용되는 유리 기판은, 연마 장치에 의해 유리 기판의 표면이 연마된다. 예를 들어 특허문헌 1에는, 유리 기판의 표면을 연마 패드와 슬러리를 사용하여 연마하는 방법이 기재되어 있다.

연마 패드에는 슬러리 중에 분산시킨 지립을 보유 지지하는 미세 구멍이나 홈 등(이하, 「미세 구멍」이라고도 함)이 다수 마련되어 있고, 이 미세 구멍에 의해 연마 패드의 연마면에 보유 지지된 지립으로 연마가 행해진다. 그러나 유리 기판의 연마를 반복하면, 연마 패드의 연마면의 미세 구멍에 있어서 클로깅이 발생하기 때문에 유리 기판의 연마 정밀도와 연마 효율이 저하되어, 예를 들어 유리 기판의 표면이 불균일해지거나 연마에 시간이 걸리는 경우가 있다.

그 때문에, 소정 매수의 유리 기판을 연마한 후에, 연마 패드의 연마면에 다이아몬드의 미립자가 전착된 드레서 등을 맞닿게 하여, 연마 패드의 연마면 중, 유리 기판의 연마에 사용하는 범위를 깎아내어, 클로깅을 해소하고 있다. 특허문헌 2에는, 다이아몬드의 미립자를 전착시켜 지립층을 형성한 다이아몬드 드레서나, 브러시를 포함하는 브러시 드레서가 개시되어 있다.

일본 특허 공개 제2004-122351호 공보 일본 특허 공개 평11-333698호 공보

그러나 특허문헌 2에 기재되어 있는 다이아몬드 드레서는, 연마 패드의 표면을 연삭 제거하기 때문에 연마 패드의 사용 수명이 짧아진다고 하는 문제가 있었다. 특히, 연마 패드의 연마면에 폴리우레탄의 발포층(이하, 「NAP층」이라고도 함)이 마련된 스웨이드 타입의 연마 패드는, NAP층이 다이아몬드 드레서로 연삭되기 쉬우므로 연마 패드의 수명이 짧아지기 쉽다.

또한, 브러시 드레서를 사용하여 연마 패드의 미세 구멍으로부터 클로깅 물질을 제거하는 방법은, 연마 패드의 표면은 연삭되기 어렵지만, 미세 구멍 안에 쌓인 클로깅 물질을 확실하게 제거할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 또한, 연마 패드가 스웨이드 타입의 연마 패드인 경우에는 연마면의 NAP층이 파괴되어, 연마 패드의 연마면에 요철이 발생하여, 예를 들어 연마한 유리 기판의 표면 조도나 파형을 충분히 저감할 수 없거나, 연마한 유리 기판 표면의 조도가 불균일해지는 문제가 있었다.

또한, 발명자들은, 특허문헌 2에 개시되어 있는 원형 평판상의 드레서를 사용하는 경우, 연마면에 있어서, 클로깅 물질의 제거 정밀도에 불균일이 발생하기 쉬운 것을 알아 내었다. 이것은, 연마 패드와 드레서의 접촉 시간이 장소에 따라 다르기 때문이라고 생각된다.

예를 들어 원형 평판상의 드레서를 사용하여 연마 패드와 원형 평판상의 드레서를 상대적으로 회전시킨 경우, 연마 패드의 중앙부와 외주부에서, 드레서와의 접촉 시간이 다르다. 그 때문에, 예를 들어 연마 패드의 중앙부와 드레서의 접촉 시간보다, 연마 패드의 외주부와 드레서의 접촉 시간이 짧은 경우에 있어서는, 연마 패드의 중앙부의 클로깅 물질이 제거되어 있어도, 연마 패드의 외주부의 클로깅 물질이 제거되어 있지 않은 등의 문제가 일어날 우려가 있었다.

본 발명은, 연마 패드의 연마면을 파괴하거나, 또는 요철이 발생하여 거칠어지는 것을 억제하면서 연마 패드의 연마면에 있는 클로깅 물질을 제거할 수 있으며, 또한 연마 패드의 연마면을 균일하게 드레싱할 수 있는 드레서 및 드레싱 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

(1) 본 발명에 관한 드레서는, 곡면을 갖는 원기둥상의 본체부와, 상기 본체부의 곡면에 형성된 드레스부를 갖고, 상기 드레스부는, 상기 본체부의 곡면으로부터 1.0㎜ 이상 30㎜ 이하의 높이를 갖는 것을 특징으로 한다.

(2) 상기 드레스부는 상기 본체부의 곡면을 따라 나선상으로 형성되어 있고, 상기 드레스부는 상기 본체부의 축 방향에 수직인 방향에 대해 10° 이상 80° 이하의 리드각으로 형성되는, (1)에 기재된 드레서.

(3) 상기 본체부의 곡면을 따라 나선상으로 형성된 드레스부의 수는, 3 이상 30 이하인, (2)에 기재된 드레서.

(4) 상기 드레스부의 상기 본체부의 축 방향에 있어서의 피치는 10㎜ 이상 200㎜ 이하인, (2) 또는 (3)에 기재된 드레서.

(5) 상기 드레스부에 있어서, 상기 드레스부의 연장 방향과 수직인 방향에 있어서의 폭은 1.0㎜ 이상 25㎜ 이하인, (2) 내지 (4) 중 어느 것에 기재된 드레서.

(6) 상기 본체부의 축 방향 길이는, 1500㎜ 이상 5500㎜ 이하인, (1) 내지 (5) 중 어느 것에 기재된 드레서.

(7) 상기 본체부의 직경은 30㎜ 이상 200㎜ 이하인, (1) 내지 (6) 중 어느 것에 기재된 드레서.

(8) 상기 드레스부는, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면과 맞닿는 단부면과, 상기 단부면과 상기 본체부를 연결하는 측면을 갖고, 상기 단부면과 상기 측면 사이에 모따기부가 형성되어 있는, (1) 내지 (7) 중 어느 것에 기재된 드레서.

(9) 상기 드레스부는, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면과 맞닿는 단부면과, 상기 단부면과 상기 본체부를 연결하는 측면을 갖고, 상기 드레스부의 상기 단부면은 오목부를 갖는, (1) 내지 (8) 중 어느 것에 기재된 드레서.

(10) 상기 오목부의 깊이는 0.1㎜ 이상 0.8㎜ 이하인, (9)에 기재된 드레서.

(11) (1) 내지 (10)에 기재된 드레서를 사용하여, 연마 패드의 연마면을 드레싱하는 드레싱 방법에 있어서, 상기 드레스부를 상기 연마 패드의 연마면에 맞닿게 하면서 상기 본체부의 중심축을 회전축으로 하여 상기 드레서를 회전시키고, 상기 드레서와 상기 연마 패드를 상대적으로 이동시킴으로써 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 것을 특징으로 하는, 연마 패드의 드레싱 방법.

(12) 상기 드레서를 상기 본체부의 축 방향으로 요동시키면서 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는, (11)에 기재된 연마 패드의 드레싱 방법.

(13) 상기 연마 패드의 상기 연마면에 슬러리를 공급하면서 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는, (11) 또는 (12)에 기재된 연마 패드의 드레싱 방법.

(14) (1) 내지 (10) 중 어느 드레서를 사용하여 드레싱된 연마 패드에 의해 유리 기판을 연마하는 연마 공정을 갖는, 유리 기판의 제조 방법.

(15) 상기 유리 기판은, 디스플레이용인, (14)에 기재된 유리 기판의 제조 방법.

본 발명에 따르면, 연마 패드의 연마면을 파괴하거나, 또는 거칠게 하는 것을 억제하면서 연마 패드의 연마면에 있는 클로깅 물질을 제거할 수 있으며, 또한 연마 패드의 연마면을 균일하게 드레싱할 수 있는 드레서 및 드레싱 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 2-2 단면도이다.
도 3은 도 1의 2-2 단면도에 있어서의, 드레스부의 확대도이다.
도 4는 제1 실시 형태의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 5는 제2 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 6은 도 5의 6-6 단면도이다.
도 7은 제3 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 8은 도 7의 8-8 단면도이다.
도 9는 제4 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 10은 제4 실시 형태의 변형예를 도시한 평면도이다.
도 11은 제5 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 12는 본 발명의 드레서를 사용하여 클로깅 물질을 제거하는 원리를 도시한 개념도이다.
도 13은 제1 실시 형태에 도시하는 드레서를 사용한 드레싱 방법의 평면도이다.
도 14는 제1 실시 형태에 도시하는 드레서를 사용한 드레싱 방법의 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도시 예와 함께 설명한다.

도 1 내지 도 11은 본 발명에 관한 드레서를 나타내는 개념도이고, 도 12는 본 발명의 드레서를 사용하여 클로깅 물질을 제거하는 원리를 도시한 개념도, 도 13 및 도 14는 드레싱 방법을 도시한 개념도이다. 도 13 및 도 14에서는, 도 1에 관한 제1 실시 형태의 드레서를 사용하여 도시되어 있다.

도 1 내지 도 11은 유리 기판의 연마 가공에 이용되는 연마 패드를 드레싱할 때에 사용되는 드레서에 관한 개념도이다. 상기 유리 기판은, 예를 들어 LCD(Liquid Crystal Display)나 OLED(Organic Light-Emitting Diode) 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)에 사용된다.

본 발명에 관한 드레서는 곡면을 갖는 원기둥상의 본체부와, 상기 본체부의 곡면에 형성된 드레스부를 갖는다. 또한, 본 명세서에 있어서, 원기둥상의 본체부의 축 방향을 X 방향, 축 방향과 수직인 방향을 Y 방향이라 한다.

(제1 실시 형태)

도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 실시 형태에 있어서, 드레스부(14)는 본체부(12)의 곡면을 따라 나선상으로 형성되어 있다. 제1 실시 형태에 있어서, 스레드수, 피치 P, 리드 L, 리드각 α가 이하와 같이 정의된다.

(스레드수)

제1 실시 형태에 있어서, 스레드수(number of threads)란 본체부(12)의 곡면을 따라 나선상으로 형성된 드레스부(14)의 수를 말한다. 도 1에 도시하는 드레서(10)의 스레드수는 3이다. 그 때문에, 도 1에 도시하는 드레서(10)를 절단면 2-2로 절단한 경우, 도 2에 도시하는 바와 같이 본체부(12)의 곡면의 3개소에 드레스부(14)가 형성되게 된다.

스레드수가 많으면, 연마 패드의 클로깅 물질의 제거 성능이 향상된다. 그 때문에, 스레드수는 3 이상이 바람직하고, 5 이상이 보다 바람직하고, 10 이상이 더욱 바람직하다. 스레드수가 지나치게 많으면, 본체부(12)의 곡면에 드레스부(14)가 지나치게 밀하게 존재해 버려, 제거 성능이 저하될 우려가 있다. 따라서, 스레드수는 30 이하가 바람직하고, 25 이하가 보다 바람직하고, 20 이하가 더욱 바람직하다.

(피치 P)

제1 실시 형태에 있어서, 피치 P란 본체부(12)의 곡면을 따라 나선상으로 형성된 드레스부(14)의 X 방향의 거리를 말한다. 피치 P가 작을수록, 본체부(12)의 곡면에 드레스부(14)가 밀하게 형성되어 있음을 의미한다. 피치 P가 지나치게 작으면, 본체부(12)의 곡면에 드레스부(14)가 지나치게 밀하게 존재해 버리므로, 클로깅 물질의 제거 성능이 저하될 우려가 있다. 그 때문에, 피치 P는 10㎜ 이상이 바람직하고, 15㎜ 이상이 보다 바람직하고, 20㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 또한, 피치 P가 지나치게 크면, 드레싱 시에, 드레스부(14)와 연마 패드의 연마면의 접촉 횟수가 적어져, 클로깅 물질의 제거 성능이 저하될 우려가 있다. 그 때문에, 피치 P는 200㎜ 이하가 바람직하고, 100㎜ 이하가 보다 바람직하고, 50㎜ 이하가 더욱 바람직하다.

(리드 L)

제1 실시 형태에 있어서 리드 L이란, 본체부(12)의 곡면을 따라 나선상으로 형성된 하나 이상의 드레스부(14) 중, 특정 드레스부(14)에 착안하여, 상기 드레스부(14)가 원기둥상의 본체부(12)의 곡면을 1주하였을 때, X 방향으로 진행하는 거리를 말한다. 그 때문에, 스레드수가 1인 드레서 경우, 리드 L과 피치 P는 일치하지만, 스레드수가 1이 아닌 경우는 일치하지 않고, 리드 L은 스레드수와 피치 P의 곱이 된다. 그 때문에, 리드 L은 스레드수와 피치 P에 의해 정해지며, 특별히 한정되지 않는다.

(리드각 α)

제1 실시 형태에 있어서 리드각 α는, 드레스부(14)와, 본체부(12)의 축 방향과 수직인 방향(Y 방향)에 의해 형성되는 예각 α(0°＜α＜90°)를 말한다. 리드각 α가 지나치게 작으면 클로깅 물질의 제거 성능이 저하된다. 그 때문에, 리드각 α는 10° 이상이 바람직하고, 20° 이상이 보다 바람직하고, 30° 이상이 더욱 바람직하고, 40° 이상이 특히 바람직하다. 또한, 리드각 α가 지나치게 커도 클로깅 물질의 제거 성능이 저하된다. 그 때문에, 리드각 α는 80° 이하가 바람직하고, 70° 이하가 보다 바람직하고, 60° 이하가 더욱 바람직하고, 50° 이하가 특히 바람직하다.

(본체부)

본 발명에 관한 드레서(10)의 본체부(12)는 곡면을 갖는 원기둥상이다. 본체부(12)의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 스테인리스이다. 또한, 본체부(12)는 중공 구조로 해도 된다. 중공 구조로 함으로써 드레서를 경량화할 수 있어, 드레서를 작은 동력으로 구동시킬 수 있다.

본체부(12)의 직경이 크면, 본체부(12)의 곡면에 많은 드레스부(14)를 형성할 수 있으므로, 드레서(10)의 1회전당의 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다. 그 때문에, 본체부(12)의 직경은 20㎜ 이상이 바람직하고, 40㎜ 이상이 보다 바람직하고, 60㎜ 이상이 더욱 바람직하고, 80㎜ 이상이 특히 바람직하다. 본체부(12)의 직경이 작으면, 본 발명에 관한 드레서(10)를 보다 작은 동력으로 회전 구동시킬 수 있어, 본 발명에 관한 드레서(10)를 사용한 드레싱 장치를 간소한 구조로 할 수 있다. 그 때문에, 본체부(12)의 직경은 300㎜ 이하가 바람직하고, 200㎜ 이하가 보다 바람직하고, 150㎜ 이하가 더욱 바람직하고, 120㎜ 이하가 특히 바람직하다.

연마 패드가 원형인 경우에는, 본체부(12)의 축 방향 길이는 연마 패드의 직경보다 긴 것이 바람직하다. 연마 패드가 직사각 형상인 경우에는, 상기 직사각 형상의 연마 패드의 적어도 한 변보다 본체부(12)의 축 방향 길이가 긴 것이 바람직하다. 이에 의해 연마면을 한 번에 드레싱할 수 있으므로 연마 효율이 향상된다. 본체부(12)의 축 방향 길이는, 피 드레싱 대상인 연마 패드의 크기에 따라 적절하게 조정할 수 있는데, 예를 들어 1500㎜ 이상 5500㎜ 이하이다.

(드레스부)

드레스부(14)란, 상기 본체부(12)의 곡면에 형성된 볼록부이며, 연마 패드를 드레싱하는 부분이다. 도 2에 있어서의 드레스부(14)를 확대한 것을 도 3에 도시한다. 드레스부(14)는, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면과 맞닿는 단부면(16)과, 상기 단부면(16)과 본체부(12)를 연결하는 측면(18)을 갖는다. 또한, 상기 단부면(16)과 상기 측면(18) 사이에 모따기부(20)가 형성되어 있어도 된다.

드레스부(14)의 재질은, 본체부(12)와 다른 재질을 사용해도 되지만, 가공의 용이성의 관점에서 동일한 재질을 사용하는 것이 바람직하다. 드레스부(14)는, 예를 들어 스테인리스로 제작된다.

드레스부(14)의 높이 H가 지나치게 낮은 경우, 연마 패드의 클로깅 물질을 제거하기 어려워진다. 그 때문에, 드레스부(14)의 높이 H는 1.0㎜ 이상이고, 2.0㎜ 이상이 바람직하고, 3.0㎜ 이상이 보다 바람직하고, 5.0㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 또한, 드레스부(14)의 높이 H가 지나치게 높으면, 클로깅 물질을 제거할 때에 드레스부(14)의, 본체부(12)의 근방에 힘이 가해져, 드레스부(14)가 변형될 우려가 있다. 그 때문에, 드레스부(14)의 높이 H는 30㎜ 이하이고, 20㎜ 이하가 바람직하고, 15㎜ 이하가 보다 바람직하고, 10㎜ 이하가 더욱 바람직하다.

제1 실시 형태에 있어서, 드레스부(14)의 폭 W는, 드레스부(14)의 연장 방향(Y 방향으로부터 리드각 α 기운 방향)과 수직인 방향으로 측정된다. 드레스부(14)의 폭 W가 지나치게 작으면 강도가 낮아져, 드레스부(14)가 변형될 우려가 있다. 그 때문에, 드레스부(14)의 폭 W는 1.0㎜ 이상이 바람직하고, 2.0㎜ 이상이 보다 바람직하고, 3.0㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 또한, 드레스부(14)의 폭 W가 작으면, 연마 패드에 압박하였을 때에 가해지는 압력이 높아지므로, 클로깅 물질의 제거 성능이 향상된다. 그 때문에, 드레스부(14)의 폭 W는 15㎜ 이하가 바람직하고, 10㎜ 이하가 보다 바람직하고, 8.0㎜ 이하가 더욱 바람직하고, 5.0㎜ 이하가 특히 바람직하다.

제1 실시 형태에 있어서, 드레스부(14)의 높이 H를 폭 W로 나눈 드레스부(14)의 애스펙트비 H/W(무차원)는 5.0 이하인 것이 바람직하고, 3.0 이하인 것이 보다 바람직하고, 2.0 이하인 것이 특히 바람직하다. 애스펙트비가 상기 상한 이하임으로써, 드레스부가 변형되기 어려워진다. 또한, 애스펙트비는 0.1 이상인 것이 바람직하고, 0.5 이상인 것이 보다 바람직하고, 1.0 이상인 것이 더욱 바람직하다.

또한, 드레스부(14)의 단부면(16)과 측면(18)에 의해 형성되는 코너부는 모따기되어 있는 것이 바람직하다. 그 경우, 상기 단부면(16)과 상기 측면(18) 사이에 모따기부(20)가 형성되게 된다. 상기 모따기부(20)는 C면취 또는 R면취가 바람직하다. 상기 코너부가 모따기되어 있음으로써, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면에 요철이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이것은 특히 연마 패드의 연마면에 NAP층이 형성된 스웨이드 타입의 연마 패드에 사용할 때에 현저한 효과가 나타난다.

C면취 및 R면취는 드레스부의 단부면과 측면에 의해 형성되는 코너부를 제거할 수 있으면 된다. 그 때문에, C면취의 경우, 모따기 깊이는 예를 들어 0.3㎜ 내지 1.0㎜이다. C면취이면, 가공이 용이하므로 바람직하다. R면취이면, 매끄러운 형상이 되므로, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면에 요철이 발생하는 것을 보다 억제할 수 있다.

(제1 실시 형태의 변형예)

도 4에 제1 실시 형태의 변형예를 도시한다. 도 4에 기재된 드레서(10)는, 드레스부(14)의 단부면(16)에 오목부(22)를 갖고 있다.

(드레스부의 단부면의 오목부)

도 4에 있어서, 오목부(22)는 드레스부(14)의 폭 방향을 따라 형성되어 있지만, 그 방향은 한정되지 않고, 예를 들어 원기둥상의 본체부(12)의 축 방향을 따라 형성되어 있어도 된다. 드레스부의 단부면(16)에 오목부(22)가 형성되어 있음으로써 클로깅 물질의 제거 성능이 향상된다. 오목부(22)의 폭은 0.1㎜ 이상인 것이 바람직하고, 0.3㎜ 이상인 것이 보다 바람직하고, 0.5㎜ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 상기 하한값 이상이면, 오목부(22)에 의한 클로깅 물질의 제거 성능이 향상된다. 또한, 오목부(22)의 폭은 2.0㎜ 이하인 것이 바람직하고, 1.5㎜ 이하인 것이 보다 바람직하고, 1.2㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

또한, 오목부(22)의 깊이는 0.1㎜ 이상이 바람직하고, 0.2㎜ 이상이 보다 바람직하고, 0.3㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 상기 하한값 이상이면, 오목부(22)에 의한 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다. 또한, 오목부(22)의 깊이는 0.8㎜ 이하가 바람직하고, 0.7㎜ 이하가 보다 바람직하고, 0.6㎜ 이하가 더욱 바람직하다.

인접하는 오목부(22) 사이의 거리가 지나치게 작으면 드레스부(14)의 강도가 저하될 우려가 있으므로, 인접하는 오목부(22) 사이의 거리는 1.0㎜ 이상이 바람직하고, 2.0㎜ 이상이 보다 바람직하고, 3.0㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 또한, 인접하는 오목부(22) 사이의 거리가 지나치게 크면 오목부(22)에 의한 제거 성능의 향상을 기대할 수 없다. 그 때문에, 인접하는 오목부(22) 사이의 거리는 50㎜ 이하가 바람직하고, 30㎜ 이하가 보다 바람직하고, 20㎜ 이하가 더욱 바람직하다.

이하, 제2 내지 제5 실시 형태의 드레서에 대해 기재한다. 제2 내지 제5 실시 형태의 드레서는 제1 실시 형태의 드레서와 비교하여, 드레스부의 형상이 다르다. 드레스부의 형상 이외의 본체부, 드레스부의 높이나 폭, 단부면과 측면에 의해 형성되는 코너부의 모따기에 대해서는, 특별히 명기하고 있는 경우를 제외하고, 제2 내지 제5 실시 형태에 기재된 드레서에 있어서도 제1 실시 형태의 드레서와 마찬가지이다.

(제2 실시 형태)

제2 실시 형태에 관한 드레서(10)를 도 5에 도시한다. 제2 실시 형태에 관한 드레서(10)는, 드레스부(14)가 본체부(12)의 축 방향(X 방향)에 대해 평행하게 형성되어 있다. 제2 실시 형태에 관한 드레서(10)는 본체부(12)의 곡면에 복수의 드레스부(14)를 갖고 있다. 복수의 드레스부(14)는 줄무늬 형상으로 형성되어 있다. 드레스부(14)의 수는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 3 이상 30 이하이다. 도 6은 제2 실시 형태의 드레서(10)의 6-6 단면도이다. 도 6에 기재된 드레서(10)에는 8개의 드레스부(14)가 형성되어 있다.

또한, 제2 실시 형태의 드레서(10)의 경우, 드레스부(14)의 폭 W는 본체부(12)의 축 방향과 수직인 방향으로 측정된다. 제2 실시 형태의 드레서(10)에 있어서도, 드레스부(14)의 단부면(16)에 오목부(22)(도 4 참조)를 마련함으로써 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다.

(제3 실시 형태)

제3 실시 형태에 관한 드레서(10)를 도 7에 도시한다. 제3 실시 형태에 관한 드레서(10)는, 드레스부(14)가 본체부(12)의 곡면에 지그재그(zigzag)로 형성되어 있다. 지그재그 이외에도, 예를 들어 정현 곡선(sine curve)과 같은 파상으로 형성해도 된다. 정현 곡선과 같은 파상이면, 지그재그 형상에 비해 코너부가 적으므로, 연마 패드의 연마면이 손상되는 것을 억제할 수 있다. 도 8은 제3 실시 형태에 관한 드레서(10)의 단면도이다. 도 8에 관한 드레서(10)에는 6개의 드레스부(14)가 형성되어 있다. 제3 실시 형태의 드레서(10)에 있어서도, 드레스부(14)의 단부면(16)에 오목부(22)(도 4 참조)를 마련함으로써 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다.

(제4 실시 형태)

제4 실시 형태에 관한 드레서(10)를 도 9에 도시한다. 제4 실시 형태에 관한 드레서(10)는, 드레스부(14)가 본체부(12)의 곡면에 바둑판 형상으로 형성되어 있다. 각 드레스부(14)의 크기는 예를 들어 한 변이 3.0㎜ 이상 30㎜ 이하인 직사각 형상이다. 또한, 각 드레스부(14)의 형상은 직사각 형상에 한정되지 않는다. 도 10에 도시하는 바와 같이, 도 9에 도시하는 각 드레스부(14)의 형상을 직사각형으로부터 원형으로 치환해도 된다. 즉, 드레스부(14)가 물방울 형상으로 형성되어도 된다. 원형의 드레스부(14)의 직경은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 3.0㎜ 이상 30㎜ 이하이다. 제4 실시 형태의 드레서(10)에 있어서도, 드레스부(14)의 단부면(16)에 오목부(22)(도 4 참조)를 마련함으로써 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다.

(제5 실시 형태)

도 11에 기재된 드레서(10)는 드레스부(14)가 망 형상으로 형성되어 있다. 망을 형성하는 드레스부(14)의 폭은 1.0㎜ 이상이 바람직하고, 2.0㎜ 이상이 보다 바람직하고, 3.0㎜ 이상이 더욱 바람직하다. 상기 하한 이상이면, 드레스부(14)의 변형을 방지할 수 있다. 또한, 드레스부(14)의 폭 W는 15㎜ 이하가 바람직하고, 10㎜ 이하가 보다 바람직하고, 8.0㎜ 이하가 더욱 바람직하고, 5.0㎜ 이하가 특히 바람직하다. 드레스부(14)의 폭 W가 작으면, 연마 패드에 압박하였을 때에 가해지는 압력이 높아지므로, 클로깅 물질의 제거 성능이 향상된다고 생각된다. 제5 실시 형태의 드레서(10)에 있어서도, 드레스부(14)의 단부면(16)에 오목부(22)(도 4 참조)를 마련함으로써 클로깅 물질의 제거 성능의 향상을 기대할 수 있다.

(본 발명의 실시 형태에 나타내는 드레서에 의한 클로깅 물질의 제거 원리)

도 12는 본 발명의 드레서(10)에 의한 클로깅 물질(26)의 제거 원리를 개념적으로 도시한 도면이다. 연마 패드(28)는, 예를 들어 합성 수지 섬유, 부직포, 혹은 우레탄 등을 포함하는 것이며, 다수의 미세 구멍(24)을 갖는 다공질재이다. 미세 구멍(24)에 슬러리 중의 지립이 보유 지지되고, 유리 기판이 연마 패드(28)의 연마면에 압박됨으로써 유리 기판이 연마된다.

그러나 연마 작업의 진행에 수반하여 연마 패드(28)의 미세 구멍(24)에는, 연마 능력이 저하된 지립이나 연마 부스러기 등이 클로깅되어, 공급되는 새로운 지립을 보유 지지할 수 없게 된다. 그 때문에, 예를 들어 소정 매수의 유리 기판을 연마할 때마다 드레서(10)에 의해 연마 패드(28)의 드레싱이 행해진다.

도 12의 (a) 내지 도 12의 (c)에 도시하는 바와 같이, 미세 구멍(24)의 클로깅 물질(26)은, 드레스부(14)가 미세 구멍(24)을 형성하는 볼록부를, 상기 볼록부의 측면 방향으로부터 압박함으로써 제거된다. 이때, 본체부(12)의 곡면으로부터의 드레스부(14)의 높이 H(도 3 참조)가 1.0㎜ 이상임으로써 연마 패드(28)의 미세 구멍(24)으로부터 클로깅 물질(26)을 제거할 수 있다. 또한, 드레서(10)는 연마 패드(28)에 대해 상대 이동하고 있으므로, 드레스부(14)는 순차 인접하는 볼록부를 압박한다. 최종적으로는, 연마 패드 전체면의 클로깅 물질(26)이 미세 구멍(24)으로부터 제거된다.

(본 발명의 실시 형태의 드레서에 의한 드레싱 방법)

본 발명에 관한 드레서에 의한, 연마 패드의 드레싱은 다음과 같이 행해진다. 연마 패드(28)는 도 13에 도시하는 바와 같이 XY 평면에 위치한다. 소정 매수의 유리 기판의 연마를 종료한 연마 패드(28)의 연마면의 상방에 드레서(10)를 위치시키고, 드레스부(14)를 연마 패드(28)의 연마면과 맞닿게 한다. 이어서, 드레서(10)를 본체부(12)의 중심축을 회전축으로 하여 회전시킴과 함께, 연마 패드(28)의 일단부로부터 타단부를 향해(화살표 A 방향) 이동시킨다. 이동 방향은, 본체부(12)의 축 방향에 직교하는 방향이다. 이때, 슬러리 공급부(30)로부터 연마 패드(28)의 연마면에 슬러리(32)를 공급해도 된다. 슬러리(32)를 공급하면서 드레싱함으로써, 클로깅 물질(26)을 효율적으로 제거할 수 있다. 슬러리(32)로서는, 예를 들어 산화세륨이 사용된다.

또한, 드레서(10)를 본체부(12)의 축 방향(화살표 B 방향)으로 요동시키면서 드레싱시켜도 된다. 이에 의해, 클로깅 물질(26)을 효율적으로 제거할 수 있다.

드레서(10)와 연마 패드(28)의 접촉점에 있어서의 드레서(10)의 회전 방향(화살표 C 방향)은, 연마 패드(28)에 대한 드레서(10)의 진행 방향(화살표 A 방향)과 동일한 방향인 것이 바람직하다. 이에 의해, 드레스부(14)가 연마 패드(28)의 연마면의 볼록부의 측면을 압박하기 쉬우므로, 클로깅 물질(26)을 효율적으로 제거할 수 있다.

드레서(10)를 연마 패드(28)의 일단부로부터 타단부로 이동시킨 후, 드레스부(14)와 연마 패드(28)를 이격시켜, 연마 패드(28)와 드레서(10)를 XY 평면에 있어서 상대적으로 회전시킨 후에, 다시 드레싱해도 된다. 연마 패드(28)와 드레서(10)를 XY 평면에서 상대적으로 회전시켜, 연마 패드(28)를 복수의 방향으로부터 드레싱함으로써, 연마 패드(28)의 클로깅 물질(26)을 확실하게 제거할 수 있다. 즉, 예를 들어 도 13과 같이 원형의 연마 패드(28)를 사용하고 있는 경우에 있어서, 연마 패드(28)를 점 O를 중심으로 회전시킨다.

상기한 구성에 의하면, 연마 패드(28)의 연마면을 파괴하거나, 또는 거칠게 하는 것을 억제하면서 연마 패드(28)의 연마면에 있는 클로깅 물질(26)을 제거할 수 있으며, 또한 연마 패드(28)의 연마면을 균일하게 드레싱할 수 있다.

10: 드레서
12: 본체부
14: 드레스부
16: 단부면
18: 측면
20: 모따기부
22: 오목부
24: 미세 구멍
26: 클로깅 물질
28: 연마 패드
30: 슬러리 공급부
32: 슬러리
34: 스프레이 노즐

Claims (15)

1. 연마 패드의 연마면을 드레싱하는 드레서이며,
   곡면을 갖는 원기둥상의 본체부와,
   상기 본체부의 곡면에 형성된 드레스부를 갖고,
   상기 드레스부는, 상기 본체부의 곡면으로부터 1.0㎜ 이상 30㎜ 이하의 높이를 갖는 것을 특징으로 하는, 드레서.
2. 제1항에 있어서,
   상기 드레스부는, 상기 본체부의 곡면을 따라 나선상으로 형성되어 있고, 상기 드레스부는 상기 본체부의 축 방향에 수직인 방향에 대해 10° 이상 80° 이하의 리드각으로 형성되는, 드레서.
3. 제2항에 있어서,
   상기 본체부의 곡면을 따라 나선상으로 형성된 상기 드레스부의 수는, 3 이상 30 이하인, 드레서.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 드레스부의 상기 본체부의 축 방향에 있어서의 피치는 10㎜ 이상 200㎜ 이하인, 드레서.
5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 드레스부에 있어서, 상기 드레스부의 연장 방향과 수직인 방향에 있어서의 폭은 1.0㎜ 이상 25㎜ 이하인, 드레서.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 본체부의 축 방향 길이는, 1500㎜ 이상 5500㎜ 이하인, 드레서.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 본체부의 직경은 30㎜ 이상 200㎜ 이하인, 드레서.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 드레스부는, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면과 맞닿는 단부면과, 상기 단부면과 상기 본체부를 연결하는 측면을 갖고,
   상기 단부면과 상기 측면 사이에 모따기부가 형성되어 있는, 드레서.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 드레스부는, 드레싱 시에 연마 패드의 연마면과 맞닿는 단부면과, 상기 단부면과 상기 본체부를 연결하는 측면을 갖고,
   상기 드레스부의 상기 단부면은 오목부를 갖는, 드레서.
10. 제9항에 있어서,
    상기 오목부의 깊이는 0.1㎜ 이상 0.8㎜ 이하인, 드레서.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 드레서를 사용하여, 연마 패드의 연마면을 드레싱하는 드레싱 방법에 있어서,
    상기 드레스부를 상기 연마 패드의 연마면에 맞닿게 하면서 상기 본체부의 중심축을 회전축으로 하여 상기 드레서를 회전시키고,
    상기 드레서와 상기 연마 패드를 상대적으로 이동시킴으로써 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는 것을 특징으로 하는, 연마 패드의 드레싱 방법.
12. 제11항에 있어서,
    상기 드레서를 상기 본체부의 축 방향으로 요동시키면서 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는, 연마 패드의 드레싱 방법.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 연마 패드의 상기 연마면에 슬러리를 공급하면서 상기 연마 패드의 상기 연마면을 드레싱하는, 연마 패드의 드레싱 방법.
14. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 드레서를 사용하여 드레싱된 연마 패드에 의해 유리 기판을 연마하는 연마 공정을 갖는, 유리 기판의 제조 방법.
15. 제14항에 있어서,
    상기 유리 기판은, 디스플레이용인, 유리 기판의 제조 방법.

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